專利名稱：將材料涂布于對象上的裝置與方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于將材料涂布于對象上的裝置、將材料涂布于對象上的方法與顯示器制造裝置，且特別是有關于將例如是密封劑等材料涂布于對象上的裝置、將例如是密封劑等材料涂布于對象上的方法與用于制造例如是電致發(fā)光顯示器(electro luminescent，EL)等顯示器的顯示器制造裝置。
背景技術：
具有例如有機電致發(fā)光組件(EL)等發(fā)光單元的顯示器已經(jīng)發(fā)展成取代液晶顯示器的一種新的顯示器。
然而，水的吸收會縮短發(fā)光單元的壽命。為了避免這樣的吸收，在玻璃基板與密封玻璃之間設置有機電致發(fā)光組件的顯示器由密封劑環(huán)繞著以密封住組件。此密封劑可防止組件吸收空氣中的水氣。
而且，在制造有機EL顯示器時，必須在制造EL顯示器的工作空間中填充惰性氣體以避免水氣吸收。于是，就形成在極限水含量狀態(tài)下(在露點控制下)的工作空間，以避免EL組件吸收水氣。形成這樣的工作空間的相關技術如日本專利早期公開第2002-216958號案所示。
在密封EL組件時，在將密封劑涂布于密封玻璃上后，密封玻璃與設置有EL組件的玻璃基板結合在一起。因為EL組件是設置在玻璃基板上而不是密封玻璃上，所以不需要在露點控制下將密封劑涂布于密封玻璃上。換句話說，沒有涂布裝置是在露點控制下涂布密封劑。
然而，沒有這樣的涂布裝置，對于制造EL顯示器，將會限制制程最佳化的靈活性。
而且，在結合密封玻璃與設置有EL組件的玻璃基板時，也需要對結合裝置的工作空間控制露點，以使EL組件不會暴露在空氣中。于是，為了形成「空氣鎖(air lock)」而設置可載入密封玻璃的一個前腔室，并維持工作空間處于露點控制下。
然而，因為每一次加載密封玻璃時，都必須以惰性氣體填充此前腔室，所以設置一個前腔室將會增加工作時間(tact time)并減少生產(chǎn)力。因此，需要縮短工作時間。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種將材料涂布于對象上的裝置。此裝置包括第一腔室、第二腔室以及通道。第一腔室具有惰性氣體環(huán)境。第二腔室具有可在惰性氣體與空氣之間切換的氣體環(huán)境。通道連接第一腔室與第二腔室。
此裝置也包括第一門、第二門、第一夾持具。第一門設置在第一腔室與第二腔室之間，且可在第一位置與第二位置之間動作。第二門設置在第二腔室上以提供從裝置外側至第二腔室的途徑，且可在第一位置與第二位置之間動作。第一夾持具(holder)設置在第一腔室中，此第一夾持具包括可移動的夾持涂布器的結構。此裝置更包括移動臺與第二夾持具(holder)。移動臺可穿過第二門并穿過連接通道而在第一腔室與第二腔室間移動。第二夾持具(holder)設置在移動臺上，此第二夾持具包括可移動的夾持涂布器的結構。
上述說明僅是本發(fā)明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。


圖1為繪示顯示器面板的部分平面圖。
圖2為繪示圖1所示的顯示器面板的垂直剖面圖。
圖3為繪示本發(fā)明的密封劑涂布裝置的部分示意圖。
圖4為繪示本發(fā)明的涂布器的結構示意圖。
圖5為繪示本發(fā)明的腔室的放大垂直剖面圖。
圖6為繪示本發(fā)明的可移動夾持具的前視剖面圖。
圖7為繪示圖6所示的可移動夾持具的側視剖面圖。
圖8為繪示圖6所示的可移動夾持具的平面圖。
圖9為繪示本發(fā)明的更換涂布器的流程圖。
圖10為繪示本發(fā)明的有機EL顯示器制造裝置的示意圖。
具體實施例方式
請參照圖1至圖9，以用以說明本發(fā)明的較佳實施例。
首先，說明顯示器面板410的結構，此顯示器面板410上設置有多個電致發(fā)光(EL)組件。
圖1為繪示顯示器面板410的部分平面圖。圖2為繪示顯示器面板410的垂直剖面圖。
請參照圖1及圖2，顯示器面板410具備有玻璃基板400(第二基板)。在玻璃基板400上形成有多個有機EL組件401(發(fā)光單元)。如圖2所示，作于密封玻璃402的基板放置于EL組件401上方，并在基板400與EL組件401之間留下一間隙。
環(huán)繞每個EL組件401的密封劑403(圖2)被涂布在玻璃基板400與密封玻璃402之間。密封劑403防止EL組件401接觸空氣。密封劑403亦可作為黏著劑以結合玻璃基板400與密封玻璃402。
接著，請參照圖3，以說明密封劑涂布裝置10。圖3為繪示密封劑涂布裝置10的部分示意圖。涂布裝置10具備有密封的腔室100(第一腔室)與密封的腔室200(第二腔室)。在密封的腔室100中進行涂布制程。在密封的腔室200中進行涂布器106的交換。密封的腔室100與腔室200彼此相鄰。在密封的腔室100與腔室200之間連接有連接通道300。
第一門301可在開啟位置與關閉位置之間動作，其設置在腔室100與腔室200之間，而能夠允許對象在腔室100與腔室200之間移動。
第一氣體源101經(jīng)由第一氣體供應閥101a而連接至腔室100，而能夠供應惰性氣體，例如氮氣或氬氣至第一腔室100。第一排氣器102經(jīng)由第一排氣閥102a也連接至腔室100，而能夠排出腔室100內(nèi)的氣體。同時打開第一氣體供應閥101a與第一排氣閥102a，以于腔室100中填充一種或數(shù)種惰性氣體。通過控制一個閥就可以于腔室100中填充數(shù)種惰性氣體。
手套埠(Glove ports)103(圖3中的虛線所示)設置在腔室100的壁上。手套埠(Glove ports)103由一雙樹脂手套所構成，操作者可以將手插入樹脂手套中，以進行手動操作，而不必破壞腔室100的密封。
密封劑涂布裝置10設置有作為用以支持密封玻璃402的載物臺104的平臺。載物臺104設置于腔室100中，且位于實質上水平的位置。載物臺104從下至上是由X-平臺105a、Y-平臺105b與θ-平臺105c所支撐。
用于分配密封劑的涂布器106設置在載物臺104上方。圖4為繪示本發(fā)明的涂布器的結構示意圖。涂布器106為可分離的由用于夾持涂布器106的固定夾持具107(holder)的夾持構件107a所支撐。
固定夾持具107(圖3)由X-平臺108a、Z-平臺108b與Y-平臺108c所支撐。平臺108a、平臺108b與平臺108c分別在X、Y與Z方向上移動至涂布器106與密封玻璃402之間的相對位置。
如圖4所示，涂布器106具備有可移動的注射器110與噴嘴構件111。注射器110可儲存密封劑。噴嘴構件111連接至注射器110的下部，以輸出注射器110內(nèi)的密封劑。夾具112支撐注射器110的上部，并可作為一個接合器。由圓盤形成的停止器113設置在噴嘴構件111的側面。當注射器110插入夾持構件107a時，停止器113與夾持構件107a的內(nèi)表面相配合，而使涂布器106可分離的由夾持具107(holder)所夾持。
使用單觸接頭116(one-touch joint)使氣體源115(圖4)透過供應管114而連接至夾具112的上部。通過使用單觸接頭116(one-touch joint)，操作者只要使用一只手就可以使供應管114從夾具112分離。
如圖3所示，第二氣體源201為設置成能夠供應惰性氣體，例如氮氣或氬氣至腔室200。氣體源201經(jīng)由第二氣體供應閥201a而連接至腔室200。第二排氣器202經(jīng)由第二排氣閥202a也連接至腔室200，而能夠排出腔室200內(nèi)的氣體。同時打開第二氣體供應閥201a與第二排氣閥202a，以于腔室200中填充一種或數(shù)種惰性氣體。
用以傳入和傳出一對象至裝置10外側的開口230設置在腔室200的側壁，且開口203面向連接通道300。第二門204可在開啟位置與關閉位置之間動作，而能夠允許對象在第二腔室200與外在環(huán)境之間插入和移動。
圖5為繪示本發(fā)明的腔室200的放大垂直剖面圖。在腔室200內(nèi)設置有托盤驅動裝置205，此托盤驅動裝置205驅動可移動托盤206。用以夾持涂布器的可移動夾持具207設置在可移動托盤206上。
托盤驅動裝置205連接至控制器(未圖示)。此控制器下命令給托盤驅動裝置205以在圖5中的左右方向上移動可移動托盤206。在本實施例中，對應朝向腔室100的方向而前進移動(移動至右邊)，對應朝向腔室200的方向而后退移動(移動至左邊)。
可移動托盤206是一個在左右方向具有長邊的托盤，當可移動托盤206盡可能的往前移動時，可移動托盤206的前部(右手側)延伸進入腔室100中，如圖5的虛線所示；而當可移動托盤206盡可能的往后移動時，可移動托盤206的后部(左手側)從腔室200突出。
圖6為繪示沿著圖5的IV-IV線的可移動夾持具207的前視剖面圖。圖7為繪示可移動夾持具207的側視剖面圖。圖8為繪示可移動夾持具的平面圖。
如圖5、圖6、圖7所示，可移動夾持具207具備有支撐構件208。此支撐構件208包括第一平板208a與第二平板208b。第一平板208a設置在可移動托盤206上。第二平板208b延伸并垂直可移動托盤206。多個夾持構件209，在本實施例中例如是兩個，平行設置于第二平板208b的內(nèi)壁，而能夠夾持兩個涂布器。
夾持構件209具有與夾持構件107a(圖4)相似的結構。夾持構件209的其中一個可分離的夾持填充有密封劑的涂布器106。
在本實施例中，夾持構件209的數(shù)目為2。當然，也可以設置一個或多個夾持構件209。亦即，如果分別夾持涂布器106的支撐夾持具107的數(shù)目為N，夾持構件209的數(shù)目至少必須為N+1。亦即，夾持具207可以夾持較由夾持具107夾持的涂布器的數(shù)目還多的涂布器106，結果造成至少有一個夾持具207的夾持構件209沒有夾持涂布器106。
如圖7所示，在第二平板208b的外壁設置有一個C-形把手210。抓握和移動把手210可以使夾持具207在可移動托盤206上移動。
如圖5所示，如果夾持具207放置在可移動托盤206的最前端(最右端)，驅動可移動托盤206往前而將涂布器106(由夾持具107夾持)傳入腔室100。同樣的，如果夾持具207放置在可移動托盤206的最后端(最左端)，驅動可移動托盤206往后而使涂布器106從裝置10移出。換句話說，可移動托盤206在腔室100與腔室200之間移動涂布器106。
接著，請參照圖3，以說明密封劑涂布裝置10的操作。首先，打開第一氣體供應閥101a與第一排氣閥102a，以于腔室100中填充例如氮氣或氬氣的惰性氣體。當腔室100中的惰性氣體的露點變成-40℃，氣體源115施加壓力至涂布器106的注射器110內(nèi)的密封劑，而涂布密封劑至密封玻璃402上。
在涂布密封劑的期間，工作臺104相對于涂布器106移動，同時在涂布器106與密封玻璃402之間維持一預定距離。以此種方式，當密封玻璃402與玻璃基板400結合時，涂布的密封劑環(huán)繞每個EL組件401。
當注射器110內(nèi)的密封劑流出不足時，就需要更換涂布器106。圖9為繪示更換涂布器的流程圖。
在步驟S1中，涂布密封劑。當涂布器106的供應下降而接近空的時，在步驟S2中警報會響起，以更換空的涂布器106。在步驟S3中，通過平臺105a、105b、105c的動作，而停止密封劑的涂布。然后，在步驟S4中進行涂布器106的更換。
在步驟S4的第一階段中，腔室100中填充例如氮氣或氬氣的惰性氣體，腔室200也同樣。然后，第一門301(圖5)開啟。接著，托盤驅動裝置205驅動可移動托盤206，于是將更換的涂布器106從腔室200傳送至腔室100中。
在夾持具207與涂布器106由可移動托盤206完全插入腔室100之后，操作者經(jīng)由手套埠103(圖3)手動的從固定夾持具107移走空涂布器106。然后，操作者將移走的空涂布器106放置在可移動夾持具207的未夾持對象的夾持構件209中。
然后，操作者從可移動夾持具207的其它夾持構件209取下填滿有密封劑的更換的涂布器106。接著，操作者在腔室100中，將更換的涂布器106安裝在固定夾持具107的夾持構件107a上。
在將更換的涂布器106安裝在夾持構件107a上之后，驅動可移動托盤206往后退，而將可移動夾持具207從腔室100移出。
在步驟S5中，在可移動夾持具207和由其夾持的空涂布器106完全從腔室100移出之后，第一門301關閉。然后在步驟S6中，從更換的涂布器106再次涂布密封劑的密封玻璃402上。
當?shù)谝婚T301完全的關閉，打開第二氣體供應閥201a與第二排氣閥202a，以于第二腔室200中填充空氣。在步驟S6中，在確認第二腔室200大致上完全填滿空氣后，開啟第二門204。然后，托盤驅動裝置205(圖5)移動可移動托盤將空涂布器106與可移動夾持具207從腔室200傳送至密封劑涂布裝置10的外側。
在步驟S9中，當空涂布器106完全的移走后，關閉第二門204。在步驟S10中，從移動夾持具207的夾持構件209移走空涂布器106后，更換成填滿密封劑的新涂布器106。
在步驟S11中，在將新涂布器106安裝在夾持構件209上之后，開啟第二門204。在步驟S12中，托盤驅動裝置205驅動可移動托盤206，而將新涂布器106與夾持構件209一起傳入腔室200中。
在步驟S13中，當可移動夾持具207與其夾持的新涂布器106完全的傳送進腔室200后，關閉第二門204。在步驟S14中，通過打開第二氣體供應閥201a與第二排氣閥202a，以于第二腔室200中填充惰性氣體。在本實施例中，于腔室200填充惰性氣體要進行三個階段而需花費15分鐘(每個階段5分鐘)。
在步驟S15中，當腔室200中的氣體的露點確認變?yōu)?40℃時，開啟第一門301，并且操作者經(jīng)由手套埠103手動的將新涂布器106連同可移動夾持具207移至可移動托盤的前部。然后，在腔室100中進行涂布器106內(nèi)的密封劑的涂布直到腔室100內(nèi)的涂布器106變空的。
在本實施例中，對可移動夾持具207進行涂布器106的更換(利用空氣更換第二腔室200的環(huán)境以移走涂布器，并利用惰性氣體更換第二腔室200的環(huán)境)與在腔室100中涂布密封劑的密封玻璃402上是同時進行的。密封劑涂布裝置10通過使用兩個密封的腔室100及腔室200而使得在第一空間涂布密封劑至密封玻璃402上以及在與第一空間分離的第二空間供應填滿密封劑的新涂布器成為可能。
于是，腔室100可以經(jīng)常的保持在干惰性氣體環(huán)境中。因此，使密封玻璃402處于干燥環(huán)境中而可以在制造過程中避免吸收空氣中含有的水氣。此外，此裝置也可以直接涂布密封劑于形成有有機EL組件401的玻璃基板400上，因為能避免有機EL組件401吸收空氣中含有的水氣，所以就能夠防止有機EL組件401的因水氣吸收所導致的退化。
此外，在以新涂布器106更換空涂布器106的期間與更換腔室200的氣體環(huán)境的期間，在腔室100都可以持續(xù)進行涂布密封劑至密封玻璃402。
另外，只有在操作者手動的從固定夾持具107的夾持構件107a卸下空涂布器106及安裝填滿密封劑的新涂布器106時，才需要停止密封劑的涂布。
由于，在對可移動夾持具207進行涂布器106的更換時，以及更換腔室200的環(huán)境(此種更換通常需要花費較長的時間)時都不需要停止涂布密封劑，因此密封操作所需要的時間可以縮短而可以增進生產(chǎn)率。
在圖9中制程中在進行各階段所需要的時間以秒為單位由顯示在各階段的右側的數(shù)字來表示。更換涂布器106的總時間可縮短至只要1分鐘，如果涂布密封劑至密封玻璃402的制程與更換涂布器106的制程無法同時進行，則更換涂布器106的制程需要20分鐘。
在本實施例中，使用各具有兩個夾持構件209的可移動夾持具207。當將由可移動夾持具207夾持的新涂布器106安裝在固定夾持具107時，可移動夾持具207可以夾持從固定夾持具107拆卸下來的空涂布器106。亦即，涂布器106的更換可以在同一時間完成，而能夠增進生產(chǎn)率。
而且，當夾持具207是放置在可移動托架206的最前端，驅動可移動托架206往前移動將使得由夾持具207夾持的經(jīng)更換的涂布器106進入腔室100。同樣的，當夾持具207是放置在可移動托架206的最后端，驅動可移動托架206往后移動將使得空涂布器106從裝置10傳出。
而且，只要通過在垂直方向拉起涂布器106，就可以從可移動夾持具207上移走涂布器106。因此，涂布器可以容易的從可移動夾持具207拆卸下來，而更可以增進生產(chǎn)率。此外，涂布器106因意外而掉落也難以產(chǎn)生。
使用單觸接頭116(one-touch joint)使氣體源115(圖4)透過供應管114而連接至夾具112的上部。于是，操作者的每只手可以執(zhí)行不同的步驟，例如當以一只手卸下或安裝涂布器106時，另一只手可以抓取可移動夾持具207。于是，工作效率可以提升。
接著，請參照圖10以說明本發(fā)明的第二實施例。圖10為繪示本發(fā)明的有機EL顯示器制造裝置的示意圖。
如圖10所示，有機EL顯示器制造裝置500(顯示器制造裝置)包括密封劑涂布裝置10、安裝密封玻璃402的密封玻璃安裝室20、安裝玻璃基板400的玻璃基板安裝室30、結合玻璃基板400與密封玻璃402的結合裝置40。
具有壁的連接室50分別透過可在開啟和關閉位置操作的門10a、20a、30a與40a而連接密封劑涂布裝置10、密封玻璃安裝室20、玻璃基板安裝室30與結合裝置40。連接室50內(nèi)的氣體環(huán)境通常是維持在100％惰性氣體。
密封玻璃安裝室20可作為前腔室，以使連接室50的惰性氣體不會被稀釋或污染。密封玻璃安裝室20內(nèi)的氣體環(huán)境可在空氣與惰性氣體之間切換。
玻璃基板安裝室30可作為前腔室，以使連接室50的惰性氣體不會被破壞。玻璃基板安裝室30內(nèi)的氣體環(huán)境也可在空氣與惰性氣體之間切換。
在玻璃基板安裝室30中，有機EL組件401被安裝在玻璃基板400上。然后，密封劑涂布裝置10涂布密封劑于密封玻璃402上。然后，結合裝置40結合密封玻璃402(涂布的密封劑)至安裝有有機EL組件401的玻璃基板400上。結合裝置40內(nèi)的氣體環(huán)境也可在空氣與惰性氣體之間切換。
接著，說明有機EL顯示器制造裝置500的操作。首先，將在密封玻璃安裝室20內(nèi)的密封玻璃402通過連接室50加載密封劑涂布裝置10并進入腔室100(如圖3所示)。在腔室100中，密封劑涂布裝置10涂布密封劑于密封玻璃402上。帶有涂布的密封劑的密封玻璃402經(jīng)由連接室50而傳送至結合裝置401。
同時，將已預先安裝有EL組件401的玻璃基板從玻璃基板安裝室30經(jīng)由連接室50而傳送至結合裝置401。
利用接合裝置40將密封玻璃402結合至玻璃基板400上，并使兩者彼此面對面。于是，從有機顯示器制造裝置500制造出具備有密封玻璃402與玻璃基板400的有機EL面板P。
在本實施例中，有機EL顯示器制造裝置500使用在涂布密封劑時可增進工作效率的密封劑涂布裝置10。因此，制造有機EL面板P的時間也可以縮短，而能夠增進面板P的生產(chǎn)率。
根據(jù)上述的教示，本發(fā)明也可能有數(shù)種的變型。必須了解的是在附加的申請專利范圍的范圍內(nèi)，除了在此所說明的之外，本發(fā)明也可以其它方式來進行。當本實施例沒有顯示一些構件，而完成的某種程度的影響時，這些構件都是可忽略的。
舉例來說，使用具有開啟/關閉閥的管連接腔室100與腔室200以取代用于在腔室200中填滿惰性氣體的氣體源201，通過開啟閥而使惰性氣體流入腔室200中。
在本實施例中，發(fā)光單元是以有機EL顯示器為實例。當然，本發(fā)明也可以用于特性會因環(huán)境而改變的其它發(fā)光單元。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的結構及技術內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內(nèi)。
權利要求
1.一種將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于包括一第一腔室，具有惰性氣體的氣體環(huán)境；一第二腔室，具有可在惰性氣體與空氣之間切換的氣體環(huán)境；一通道，連接該第一腔室與該第二腔室；一第一門，設置在該第一腔室與該第二腔室之間，且可在第一位置與第二位置之間動作；一第二門，設置在該第二腔室上以提供從該裝置外側至該第二腔室的途徑，且可在第一位置與第二位置之間動作；一第一夾持具，設置在該第一腔室中，該第一夾持具包括可移動的夾持一涂布器的結構；一移動臺，可穿過該第二門，并可穿過該連接通道而在該第一腔室與該第二腔室間移動；以及一第二夾持具，設置在該臺上，該第二夾持具包括可移動的夾持一涂布器的結構。
2.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于更包括一載物臺，設置于該第一腔室中，以支持該對象。
3.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該涂布器包括一注射器，以儲存該材料。
4.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于更包括一手套埠，設置在該第一腔室，用以使操作者能夠在維持惰性氣體的氣體環(huán)境下，接近該第一夾持具與該第二夾持具。
5.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該移動臺設置成將結束該材料的涂布、且由該第二夾持具所夾持的該涂布器，經(jīng)由該第二門從該第二腔室移至該裝置的外側；以及該移動臺也設置成將填滿該材料、且由該第二夾持具所夾持的該涂布器，經(jīng)由該第二門從該裝置的外側移至該第二腔室。
6.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該第二夾持具包括一結構，用于可移動的夾持較由該第一夾持具所夾持的涂布器的數(shù)目還多的涂布器。
7.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于更包括一第一氣體源連接器，連接一氣體源至該第一腔室；一第一排氣器連接器，連接一排氣器至該第一腔室；一第二氣體源連接器，連接一氣體源至該第二腔室；以及一第二排氣器連接器，連接一排氣器至該第二腔室。
8.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于包括多個涂布器，由該第一夾持具與該第二夾持具可移動的夾持著。
9.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該第二夾持具包括一結構，用于可移動的夾持多個涂布器。
10.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該第一夾持具包括一結構，用于可移動的夾持多個涂布器。
11.根據(jù)權利要求1所述的將材料涂布于對象上的裝置，其特征在于該涂布器包括一噴嘴，用以涂布一密封劑至一基底上。
12.一種將材料涂布于對象上的方法，其特征在于包括將一對象傳入具有惰性氣體的氣體環(huán)境的一第一腔室；利用一第一涂布器將材料涂布至該物件上；將填充有材料的一第二涂布器傳入具有非惰性氣體的氣體環(huán)境的一第二腔室；以惰性氣體更換該第二腔室中的氣體環(huán)境；將該第一涂布器從該第一腔室移至該第二腔室；將該第二涂布器從該第二腔室移至該第一腔室；在該第一腔室中，于惰性氣體環(huán)境下，利用該第二涂布器將材料涂布至該物件上；以非惰性氣體更換該第二腔室中的氣體環(huán)境；以及將該第一涂布器從該第二腔室中移出。
13.根據(jù)權利要求12所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于在以惰性氣體更換該第二腔室中的氣體環(huán)境的步驟后，更包括開啟設置在該第一腔室與該第二腔室之間的一第一門。
14.根據(jù)權利要求12所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于在以非惰性氣體更換該第二腔室中的氣體環(huán)境的步驟前，更包括關閉設置在該第二腔室上、用以從外在環(huán)境隔離該第二腔室的一第二門。
15.根據(jù)權利要求14所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于在將該第二涂布器從該第二腔室移至該第一腔室的步驟后，更包括關閉該第一門。
16.根據(jù)權利要求14所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于在以非惰性氣體更換該第二腔室中的氣體環(huán)境的步驟后，更包括開啟該第二門。
17.根據(jù)權利要求14所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于將材料涂布至該對象上包括涂布一密封劑至一電致發(fā)光組件的玻璃基板上。
18.根據(jù)權利要求14所述的將材料涂布于對象上的方法，其特征在于當將填充有材料的該第二涂布器傳入具有非惰性氣體的氣體環(huán)境的該第二腔室時，并同時利用該第一涂布器將材料涂布至該物件上。
19.一種顯示器制造裝置，其特征在于包括涂布密封劑至一第一基板上的一裝置，該裝置包括一第一腔室，具有維持在惰性氣體的環(huán)境；一第二腔室，具有可在惰性氣體與空氣之間切換的環(huán)境；一連接通道，連接該第一腔室與該第二腔室；一第一可開啟與關閉門，設置在該第一腔室與該第二腔室之間；一第二可開啟與關閉門，設置在該第二腔室上以傳入和傳出用于涂布材料至該第一基板的一涂布器；一第一夾持具，設置在該第一腔室中，該第一夾持具可拆卸的夾持該涂布器；一第二夾持具，設置在該第二腔室中，該第二夾持具可拆卸的夾持該涂布器；一移動臺，設置在該第二腔室中，將填滿該材料、且由該第二夾持具所夾持的該涂布器，經(jīng)由該連接通道從該第二腔室移至該第一腔室，且該移動臺將結束該材料的涂布、且由該第二夾持具所夾持的該涂布器，經(jīng)由該連接通道從該第一腔室移至該第二腔室；以及一結合裝置，將涂布有密封劑的該第一基板結合至形成有電致發(fā)光組件的一第二基板。
全文摘要
一種將材料涂布于對象上的裝置。第一腔室具有維持在惰性氣體的環(huán)境。第二腔室具有可在惰性氣體與空氣之間切換的環(huán)境。連接通道連接第一腔室與第二腔室。第一可開啟與關閉門設置在第一腔室與第二腔室之間。第二可開啟與關閉門設置在第二腔室上。第一夾持具設置在第一腔室中，第一夾持具可拆卸的夾持涂布器。第二夾持具設置在第二腔室中，第二夾持具可拆卸的夾持涂布器。移動臺設置在第二腔室中，將填滿材料、且由第二夾持具所夾持的涂布器，經(jīng)由連接通道從第二腔室移至第一腔室。移動臺將結束材料的涂布、且由第二夾持具所夾持的涂布器，經(jīng)由連接通道從第一腔室移至第二腔室。
文檔編號B05D5/12GK1651154SQ20051000160
公開日2005年8月10日 申請日期2005年1月24日 優(yōu)先權日2004年2月3日
發(fā)明者植松義尊 申請人:株式會社東芝