技術(shù)編號(hào)：4999886
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于硅化工領(lǐng)域，涉及一種氯硅烷水解吸收塔。 背景技術(shù)多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料。多晶硅是電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機(jī)、錄音機(jī)、電冰箱、彩電、錄像機(jī)、電子計(jì)算機(jī)等的基礎(chǔ)材料。多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的氯硅烷殘液、廢氣，屬易燃、易爆危險(xiǎn)介質(zhì)，常采用水解加堿液中和的辦法進(jìn)行處理，處理過程中存在爆炸的危險(xiǎn)；另外氯硅烷殘液、廢氣水解時(shí)還會(huì)產(chǎn)生大量的二氧化硅固體物質(zhì)。常見的填料洗滌塔無(wú)法滿足該工藝過程的需要，不能有效避免爆炸的危...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。