專利名稱：工藝廢氣處理裝置及工藝廢氣處理方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種工藝廢氣處理裝置及工藝廢氣處理方法。
背景技術：
一般工廠于生產過程中經常會產生廢氣。這些廢氣多半有害于環(huán)境，需要加以處理后方可排放至一般的環(huán)境?，F(xiàn)有工藝機臺的廢氣，自工藝反應室中抽離后，會先經過廢氣處理裝置，再做進一步的處理。高溫燃燒為廢氣處理的方式中最常見的方法之一。高溫燃燒所使用的廢氣處理裝置主要由廢氣處理腔體與漏斗所構成。工藝廢氣通入處理腔體做廢氣分解、反應等處理，處理后所產生的固體粉狀的凝結物通常會沉積在腔體內壁而成為固體粉狀凝結物。當固體粉狀凝結物剝落而掉落在漏斗的表面上時，由于固體粉狀凝結物通常呈酸性，時間過久，容易造成漏斗腐蝕的問題。為維護公共安全，在使用一段時間之后，必須更換漏斗，避免廢氣分解、反應所產生的腐蝕性氣體或是有毒氣體從腐蝕之處漏出。然而，更換漏斗所需的費用相當可觀。

發(fā)明內容
本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，可以減緩漏斗的內表面腐蝕的現(xiàn)象，延長使用壽命。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，可以減少維護的成本。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理方法，可以減緩漏斗的內表面腐蝕的現(xiàn)象。本發(fā)明提出一種工藝廢氣處理裝置，包括腔體與漏斗頂蓋環(huán)。漏斗設置于腔體下方，具有至少一注入孔，設置于接近腔體之處。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理裝置更包括一頂蓋環(huán)，頂蓋環(huán)設置于上述腔體與上述漏斗之間，頂蓋環(huán)的內徑小于上述漏斗的頂部開口的內徑。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述頂蓋環(huán)為可拆卸式。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述頂蓋環(huán)的第二表面上具有至少一凹槽，且具有至少一 0型環(huán)，設置于凹槽中。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理裝置中，上述漏斗的內表面上具有一抗腐蝕層。本發(fā)明還提出一種工藝廢氣處理方法，包括在腔體底部設置漏斗，此漏斗具有至少一注入孔，注入孔位于接近腔體之處，在廢氣通入腔體之后，將清洗液經由注入孔注入于漏斗中，以沖洗漏斗的內表面。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理方法中，上述清洗液包括水或液堿。依照本發(fā)明實施例所述，上述工藝廢氣處理方法還包括在上述漏斗與上述腔體之間設置頂蓋環(huán)，此頂蓋環(huán)的內徑小于上述漏斗的頂部開口的內徑。本發(fā)明又提出一種工藝廢氣處理方法，包括在腔體底部設置漏斗，并在廢氣通入腔體之前，在漏斗與腔體之間設置頂蓋環(huán)，此頂蓋環(huán)的內徑小于漏斗頂部開口的內徑?；谏鲜?，本發(fā)明在漏斗接近腔體之處開出注入孔，可以將清洗液經由注入孔注入于漏斗中，以沖洗漏斗的內表面，減少生成物附著于漏斗的內表面。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)，可以減少水氣附著于腔體底部，故可以減少腐蝕的現(xiàn)象，延長腔體的使用壽命。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)為可拆卸式，因此，更換非常方便。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)相對于漏斗非常便宜，因此，更換頂蓋環(huán)的費用遠低于更換漏斗的費用。本發(fā)明在漏斗的內表面具有抗腐蝕特性，可以減緩漏斗的內表面腐蝕的現(xiàn)象。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖詳細說明如下。


圖1繪示本發(fā)明實施例一種工藝廢氣處理裝置的剖面示意圖；圖2繪示本發(fā)明實施例一種工藝廢氣處理裝置的拆解示意圖；圖3繪示工藝廢氣處理裝置的漏斗的示意圖；以及圖4繪示漏斗上設置頂蓋環(huán)的示意圖。主要組件符號說明10 工藝廢氣處理裝置20 腔體22:廢氣入口28、38:凸櫞^a、38a、48a 螺孑L30 漏斗30a 表面30c:內表面32 注入孔34、44:凹槽35:開口36 抗腐蝕層40 頂蓋環(huán)40a、40b 表面42:中心開口50 螺絲釘52 螺帽54 0 型環(huán)Dl:內徑D2:開口的內徑T 厚度
具體實施例方式圖1繪示本發(fā)明實施例一種工藝廢氣處理裝置的剖面示意圖。圖2繪示本發(fā)明實施例一種工藝廢氣處理裝置的拆解示意圖。圖3繪示工藝廢氣處理裝置的漏斗的示意圖。 圖4繪示漏斗上設置頂蓋環(huán)的示意圖。請參照圖1，工藝廢氣處理裝置10包括腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40。腔體20具有至少一廢氣入口 22，其可導入工藝機臺所產生的工藝廢氣。在附圖中，廢氣的入口 22設置在腔體20的側壁，但不以此為限，廢氣的入口 22也可以依據實際的需要而設置在合適的位置，例如是腔體20的上方。腔體20中可以是具有多個加熱裝置(未繪示)，例如是電熱式加熱裝置，用以加熱所通入的工藝廢氣，使其反應或分解。所導入的工藝廢氣例如是SiH4、 NF3或C3F8，但并不以此為限。腔體20的形狀可以是圓柱狀、方柱狀或其它任何形狀。腔體20的材質一般是由單一材料所構成，例如是不銹鋼材料所構成。請參照圖1至3，漏斗30設置于腔體20下方。漏斗30具有至少一注入孔32。在一實施例中，注入孔32設置于接近腔體20之處，例如是設置在凸櫞38之內。在廢氣通入腔體20之后，清洗液經由注入孔32注入于漏斗30中，利用清洗液所產生擾流可用來沖洗漏斗30的內表面30c，帶走反應所產生的生成物，減少生成物附著于漏斗30的內表面30c 上所衍生的腐蝕問題。注入孔32所通入的清洗液例如是水或是液堿。漏斗30的材質可以與腔體20相同或是相異。漏斗30的材質一般是由單一材料所構成，例如是不銹鋼材料所構成。由于工藝廢氣可能具有腐蝕性，為能延長使用的壽命， 在一實施例中，整個漏斗30可以是由抗腐蝕的材料制成。抗腐蝕的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一實施例中，漏斗30是由非抗腐蝕的材料制成，而其內表面30c上具有一抗腐蝕層36。非抗腐蝕的材料例如是不銹鋼或塑鋼。抗腐蝕層36的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。請參照圖1至4，頂蓋環(huán)40設置于腔體20與漏斗30之間。頂蓋環(huán)40的第一表面40a耦接漏斗30，頂蓋環(huán)40的第二表面耦接40b腔體20的底部，且頂蓋環(huán)40的內徑Dl 小于漏斗30的頂部開口 35的內徑D2。由于頂蓋環(huán)40的內徑Dl小于漏斗30的頂部開口 35的內徑D2，因此，頂蓋環(huán)40也可以隔絕漏斗30所通入的清洗液的蒸氣(例如水氣)，避免蒸氣向上竄而停留在腔體20底部，故可以防止腔體20底部的腐蝕問題。在一實施例中， 頂蓋環(huán)40的內徑Dl比漏斗30的頂部開口 35的內徑D2小3至5公分。在一實施例中，頂蓋環(huán)40的內徑Dl例如是45公分，漏斗30的頂部開口 35的內徑D2例如是50公分。頂蓋環(huán)40的厚度T例如是0. 8至1公分。頂蓋環(huán)40的材質可以與腔體20的材質相同或是相異。頂蓋環(huán)40的材質可以與漏斗30的材質相同或是相異。頂蓋環(huán)40的材質一般是由單一材料所構成，例如是不銹鋼材料所構成。頂蓋環(huán)40的材質也可以是由復合材料所構成。由于工藝廢氣可能具有腐蝕性，為能延長使用的壽命，在一實施例中，整個頂蓋環(huán)40是由抗腐蝕的材料制成?？垢g的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在另一實施例中，頂蓋環(huán)40是由非抗腐蝕的材料制成，而其表面上具有抗腐蝕層。非抗腐蝕的材料例如是不銹鋼或全氟化合物。抗腐蝕層的材料例如是含氟的聚合物如聚四氟乙烯，或全氟化合物。在一實施例中，頂蓋環(huán)40為可拆卸式。當頂蓋環(huán)40腐蝕或不堪使用時，可以方便更換，并且由于頂蓋環(huán)40的造型簡單，造價相當便宜，因此更換頂蓋環(huán)40所需的費用遠低于更換漏斗或是整個工藝廢氣處理裝置所需的費用。腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40可以以任何的方式組裝成工藝廢氣處理裝置10。在一實施例中，腔體20以及漏斗30皆具有凸櫞觀、38，且腔體20以及漏斗30的凸櫞觀、48 以及頂蓋環(huán)40皆設有螺孔^a、38a、48a，通過螺絲釘50與螺帽52，可將腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40密合組裝完成，但，腔體20、漏斗30與頂蓋環(huán)40組裝的方式并不以此為限。在另一實施例中，為能提升頂蓋環(huán)40與漏斗30之間的密合性，與頂蓋環(huán)40耦接的漏斗30的凸櫞觀表面30a上設有至少一凹槽34，與漏斗30耦接的頂蓋環(huán)40第二表面 40b上設有與凹槽34相對應的凹槽44，且凹槽34與凹槽44之中設有至少一 0型環(huán)M。請參照圖1，工藝氣體經由入口 22通入腔體20之后，通過頂蓋環(huán)40的中心開口 42向下流入漏斗30之中。漏斗30的注入孔32所注入的清洗液可以加快廢氣的生成物通過漏斗30，縮短生成物停留在漏斗30的時間。而裝設頂蓋環(huán)40則可以隔絕漏斗30注入孔 32所通入的清洗液的蒸氣，避免蒸氣上竄而停留在腔體20底部造成腐蝕，故可延緩工藝廢氣處理裝置至泵之間管路阻塞的現(xiàn)象，維持腔體的燃燒效率。經實驗顯示透過注入孔注入清洗液并裝設頂蓋環(huán)40，可以減少管路阻塞的現(xiàn)象，其腔體20內壓過大所導致的泵跳脫的次數(shù)可從12次/年減少為2次/年，并且可使得漏斗的壽命從3月延長為12月?；谏鲜觯景l(fā)明在漏斗接近腔體之處開出注入孔，可以將清洗液經由注入孔注入于漏斗中，以迅速沖洗漏斗之內表面，減緩生成物附著于漏斗的內表面上所衍生的腐蝕問題。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)，可以避免水氣附著于腔體底部，故可以減少腔體底部腐蝕的現(xiàn)象，延長腔體的使用壽命。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)為可拆卸式，因此，更換非常方便。本發(fā)明在腔體與漏斗之間設置頂蓋環(huán)相對于漏斗非常便宜，因此，更換頂蓋環(huán)的費用遠低于更換漏斗的費用。本發(fā)明在漏斗的內表面具有抗腐蝕特性，可以減緩漏斗的內表面腐蝕的現(xiàn)象。雖然本發(fā)明已以實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發(fā)明的保護范圍應當以權利要求所界定的范圍為準。
權利要求
1.一種工藝廢氣處理裝置，包括 一腔體；以及一漏斗，該漏斗設置于該腔體下方，具有至少一注入孔，設置于接近該腔體之處。
2.如權利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，還包括一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)設置于該腔體與該漏斗之間，該頂蓋環(huán)的內徑小于該漏斗的頂部開口的內徑。
3.如權利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中該頂蓋環(huán)為可拆卸式。
4.如權利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中 該頂蓋環(huán)的該第一表面上具有至少一凹槽；以及至少一 0型環(huán)，設置于該凹槽中。
5.如權利要求1所述的工藝廢氣處理裝置，其中該漏斗的內表面上覆蓋一抗腐蝕層。
6.一種工藝廢氣處理方法，包括在一腔體底部設置一漏斗，該漏斗具有至少一注入孔，該注入孔位于接近該腔體之處；以及將一廢氣通入該腔體之后，經由該注入孔，將一清洗液注入該漏斗中，以沖洗該漏斗的內表面。
7.如權利要求6所述的工藝廢氣處理方法，該清洗液包括水或液堿。
8.如權利要求6所述的工藝廢氣處理方法，還包括在該漏斗與該腔體之間設置一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)的內徑小于該漏斗的頂部開口的內徑。
9.一種工藝廢氣處理方法，包括 在一腔體底部設置一漏斗；以及將一廢氣通入該腔體之前，在該漏斗與該腔體之間設置一頂蓋環(huán)，該頂蓋環(huán)的內徑小于該漏斗的頂部開口的內徑。
10.如權利要求9所述的工藝廢氣處理方法，其中該頂蓋環(huán)為可拆卸式。
全文摘要
一種工藝廢氣處理裝置包括腔體與漏斗頂蓋環(huán)。漏斗設置于腔體下方，具有至少一注入孔，設置于接近腔體之處。
文檔編號B01D53/34GK102266710SQ20101019876
公開日2011年12月7日 申請日期2010年6月7日 優(yōu)先權日2010年6月7日
發(fā)明者謝正益 申請人:旺宏電子股份有限公司