專利名稱：一種氯硅烷水解吸收塔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于硅化工領(lǐng)域，涉及一種氯硅烷水解吸收塔。
背景技術(shù)：
多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料。多晶硅是電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、錄像機(jī)、電子計(jì)算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的氯硅烷殘液、廢氣，屬易燃、易爆危險(xiǎn)介質(zhì)，常采用水解加堿液中和的辦法進(jìn)行處理，處理過(guò)程中存在爆炸的危險(xiǎn)；另外氯硅烷殘液、廢氣水解時(shí)還會(huì)產(chǎn)生大量的二氧化硅固體物質(zhì)。常見(jiàn)的填料洗滌塔無(wú)法滿足該工藝過(guò)程的需要，不能有效避免爆炸的危險(xiǎn)、固體物質(zhì)堵塞塔器的情況。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)上述存在的問(wèn)題，提供一種氯硅烷水解吸收塔。 該水解吸收塔構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效避免了爆炸的危險(xiǎn)和固體物質(zhì)堵塞塔器的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種氯硅烷水解吸收塔，包括塔體、進(jìn)口管和尾氣出口管，所述進(jìn)口管設(shè)置在塔體的下部，所述尾氣出口管設(shè)置在塔體的頂部，所述塔體的一端敞開(kāi)，所述塔體上還設(shè)置有噴淋液進(jìn)口管。作為優(yōu)選方式，所述塔體的敞開(kāi)端設(shè)置在循環(huán)液地槽內(nèi)。作為優(yōu)選方式，所述噴淋液進(jìn)口管上設(shè)置有螺旋噴嘴。本實(shí)用新型氯硅烷水解吸收塔下端口敞開(kāi)，塔內(nèi)不裝任何填料，使用時(shí)可根據(jù)工藝條件將塔敞開(kāi)端浸沒(méi)在循環(huán)液地槽內(nèi)，這樣塔內(nèi)出現(xiàn)異常超壓時(shí)可從塔敞開(kāi)端突出，有效避免了爆炸的危險(xiǎn)；同時(shí)，氯硅烷水解過(guò)程中產(chǎn)生的固體物質(zhì)也可直接從塔底部排出，不至于出現(xiàn)堵塞的情況；采用不銹鋼螺旋噴嘴，均勻分布洗滌液，使氣液充分接觸，并解決了噴淋器易堵塞的問(wèn)題，保證了洗滌效果。由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效避免了爆炸的危險(xiǎn)和固體物質(zhì)堵塞塔器的問(wèn)題。

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記1塔體、2進(jìn)口管、3尾氣出口管、4噴淋液進(jìn)口管、5螺旋噴嘴。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。實(shí)施例如圖1所示，一種氯硅烷水解吸收塔，包括塔體1、進(jìn)口管2和尾氣出口管 3，所述進(jìn)口管2設(shè)置在塔體1的下部，所述尾氣出口管3設(shè)置在塔體1的頂部，所述塔體1 的一端敞開(kāi)，所述塔體1上還設(shè)置有噴淋液進(jìn)口管4。所述塔體1的敞開(kāi)端設(shè)置在循環(huán)液地槽內(nèi)。所述噴淋液進(jìn)口管4上設(shè)置有螺旋噴嘴5。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種氯硅烷水解吸收塔，其特征在于包括塔體(1)、進(jìn)口管(2)和尾氣出口管(3)， 所述進(jìn)口管(2)設(shè)置在塔體(1)的下部，所述尾氣出口管(3)設(shè)置在塔體(1)的頂部，所述塔體(1)的一端敞開(kāi)，所述塔體(1)上還設(shè)置有噴淋液進(jìn)口管(4)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種氯硅烷水解吸收塔，其特征在于所述塔體(1)的敞開(kāi)端設(shè)置在循環(huán)液地槽內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的一種氯硅烷水解吸收塔，其特征在于所述噴淋液進(jìn)口管(4)上設(shè)置有螺旋噴嘴(5)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氯硅烷水解吸收塔，包括塔體(1)、進(jìn)口管(2)和尾氣出口管(3)，所述進(jìn)口管(2)設(shè)置在塔體(1)的下部，所述尾氣出口管(3)設(shè)置在塔體(1)的頂部，所述塔體(1)的一端敞開(kāi)，所述塔體(1)上還設(shè)置有噴淋液進(jìn)口管(4)。本實(shí)用新型構(gòu)思巧妙、設(shè)計(jì)合理，有效避免了爆炸的危險(xiǎn)和固體物質(zhì)堵塞塔器的問(wèn)題。
文檔編號(hào)B01D53/78GK202028324SQ20112007709
公開(kāi)日2011年11月9日 申請(qǐng)日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者曾維華 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司