微機(jī)械的壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種具有高動態(tài)的測量區(qū)域的微機(jī)械的壓力傳感器。該壓力傳感器具有兩個壓力敏感的、閉合的傳感器薄膜，其中，兩個傳感器薄膜中的每一個傳感器薄膜可以耦接到一自身的壓力貯存器上；還具有一布置在傳感器薄膜之間的止擋裝置，該止擋裝置具有下列元件：一錨固元件，用于將止擋裝置錨固在傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜上；至少一個將兩個傳感器薄膜基本上剛性連接的耦接元件；多個支撐元件，傳感器薄膜中的一個傳感器薄膜在定義的幾何上的偏移的情況下能與支撐元件接觸；以及一密封元件，用于密封止擋裝置。通過兩個傳感器薄膜的基本上剛性的耦接，有利地取消了單個的絕對壓力值的相減。
【專利說明】微機(jī)械的壓力傳感器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種微機(jī)械的壓力傳感器。

【背景技術(shù)】
[0002]在已知的煙灰顆粒過濾器中，為了確定煙灰質(zhì)量采用壓差傳感器。在較高的煙灰質(zhì)量的情況下，會在傳感器上產(chǎn)生直至1.5bar超壓的壓力。通常一完整無損的煙灰顆粒過濾器擋住所有煙灰顆粒的多于95%。但在其運(yùn)行持續(xù)時間內(nèi)，顆粒過濾器會漏水，其中，在該情況下泄漏測量可以識別出顆粒過濾器中的可能的泄漏。為了測量泄漏壓差所需的壓力分辨率位于大致5mbar，該壓力例如可以利用一其它的具有大致200mbar的滿量程的傳感器實(shí)現(xiàn)。
[0003]W03045110公開了一種傳感器，其中，在一可自由運(yùn)動的、不氣密的薄膜和一支撐元件之間施加一電壓，用以將薄膜為了運(yùn)行而有目的性地帶到止擋上。
[0004]從DE102010040373中還公開了一種具有雙線性的特征曲線的壓力傳感器，但其由于污染危險僅可用作絕對壓力傳感器或者其特征曲線僅沿著一個方向具有一雙線性的特征。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的任務(wù)在于,提出一種改良的微機(jī)械的壓力傳感器。
[0006]該任務(wù)利用微機(jī)械的壓力傳感器解決，其具有:
-兩個壓力敏感的、閉合的傳感器薄膜，其中，兩個傳感器薄膜中的每一個都能耦接在一自身的壓力貯存器上；以及
-一個布置在傳感器薄膜之間的止擋裝置，其具有下列元件:
-一個錨固元件，用于將止擋裝置錨固在傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜上；
-至少一個將兩個傳感器薄膜基本上剛性地連接起來的耦接元件；
-多個支撐元件，傳感器薄膜中的一個傳感器薄膜在定義的幾何上的偏移的情況下能與支撐元件接觸；以及
-一個密封元件，用于密封止擋裝置。
[0007]壓力傳感器的優(yōu)選的改進(jìn)方案是從屬權(quán)利要求的主題。
[0008]發(fā)明優(yōu)點(diǎn)
根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器具有如下特別的優(yōu)點(diǎn)，其可用作壓差傳感器，其中，取消了單個壓力相減的必要性。這能夠通過基本上剛性的耦接元件實(shí)現(xiàn)，該耦接元件將兩個傳感器薄膜相互連接。通過一密封止擋裝置的密封元件有利地防止檢測機(jī)構(gòu)受到有害的影響(例如以煙灰顆粒為形式)，由此能夠顯著地延長傳感器的運(yùn)行持續(xù)時間。
[0009]壓力傳感器的一種有利的改進(jìn)方案的特征在于，錨固元件和支撐元件借助于彈性元件相互連接。由此可以有利地定義地調(diào)節(jié)整個止擋裝置的彈簧常數(shù)。
[0010]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，止擋裝置和兩個傳感器薄膜中的每個傳感器薄膜之間的間距基本上是相等的。這有利地產(chǎn)生了壓力傳感器的對稱的特征曲線。
[0011]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，兩個傳感器薄膜基本上是相等厚度的。由此同樣輔助了壓力傳感器的對稱的運(yùn)行行為。
[0012]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，在傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜中和/或在止擋裝置中構(gòu)造方位地(azimuthal)走向的凸起。以這種方式可以設(shè)計薄膜的彈簧常數(shù)的大小和/或止擋裝置的彈簧常數(shù)的大小。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器的一種優(yōu)選的改進(jìn)方案的特征在于，將支撐元件和/或傳感器薄膜相互對準(zhǔn)的止擋元件具有較小的表面。由此形成了定義的止擋點(diǎn)，其支持了傳感器的精確的傳感行為并且防止了薄膜的粘接。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，止擋元件的表面和/或傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜的表面具有一防粘層。該防粘層支持薄膜與止擋元件的不粘接，這有利地實(shí)現(xiàn)了傳感器的無故障的運(yùn)行特征。
[0015]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜由單晶材料形成。因此可以有利地實(shí)現(xiàn)了顯著的壓電效應(yīng)，由此支持了壓力傳感器的可靠的傳感行為。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，在傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜中布置至少一個壓電測量元件。由此有利地在壓力傳感器中執(zhí)行驗證過的測量方法。
[0017]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，在傳感器薄膜中的至少一個傳感器薄膜中并且在支撐元件中布置電容的測量元件。由此實(shí)現(xiàn)了針對傳感器的一種替選的測量原理。
[0018]傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，止擋裝置具有翻轉(zhuǎn)元件，它們通過橫向的翻轉(zhuǎn)相互止擋。以這種方式有利地提供了一種用于傳感器的替選的傳感原理。
[0019]壓力傳感器的優(yōu)選的實(shí)施方式在于，兩個傳感器薄膜由兩個晶圓或由一個晶圓制成。由此可以利用不同的基礎(chǔ)材料以及成本方案來使用不同的制造方法用于制造傳感器。
[0020]壓力傳感器的一種優(yōu)選的實(shí)施方式的特征在于，傳感器薄膜中的一個傳感器薄膜具有穿通接觸部，通過穿通接觸部將壓電測量元件電聯(lián)接。由此得出了用于壓電測量元件的電接觸的一種替選的方式。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]下面參照附圖借助于多個實(shí)施方式闡述本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)。在此，所有所描述的或所展示的特征針對自身或以任意的組合形成本發(fā)明的主題，與它們在權(quán)利要求書中的歸納或它們的引用關(guān)系無關(guān)，并且與它們在說明書或附圖中的撰寫或展示無關(guān)。
[0022]附圖主要用于，展示根據(jù)本發(fā)明的原理且因此不必按比例繪制。在附圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同的或者功能相同的元件。
[0023]其中:
圖1示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的微機(jī)械的壓力傳感器；
圖2示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的微機(jī)械的壓力傳感器的特征曲線； 圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的第一種實(shí)施方式；
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的第二種實(shí)施方式；
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的第三種實(shí)施方式；
圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的第四種實(shí)施方式；
圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的第五種實(shí)施方式；
圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器的一種實(shí)施方式的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0024]圖1示出了一種根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的按照支承原理(Auflageprinzip)的微機(jī)械的壓力傳感器的原理性的橫截面視圖，利用該壓力傳感器可以執(zhí)行灰塵壓力測量。該壓力傳感器I具有一在基質(zhì)7上的薄膜6，其中，該基質(zhì)7和該薄膜6圍住一空穴8。從該空穴8中第一壓力Pl產(chǎn)生第一力到薄膜6上。在薄膜6的上側(cè)面上布置一用于檢測薄膜6的變形的檢測區(qū)域9。該檢測區(qū)域9具有一錨固區(qū)域2、一彈簧區(qū)域3和一支撐區(qū)域4。該支撐區(qū)域4在其下側(cè)面上具有多個止擋元件，這些止擋元件在薄膜6變形時與薄膜接觸其由此可以改變薄膜6的特征曲線特性。借助于壓電元件5獲知電參量的改變，該改變由于薄膜6的機(jī)械變形而產(chǎn)生。
[0025]在薄膜6的上方第二壓力p2產(chǎn)生第二力到檢測區(qū)域9上，由此當(dāng)在煙灰顆粒過濾器中使用傳感器I時存在如下缺點(diǎn)，即檢測區(qū)域9不受保護(hù)地暴露在有害的具有煙灰顆粒的廢氣中。由此會將檢測區(qū)域9在壓力傳感器I的運(yùn)行持續(xù)時間的過程中嚴(yán)重污染并且顯著地?fù)p壞傳感器I的傳感行為或者說運(yùn)作。
[0026]圖2示出了圖1的壓力傳感器的特征曲線。所示的是壓力關(guān)于電的輸出信號的走向，該輸出信號可借助于壓力傳感器I的壓電元件5測量。可識別的是，在閾值壓力Ps時，特征曲線的斜度發(fā)生拐彎，從而整個特征曲線非線性地構(gòu)造有兩個不同的斜度。因此拐點(diǎn)在閾值壓力Ps時引起，在該壓力時薄膜6止擋到支撐區(qū)域4的止擋元件上且由此突然地改變薄膜6的彈簧常數(shù)。
[0027]圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器的第一種實(shí)施方式的原理性橫截面視圖。該壓力傳感器100具有一構(gòu)造在第一基質(zhì)11中的第一薄膜10。此外,該壓力傳感器100具有一構(gòu)造在第二基質(zhì)21中的第二薄膜20。傳感器薄膜10、20分別撐開一向下或者說向上打開的空穴。優(yōu)選地，兩個傳感器薄膜10、20由單晶材料制成，其中，優(yōu)選SOI基質(zhì)(英文:silicon-on-1nsulator,娃在絕緣體上)用于構(gòu)造兩個傳感器薄膜10、20。這允許了簡單地產(chǎn)生通過埋入的氧化物36 (BOX,英文:buried oxide)特殊限定的壓力傳感器薄膜,該壓力傳感器薄膜在一種制造方法中作為蝕刻停止層起作用。此外，可以利用一 SOI基質(zhì)來較好地調(diào)節(jié)薄膜層的機(jī)械的張緊狀態(tài)。
[0028]傳感器薄膜10、20優(yōu)選在兩個基質(zhì)11、21相互連接之后才通過引入空穴來產(chǎn)生。傳感器薄膜10、20之間的連接經(jīng)由一晶圓鍵合(直接鍵合、熱壓鍵合、共晶鍵合)或?qū)愚D(zhuǎn)移方法來建立。
[0029]第一壓力貯存器40從下側(cè)面作用到第一薄膜10上，第二壓力貯存器50從上側(cè)面作用到第二傳感器薄膜20上。兩個傳感器薄膜10、20是閉合地并且基本上氣密地構(gòu)造的，由此兩個壓力貯存器40、50相互脫開并且無論如何都不會發(fā)生壓力貯存器40、50之間的氣體交換。
[0030]在兩個傳感器薄膜10、20之間構(gòu)造一具有多個元件的止擋裝置30。該止擋裝置30具有一錨固元件31，其錨固在傳感器薄膜10、20中的至少一個傳感器薄膜上。此外，止擋裝置30包括一彈性元件34，通過其可規(guī)定止擋裝置30的彈性。該彈性元件34優(yōu)選具有高的穿孔度，經(jīng)由該穿孔度可以調(diào)節(jié)彈性元件34的剛度。
[0031 ] 此外設(shè)置多個支撐元件33，利用可選地構(gòu)造在支撐元件33上的止擋元件33a接觸傳感器薄膜10、20中的一個傳感器薄膜且由此改變傳感器薄膜10、20的特征曲線。止擋元件33a的止擋面優(yōu)選構(gòu)造得特別小或者說一維的。支撐元件33優(yōu)選具有很小的穿孔度，由此能夠?qū)崿F(xiàn)傳感器薄膜10、20和支撐元件33的止擋元件33a之間的定義的接觸。
[0032]按照兩個壓力貯存器40、50中的壓力比的不同，兩個傳感器薄膜10、20中的一個傳感器薄膜與支撐元件33的止擋元件33a發(fā)生接觸。優(yōu)選地，支撐元件33和傳感器薄膜
10、20的相互面對的表面具有一防粘層。這支持定義的運(yùn)行行為，尤其支持所述元件的不粘接。
[0033]密封元件35完全圍住整個止擋裝置30并且由此形成一用于止擋裝置30的防止有害的環(huán)境影響的有效防護(hù)。由此可以有利地基本上抑制煙灰顆粒對于壓力傳感器100的有害的且腐蝕性的影響。
[0034]基本上剛性的耦接元件32將兩個傳感器薄膜10、20基本上居中地相互耦接并且代表了兩個傳感器薄膜10、20的固定連接。也可以考慮的是，多個耦接元件32形成了兩個傳感器薄膜10、20之間的多個連接點(diǎn)。由此將兩個傳感器薄膜10、20通過在兩個壓力貯存器40、50中產(chǎn)生的壓力差基本上相等地偏轉(zhuǎn)。作為檢測機(jī)構(gòu)不僅考慮電容的也可以考慮壓電的或壓阻的測量元件。作為檢測機(jī)構(gòu)，在兩個傳感器薄膜10、20中的至少一個中實(shí)現(xiàn)壓電測量元件60，這是測量值檢測的一種成本低廉的可能性。當(dāng)然，為了提高精確度且為了改善測量冗余度，也可以在兩個傳感器薄膜10、20中構(gòu)造壓電元件60。借助于電導(dǎo)線61 (例如鍵合金屬線)將金屬性觸頭62電連接，用于壓電測量元件60的電供給。
[0035]傳感器薄膜10、20可以在第一壓力區(qū)域中自由變形，由此產(chǎn)生了具有第一斜度的第一線性的特征曲線區(qū)域。兩個壓力傳感器薄膜10、20中的至少一個壓力傳感器薄膜自一定的壓力閾值開始，機(jī)械地在支撐區(qū)域中接觸所構(gòu)造的止擋元件33a中的至少一個止擋元件，由此產(chǎn)生至少一個具有第二斜度的第二線性的特征曲線區(qū)域。結(jié)果是，由此可以產(chǎn)生壓力傳感器的對稱的且持續(xù)的特征曲線走向。
[0036]因此識別到，根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器100的特定的作用機(jī)構(gòu)棄用了單個壓力相減的必要性。由此可以比利用傳統(tǒng)的壓力傳感器明顯更精確地執(zhí)行壓力差的測量。
[0037]止擋裝置30和兩個傳感器薄膜10、20之間的間距以及兩個傳感器薄膜10、20的厚度基本上是相等的。以這種方式可以以有利的方式產(chǎn)生壓力傳感器100的可較好地復(fù)制的傳感特征。例如壓力閾值可以任意地經(jīng)由薄膜厚度和支撐元件33與傳感器薄膜10、20的間距來規(guī)定。第二特征曲線區(qū)域的斜度可以經(jīng)由支撐元件33的彈簧剛度來規(guī)定。
[0038]通過支撐元件33的局部的、豎直的逐漸變細(xì)(未示出)，或通過單獨(dú)的、機(jī)械地相互脫開的、在不同剛度的彈簧元件34上懸掛的支撐元件33，也可以有利的產(chǎn)生壓力傳感器100的多次拐彎的特征曲線。
[0039]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器200的第二種實(shí)施方式的原理性的橫截面視圖。與圖3的實(shí)施方式不同，錨固元件31基本上布置在傳感器薄膜10、20上，由此在薄膜偏轉(zhuǎn)時，出現(xiàn)在閾值Ps時傳感器薄膜10、20的外部支承(Aussenauf lage)。除此之外，壓力傳感器200的工作方式等同于第一種實(shí)施方式中的那樣。
[0040]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器300的第三種實(shí)施方式的原理性的橫截面視圖。與圖3和圖4所示的實(shí)施方式不同，壓力傳感器300構(gòu)造在唯一一個基質(zhì)11上。為此，可以例如產(chǎn)生多晶的薄膜層或轉(zhuǎn)移單晶的薄膜層。優(yōu)選地，止擋裝置30構(gòu)造在單晶的第一傳感器薄膜10中。
[0041 ] 向外地，壓力傳感器300可以通過一構(gòu)造成金屬線鍵合連接的電導(dǎo)線61聯(lián)接在傳感器薄膜10、20中的一個傳感器薄膜上。與圖5的示圖方式不同，兩個傳感器薄膜10、20優(yōu)選具有相等的邊緣長度或直徑。為此目的，錨固元件31布置在第二傳感器薄膜20的薄膜外翻部(未示出)中，由此能夠?qū)崿F(xiàn)兩個傳感器薄膜10、20的基本上相等的大小尺寸。除此之外，圖5的壓力傳感器300的工作方式等同于前述實(shí)施方式中的任一種。
[0042]圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器400的第四種實(shí)施方式的橫截面視圖。與圖5的實(shí)施方式不同，現(xiàn)在壓電測量元件60的電接觸借助于穿通接觸部63實(shí)現(xiàn)，在這些穿通接觸部中引導(dǎo)電導(dǎo)線61。除此之外，結(jié)構(gòu)和工作方式都相應(yīng)于圖5的實(shí)施方式的那樣。
[0043]圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的微機(jī)械的壓力傳感器500的第五種實(shí)施方式的原理性的橫截面視圖。該實(shí)施方式的壓力傳感器基于一種可替換的工作原理，其方式為，具有翻轉(zhuǎn)兀件33b，所述翻轉(zhuǎn)元件是可橫向偏轉(zhuǎn)的并且當(dāng)傳感器薄膜10、20偏轉(zhuǎn)了定義的尺度時，所述翻轉(zhuǎn)元件相互止擋。以這種方式通過翻轉(zhuǎn)元件33b的夾緊限制了翻轉(zhuǎn)元件33b的偏轉(zhuǎn)。橫向偏移可以光刻式地定義并且可以同時在同一光刻平面中同時產(chǎn)生多個不同的止擋間距。
[0044]圖8示出了在圖3中所示的機(jī)械的壓力傳感器100的實(shí)施方式的止擋裝置30的截平面A-A’的原理性的截面視圖。在此較好可見的是，支撐元件33借助于彈簧式的彈性元件34彈性懸掛在錨固元件31上。
[0045]還可考慮的是，為了強(qiáng)化彈簧常數(shù)，在傳感器薄膜10、20中的至少一個傳感器薄膜中和/或在止擋裝置30中構(gòu)造方位式地走向的波紋部或者說凸起(未示出)。以這種方式可以有利地設(shè)計彈簧常數(shù)且由此設(shè)計彎曲剛度。
[0046]總而言之，利用本發(fā)明提供了一種具有高動態(tài)的測量區(qū)域的微機(jī)械的壓力傳感器。借助于將傳感器薄膜相互連接的耦接元件，兩個傳感器薄膜被強(qiáng)制相同的偏轉(zhuǎn)，其中，偏轉(zhuǎn)的方向取決于兩個壓力貯存器40、50中的壓力比。借助于根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器有利地實(shí)現(xiàn)了，利于一個且同一個裝置，不僅測量比較小的壓力(差)，也測量比較大的壓力(差)。因此針對壓差測量，有利地沒有必要將絕對壓力值相減。由于壓力傳感器的耦接原理，僅需要唯一一個檢測結(jié)構(gòu)，這在成本上表現(xiàn)為有利的方面。
[0047]有利地，根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器可以相比于傳統(tǒng)的傳感器就每個薄膜而言針對較低的和較高的壓力測量區(qū)域以很小的結(jié)構(gòu)型式來制造。有利地，根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器提供了較高的構(gòu)造自由度，其方式為，線性的特征曲線區(qū)域可以相互獨(dú)立地最優(yōu)化，這不僅涉及斜度也涉及閾值。
[0048]有利地,壓力傳感器的密封的結(jié)構(gòu)型式提供了介質(zhì)穩(wěn)固的實(shí)施方式，因為由于氣密的結(jié)構(gòu)型式，最大程度地抑制了腐蝕性的介質(zhì)(例如酸)或顆粒對于壓力傳感器的有害影響。由此以有利的方式得出了較高的污染不敏感度。
[0049]盡管本發(fā)明借助于優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行了描述，但其不限于此。尤其是所述的材料和拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)僅是示例性的并且不限于所闡釋的例子。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以改變本發(fā)明的所述特征或相互組合，不偏離本發(fā)明的核心。
【權(quán)利要求】
1.微機(jī)械的壓力傳感器(100；200 ；300 ；400 ;500)，具有: -兩個壓力敏感的、閉合的傳感器薄膜(10、20)，其中，所述兩個傳感器薄膜(10、20)中的每一個都能耦接在一自身的壓力貯存器(40、50)上；以及 -一個布置在所述傳感器薄膜(10、20)之間的止擋裝置(30)，其具有下列元件: -一個錨固元件(31 )，用于將所述止擋裝置(30 )錨固在所述傳感器薄膜(1、20 )中的至少一個傳感器薄膜上； -至少一個將所述兩個傳感器薄膜(10、20)基本上剛性地連接起來的耦接元件(32)；-多個支撐元件(33)，所述傳感器薄膜(10、20)中的一個傳感器薄膜在定義的幾何上的偏移的情況下能與所述支撐元件接觸。
2.按照權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，設(shè)置一用于密封所述止擋裝置(30)的密封元件(35)。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述錨固元件(31)和所述支撐元件(33)借助于彈性元件(34)相互連接。
4.按照權(quán)利要求1至3中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述止擋裝置(30)和所述兩個傳感器薄膜(10、20)中的每個傳感器薄膜之間的間距基本上是相等的。
5.按照權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述兩個傳感器薄膜(10、20)基本上是相同厚度的。
6.按照權(quán)利要求1至5中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述傳感器薄膜(10.20)中的至少一個傳感器薄膜中和/或在所述止擋裝置(30)中構(gòu)造方位地延伸的凸起。
7.按照權(quán)利要求1至5中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，將所述支撐元件(33)和/或所述傳感器薄膜(10、20)相互對準(zhǔn)的止擋元件(33a)具有較小的表面。
8.按照權(quán)利要求6所述的壓力傳感器，其特征在于，所述止擋元件(33a)的表面和/或所述傳感器薄膜(10、20)中的至少一個傳感器薄膜的表面具有一防粘層。
9.按照權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器薄膜(10.20)中的至少一個傳感器薄膜由單晶材料形成。
10.按照權(quán)利要求1至8中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述傳感器薄膜(10.20)中的至少一個傳感器薄膜中布置至少一個壓電測量元件(60)。
11.按照權(quán)利要求1至8中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，在所述傳感器薄膜(10.20)中的至少一個傳感器薄膜中并且在所述支撐元件(33)中布置電容的測量元件。
12.按照權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述止擋裝置(30)具有翻轉(zhuǎn)元件(33b),所述翻轉(zhuǎn)元件通過橫向的翻轉(zhuǎn)相互止擋。
13.按照權(quán)利要求1至11中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述兩個傳感器元件(10、20)由兩個晶圓或由一個晶圓制成。
14.按照權(quán)利要求12所述的壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器薄膜(10、20)中的一個傳感器薄膜具有穿通接觸部(63 )，所述壓電測量元件(60 )通過所述穿通接觸部電聯(lián)接。
15.按照權(quán)利要求1至13中任一項所述的壓力傳感器的應(yīng)用，具有至少兩個用于測量煙灰顆粒過濾器的泄漏率和煙灰質(zhì)量的線性的特征曲線區(qū)域。
【文檔編號】G01L13/02GK104204755SQ201380019457
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2013年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月11日
【發(fā)明者】C.舍林, R.哈斯 申請人:羅伯特·博世有限公司