鈦、二氧化鈰的各微粒分散液，利用交替層疊法對(duì)具有 與微粒的表面電荷相反電荷的高分子電解質(zhì)進(jìn)行層疊的方法（Langmuir，Vol. 13，（1997) P6195-6203)。
[0124] 首先，利用具有氣基的硫醇系化合物（具有疏基、硫釀基或^硫基中的任一種的 化合物）對(duì)金表面進(jìn)行處理。具體而言，有2-氨基乙硫醇、半胱氨酸、4-氨基苯硫醇等，優(yōu) 選2-氨基乙硫醇。
[0125] 生物相容性的高分子有聚乙二醇等、聚甲基丙烯酸-2-羥基乙酯等，并無特別限 定。為了賦予與氨基的化學(xué)鍵合性，還可以使丙烯酸、甲基丙烯酸共聚在聚合物上。
[0126] 這些高分子因種類不同無法一概而論，一般來說優(yōu)選500~1，000, 000左右、更優(yōu) 選是5, 000~200, 000的范圍。其中，溶液中的高分子電解質(zhì)的濃度一般來說優(yōu)選0. 01~ 10% (重量）左右。另外，高分子電解質(zhì)溶液的pH并無特別限定。
[0127] 另外，可以通過調(diào)整高分子電解質(zhì)薄膜的種類、分子量、濃度來控制被覆率。
[0128] 實(shí)施例
[0129](實(shí)施例1)
[0130] 將感光性樹脂組合物（PH0TECRD-1225:厚度為25ym、日立化成株式會(huì)社制）層 疊在250mm見方的基板（MCL-E679F:在MCL的表面貼有可剝離銅箱的基板、日立化成株式 會(huì)社制）的單面上。在乳輥溫度為90°(：、壓力為0.310^、傳送機(jī)速度為2.〇111/分鐘的層疊 條件下進(jìn)行。
[0131] 接著，將光的透過部形狀為圓角長(zhǎng)方形、尺寸為7. 8X30ym、其間距在短軸及長(zhǎng)軸 方向上均為60ym的玻璃掩模靜置在基板的光致抗蝕劑層疊面上。本實(shí)施例中，使用朝向 同一方向的圓角長(zhǎng)方形在長(zhǎng)軸及短軸方向均以一定的間距排列的玻璃掩模。
[0132] 接著，在600mmHg以下的真空下，從放置有玻璃掩模的基板上部利用紫外線照射 裝置照射曝光量為30mJ/cm2的紫外線。
[0133] 接著，利用1. 0%碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影，在基板上形成長(zhǎng)方形的光致抗蝕劑垂直 地豎起的抗蝕劑層。對(duì)該帶有抗蝕劑的基板的銅露出部分，在按照PH達(dá)到4. 5的方式進(jìn)行 了調(diào)整的鎳鍍覆液中、在溫度為55°C下進(jìn)行約20ym的鍍覆約20分鐘。將鎳鍍覆液的組成 示于表Io
[0134]表1
[0135]
[0136] 接著，隨基板的可剝離銅箱一起將所得鍍鎳層剝離，在40°C的溫度下，通過利用攪 拌處理中的藥液進(jìn)行化學(xué)溶解（MECBrightSF-5420B、MEC株式會(huì)社），將該可剝離銅箱除 去約120分鐘，從而將成為金屬過濾器的自支撐膜（20mmX20mm)取出。
[0137] 最后，在60°C的溫度下利用超聲波處理下的抗蝕劑剝離（P3Poleve、Henkel)將殘 留在自支撐膜內(nèi)的光致抗蝕劑除去約40分鐘，制作具有微細(xì)貫通孔的金屬過濾器。
[0138]由此，沒有皺褶、折痕、傷痕、卷曲等損傷地制作具有充分精度的貫通孔的金屬過 濾器。
[0139] 接著，在酸性脫脂液Z-200(WorldMetal制：商品名）中浸漬金屬過濾器，進(jìn)行金 屬過濾器上的有機(jī)物的除去（40°C、3分鐘）。
[0140] 水洗后，通過從非氰化物系的化學(xué)鍍金的HGS_100(日立化成株式會(huì)社制、商品 名）中除去了作為金供給源的亞硫酸金的溶液，在80°C、10分鐘的條件下進(jìn)行置換鍍金前 處理。
[0141] 接著，在80°C下浸漬到作為非氰化物系的置換型化學(xué)鍍金的HGS-100(日立化成 株式會(huì)社制、商品名）中20分鐘，進(jìn)行置換鍍金。置換鍍金的厚度為0.05ym。
[0142] 在水洗后，在65°C下浸漬到作為非氰化物系還原型化學(xué)鍍金的HGS-5400(日立化 成株式會(huì)社制、商品名）中10分鐘，進(jìn)行鍍金，進(jìn)行水洗后干燥。鍍金的總厚度為0.2ym。
[0143] 將2-氨基乙硫醇Smmol溶解在甲醇200ml中，制作反應(yīng)液。接著，將鍍金后的金 屬過濾器添加在上述反應(yīng)液中，在室溫下使其反應(yīng)2小時(shí)。
[0144] 在分子量為10萬的聚乙二醇0. 3wt%水溶液中浸漬具有上述氨基的金屬過濾器， 制作表面具有生物相容性高分子的鍍金過濾器。
[0145](實(shí)施例2)
[0146] 除了代替電鍍鎳使用電鍍銀以外，與實(shí)施例1同樣地制作在表面具有生物相 容性高分子的鍍金過濾器。銀鍍覆液使用Shiruburekkusu400(日本ELECTROPLATING ENGINEERS株式會(huì)社：商品名）。在鍍覆溫度為25°C、電流密度為I. 5A/dm2的條件下進(jìn)行鍍 覆，按照在約Iym/分鐘的條件下達(dá)到約20ym的方式進(jìn)行電鍍，除此之外，在與實(shí)施例1 同樣的條件下進(jìn)行鍍覆。
[0147](實(shí)施例3)
[0148] 除了代替電鍍鎳使用電鍍鈀以外，與實(shí)施例1同樣地制作在表面具有生物相容性 高分子的鍍金過濾器。鈀電鍍液使用PARADIXLF-5(日本ELECTROPLATINGENGINEERS株 式會(huì)社：商品名）。在鍍覆溫度為50°C、電流密度為lA/dm2的條件下進(jìn)行鍍覆，在約4. 2分 鐘/ym的條件下按照達(dá)到約20ym的方式進(jìn)行電鍍，除此之外，在與實(shí)施例1同樣的條件 下進(jìn)行鍍覆。
[0149](實(shí)施例4)
[0150] 代替MCL的可剝離銅箱使用可剝離鎳箱（電鍍后將鎳箱除去）。此外，除了代替 電鍍鎳使用電鍍銅之外，與實(shí)施例1同樣地制作在表面具有生物相容性高分子的鍍金過濾 器。銅電鍍液使用MICROFABCu200(日本ELECTROPLATINGENGINEERS株式會(huì)社：商品名）。 在鍍覆溫度為25°C、電流密度為3A/dm2的條件下進(jìn)行鍍覆，在約1. 5分鐘/ym的條件下按 照達(dá)到約20ym的方式進(jìn)行電鍍，除此之外，在與實(shí)施例1同樣的條件下進(jìn)行鍍覆。
[0151](實(shí)施例5)
[0152] 除了在置換鍍金后不進(jìn)行還原鍍金之外，與實(shí)施例1同樣地制作表面具有生物相 容性高分子的鍍金過濾器。其中，鍍金厚度為〇. 05ym。
[0153](實(shí)施例6)
[0154] 除了在置換鍍金后進(jìn)行還原鍍金而不進(jìn)行表面處理之外，與實(shí)施例1同樣地制作 鍍金過濾器。
[0155](實(shí)施例7)
[0156] 除了置換金工序以外，與實(shí)施例1同樣地制作表面具有生物相容性高分子的鍍金 過濾器。
[0157] 置換金工序：在酸性脫脂液Z-200(WorldMetal制：商品名）中浸漬金屬過濾器， 進(jìn)行金屬過濾器上的有機(jī)物的除去（40°C、3分鐘）。水洗后，利用從作為非氰化物系的化 學(xué)鍍金的HGS-500(日立化成株式會(huì)社制、商品名）中除去了作為金供給源的亞硫酸金的溶 液，在80°C、10分鐘的條件下進(jìn)行置換鍍金前處理。在80°C下浸漬到作為氰化物系置換型 化學(xué)鍍金的HGS-500(日立化成株式會(huì)社制、商品名）中20分鐘，進(jìn)行置換鍍金。置換鍍金 的厚度為0.05ym。
[0158](比較例1)
[0159] 除了不進(jìn)行鍍金之外，與實(shí)施例1同樣地制作表面具有生物相容性高分子的過濾 器。
[0160](實(shí)驗(yàn)）
[0161](小細(xì)胞癌細(xì)胞株的制備）
[0162] 在含有10%胎牛血清（FBS)的RPMI-1640培養(yǎng)基中、在37°C、5%CO2條件下對(duì)小 細(xì)胞癌細(xì)胞株NCI-H358細(xì)胞進(jìn)行靜置培養(yǎng)。通過胰酶處理將細(xì)胞從培養(yǎng)皿上剝離進(jìn)行回 收，使用磷酸緩沖液（Phosphatebufferedsaline、PBS)洗滌之后，在IOyMCellTracker RedCMTPX(lifetechnologiesJapan株式會(huì)社）中、37°C下靜置30分鐘，由此對(duì)NCI-H358 細(xì)胞進(jìn)行染色。之后，使用PBS進(jìn)行洗滌，通過胰酶處理在37°C下靜置3分鐘，由此將細(xì) 胞塊分散。之后，使用培養(yǎng)基停止胰酶處理，用PBS進(jìn)行洗滌之后，懸浮在含有2mMEDTA 及0.5%胎牛血清白蛋白（BSA)的PBS(以下稱作2mMEDTA-0.5%BSA-PBS)中。其中， PBS使用磷酸緩沖生理鹽水，和光純藥工業(yè)制、產(chǎn)品代碼166-23555。EDTA使用2Na(乙二 胺-N，N，N'，N' -四乙酸二鈉鹽二水合物）（和光純藥工業(yè)制、產(chǎn)品代碼345-01865)。
[0163](血液樣品中的CTC的濃縮）
[0164] 使用安裝有實(shí)施例或比較例的過濾器的CTC回收裝置：CTCSEPARATOR(日立化成 株式會(huì)社制、臨時(shí)商品名）進(jìn)行實(shí)