一種傳動系統(tǒng)的剎車裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種傳動系統(tǒng)的剎車裝置，設置在傳動系統(tǒng)的傳送帶上，所述剎車裝置至少包括：軸承，由制動桿和非制動桿構成；剎車片，套接在所述軸承上；電磁線圈，設置在所述非制動桿的端部，所述電磁線圈通過彈性部件控制剎車片在軸承上的位置；齒輪，設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶接觸；手動旋鈕，與所述彈性部件物理連接。本實用新型的剎車裝置在發(fā)生斷電或馬達控制器報錯時鎖死皮帶，使傳送系統(tǒng)緊急制動。再通過手動旋鈕，機臺維修人員可以手動使此裝置的鎖死失效，手動轉動皮帶使被傳送的晶圓到達安全位置，甚至跑完剩余的制程，可以避免維修系統(tǒng)時晶圓被卡碎，也不會因傳送系統(tǒng)發(fā)生制動使晶圓沾上水或殘留液而報廢。
【專利說明】一種傳動系統(tǒng)的剎車裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于半導體制造設備領域，涉及一種傳動裝置的剎車領域，特別是涉及一種濕法刻蝕機臺中傳動系統(tǒng)的剎車裝置。
【背景技術】
[0002]濕法刻蝕工藝主要是指采用液態(tài)化學藥品對刻蝕物進行去除的刻蝕技術。濕法刻蝕是采用適當?shù)目涛g液與刻蝕物進行化學反應，以改變刻蝕物的結構以及刻蝕物表面的形貌，使刻蝕物產(chǎn)生特定的形貌結構。
[0003]濕法刻蝕過程完成后，還包括清洗噴淋以及干燥等過程。被傳送的晶圓在傳送系統(tǒng)的傳送下依次通過刻蝕設備的各個功能裝置。其中，濕法刻蝕機臺的干燥槽原理是晶舟帶動晶圓慢慢離開水面，氮氣帶著IPA(異丙醇)吹進干燥槽，增加脫水性從而達到干燥的效果。如果上升的過程中遇到馬達的控制器，馬達或蓋子的報警，馬達會停止轉動。由于上下運動的馬達都是含有剎車的，遇到斷電，馬達控制器，或者互鎖的報警，馬達的剎車都會鎖死馬達，使得傳送系統(tǒng)無法動彈。傳送的突然中斷將可能發(fā)生以下情況:
[0004](I)如果遇到晶圓有斜插，晶圓將會和干燥槽的蓋子卡住并報錯，報錯信息會使馬達自鎖，整個傳送裝置就無法移動，此時沒有碎的晶圓被卡死也很難移除。
[0005](2)如果晶舟上升到一半，控制器或者馬達出現(xiàn)問題，馬達會自鎖，傳送系統(tǒng)停止運動并且無法移動，晶圓的一半在水中，一半在空氣中，會造成晶圓缺陷。
[0006](3)機械手臂的傳送也存在此問題，大多數(shù)機械手臂水平方向的馬達是沒有剎車的，豎直方向的馬達都是有剎車的，傳送中如果出現(xiàn)控制器或者馬達的問題，被傳送的晶圓將在空氣中沒法移動，直到問題解決。
[0007]針對以上(I)中出現(xiàn)的干燥槽晶圓和蓋子卡住的問題，現(xiàn)在的做法一般都是拆除蓋子，這樣不僅耗時，同時難免會造成卡住的晶圓破碎的情況。
[0008]針對以上(2)中遇到干燥槽晶圓升到一半的情況，一般都是手動觸發(fā)干燥槽的排水閥，使晶圓呆在空氣中直到問題被解決，或者晶圓被自然晾干，晶圓難免會發(fā)生watermark的缺陷。
[0009]針對以上(3)機械手臂傳送中遇到此問題，一般都是等問題解決后再去干燥槽干燥，同樣會造成water mark缺陷。
實用新型內(nèi)容
[0010]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種傳動系統(tǒng)的剎車裝置，用于解決現(xiàn)有技術中傳送裝置發(fā)生緊急制動后晶圓在傳送系統(tǒng)中發(fā)生卡碎、或者產(chǎn)生缺陷的問題。
[0011]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種傳送系統(tǒng)的剎車裝置，設置在傳動系統(tǒng)的傳送帶上，所述剎車裝置至少包括:
[0012]軸承，由制動桿和非制動桿構成；
[0013]剎車片，套接在所述軸承上；
[0014]電磁線圈，設置在所述非制動桿的端部，所述電磁線圈通過彈性部件控制剎車片在軸承上的位置；
[0015]齒輪，設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶接觸；
[0016]手動旋鈕，與所述彈性部件物理連接，旋轉手動旋鈕，通過所述彈性部件控制剎車片在軸承上的位置。
[0017]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，所述制動桿為菱柱狀，所述非制動桿為圓柱狀。
[0018]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，所述傳送系統(tǒng)還包括設置在傳送帶上的馬達、被傳送裝置以及從動輪。
[0019]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，電磁線圈得電產(chǎn)生磁場，將剎車片吸合，使剎車片套接在非制動桿上，整個傳送帶處于非制動狀態(tài)，被傳送裝置正常運動。
[0020]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，發(fā)生斷電或者傳送異常報警，則電磁線圈失電，磁場消失，所述彈性部件將剎車片彈至制動桿上，產(chǎn)生制動，傳送停止。
[0021]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，發(fā)生斷電或者傳送異常報警，調(diào)節(jié)手動旋鈕使彈性部件壓縮，通過彈性部件帶動剎車片重新返回至非制動桿上，手動撥動傳送帶將被傳送裝置傳送到安全的位置。
[0022]作為本實用新型傳動系統(tǒng)的剎車裝置的一種優(yōu)化的結構，所述彈性部件為彈簧。
[0023]如上所述，本實用新型的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，設置在傳動系統(tǒng)的傳送帶上，所述剎車裝置至少包括:軸承，由制動桿和非制動桿構成；剎車片，套接在所述軸承上；電磁線圈，設置在所述非制動桿的端部，所述電磁線圈通過彈性部件控制剎車片在軸承上的位置；齒輪，設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶接觸；手動旋鈕，與所述彈性部件物理連接，旋轉手動旋鈕，通過所述彈性部件控制剎車片在軸承上的位置。本實用新型的剎車裝置在發(fā)生斷電或馬達控制器報錯時鎖死皮帶，達到使傳送系統(tǒng)緊急制動的效果，再通過手動旋鈕，機臺維修人員可以手動使此裝置的鎖死失效，手動轉動皮帶使被傳送的晶圓到達安全位置，甚至跑完剩余的制程，可以避免維修系統(tǒng)時晶圓被卡碎，也不會因傳送系統(tǒng)發(fā)生制動使晶圓沾上水或殘留液而報廢。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1為本實用新型的傳動系統(tǒng)示意圖。
[0025]圖2為本實用新型的剎車裝置得電時處于非制動狀態(tài)的結構示意圖。
[0026]圖3為本實用新型的剎車裝置失電時處于制動狀態(tài)的結構示意圖。
[0027]元件標號說明
[0028]100傳送系統(tǒng)
[0029]10馬達
[0030]20被傳送裝置
[0031]30從動輪
[0032]40傳送帶
[0033]50剎車裝置
[0034]I軸承
[0035]11制動桿
[0036]12非制動桿
[0037]2剎車片
[0038]3電磁線圈
[0039]4彈性部件
[0040]5齒輪
[0041]6手動旋鈕
【具體實施方式】
[0042]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0043]請參閱圖1至圖3。須知，本說明書所附圖式所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質(zhì)意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術內(nèi)容下，當亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0044]本實用新型提供一種傳送系統(tǒng)的剎車裝置，如圖1所示，該剎車裝置與馬達、從動輪以及被傳送裝置設置在傳動系統(tǒng)的同一條傳送帶上，實現(xiàn)被傳送裝置的傳送與制動。
[0045]所述馬達中沒有設置剎車。本實施例中的所述被傳送裝置為進行過濕法刻蝕后將被傳送至干燥設備的晶圓。
[0046]如圖2和圖3所示，所述剎車裝置至少包括軸承、剎車片、電磁線圈、齒輪以及手動旋鈕。
[0047]所述剎車片套接在所述軸承上，所述軸承由制動桿和非制動桿桿組成。所述制動桿位于下半部分，制動桿位于上半部分。進一步地，所述非制動桿呈圓柱狀，所述制動桿呈菱柱狀。剎車片的中心孔為方形，與菱柱狀的橫截面形狀和尺寸相同。當剎車片在圓柱部分時，剎車片可以轉動，剎車裝置處于非制動狀態(tài)，傳送帶正常運行；當剎車片處于菱柱狀部分時，剎車片剛好卡合在菱柱狀軸承上，剎車裝置處于制動狀態(tài)。傳送帶停止運動。
[0048]所述電磁線圈設置在所述非制動桿的端部，電磁線圈通過彈性部件可以控制剎車片在軸承上的位置。所述彈性部件設置在剎車片和電磁線圈之間。進一步地，所述彈性部件優(yōu)選為彈簧。當剎車裝置處于正常工作時，電磁線圈上加載有24V的電壓，該電壓會有在所述電磁線圈中產(chǎn)生磁場，在磁場的作用下，電磁線圈將剎車片吸合，使剎車片處于軸承的上半部分非制動的狀態(tài)，同時彈性部件處于壓縮的狀態(tài)。當電磁線圈因為斷電或者傳送系統(tǒng)發(fā)生異常而報警時，則24V電壓斷開，電磁線圈產(chǎn)生的磁場消失，在彈性部件的彈性作用下，將剎車片彈至軸承的下半部分制動的狀態(tài)。如圖2所示為剎車片處于非制動狀態(tài)的結構示意圖，如圖3所示為剎車片處于制動狀態(tài)的結構示意圖。
[0049]所述齒輪設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶配合接觸，齒輪制動，傳送帶停止運動。
[0050]所述手動旋鈕設與所述彈性部件物理連接。當傳送系統(tǒng)由于斷電或異常報警情況發(fā)生緊急制動時，被傳送裝置還處于不安全的位置，此時，旋轉手動旋鈕使彈性部件壓縮，通過壓縮的彈性部件控制剎車片重新回到軸承的非制動位置，然后手動傳送傳送帶，將被傳送裝置傳送到安全的位置，最后再去處理傳送系統(tǒng)的異常情況，這樣能夠確保被傳送裝置的安全，減少晶圓的報廢。
[0051]綜上所述，本實用新型的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，設置在傳動系統(tǒng)的傳送帶上，所述剎車裝置至少包括:軸承，由制動桿和非制動桿構成；剎車片，套接在所述軸承上；電磁線圈，設置在所述非制動桿的端部，所述電磁線圈通過彈性部件控制剎車片在軸承上的位置；齒輪，設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶接觸；手動旋鈕，與所述彈性部件物理連接，旋轉手動旋鈕，通過所述彈性部件控制剎車片在軸承上的位置。本實用新型的剎車裝置在發(fā)生斷電或馬達控制器報錯時鎖死皮帶，達到使傳送系統(tǒng)緊急制動的效果，再通過手動旋鈕，機臺維修人員可以手動使此裝置的鎖死失效，手動轉動皮帶使被傳送的晶圓到達安全位置，甚至跑完剩余的制程，可以避免維修系統(tǒng)時晶圓被卡碎，也不會因傳送系統(tǒng)發(fā)生制動使晶圓沾上水或殘留液而報廢。
[0052]所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0053]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種傳動系統(tǒng)的剎車裝置，設置在傳動系統(tǒng)的傳送帶上，其特征在于，所述剎車裝置至少包括: 軸承，由制動桿和非制動桿構成； 剎車片，套接在所述軸承上； 電磁線圈，設置在所述非制動桿的端部，所述電磁線圈通過彈性部件控制剎車片在軸承上的位置； 齒輪，設置在所述制動桿的端部，與傳動系統(tǒng)的傳送帶接觸； 手動旋鈕，與所述彈性部件物理連接，旋轉手動旋鈕，通過所述彈性部件控制剎車片在軸承上的位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:所述制動桿為菱柱狀，所述非制動桿為圓柱狀。
3.根據(jù)權利要求1所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:所述傳送系統(tǒng)還包括設置在傳送帶上的馬達、被傳送裝置以及從動輪。
4.根據(jù)權利要求3所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:電磁線圈得電產(chǎn)生磁場，將剎車片吸合，使剎車片套接在非制動桿上，整個傳送帶處于非制動狀態(tài)，被傳送裝置正常運動。
5.根據(jù)權利要求3所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:發(fā)生斷電或者傳送異常報警，則電磁線圈失電，磁場消失，所述彈性部件將剎車片彈至制動桿上，產(chǎn)生制動，傳送停止。
6.根據(jù)權利要求5所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:發(fā)生斷電或者傳送異常報警，調(diào)節(jié)手動旋鈕使彈性部件壓縮，通過彈性部件帶動剎車片重新返回至非制動桿上，手動撥動傳送帶將被傳送裝置傳送到安全的位置。
7.根據(jù)權利要求1所述的傳動系統(tǒng)的剎車裝置，其特征在于:所述彈性部件為彈簧。
【文檔編號】F16D63/00GK203979214SQ201420430444
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年7月31日 優(yōu)先權日:2014年7月31日
【發(fā)明者】潘建偉, 邵業(yè)明, 倪堯, 張偉 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司