本發(fā)明屬于柵極腐蝕檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置。

背景技術(shù)：

有一些大型設(shè)備通常工作在真空環(huán)境中，進(jìn)行柵極離子濺射，但柵極又會(huì)有腐蝕的情況發(fā)生，所以為了防止對(duì)后續(xù)的離子濺射產(chǎn)生不良的影響，所以必須在每次柵極進(jìn)行離子濺射前對(duì)柵極的腐蝕進(jìn)行檢測(cè)，如果靠人工去檢驗(yàn)，則難度系數(shù)很高，而且危險(xiǎn)，又比較浪費(fèi)時(shí)間。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明主要提供了一種可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置，能夠?qū)艠O所有面腐蝕的情況進(jìn)行檢測(cè)。其技術(shù)方案如下：一種可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置，包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)有柵極、安全房、檢測(cè)機(jī)構(gòu)、六軸機(jī)械模組和控制系統(tǒng)，安全房設(shè)于柵極的下方，檢測(cè)機(jī)構(gòu)與六軸機(jī)械模組連接，六軸機(jī)械模組容置于安全房?jī)?nèi)，檢測(cè)機(jī)構(gòu)、六軸機(jī)械模組均與所述控制系統(tǒng)控制連接，需要檢測(cè)柵極的腐蝕情況時(shí)，六軸機(jī)械模組從安全房?jī)?nèi)滑出并將檢測(cè)機(jī)構(gòu)輸送至柵極的待檢測(cè)部位。

優(yōu)選的，所述六軸機(jī)械模組包括滑出機(jī)構(gòu)、支撐機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、滑移機(jī)構(gòu)、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和對(duì)焦機(jī)構(gòu)，安全房的底面上設(shè)有滑軌，所述滑軌延伸至安全房外，滑出機(jī)構(gòu)滑動(dòng)的設(shè)于所述滑軌上，支撐機(jī)構(gòu)上具有一旋轉(zhuǎn)桿，滑出機(jī)構(gòu)從安全房?jī)?nèi)滑出時(shí)旋轉(zhuǎn)桿由與滑出機(jī)構(gòu)貼合狀態(tài)變?yōu)橹绷顟B(tài)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿的端部，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與一滑行件連接，滑移機(jī)構(gòu)滑動(dòng)的設(shè)于滑行件上，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)位于滑移機(jī)構(gòu)上，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接使檢測(cè)機(jī)構(gòu)左右擺動(dòng)，對(duì)焦機(jī)構(gòu)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接以微調(diào)檢測(cè)機(jī)構(gòu)與柵極間的距離。

優(yōu)選的，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括相機(jī)和光源，檢測(cè)時(shí)，相機(jī)、光源和柵極上待檢測(cè)部位處于同一直線(xiàn)上。

優(yōu)選的，所述滑出機(jī)構(gòu)包括滑板和滑出電機(jī)，滑板架設(shè)在所述滑軌上，滑出電機(jī)與滑板驅(qū)動(dòng)連接以使滑板滑行，滑出電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述支撐機(jī)構(gòu)還包括底座、支撐電機(jī)和直角基準(zhǔn)板，底座坐設(shè)于滑出機(jī)構(gòu)上，旋轉(zhuǎn)桿與底座鉸接，支撐電機(jī)與旋轉(zhuǎn)桿連接以使旋轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動(dòng)使其與底座貼合或直立于底座上，直角基準(zhǔn)板立于底座上，直角基準(zhǔn)板為旋轉(zhuǎn)桿的直立狀態(tài)提供定位，支撐電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和旋轉(zhuǎn)座，旋轉(zhuǎn)座設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿的端部，旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)于旋轉(zhuǎn)座上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出軸與滑行件連接，旋轉(zhuǎn)電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述滑行件為一弧形導(dǎo)軌，滑移機(jī)構(gòu)包括滑移電機(jī)和滑移座，滑移座滑動(dòng)的設(shè)于所述弧形導(dǎo)軌上，滑移電機(jī)與滑移座連接以使滑移座沿所述弧形導(dǎo)軌滑行，滑移電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)于滑移座上，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為直角電機(jī)，檢測(cè)機(jī)構(gòu)與所述直角電機(jī)的輸出軸連接，所述直角電機(jī)帶動(dòng)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以直角電機(jī)的對(duì)稱(chēng)軸為中心進(jìn)行左右擺動(dòng)，所述直角電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述對(duì)焦機(jī)構(gòu)包括對(duì)焦電機(jī)和對(duì)焦座，對(duì)焦座坐設(shè)在角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上，檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于對(duì)焦座上，對(duì)焦電機(jī)與檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接以微調(diào)檢測(cè)機(jī)構(gòu)與柵極間的距離，對(duì)焦電機(jī)與所述控制系統(tǒng)電連接。

優(yōu)選的，所述安全房上設(shè)有防護(hù)門(mén)，六軸機(jī)械模組從防護(hù)門(mén)處脫出。

采用上述自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置，其具有以下優(yōu)點(diǎn)：

(1)本發(fā)明設(shè)計(jì)一套完整的檢測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)多機(jī)構(gòu)組合，一次定位柵極實(shí)現(xiàn)多面檢測(cè)，克服柵極在真空環(huán)境檢測(cè)下不易定位的問(wèn)題；

(2)本發(fā)明采用安全房結(jié)構(gòu)形式，即柵極進(jìn)行離子濺射實(shí)驗(yàn)時(shí)，將檢測(cè)裝置收起，放置安全房?jī)?nèi)，隔絕離子濺射時(shí)產(chǎn)生的高溫，檢測(cè)時(shí)打開(kāi)防護(hù)門(mén)，對(duì)實(shí)驗(yàn)后的柵極檢測(cè)，保護(hù)檢測(cè)設(shè)備。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置結(jié)構(gòu)圖；

圖2為圖1所示可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置除去真空箱后的結(jié)構(gòu)圖；

圖3為本發(fā)明中的六軸機(jī)械模組結(jié)構(gòu)圖。

其中：1、殼體，11、真空箱，12、檢測(cè)設(shè)備殼體，13、離子濺射實(shí)驗(yàn)殼體，2、柵極，3、安全房，31、防護(hù)門(mén)，4、檢測(cè)機(jī)構(gòu)，41、相機(jī)，5、六軸機(jī)械模組，51、滑出機(jī)構(gòu)，51-1、滑板，51-2、滑出電機(jī)，52、支撐機(jī)構(gòu)，52-1、旋轉(zhuǎn)桿，52-2、底座，52-3、支撐電機(jī)，52-4、直角基準(zhǔn)板，53、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，53-1、旋轉(zhuǎn)電機(jī)，53-2、旋轉(zhuǎn)座，54、滑移機(jī)構(gòu)，54-1、滑移電機(jī)，54-2、滑移座，55、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，56、對(duì)焦機(jī)構(gòu)，56-1、對(duì)焦電機(jī)，56-2、對(duì)焦座，6、滑行件。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)作廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

如圖1-3所示，為本發(fā)明的可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置，包括殼體1、柵極2、安全房3、檢測(cè)機(jī)構(gòu)4、六軸機(jī)械模組5、滑行件6和控制系統(tǒng)，殼體1包括依次連接的真空箱11、檢測(cè)設(shè)備殼體12和離子濺射實(shí)驗(yàn)殼體13，柵極2位于離子濺射實(shí)驗(yàn)殼體13內(nèi)并朝真空箱11的方向?yàn)R射，安全房3位于離子濺射實(shí)驗(yàn)殼體13內(nèi)并設(shè)于柵極2的下方。檢測(cè)機(jī)構(gòu)4安裝在六軸機(jī)械模組5上，六軸機(jī)械模組5容置于安全房3內(nèi)，安全房3上設(shè)有防護(hù)門(mén)31，需要檢測(cè)柵極2的腐蝕情況時(shí)，防護(hù)門(mén)31打開(kāi)，六軸機(jī)械模組5從安全房3內(nèi)滑出運(yùn)行到檢測(cè)設(shè)備殼體12內(nèi)，六軸機(jī)械模組5將檢測(cè)機(jī)構(gòu)4輸送至柵極2的正前方。

六軸機(jī)械模組5包括滑出機(jī)構(gòu)51、支撐機(jī)構(gòu)52、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53、滑移機(jī)構(gòu)54、角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55和對(duì)焦機(jī)構(gòu)56。安全房3的底面上設(shè)有滑軌，所述滑軌延伸至安全房3外?；鰴C(jī)構(gòu)51包括滑板51-1和滑出電機(jī)51-2，滑板51-1架設(shè)在所述滑軌上，滑出電機(jī)51-2與滑板51-1驅(qū)動(dòng)連接以使滑板51-1滑行，滑出機(jī)構(gòu)51的目的是將六軸機(jī)械模組5從安全房3內(nèi)移出。

支撐機(jī)構(gòu)52包括旋轉(zhuǎn)桿52-1、底座52-2、支撐電機(jī)52-3和直角基準(zhǔn)板52-4，底座52-2坐設(shè)于滑板51-1上，旋轉(zhuǎn)桿52-1與底座52-2鉸接，支撐電機(jī)52-3與旋轉(zhuǎn)桿52-1連接，滑出機(jī)構(gòu)51從安全房3內(nèi)滑出時(shí)旋轉(zhuǎn)桿52-1轉(zhuǎn)動(dòng)并直立于底座52-2上。直角基準(zhǔn)板52-4立于底座52-2上，直角基準(zhǔn)板52-4為旋轉(zhuǎn)桿52-1的直立狀態(tài)提供定位，使旋轉(zhuǎn)桿52-1正好旋轉(zhuǎn)90度到柵極2正前方。支撐機(jī)構(gòu)52的設(shè)置使整個(gè)六軸機(jī)械模組5不僅可以折疊收納在安全房3內(nèi)，還可以在檢測(cè)時(shí)將檢測(cè)機(jī)構(gòu)4送到柵極2的正前方。

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1和旋轉(zhuǎn)座53-2，旋轉(zhuǎn)座53-2設(shè)于旋轉(zhuǎn)桿52-1的端部，旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1設(shè)于旋轉(zhuǎn)座53-2上，旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1的輸出軸與滑行件6連接，滑行件6為一弧形導(dǎo)軌，弧形導(dǎo)軌主要是根據(jù)柵極2的球面專(zhuān)門(mén)定制。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)53的設(shè)置可以調(diào)整滑行件6的延伸方向。

滑移機(jī)構(gòu)54包括滑移電機(jī)54-1和滑移座54-2，滑移座54-2滑動(dòng)的設(shè)于所述弧形導(dǎo)軌上，滑移電機(jī)54-1與滑移座54-2連接以使滑移座54-2沿所述弧形導(dǎo)軌滑行。滑移機(jī)構(gòu)54的設(shè)置方便的調(diào)整檢測(cè)機(jī)構(gòu)4的位置。

角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55設(shè)于滑移座54-2上，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55為直角電機(jī)。對(duì)焦機(jī)構(gòu)56包括對(duì)焦電機(jī)56-1和對(duì)焦座56-2，對(duì)焦座56-2坐設(shè)在所述直角電機(jī)上，所述直角電機(jī)的輸出軸與對(duì)焦座56-2連接，檢測(cè)機(jī)構(gòu)4設(shè)于對(duì)焦座56-2上，所述直角電機(jī)帶動(dòng)對(duì)焦座56-2以直角電機(jī)的對(duì)稱(chēng)軸為中心進(jìn)行左右擺動(dòng)，對(duì)焦座56-2進(jìn)而帶動(dòng)檢測(cè)機(jī)構(gòu)4左右旋轉(zhuǎn)45度，精度保證正負(fù)0.1度。對(duì)焦電機(jī)56-1設(shè)于對(duì)焦座56-2上，對(duì)焦電機(jī)56-1位于檢測(cè)機(jī)構(gòu)4的一端，對(duì)焦電機(jī)56-1與檢測(cè)機(jī)構(gòu)4連接以微調(diào)檢測(cè)機(jī)構(gòu)4與柵極2間的距離。

檢測(cè)機(jī)構(gòu)4包括相機(jī)41和光源，檢測(cè)時(shí)，相機(jī)41、光源和柵極2上待檢測(cè)部位處于同一直線(xiàn)上。

相機(jī)41、滑出電機(jī)51-2、支撐電機(jī)52-3、旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1、滑移電機(jī)54-1、直角電機(jī)和對(duì)焦電機(jī)56-1均與控制系統(tǒng)電連接，由控制系統(tǒng)控制各自工作。

本發(fā)明的可自動(dòng)檢測(cè)柵極腐蝕裝置工作情況如下：需要檢測(cè)時(shí)，防護(hù)門(mén)31打開(kāi)，滑出電機(jī)51-2動(dòng)作，滑板51-1從安全房3內(nèi)滑出。然后支撐電機(jī)52-3動(dòng)作，使旋轉(zhuǎn)桿52-1開(kāi)始旋轉(zhuǎn)90度靠直角基準(zhǔn)板52-4定位，將檢測(cè)機(jī)構(gòu)4送到柵極2正前方。進(jìn)而旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1旋轉(zhuǎn)，使滑行件6水平。滑移電機(jī)54-1帶動(dòng)滑移座54-2在滑行件6上左右移動(dòng)，相機(jī)41在左右移動(dòng)的行程中會(huì)采集幾張圖片對(duì)柵極2進(jìn)行分析。期間角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55使相機(jī)41進(jìn)行左右45度旋轉(zhuǎn)對(duì)柵極2采集照片，其中對(duì)焦電機(jī)56-1使相機(jī)41微調(diào)前后位置以對(duì)焦。至此，柵極2的水平方向和左右方向都已檢測(cè)完畢。

角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55復(fù)位，回到正對(duì)柵極2的方向，滑移電機(jī)54-1復(fù)位，回到滑行件6的中間部位。然后旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1旋轉(zhuǎn)使滑行件6旋轉(zhuǎn)90度到豎直狀態(tài)，滑移電機(jī)54-1帶動(dòng)滑移座54-2在滑行件6上上下移動(dòng)，相機(jī)41在上下移動(dòng)的行程中會(huì)采集幾張圖片對(duì)柵極2進(jìn)行分析。期間角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55使相機(jī)41進(jìn)行左右45度旋轉(zhuǎn)對(duì)柵極2采集照片，其中對(duì)焦電機(jī)56-1使相機(jī)41微調(diào)前后位置。至此柵極2的上下方向都已檢測(cè)完畢。

最后，旋轉(zhuǎn)電機(jī)53-1使滑行件6復(fù)位到水平狀態(tài)，滑移電機(jī)54-1復(fù)位到滑行件6的中間部位，角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)55復(fù)位到正對(duì)柵極2的狀態(tài)。支撐電機(jī)52-3動(dòng)作使旋轉(zhuǎn)桿52-1回歸到水平狀態(tài)貼合底座52-2，滑出電機(jī)51-2動(dòng)作使滑板51-1滑入安全房3內(nèi)，防護(hù)門(mén)31關(guān)閉，檢測(cè)完畢。

對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可根據(jù)以上描述的技術(shù)方案以及構(gòu)思，做出其它各種相應(yīng)的改變以及形變，而所有的這些改變以及形變都應(yīng)該屬于本發(fā)明要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。