壓印材料排出裝置的制造方法
【專利摘要】壓印材料排出裝置包括：收納構(gòu)件，其包括收納所述壓印材料的收納部；通路，其與所述收納部連接；以及排出構(gòu)件，其包括排出口和能量產(chǎn)生元件。所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將壓印材料供給到所述通路中，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料。所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對(duì)所述壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器，從所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給到所述通路中、而未穿過布置在所述能量產(chǎn)生元件和所述排出口之間的區(qū)域的所述壓印材料。
【專利說明】
壓印材料排出裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及排出壓印材料(imprint material)的壓印材料排出裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]已知如下的所謂壓印技術(shù):在用于制造例如半導(dǎo)體器件的工藝中，具有圖案的模具與基板上的壓印材料接觸，并且將模具的圖案轉(zhuǎn)印至壓印材料，以在壓印材料上形成圖案。作為將壓印材料排出到基板上的壓印材料排出裝置，日本特開2014-216471號(hào)公報(bào)中說明了一種使用噴墨頭的排出裝置。
[0003]日本特開2014-216471號(hào)公報(bào)中說明的排出裝置的噴墨頭包括產(chǎn)生用于將壓印材料排出到基板上的能量的能量產(chǎn)生元件。在該排出裝置中，當(dāng)壓印材料中含有異物時(shí)，在模具與壓印材料接觸時(shí)可能無法形成良好的圖案。因此，在日本特開2014-216471號(hào)公報(bào)說明的排出裝置中，向收納部供給已經(jīng)通過過濾器除去了異物的壓印材料。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]根據(jù)本發(fā)明的方面，一種壓印材料排出裝置，其向基板排出壓印材料，通過使模具與所述壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印材料排出裝置包括:收納構(gòu)件，其包括收納所述壓印材料的收納部;通路，其與所述收納部連接；以及排出構(gòu)件，其包括用于排出所述壓印材料的排出口、產(chǎn)生用于從所述排出口排出所述壓印材料的能量的能量產(chǎn)生元件和布置在所述能量產(chǎn)生元件與所述排出口之間的區(qū)域。所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將收納在所述收納部中的壓印材料供給到所述通路中并在所述收納部中開口，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料并在所述收納部中開口。所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對(duì)所述壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器，從所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給到所述通路中、而未穿過所述區(qū)域的所述壓印材料。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種壓印材料排出裝置，其向基板排出壓印材料，通過使模具與所述壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印材料排出裝置包括:收納構(gòu)件，其包括收納所述壓印材料的收納部;通路，其與所述收納部連接；以及排出構(gòu)件，其包括用于排出所述壓印材料的排出口、產(chǎn)生用于從所述排出口排出所述壓印材料的能量的能量產(chǎn)生元件和布置在所述能量產(chǎn)生元件與所述排出口之間的區(qū)域，其中，所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將收納在所述收納部中的壓印材料供給到所述通路中并在所述收納部中開口，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料并在所述收納部中開口，并且所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對(duì)所述壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器，并且所述通路設(shè)置在與所述區(qū)域不同的部分處。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的又一方面，一種壓印設(shè)備，其通過使模具與基板上的壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印設(shè)備包括:作為向所述基板排出所述壓印材料的壓印材料排出裝置的上述壓印材料排出裝置。
[0007]通過以下參照附圖對(duì)示例性實(shí)施方式的說明，本發(fā)明的其它特征將變得明顯。
【附圖說明】
[0008]圖1示出壓印設(shè)備的結(jié)構(gòu)。
[0009]圖2示出壓印材料排出裝置的結(jié)構(gòu)。
[0010]圖3示出壓印材料的循環(huán)狀態(tài)。
[0011]圖4示出壓印材料的循環(huán)狀態(tài)。
[0012]圖5示出壓印材料的循環(huán)狀態(tài)。
[0013]圖6A和圖613不出壓印材料的循環(huán)狀態(tài)和排出狀態(tài)。
[0014]圖7示出壓印材料的循環(huán)狀態(tài)和排出狀態(tài)。
[0015]圖8A和圖SB示出從壓印材料排出裝置排出壓印材料的狀態(tài)。
[0016]圖9示出壓印材料排出裝置的另一結(jié)構(gòu)。
[0017]圖10示出向壓印材料排出裝置排出壓印材料的狀態(tài)。
[0018]圖11不出壓印設(shè)備的另一結(jié)構(gòu)。
[0019]圖12示出壓印材料排出裝置的另一結(jié)構(gòu)。
[0020]圖13示出根據(jù)比較例的壓印材料排出裝置的結(jié)構(gòu)。
[0021]圖14示出根據(jù)比較例的壓印材料排出裝置的結(jié)構(gòu)。
【具體實(shí)施方式】
[0022]發(fā)明人等人所進(jìn)行的研究已經(jīng)揭示:諸如日本特開2014-216471號(hào)公報(bào)中說明的排出裝置等的排出裝置具有以下問題。例如，當(dāng)壓印材料或收納有壓印材料的壓印材料收納部被長時(shí)間放置不管時(shí)，一部分壓印材料可能會(huì)隨時(shí)間而改變，并且可能會(huì)在壓印材料收納部中凝膠化(become gelated)。另外，壓印材料可能會(huì)被收納部中產(chǎn)生的異物污染。當(dāng)在該狀態(tài)下向基板排出壓印材料時(shí)，可能會(huì)被損壞與壓印材料接觸的模具，并且可能會(huì)降低壓印材料的圖案精度。
[0023]根據(jù)日本特開2014-216471號(hào)公報(bào)中說明的方法，由于壓印材料會(huì)在進(jìn)入收納部之前穿過過濾器，所以當(dāng)壓印材料進(jìn)入收納部時(shí)，異物等已經(jīng)被除去。然而，如上所述，難以處理在收納部產(chǎn)生中的異物，并且難以應(yīng)對(duì)壓印材料隨時(shí)間的改變。
[0024]根據(jù)發(fā)明人等人所進(jìn)行的研究，如上所提及的在壓印材料收納部中產(chǎn)生的任何異物的尺寸很小、大約數(shù)十nm。當(dāng)壓印材料通路布置在具有允許除去這種異物的小的開口直徑的過濾器中時(shí)，過濾器中的通路阻力(壓力損失)可能會(huì)減慢壓印材料至排出構(gòu)件的供給，或者可能影響壓印材料的排出。
[0025 ]因此，本發(fā)明提供一種能夠在通過使用過濾器良好地除去收納部內(nèi)的壓印材料中產(chǎn)生的任何異物的同時(shí)，從排出構(gòu)件良好地排出壓印材料的壓印材料排出裝置。
[0026]以下參照【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0027]圖1示出了壓印設(shè)備100的結(jié)構(gòu)。這里，例示了通過利用紫外光照射用作壓印材料的紫外線固化型樹脂來使其固化的設(shè)備。然而，壓印材料和固化方法不限于此。例如，可以通過使用光照射裝置利用具有除了紫外光波長以外的波長的光照射光固化型樹脂來使其固化，或者可以利用熱來使熱固化型樹脂固化。
[0028]圖1所示的壓印設(shè)備100包括壓印材料排出裝置10和模具I。包括模具I的壓印設(shè)備100可以和壓印材料排出裝置10分離地設(shè)置。即，可以通過壓印材料排出裝置10排出壓印材料，與壓印材料排出裝置10分離設(shè)置的壓印設(shè)備100的模具可以用于執(zhí)行壓印。
[0029]壓印材料排出裝置10包括壓印材料排出構(gòu)件11、包括用于收納壓印材料的收納部15的收納構(gòu)件12以及壓力控制構(gòu)件13?；?設(shè)置于臺(tái)架6。壓印材料8從排出構(gòu)件11排向基板4。模具I與已經(jīng)排至基板的壓印材料8接觸。在這種狀態(tài)下，利用從紫外光照射裝置7發(fā)出的紫外光照射壓印材料8，并使壓印材料8固化。微細(xì)的不規(guī)則圖案等形成于模具I。當(dāng)向上移動(dòng)模具I時(shí)，壓印材料處于如下狀態(tài):模具的圖案已經(jīng)轉(zhuǎn)印至壓印材料。以這種方式，將圖案形成于壓印材料。
[0030]臺(tái)架6能夠在其保持基板4的同時(shí)沿著基架5移動(dòng)。上下驅(qū)動(dòng)模具I的模具驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2由結(jié)構(gòu)體3保持。模具驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2能夠使模具I靠近基板4，并且能夠使模具I與壓印材料8接觸。紫外光照射裝置7位于模具I上方，并且利用紫外光9經(jīng)由模具I照射壓印材料8。例如，可以從諸如產(chǎn)生1-線和g-線的鹵素?zé)舻鹊墓庠串a(chǎn)生紫外光9。紫外光照射裝置7可以具有使產(chǎn)生自光源的光聚集的功能。
[0031]詳細(xì)說明使用壓印設(shè)備100的壓印操作。首先，將基板4放置在臺(tái)架6上。臺(tái)架6將基板4移向位于壓印材料排出裝置10的排出構(gòu)件11下方的位置。在移動(dòng)臺(tái)架6的同時(shí)，從排出構(gòu)件11向基板4排出壓印材料8。
[0032]接下來，臺(tái)架6將基板4的已經(jīng)排出有壓印材料8的部分移向位于模具I下方的位置。此外，模具驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2使模具I下降，并使模具I接近基板4。在此狀態(tài)下，對(duì)準(zhǔn)鏡(alignment scope)等使模具I上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記重疊，使得模具I的位置與基板4的位置相對(duì)于彼此對(duì)準(zhǔn)。
[0033]在這些位置相對(duì)于彼此對(duì)準(zhǔn)之后，模具驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2使模具I進(jìn)一步向下(基板4的方向)移動(dòng)，并使模具I與壓印材料8接觸。此后，紫外光照射裝置7發(fā)出紫外光，并透過模具I向壓印材料8施加紫外光9。結(jié)果，在壓印材料8中發(fā)生了光固化反應(yīng)，從而使壓印材料8固化。
[0034]最后，模具驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2使模具I與固化了的壓印材料8分離。通過執(zhí)行上述步驟，能夠在基板4上形成圖案(S卩，圖案化了的壓印材料)。制造半導(dǎo)體時(shí)使用的壓印設(shè)備可以用于在基板4的整個(gè)區(qū)域形成圖案。在該情況下，在改變基板的供壓印操作執(zhí)行的區(qū)域的同時(shí)，對(duì)基板反復(fù)執(zhí)行壓印操作。
[0035]接下來，說明壓印材料排出裝置。圖2是壓印材料排出裝置10的示意圖。壓印材料排出裝置10主要包括排出構(gòu)件U、收納構(gòu)件12和壓力控制構(gòu)件13。對(duì)收納部中的空間進(jìn)行分離的分離膜14設(shè)置在收納構(gòu)件12中。分離膜14為使壓印材料與填充液體(稍后說明)分離的膜，期望分離膜14為柔性的。期望分離膜14的厚度為ΙΟμπι至200μπι。期望分離膜14由具有低液體或氣體透過性的材料制成。例如，分離膜14可以由鋁制多層膜形成。由分離膜14形成的空間中的與排出構(gòu)件11連通的空間填充有壓印材料。排出構(gòu)件11包括產(chǎn)生用于排出壓印材料的能量的能量產(chǎn)生元件29。在圖3中以放大的形式示出排出構(gòu)件11。排出構(gòu)件11具有:排出口 32，其用于排出壓印材料；以及區(qū)域33，其形成在各能量產(chǎn)生元件29與排出口 32之間。能量產(chǎn)生元件29的示例包括壓電元件和發(fā)熱電阻。由于含有大量樹脂的材料被頻繁地用作壓印材料，所以期望將壓電元件用作能量產(chǎn)生元件。通過用控制器控制能量產(chǎn)生元件29，使各能量產(chǎn)生元件29與排出口 32之間的區(qū)域33中的壓印材料從排出口 32排出到基板。期望排出構(gòu)件11是用于例如噴墨頭的液體排出頭?？蛇x地，還可以使用如下排出構(gòu)件:該排出構(gòu)件通過使用控制閥等控制液體的供給和液體供給的停止。
[0036]排出構(gòu)件12包括:收納部15，其收納壓印材料；以及填充液體部16，其為與收納部15相對(duì)設(shè)置的空間并且不與排出構(gòu)件11連接，分離膜14位于填充液體部16與收納部15之間。填充液體部16填充有液體，并且經(jīng)由連通部17與壓力控制構(gòu)件13連通。壓力控制構(gòu)件13包括例如填充液體罐、配管、壓力傳感器、栗和閥。壓力傳感器、栗和閥用于控制填充液體部中的填充液體的壓力。通過壓力控制構(gòu)件13來控制填充液體的壓力，能夠通過分離膜14控制收納部15中的壓印材料的壓力。這能夠使排出構(gòu)件11中的氣-液界面(彎液面)的形狀穩(wěn)定，從而能夠以良好的再現(xiàn)性排出壓印材料。
[0037]當(dāng)從排出構(gòu)件11反復(fù)地排出壓印材料8時(shí)，收納部15中的壓印材料會(huì)被消耗并且總量減少，使得分離膜14發(fā)生變形。隨著分離膜14的變形，通過壓力控制構(gòu)件13從填充液體罐向填充液體部16補(bǔ)充填充液體，以便使填充液體部16填充有填充液體。
[0038]要求在異物總量(微粒的數(shù)量)和金屬離子數(shù)量最小化的情況下，維持壓印設(shè)備中使用的壓印材料的性能直到壓印材料被涂布至基板為止。在本發(fā)明中，能夠在使壓印材料與收納部15的外部隔離的同時(shí)存儲(chǔ)壓印材料，直到由于收納部15的容積因壓印材料的反復(fù)排出而減小使所有壓印材料被最終消耗為止。因此，由于壓印材料不與外部空氣以及諸如壓力傳感器等的裝備接觸，所以能夠抑制在最初已經(jīng)被控制和封入的異物及金屬離子的增加。
[0039]在收納部15中，可以將類似輸液袋(infus1nbag)的袋狀柔性膜用作分離膜。收納部15中可以形成氣-液界面?？蛇x地，通過使大氣連通口與收納部15連接，可以將收納部15形成為無壓型收納部。當(dāng)將收納部15形成為無壓型時(shí)，為了執(zhí)行良好的負(fù)壓控制，期望收納部15與開閉閥或控制壓力的裝置連接。
[0040]在噴墨記錄裝置領(lǐng)域中，為了使排出構(gòu)件的排出口處的彎液面的形狀穩(wěn)定，排出構(gòu)件被設(shè)計(jì)成將排出構(gòu)件的內(nèi)部維持在一定范圍的負(fù)壓下。例如，已知通過利用毛細(xì)管力在設(shè)置于收納部的多孔材料內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓以保持液體的方法。其它方法包括通過使諸如彈簧等的機(jī)械元件與囊狀膜(balloon-1 ike membrane)組合來在收納部中產(chǎn)生負(fù)壓的方法，以及通過利用控制閥和空氣壓力來控制負(fù)壓的方法。甚至在本發(fā)明中，也可以通過這些方法來控制收納部中的負(fù)壓。
[0041]根據(jù)本發(fā)明的壓印材料排出裝置具有如下結(jié)構(gòu):與收納部連接的通路設(shè)置在收納構(gòu)件外部，過濾器布置在通路中。圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的壓印材料排出裝置的示例。通路(形成通路的通路形成構(gòu)件28)與壓印材料排出裝置的收納構(gòu)件的收納部15連接。通路形成構(gòu)件28為形成有壓印材料通路的構(gòu)件，并且通過在收納部15中開口的第一開口 20和第二開口 21與收納部15連接。第一開口 20為允許收納部15中的壓印材料被供給到通路中的開口。第二開口 21為允許從第一開口 20供給的壓印材料供給到收納部15中的開口。栗22以及對(duì)壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器23布置在使第一開口20與第二開口21連接的通路中。當(dāng)考慮到因從栗22產(chǎn)生灰塵而產(chǎn)生進(jìn)入壓印材料的異物的可能性時(shí)，期望過濾器23布置在栗22的在壓印材料從第一開口 20流向第二開口 21的方向上的下游。盡管期望栗22設(shè)置在通路形成構(gòu)件28的通路中，但是栗22還可以設(shè)置在通路外。
[0042]當(dāng)驅(qū)動(dòng)栗22時(shí)，會(huì)從第一開口20供給(抽吸)收納在收納部15中的壓印材料。在從第一開口 20供給的壓印材料已經(jīng)穿過通路且已經(jīng)被通路中的過濾器23過濾之后，壓印材料通過第二開口21流回收納部15中。然后，再次從第一開口20供給壓印材料。即，收納部15中的壓印材料在過濾器23中循環(huán)過濾。
[0043]以這種方式，在本發(fā)明中，過濾器23布置在與收納構(gòu)件的收納部連通的通路中，而不是位于排出構(gòu)件與收納構(gòu)件的收納部之間。在不使壓印材料穿過位于排出構(gòu)件11的排出口與各能量產(chǎn)生構(gòu)件之間的區(qū)域33的情況下，從通路的第二開口21供給供給自第一開口20的壓印材料。通路形成構(gòu)件28的通路設(shè)置在與位于排出口和各能量產(chǎn)生元件之間的區(qū)域33不同的部分處。借助于該結(jié)構(gòu)，向排出構(gòu)件11良好地供給墨打印材料，并且從排出構(gòu)件11的排出口 32良好地排出該墨打印材料。在不使壓印材料穿過區(qū)域33的情況下對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾的結(jié)構(gòu)的示例不包括將區(qū)域33布置在使第一開口 20與第二開口 21彼此連接的直線上。
[0044]作為比較例示出了圖13所示的壓印材料排出裝置。盡管圖13所示的壓印材料排出裝置包括位于收納構(gòu)件的收納部15與排出構(gòu)件11之間的過濾器18，但是圖13所示的壓印材料排出裝置不具有如本發(fā)明那樣的布置有過濾器的通路。圖13所示的結(jié)構(gòu)允許在最接近排出構(gòu)件的位置處對(duì)壓印材料進(jìn)行過濾，并且過濾器介于收納構(gòu)件與排出構(gòu)件之間，使得該結(jié)構(gòu)易于制造。從這些觀點(diǎn)出發(fā)，該結(jié)構(gòu)是實(shí)用的結(jié)構(gòu)。然而，這意味著當(dāng)從收納部15向排出構(gòu)件11供給壓印材料時(shí)，壓印材料穿過過濾器18。如上所述，壓印材料排出裝置中使用的過濾器具有小的平均孔徑(即，過濾器中的小的平均開口直徑)，并且具有高的通路阻力。因此，會(huì)使壓印材料進(jìn)入排出構(gòu)件11的供給變慢，其結(jié)果是可能會(huì)影響壓印材料從排出構(gòu)件11的排出。
[0045]在本發(fā)明中，不期望將過濾器設(shè)置在收納構(gòu)件的收納部15與排出構(gòu)件11之間。即使設(shè)置有過濾器，也要求過濾器不能大幅度地影響壓印材料至排出構(gòu)件11的供給。至少要求過濾器為具有比通路中的過濾器23的通路阻力(壓力損失)小的通路阻力的過濾器，SP，要求過濾器為具有比通路中的過濾器23的平均孔徑大的平均孔徑的過濾器。
[0046]壓印材料排出裝置可以采用能夠從壓印設(shè)備中移除的盒的形式。例如，能夠設(shè)定如下狀態(tài):通過將具有盒的形式的壓印材料排出裝置安裝至壓印設(shè)備，并且通過在收納部15中的壓印材料已經(jīng)被完全消耗之后更換具有盒的形式的壓印材料排出裝置，能夠立即執(zhí)行壓印。能夠使栗22和過濾器23與作為盒的壓印材料排出裝置一體化，從而能夠在更換壓印材料排出裝置的同時(shí)更換栗22和過濾器23。該方法允許在使異物混入壓印材料排出裝置的可能性最小化的同時(shí)更換壓印材料排出裝置。在壓印材料排出裝置中，可以只有收納部15是可更換的。即，在收納部15與栗22和過濾器23分離的情況下，能夠僅更換收納部15。例如，由于不更換栗22和過濾器23，所以從成本的觀點(diǎn)出發(fā)，該方法是期望的。
[0047]圖3所示的通路形成構(gòu)件28具有管的形式。僅需要將通路形成構(gòu)件中的通路形成在收納部15的外部。例如，通路形成構(gòu)件中的通路可以為在收納構(gòu)件內(nèi)通過切削操作而形成的通路。栗22和過濾器23可以通過例如管與收納部15連接，以允許栗22和過濾器23通過例如可移除的接頭或閥分離。
[0048]可以選擇具有高粘度的材料作為壓印技術(shù)中使用的壓印材料。特別地，如果排出裝置具有盒的形式，則期望栗是小的。因此，期望將結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為通過過濾器23對(duì)壓印材料進(jìn)行有效過濾。因此，通路的開口設(shè)置在圖4所示的位置處。與圖3所示的壓印材料排出裝置相比，圖4所示的壓印材料排出裝置是這樣的:通路的在收納部中開口的兩個(gè)開口定位在對(duì)角線上。即，在圖3所示的壓印材料排出裝置中，第一開口20和第二開口21在收納部15的同一側(cè)表面中開口。相比之下，在圖4所示的壓印材料排出裝置中，第一開口 20在收納部15的側(cè)表面中開口，第二開口21在收納部15的頂表面中開口。即，第一開口20和第二開口21在收納部15的不同表面中開口。通過使第一開口 20和第二開口 21在收納部15的不同表面中開口，能夠使壓印材料在收納部15中有效率地循環(huán)。從有效率地循環(huán)的觀點(diǎn)出發(fā)，期望第一開口20和第二開口 21在收納部15的不同表面、即頂表面和側(cè)表面中開口；并且更期望第一開口
20在收納部15的側(cè)表面中開口，第二開口 21在收納部15的頂表面中開口。在本說明書中，在使壓印材料沿著通路從第一開口 20流向第二開口 21時(shí)，在收納部的表面中，重力方向上的下表面為底表面，重力方向上的上表面為頂表面，與底表面和頂表面連接的表面為側(cè)表面(如果收納部是立方體，則有四個(gè)側(cè)表面)。
[0049]特別地，如果具有高粘度的材料(液體)在其流動(dòng)時(shí)具有低的慣性力，則該材料在不被攪拌的情況下會(huì)以維持其層流的狀態(tài)流動(dòng)。因此，如由圖4中的箭頭所示的流動(dòng)，供給自第二開口 21的壓印材料在不擴(kuò)散且無任何波動(dòng)的情況下在收納部15中緩慢流動(dòng)，并且在該壓印材料中的一部分置換周圍的壓印材料的同時(shí)供給至第一開口 20。這里，如圖4所示，期望收納部15中的流動(dòng)趨向于滯留的角24是彎曲的(具有圓角形狀)。該形狀能夠抑制壓印材料在角24處滯留。
[0050]第一開口20和第二開口21可以如圖5所示地布置。即，第一開口20和第二開口21可以在收納部15的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)表面中開口。如圖5所示，如果隨著壓印材料的消耗，氣體(空氣)從與大氣連通的大氣連通口 25進(jìn)入收納部15，則期望第一開口 20和第二開口 21在收納部15的側(cè)表面中的比接近頂表面更接近底表面的部分中開口。通過以這種方式布置第一開口 20和第二開口 21，能夠在液體被消耗且收納部15中的液體即將耗盡之前對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。
[0051]如圖4和圖5所示，通過以將與排出構(gòu)件11連通的通路(S卩，收納部中的布置在與排出構(gòu)件連通的開口上方的部分)布置在第一開口 20和第二開口 21之間的方式布置第一開口20和第二開口 21，能夠有效率地置換收納部15中的壓印材料。這能夠良好地除去在收納部15內(nèi)的壓印材料中產(chǎn)生的任何異物。
[0052]為了提高壓印材料的置換效率，如目前所提及的，期望循環(huán)并排出壓印材料。更具體地，如圖6A所示，在壓印材料在收納部15中循環(huán)的同時(shí)，使壓印材料朝向區(qū)域33流動(dòng)并從排出口 32排出。由于通過排出操作使壓印材料從收納部15朝向排出構(gòu)件11向下流動(dòng)，所以當(dāng)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)，壓印材料在收納部15中的流動(dòng)變成通過位于收納部15與排出構(gòu)件11之間的連通口附近的流動(dòng)。此外，當(dāng)被循環(huán)過濾的壓印材料在收納部15中滯留時(shí)，能夠通過排出操作來改變壓印材料的流動(dòng)，從而能夠消除壓印材料的滯留。結(jié)果，能夠提高向區(qū)域33供給的壓印材料的置換效率。
[0053]為了排出上述壓印材料，例如，如圖6B所示，當(dāng)執(zhí)行排出操作時(shí)，作為壓力調(diào)整單元的壓力控制構(gòu)件13通過連通部17對(duì)收納構(gòu)件12中的填充液體部16的內(nèi)部施加壓力。當(dāng)壓力控制構(gòu)件13對(duì)填充液體部16的內(nèi)部施加壓力時(shí)，壓力也會(huì)通過分離膜14施向收納壓印材料的收納部15的內(nèi)部。結(jié)果，使收納部15中的壓印材料穿過布置在收納部15與排出構(gòu)件11之間的連通口、流入排出構(gòu)件11的區(qū)域33并從排出口32排出。可以基于如下的供給量和供給流量中的至少一者來確定從排出口 32排出的壓印材料的量(排出量):當(dāng)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)，從第一開口 20向第二開口 21供給的壓印材料的供給量和供給流量。即，可以基于當(dāng)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)從第一開口 20向第二開口 21供給的壓印材料的供給量和供給流量中的至少一者，通過壓力調(diào)節(jié)單元來調(diào)節(jié)壓力。因此，通過進(jìn)行試驗(yàn)等來預(yù)先獲得關(guān)于排出量的信息，使得根據(jù)收納部15中的壓印材料的剩余量以及對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)的供給流量和供給時(shí)間，使收納部15中的壓印材料的置換效率最大化?；谒@得的信息，確定排出量。在確定排出量時(shí)，還確定對(duì)收納部15的內(nèi)部施加的壓力施加時(shí)間和壓力值。
[0054]替代通過壓力控制構(gòu)件13排出收納部15中的壓印材料，如圖7所示，能夠通過作為從排出口 32抽吸壓印材料的抽吸單元的抽吸控制構(gòu)件34來排出壓印材料。例如，抽吸控制構(gòu)件34包括抽吸部、配管、壓力傳感器、閥和負(fù)壓發(fā)生部。抽吸控制構(gòu)件34的抽吸部在排出操作期間布置在排出口 32下方，負(fù)壓發(fā)生部通過抽吸部35以使比排出口 32的彎液面的頂部低的部分具有負(fù)壓的方式調(diào)節(jié)壓力，并且排出壓印材料。當(dāng)通過抽吸控制構(gòu)件34排出壓印材料時(shí)，可以基于如下的供給量和供給流量中的至少一者來確定壓印材料的抽吸量或抽吸流量:當(dāng)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)，從第一開口 20向第二開口 21供給的壓印材料的供給量和供給流量。因此，通過進(jìn)行試驗(yàn)等來預(yù)先獲得關(guān)于排出量的信息，使得根據(jù)收納部15中的壓印材料的剩余量以及對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)的供給流量和供給時(shí)間，使收納部15中的壓印材料的置換效率最大化?；谒@得的信息，確定排出量。在確定排出量時(shí)，還確定抽吸時(shí)間和抽吸部處的壓力值。
[0055]替代通過壓力控制構(gòu)件13或抽吸控制構(gòu)件34排出壓印材料，能夠通過使用排出構(gòu)件11的能量產(chǎn)生元件29來從排出口32排出壓印材料。即，通過產(chǎn)生自能量產(chǎn)生元件29的能量，能夠排出區(qū)域33中的壓印材料，并且能夠置換區(qū)域33和收納部15中的壓印材料。
[0056]能夠根據(jù)排出狀態(tài)設(shè)定各種排出時(shí)刻?？梢栽趯?duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾的同時(shí)排出壓印材料，或者可以在已經(jīng)對(duì)壓印材料進(jìn)行了循環(huán)過濾一段特定時(shí)間之后對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾并排出該壓印材料?？蛇x地，可以在預(yù)先排出用于置換存在于區(qū)域33中的壓印材料所需的壓印材料的量之后，對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。
[0057]當(dāng)液體排出口中存在氣泡時(shí)，由于氣泡可能導(dǎo)致壓印材料被不穩(wěn)定地排出，所以可以執(zhí)行用于除去排出口中的氣泡的除去操作。為了高效地使用壓印材料，可以在用于除去氣泡的除去操作期間對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。這能夠使用已經(jīng)被過濾的過濾壓印材料有效率地置換區(qū)域33處的壓印材料，從而能夠向基板穩(wěn)定地排出具有少量異物和少數(shù)金屬離子的壓印材料。
[0058]圖8A和圖SB示出了壓印材料排出裝置的在壓印材料消耗之前和之后的狀態(tài)。圖8A示出了壓印材料消耗之前的狀態(tài)；圖SB示出了壓印材料消耗之后的狀態(tài)。如上所述，分離膜14將收納構(gòu)件12的內(nèi)部分成壓印材料收納部15和填充液體部16。隨著壓印材料的消耗，分離膜14變形，并且收納部15的容積減小。為了即使在分離膜14發(fā)生了移動(dòng)時(shí)也允許通過栗22和過濾器23對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾，期望即使在收納部15中也遠(yuǎn)離填充液體部16地布置第一開口 20和第二開口 21 (S卩，將第一開口 20和第二開口 21布置在比接近圖8A中的右側(cè)表面更接近左側(cè)表面的一側(cè))。
[0059]收納部15中可能存在空氣。例如，如圖5所示，可以將空氣有意地引入收納部15?？蛇x地，如圖4所示，盡管未向收納部15積極地引入空氣，但是當(dāng)將壓印材料密封在收納部15中時(shí)，可能會(huì)混入空氣，或者溶解在壓印材料中的氣體可能會(huì)形成氣泡。當(dāng)壓印材料中存在的空氣被送至栗22和過濾器23時(shí)，可能會(huì)例如堵塞栗22和過濾器23。因此，為了使通過第一開口 20抽吸的空氣最小化，期望當(dāng)從第一開口 20供給壓印材料時(shí)，將第一開口 20布置成在收納部的重力方向上的下側(cè)開口。即，期望第一開口20在位于第二開口 21的重力方向上的下方的位置處開口。另外，期望第一開口 20在收納部15的側(cè)表面上的比接近頂表面更接近底表面的位置處開口。
[0060]歸因于浮力，壓印材料中的空氣(氣泡)在收納部15中會(huì)朝向頂表面移動(dòng)、即沿重力方向向上移動(dòng)。因此，如圖9所示，期望在收納部15的作為重力方向上的上表面的頂表面設(shè)置作為用于捕獲空氣的凹部的捕獲空間26。由于即使因?qū)κ占{部15中的壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾而存在平緩流動(dòng)，空氣也會(huì)在捕獲空間26中積聚，從而能夠使空氣與壓印材料彼此良好地分離。
[0061]與捕獲空間26—樣，收納部15中也存在氣-液界面。當(dāng)氣-液界面接近第二開口21時(shí)，壓印材料可能產(chǎn)生氣泡，或者空氣可能混入壓印材料。因此，期望第二開口 21在位于收納部15的頂表面的重力方向上的下方且在重力方向上位于氣-液界面下方的位置處開口，以向收納部15供給壓印材料。因此，第二開口 21可以具有從收納部15的頂表面突出的凸形狀，或者第二開口 21可以與管連接，該管的端被引至位于氣-液界面下方的位置。
[0062]可以將通路形成為通過排出構(gòu)件11。該結(jié)構(gòu)示出在圖12中。在這種情況下，通路從第一開口 20通過排出構(gòu)件11的內(nèi)部延伸至第二開口 21。然而，供壓印材料穿過的區(qū)域33不設(shè)置在通路中。即，向收納部供給從第一開口 20供給到通路中、而未穿過區(qū)域33的壓印材料。
[0063]在圖12所示的形式中，由于第一開口接近區(qū)域33地開口，所以這種形式的設(shè)計(jì)需要考慮壓印材料的排出和通過過濾器對(duì)壓印材料的過濾兩者。
[0064]圖14中示出了如下示例:從第一開口20通過區(qū)域33供給到通路中的壓印材料從第二開口 21供給至收納部。在該結(jié)構(gòu)中，難以實(shí)現(xiàn)壓印材料的良好排出和通過過濾器對(duì)壓印材料進(jìn)行良好的過濾兩者。
[0065]接下來，說明用壓印材料初次填充壓印材料排出裝置的收納部15的方法。如圖10所示，兩個(gè)壓印材料填充口 27設(shè)置在收納部15的側(cè)表面，當(dāng)用壓印材料填充收納部15時(shí)，該偵婊面、即填充口 27沿重力方向面朝上。從兩個(gè)填充口 27中的一個(gè)填充口供給壓印材料，從兩個(gè)填充口 27中的另一個(gè)填充口排出空氣。當(dāng)用壓印材料填充收納部15時(shí)，栗22的內(nèi)部通路、過濾器23的內(nèi)部通路等也填充有壓印材料，從而不大可能使空氣殘留在收納部15中。因此，當(dāng)待要用壓印材料填充收納部15時(shí)，期望驅(qū)動(dòng)栗22。當(dāng)栗22被驅(qū)動(dòng)時(shí)，最初存在于栗22的內(nèi)部通路、過濾器23的內(nèi)部通路等的空氣會(huì)被壓印材料置換，并從第二開口21排出。由于空氣從最近的填充口27排出，所以能夠在壓印材料不產(chǎn)生氣泡的情況下超出必要程度地填充收納部15和包括過濾器23在內(nèi)的通路。
[0066]不僅可以在初始階段用壓印材料填充收納部，而且在壓印設(shè)備的使用期間也可以。例如，在從填充口27用壓印材料填充收納部15的同時(shí)，可以使用壓印設(shè)備。
[0067]從過濾器23的結(jié)構(gòu)的觀點(diǎn)出發(fā)，空氣趨向于殘留在過濾器23的內(nèi)部。通過沿重力方向向上地用壓印材料填充過濾器23，能夠減少殘留在過濾器23中的空氣的量。例如，如圖10所示，當(dāng)用壓印材料填充過濾器23時(shí)，期望將過濾器23的上游側(cè)布置在重力方向上的下偵U，將過濾器23的下游側(cè)布置在重力方向上的上側(cè)。在過濾器23被以這種方式布置的情況下，期望將填充口 27中的一個(gè)布置在重力方向上的上側(cè)，以更容易地從收納部15排出空氣。此外，期望將第一開口 20布置在重力方向上的下側(cè)，以更容易用壓印材料填充過濾器23。
[0068]當(dāng)過濾器23為具有過大平均孔徑的過濾器時(shí)，難以充分地除去壓印材料中的異物。因此，期望地，過濾器23為具有小于或等于1nm的平均孔徑的過濾器，并且更期望地，過濾器23為具有小于或等于5nm的平均孔徑的過濾器。相比之下，當(dāng)過濾器23為具有過小平均孔徑的過濾器時(shí)，會(huì)因過濾器處的壓力損失而難以使壓印材料在通路中循環(huán)。因此，期望過濾器23為具有大于或等于2nm的平均孔徑的過濾器。
[0069]當(dāng)存在于壓印材料中的異物的量大時(shí)，過濾器可能會(huì)在短時(shí)間內(nèi)被堵塞。因此，還期望過濾器23具有多段過濾器結(jié)構(gòu)，其中，作為預(yù)過濾器的除去大異物的過濾器布置在循環(huán)方向上的上游側(cè)，除去小異物的過濾器布置在循環(huán)方向上的下游側(cè)。例如，除去大異物的過濾器為具有50nm至200nm范圍的平均孔徑的過濾器。例如，除去小異物的過濾器為具有2nm至I Onm范圍的平均孔徑的過濾器。
[0070]期望過濾器23為膜型或中空纖維膜型。這些過濾器均包括位于膜中的多個(gè)微細(xì)孔，通過該微細(xì)孔過濾異物，并且該微細(xì)孔不允許具有大于或等于孔徑的尺寸的異物穿過。制造過濾器的材料的示例包括聚乙烯、氟樹脂和尼龍。要求存在于壓印材料中的金屬的量非常小。因此，期望使用吸收金屬并執(zhí)行離子交換的過濾器。期望串聯(lián)或平行地布置多個(gè)這種過濾器。
[0071]例如，可以將隔膜栗、注射栗、管栗或齒輪栗用作栗22。期望栗22的送液流量(feeding flow rate)小于或等于100mL/min。當(dāng)流量增大時(shí)，用于使壓印材料穿過過濾器的通路阻力(壓力損失)也增大。因此，栗需要為高輸出栗(high-output pump)。因此，通過使用具有小于或等于20mL/min的送液流量的栗，能夠減小栗的尺寸。
[0072]當(dāng)壓印材料的壓力變化(脈動(dòng))因栗的驅(qū)動(dòng)而大時(shí)，壓印材料趨向于從排出構(gòu)件泄漏。因此，期望將壓力變化抑制至不允許排出口處的彎液面破裂的量。例如，期望以壓力變化在土 300Pa內(nèi)的方式驅(qū)動(dòng)栗。
[0073]為了操作栗22，壓印材料排出裝置包括控制器。由于以維持一定的流量以供應(yīng)液體的方式執(zhí)行控制，所以當(dāng)過濾器23被堵塞并且通路阻力增大時(shí)，驅(qū)動(dòng)電壓也會(huì)增大。因此，當(dāng)在控制器處始終監(jiān)測(cè)栗的驅(qū)動(dòng)電壓并且驅(qū)動(dòng)電壓超出一定值時(shí)，能夠向壓印設(shè)備發(fā)出催促用戶更換過濾器的警告。當(dāng)過濾器23與具有盒的形式的壓印材料排出裝置一體化時(shí)，用戶通過更換壓印材料排出裝置能夠立即使用壓印設(shè)備。為了檢測(cè)栗22和過濾器23中的所有異常，可以設(shè)置監(jiān)測(cè)栗22和過濾器23的狀態(tài)的傳感器，或者可以在配管中形成例如壓力傳感器或流量傳感器。
[0074]要求壓印材料排出裝置向基板上的非常精確的著落位置處排出非常精確的量的壓印材料。因此，需要穩(wěn)定地維持排出構(gòu)件的排出口處的彎液面的形狀。在壓印材料排出裝置中，壓印材料的壓力可以因栗22的驅(qū)動(dòng)而變化。因此，期望在從壓印材料排出裝置排出壓印材料時(shí)停止栗22的驅(qū)動(dòng)。
[0075]在壓印步驟中，通過重復(fù)如下步驟來在基板的各區(qū)域上形成圖案:向基板排出壓印材料、使模具與壓印材料接觸、曝光以及分離模具。因此，期望在除了向基板排出壓印材料以外的時(shí)刻在收納部15處對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾的時(shí)刻可以為更換基板的時(shí)刻或更換大部分部件的時(shí)刻。
[0076]可以在收納部15中的諸如顆粒和凝膠等的異物的量增大時(shí)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。因此，可以在不操作設(shè)備時(shí)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。能夠在實(shí)施壓印步驟時(shí)停止栗22，并且能夠在設(shè)備維護(hù)期間或在不存在待要被執(zhí)行壓印操作的基板的期間對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。能夠提供具有定時(shí)功能的壓印設(shè)備或排出裝置，并且在已經(jīng)經(jīng)過一定時(shí)間時(shí)對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。還能夠基于來自壓印設(shè)備或排出裝置的程序指令來控制栗22，或者能夠執(zhí)行栗22由用戶驅(qū)動(dòng)的方法。
[0077]圖11示出了包括用于使收納部移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)30的壓印設(shè)備。通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)30，收納構(gòu)件12能夠在排出壓印材料的位置與執(zhí)行維護(hù)的位置之間移動(dòng)。期望在執(zhí)行維護(hù)的位置處布置接收已經(jīng)從排出構(gòu)件11中出來的壓印材料的接收皿31。
[0078]當(dāng)通過使用移動(dòng)機(jī)構(gòu)30將收納構(gòu)件12移至執(zhí)行維護(hù)的位置來對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾時(shí)，即使壓印材料已經(jīng)因大的壓力變化而從排出構(gòu)件11泄漏，也能夠通過接收皿31接收壓印材料。例如當(dāng)有人想要通過提高栗22的輸出來因增大了循環(huán)過濾流量而快速結(jié)束對(duì)壓印材料的循環(huán)過濾，以將處理返回至壓印步驟時(shí)，這是有效的。
[0079]可以根據(jù)如下因素來確定對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾的時(shí)刻:例如，從開始使用壓印設(shè)備的壓印材料排出裝置起已經(jīng)經(jīng)過的時(shí)間、壓印材料的使用量、從上回對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾起已經(jīng)經(jīng)過的時(shí)間以及壓印材料排出裝置的存儲(chǔ)環(huán)境歷史(storageenvironment history)。由于凝膠化程度根據(jù)環(huán)境和壓印材料的類型的不同而不同，所以可以基于壓印材料的類型來確定凝膠化程度。
[0080]當(dāng)壓印材料的剩余量減少時(shí)，可以減少被循環(huán)過濾的壓印材料的量，或者可以根據(jù)收納部中的壓印材料的剩余量改變諸如循環(huán)過濾時(shí)刻和流量等的條件。
[0081 ]可以間斷地操作栗22。當(dāng)栗22始終在低的流量下被控制驅(qū)動(dòng)時(shí)，能夠抑制壓力變化。當(dāng)將隔膜栗用作栗22時(shí)，通過減小隔膜的振動(dòng)幅度，能夠抑制壓力變化，并且能夠始終對(duì)壓印材料進(jìn)行循環(huán)過濾。
[0082]雖然已經(jīng)參照示例性實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于所公開的示例性實(shí)施方式。權(quán)利要求書的范圍應(yīng)符合最寬泛的解釋，以包含所有的這些變型、等同結(jié)構(gòu)和功能。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓印材料排出裝置，其向基板排出壓印材料，通過使模具與所述壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印材料排出裝置包括: 收納構(gòu)件，其包括收納所述壓印材料的收納部； 通路，其與所述收納部連接；以及 排出構(gòu)件，其包括用于排出所述壓印材料的排出口、產(chǎn)生用于從所述排出口排出所述壓印材料的能量的能量產(chǎn)生元件和布置在所述能量產(chǎn)生元件與所述排出口之間的區(qū)域， 其特征在于，所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將收納在所述收納部中的壓印材料供給到所述通路中并在所述收納部中開口，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料并在所述收納部中開口，并且 所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對(duì)所述壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器，從所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給到所述通路中、而未穿過所述區(qū)域的所述壓印材料。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述過濾器不布置在所述收納部與所述排出構(gòu)件之間。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述能量產(chǎn)生元件為壓電元件。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述收納構(gòu)件包括分離膜，所述分離膜使所述收納部與填充有填充液體的填充液體部分離。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓印材料排出裝置，其中，通過控制填充所述填充液體部的所述填充液體的壓力來控制所述收納部中的壓印材料的壓力。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，設(shè)置在所述第一開口和所述第二開口之間的所述通路中布置有栗。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印材料排出裝置，其中，當(dāng)從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時(shí)，所述栗布置在所述過濾器的上游。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述區(qū)域不位于使所述第一開口與所述第二開口彼此連接的直線上。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述過濾器具有小于或等于1nm的平均孔徑。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當(dāng)從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時(shí)，在所述收納部的表面之中，重力方向上的下表面為底表面，重力方向上的上表面為頂表面，與所述底表面和所述頂表面連接的表面為側(cè)表面，并且所述第一開口和所述第二開口在所述收納部的同一表面中開口。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當(dāng)從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時(shí)，在所述收納部的表面之中，重力方向上的下表面為底表面，重力方向上的上表面為頂表面，與所述底表面和所述頂表面連接的表面為側(cè)表面，并且所述第一開口和所述第二開口在所述收納部的不同表面中開口。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口和所述第二開口在所述側(cè)表面之中的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)表面中開口。13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口在所述側(cè)表面之中的一個(gè)側(cè)表面中開口，所述第二開口在所述收納部的頂表面中開口。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口和所述第二開口在所述側(cè)表面的比接近所述頂表面更接近所述底表面的部分中開口。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述收納部經(jīng)由大氣連通口與大氣連通。16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓印材料排出裝置，其中，所述頂表面設(shè)置有捕獲空氣的凹部。17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當(dāng)從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時(shí)，所述收納部中的壓印材料從所述排出口排出。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的壓印材料排出裝置，其中，所述壓印材料排出裝置還包括被構(gòu)造成調(diào)節(jié)所述收納部中的壓力的壓力調(diào)節(jié)單元，所述壓力調(diào)節(jié)單元使所述收納部中的壓印材料從所述排出口排出。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的壓印材料排出裝置，其中，所述壓力調(diào)節(jié)單元基于從所述第一開口向所述第二開口供給的所述壓印材料的供給量和供給流量中的至少一者來調(diào)節(jié)壓力。20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的壓印材料排出裝置，其中，所述壓印材料排出裝置還包括被構(gòu)造成從所述排出口抽吸所述壓印材料的抽吸單元，當(dāng)從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時(shí)，所述抽吸單元抽吸所述收納部中的壓印材料并使所述壓印材料從所述排出口排出。21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的壓印材料排出裝置，其中，所述抽吸單元基于從所述第一開口向所述第二開口供給的所述壓印材料的供給量和供給流量中的至少一者來確定所述壓印材料的抽吸量或抽吸流量。22.—種壓印材料排出裝置，其向基板排出壓印材料，通過使模具與所述壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印材料排出裝置包括: 收納構(gòu)件，其包括收納所述壓印材料的收納部； 通路，其與所述收納部連接；以及 排出構(gòu)件，其包括用于排出所述壓印材料的排出口、產(chǎn)生用于從所述排出口排出所述壓印材料的能量的能量產(chǎn)生元件和布置在所述能量產(chǎn)生元件與所述排出口之間的區(qū)域，其特征在于，所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將收納在所述收納部中的壓印材料供給到所述通路中并在所述收納部中開口，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料并在所述收納部中開口，并且 所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對(duì)所述壓印材料進(jìn)行過濾的過濾器，并且 所述通路設(shè)置在與所述區(qū)域不同的部分處。23.—種壓印設(shè)備，其通過使模具與基板上的壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印設(shè)備的特征在于包括: 作為向所述基板排出所述壓印材料的壓印材料排出裝置的根據(jù)權(quán)利要求1-22中任一項(xiàng)所述的壓印材料排出裝置。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的壓印設(shè)備，其中，所述壓印設(shè)備還包括光照射裝置，所述光照射裝置通過利用光照射所述壓印材料來使所述壓印材料固化，所述壓印材料為光固化型樹脂。25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的壓印設(shè)備，其中，所述壓印材料排出裝置為能夠從所述壓印設(shè)備中移除的盒的形式。
【文檔編號(hào)】B41J2/175GK106042650SQ201610197474
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年3月31日 公開號(hào)201610197474.9, CN 106042650 A, CN 106042650A, CN 201610197474, CN-A-106042650, CN106042650 A, CN106042650A, CN201610197474, CN201610197474.9
【發(fā)明人】新井剛, 三田裕, 高橋祐一, 荒木義雅, 石橋達(dá)
【申請(qǐng)人】佳能株式會(huì)社