專利名稱：一種過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片濕法處理領(lǐng)域，尤其涉及濕法處理設(shè)備中工藝腔內(nèi)發(fā)生碎片后硅片殘屑的過濾裝置。
背景技術(shù)：
在硅片的濕法處理設(shè)備的工藝過程中，經(jīng)常會遇到硅片在工藝腔內(nèi)碎掉的問題。由于硅片非常薄，一旦碎片后，會產(chǎn)生許多細(xì)小且鋒利的碎屑，這種情況發(fā)生后需立即停止設(shè)備并對設(shè)備工藝腔進(jìn)行清理，由于濕法處理設(shè)備用到多種化學(xué)藥液，因此在硅片碎掉的同時，會有一部分碎屑在化學(xué)藥液的帶動下通過工藝腔內(nèi)的排液口排走，這樣碎屑會進(jìn)入到與工藝腔連接的閥體內(nèi)部，造成對閥體的損壞。通常一個工藝腔排液口之后可能會接有多個閥，如果碎屑對這些閥造成損壞會使得設(shè)備檢修非常費(fèi)時，而且濕法處理設(shè)備中用到的閥價格都比較昂貴，造成大量經(jīng)濟(jì)損失。

實用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實用新型的目的是，提供一種過濾裝置，以解決濕法處理設(shè)備中工藝腔內(nèi)發(fā)生碎片后，硅片碎屑的處理問題。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種過濾裝置，包括進(jìn)液口接頭、進(jìn)液口接頭連接件、過濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，所述進(jìn)液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接所述進(jìn)液口接頭連接件，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，所述排液口接頭的一端連接所述排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，所述過濾件設(shè)置在所述進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭和排液口接頭均為直通接頭或彎頭。優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭的口徑尺寸小于或等于所述排液口接頭的口徑尺寸。優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件的內(nèi)壁均為光滑曲面，曲面的形式為圓錐面或帶弧度面或不規(guī)則曲面。優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接處的口徑尺寸大于其與所述進(jìn)液口接頭連接處的口徑尺寸，所述排液口接頭連接件與所述進(jìn)液口接頭連接件連接處的口徑尺寸大于其與所述排液口接頭連接處的口徑尺寸。 優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件的連接方式為螺紋連接或焊接。優(yōu)選地，所述進(jìn)液口接頭與所述進(jìn)液口接頭連接件以及所述排液口接頭與所述排液口接頭連接件的連接方式均為螺紋連接。所述螺紋連接的形式為NPT螺紋或RC螺紋等。優(yōu)選地，所述過濾件開有多個細(xì)小的孔，所述孔為圓錐孔或圓柱孔或不規(guī)則曲面孔，其排列形式為環(huán)形陣列或矩形陣列或不規(guī)則陣列；所述多個孔的截面積之和等于所述工藝腔排液口的口徑尺寸。優(yōu)選地，所述過濾件與所述排液口接頭連接件的連接方式為焊接或粘接。(三)有益效果本實用新型的過濾裝置連接在工藝腔排液口和切換閥之間，當(dāng)工藝腔內(nèi)發(fā)生碎片后，硅片碎屑被化學(xué)藥液帶至過濾裝置，通過過濾件將碎屑過濾掉，從而減少了碎屑對閥體的損害，在碎片后做維修時，只需對過濾裝置進(jìn)行維修、清理或更換，而不需要對過濾裝置之后的閥做維修，這樣降低了維修時間和維修成本，提高了閥的使用壽命。

圖1為本實用新型實施例過濾裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實用新型實施例過濾裝置的外部結(jié)構(gòu)圖；圖3為本實用新型實施例過濾裝置的實際連接圖。圖中，1:進(jìn)液口接頭；2:進(jìn)液口接頭連接件；3:排液口接頭連接件；4:排液口接頭；5:過濾件；6:工藝腔；7:工藝腔排液口接頭；8:連接管；9:切換閥；10:過濾裝置。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。此外，在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。如圖1所示,本實施例的過濾裝置包括進(jìn)液口接頭1、進(jìn)液口接頭連接件2、過濾件
5、排液口接頭連接件3和排液口接頭4，進(jìn)液口接頭I的一端外接工藝腔6的排液口，其另一端連接進(jìn)液口接頭連接件2，進(jìn)液口接頭連接件2與排液口接頭連接件3連接，排液口接頭4的一端連接排液口接頭連接件3，其另一端外接切換閥9，過濾件5設(shè)置在進(jìn)液口接頭連接件2和排液口接頭連接件3之間。本過濾裝置的進(jìn)液口接頭I和排液口接頭4均為直通接頭或彎頭,其形狀可以為圓柱管狀或方形管狀等其他形狀，它們的口徑尺寸范圍控制在0.125英寸 I英寸范圍內(nèi)，其中，進(jìn)液口接頭I的口徑尺寸應(yīng)小于或等于排液口接頭4的口徑尺寸，以便液體能及時排放。[0026]本過濾裝置的進(jìn)液口接頭連接件2和排液口接頭連接件3的內(nèi)壁均為光滑曲面，所述曲面的形式可以為圓錐面或帶弧度面或不規(guī)則曲面等，其中，進(jìn)液口接頭連接件2與排液口接頭連接件3連接處的口徑尺寸大于其與進(jìn)液口接頭I連接處的口徑尺寸，排液口接頭連接件3與進(jìn)液口接頭連接件2連接處的口徑尺寸大于其與排液口接頭4連接處的口徑尺寸；進(jìn)液口接頭連接件2與排液口接頭連接件3的連接方式可以為螺紋連接或焊接。上述進(jìn)液口接頭I與進(jìn)液口接頭連接件2以及排液口接頭4與排液口接頭連接件3的連接方式均為螺紋連接，所述螺紋連接的樣式可以為NPT螺紋或RC螺紋。本過濾裝置的過濾件5開設(shè)有多個細(xì)小的孔，這些孔為圓錐孔或圓柱孔或不規(guī)則曲面孔等，其排列形式可以為環(huán)形陣列或矩形陣列或不規(guī)則陣列；所述的多個孔的截面積之和等于與進(jìn)液口接頭I連接的工藝腔排液口的口徑尺寸；過濾件5與排液口接頭連接件的連接方式可以為焊接或粘接。本過濾裝置在工作時可以豎直放置、水平放置或帶一定角度的傾斜放置。本實施例的過濾裝置應(yīng)用于硅片濕法處理領(lǐng)域，其設(shè)置在硅片濕法處理設(shè)備的工藝腔和廢液排放切換閥之間，當(dāng)工藝腔內(nèi)的硅片在工藝過程中發(fā)生碎片后，可通過本過濾裝置將硅片的殘屑先過濾掉，以阻止其對與工藝腔連接的閥體的損壞，提高閥的使用壽命的同時減少設(shè)備腔室維修和清理的時間。當(dāng)然，在類似的領(lǐng)域或類似的設(shè)備中也可以應(yīng)用本實用新型的過濾裝置進(jìn)行過濾。如圖1所示，本實施例的過濾裝置的內(nèi)部工作過程為:本過濾裝置需連接在工藝腔和廢液排放切換閥之間，通過進(jìn)液口接頭I與工藝腔排液口連接，通過排液口接頭4與切換閥連接，當(dāng)工藝腔內(nèi)發(fā)生碎片后，硅片的碎屑首先通過工藝腔的排液口被化學(xué)藥液帶至本過濾裝置內(nèi)部,然后被過濾件5將碎屑過濾掉，過濾掉碎屑后的化學(xué)藥液再通過本過濾裝置的排液口接頭4流至后續(xù)的閥體中。圖2中示出了工藝腔6、工藝腔排液口接頭7、連接管8、切換閥9，以及本實施例的過濾裝置10。硅片在工藝腔6內(nèi)部進(jìn)行濕法處理，工藝腔6底部開有排液口以供不同種化學(xué)藥液的排放，工藝腔6的排液口處設(shè)有工藝腔排液口接頭7，工藝腔排液口接頭7通過連接管8與過濾裝置10的進(jìn)液口接頭I連接，過濾裝置10的排液口接頭4與切換閥9對應(yīng)接頭相連；一旦工藝腔6內(nèi)部發(fā)生碎片后，硅片的碎屑會隨著化學(xué)藥液從工藝腔6的排液口流到過濾裝置10內(nèi)部，通過過濾裝置10內(nèi)部的過濾件5將碎屑過濾掉，被過濾掉碎屑后的化學(xué)藥液通過過濾裝置10的排液口 4再流經(jīng)切換閥9時就不會對閥體造成損傷；在設(shè)備停機(jī)后做維修時，只需對過濾裝置10進(jìn)行維修、清理或更換，而不需要像以往的方法一樣對切換閥9做維修。本實用新型的實施例是為了示例和描述起見而給出的，而并不是無遺漏的或者將本實用新型限于所公開的形式。很多修改和變化對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易見的。選擇和描述實施例是為了更好說明本實用新型的原理和實際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠理解本實用新型從而設(shè)計適于特定用途的帶有各種修改的各種實施例。
權(quán)利要求1.一種過濾裝置，其特征在于:包括進(jìn)液口接頭、進(jìn)液口接頭連接件、過濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，所述進(jìn)液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接所述進(jìn)液口接頭連接件，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，所述排液口接頭的一端連接所述排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，所述過濾件設(shè)置在所述進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭和排液口接頭均為直通接頭或彎頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭的口徑尺寸小于或等于所述排液口接頭的口徑尺寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件的內(nèi)壁均為光滑曲面，曲面的形式為圓錐面或帶弧度面或不規(guī)則曲面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接處的口徑尺寸大于其與所述進(jìn)液口接頭連接處的口徑尺寸，所述排液口接頭連接件與所述進(jìn)液口接頭連接件連接處的口徑尺寸大于其與所述排液口接頭連接處的口徑尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件的連接方式為螺紋連接或焊接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1飛中任何一項所述的過濾裝置，其特征在于:所述進(jìn)液口接頭與所述進(jìn)液口接頭連接件以及所述排液口接頭與所述排液口接頭連接件的連接方式均為螺紋連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于:所述過濾件開有多個細(xì)小的孔，所述孔為圓錐孔或圓柱孔或不規(guī)則曲面孔，其排列形式為環(huán)形陣列或矩形陣列或不規(guī)則陣列；所述多個孔的截面積之和等于所述工藝腔排液口的口徑尺寸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的過濾裝置，其特征在于:所述過濾件與所述排液口接頭連接件的連接方式為焊接或粘接。
專利摘要本實用新型涉及硅片濕法處理領(lǐng)域，具體公開了一種過濾裝置，其包括進(jìn)液口接頭、進(jìn)液口接頭連接件、過濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，進(jìn)液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接進(jìn)液口接頭連接件，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，排液口接頭的一端連接排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，過濾件設(shè)置在進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。本實用新型通過過濾件將碎屑過濾掉，從而減少了碎屑對閥體的損害，在碎片后做維修時，只需對過濾裝置進(jìn)行維修、清理或更換，而不需要對過濾裝置之后的閥做維修，這樣降低了維修時間和維修成本，提高了閥的使用壽命。
文檔編號B01D29/03GK203002085SQ201220602640
公開日2013年6月19日 申請日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者王波雷, 張豹, 賈星杰, 高 浩 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司