蝕劑覆蓋的部分進(jìn)行鍍覆。該鍍覆部分變成 過濾器的材質(zhì)。作為光致抗蝕劑的感光性樹脂組合物，優(yōu)選負(fù)型感光性樹脂組合物。負(fù)型 感光性樹脂組合物優(yōu)選至少含有粘合劑樹脂、具有不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合引 發(fā)劑。
[0059] 過濾器的材質(zhì)是金屬。作為金屬的主成分，優(yōu)選鎳、銀、鈀及銅中的任一種或它們 的合金。以上的金屬能夠進(jìn)行電鍍。
[0060] 作為電解鎳鍍覆，可舉出瓦特鍍覆?。蛩徭嚒⒙然?、硼酸為主成分）、氨基磺酸 浴（氨基磺酸鎳、硼酸為主成分）、沖擊鍍?cè)。然?、氯化氫為主成分）等?br>[0061] 作為電解銀鍍覆，可舉出以氰化銀鉀、酒石酸鉀為主成分的浴。
[0062] 作為電解鈀鍍覆，可舉出由水溶性鈀鹽和萘磺酸化合物構(gòu)成的浴。
[0063] 作為電解銅鍍覆，可舉出以硫酸銅和硫酸、氯化物離子為主成分的浴。
[0064] 使用這些鍍覆浴，進(jìn)行電解電鍍。電解電鍍時(shí)的電流密度可以是0.3~4A/dm2的 范圍、更優(yōu)選為〇. 5~3A/dm2的范圍。通過使電流密度為4A/dm2以下，可以抑制毛面（rough surface)的發(fā)生，通過使電流密度為0. 3A/dm2以上，由于金屬的結(jié)晶粒充分地生長、作為阻 擋層的效果提高，因此良好地獲得本實(shí)施方式的效果。
[0065] 進(jìn)行鍍覆時(shí)的抗蝕劑的位置成為貫通孔的位置。作為貫通孔的開口形狀，可以示 例圓、橢圓、正方形、長方形、圓角長方形、多邊形等。從可以高效地捕獲作為對(duì)象的成分的 觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選是圓、長方形或圓角長方形。另外，從防止過濾器堵塞的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選 是圓角長方形。
[0066] 根據(jù)成為捕獲對(duì)象的成分的尺寸設(shè)定孔徑。本說明書中，開口形狀為橢圓、長方 形、多邊形等除圓形以外形狀的孔徑是指可以通過各個(gè)貫通孔的球的直徑的最大值。貫通 孔的孔徑例如開口形狀為長方形時(shí)，則為該長方形的短邊長度，當(dāng)開口形狀為多邊形時(shí)，則 為該多邊形的內(nèi)切圓的直徑。開口形狀為長方形或圓角長方形時(shí)，即便是成為捕獲對(duì)象的 成分被貫通孔捕獲的狀態(tài)，在開口部中也可在開口形狀的長邊方向上形成間隙。通過該間 隙，液體能夠通過，因此可以防止過濾器的堵塞。金屬過濾器的短邊長度優(yōu)選為5~15ym、 更優(yōu)選為7~9ym。
[0067] 金屬過濾器的貫通孔的平均開口率優(yōu)選為5~50%、更優(yōu)選為10~40%、特別優(yōu) 選為10~30%。這里，開口率是指貫通孔占過濾器整體面積的面積比例。平均開口率從 防止堵塞的觀點(diǎn)出發(fā)，越大越優(yōu)選，當(dāng)超過50%時(shí)，有過濾器的強(qiáng)度降低、加工變難的情況。 另外，當(dāng)小于5%時(shí)，由于易于發(fā)生堵塞，因此有過濾器的濃縮性能降低的情況。
[0068] 金屬過濾器的厚度優(yōu)選為3~50ym、更優(yōu)選為5~40ym、特別優(yōu)選為5~30ym。 過濾器的膜厚小于3ym時(shí)，有過濾器的強(qiáng)度降低、處理性變難的情況。相反，超過50ym時(shí)， 有由于加工時(shí)間變長所導(dǎo)致的生產(chǎn)率下降、超過必要的材料消耗所導(dǎo)致的成本上的不利、 微細(xì)加工本身變難的可能。
[0069] 在以上的電路形成后，通過將樹脂層剝離、對(duì)銅箱進(jìn)行刻蝕，完成金屬過濾器（圖 I(H)或圖 2(G))。
[0070] 接著，利用強(qiáng)堿將殘留在過濾器中的抗蝕劑除去。作為強(qiáng)堿，優(yōu)選0. 1~10wt%的 NaOH或KOH水溶液。為了促進(jìn)剝離，還可添加單乙醇胺（1~20vo1 % )等。剝離困難時(shí)， 也可利用在過錳酸鈉、過錳酸鉀等中添加有堿（〇. 1~l〇wt%的NaOH或K0H)的溶液將抗蝕 劑除去。
[0071] 也可對(duì)除去了抗蝕劑的過濾器進(jìn)行鍍金。金如上所述在所有的金屬中氧化還原電 位最高，沒有細(xì)胞毒性。長期保存時(shí)也幾乎沒有變色等。
[0072] 利用電解進(jìn)行鍍金時(shí)，厚度不均增大、易于對(duì)過濾器的孔徑精度造成影響，因此不 優(yōu)選。因而，鍍金通過化學(xué)鍍覆進(jìn)行。
[0073] 化學(xué)鍍金僅通過進(jìn)行置換鍍覆也具有效果，組合了置換鍍覆和還原鍍覆時(shí)效果更 大。
[0074] 化學(xué)鍍金前的金屬過濾器有時(shí)表面會(huì)發(fā)生氧化。因此，雖然進(jìn)行了氧化覆膜的除 去，但這里也可利用加有與金屬離子形成絡(luò)合物的化合物的水溶液進(jìn)行洗滌。
[0075] 具體而言，可以是加有氰化物類、EDTA類、檸檬酸類的水溶液。
[0076] 其中，檸檬酸類作為鍍金的前處理最為適合。具體而言，可以是檸檬酸的酸酐、檸 檬酸的水合物、檸檬酸鹽或檸檬酸鹽的水合物，具體而言可以使用檸檬酸酐、檸檬酸一水合 物、梓檬酸鈉、梓檬酸鉀等。其濃度優(yōu)選為0. 01~3mol/L、更優(yōu)選為0. 03~2mol/L、特別 優(yōu)選為〇? 05~lmol/L的范圍。通過為0?Olmol/L以上，化學(xué)鍍金層與金屬過濾器的密合 性提尚°
[0077] 超過3mol/L時(shí)，不僅效果不會(huì)提高，而且經(jīng)濟(jì)上也不優(yōu)選。
[0078] 在含有檸檬酸的溶液中的浸漬可以在70 °C~95 °C下進(jìn)行1~20分鐘。
[0079] 含檸檬酸的溶液還可以在獲得發(fā)明效果的范圍內(nèi)添加在鍍覆液等中所含有的還 原劑、PH調(diào)節(jié)劑等緩沖劑，但還原劑、pH調(diào)節(jié)劑等優(yōu)選是少量的，最優(yōu)選僅是檸檬酸的水溶 液。含檸檬酸的溶液的pH優(yōu)選為5~10、更優(yōu)選為6~9。
[0080] 作為pH調(diào)節(jié)劑，只要是酸或堿則無特別限定，作為酸可以使用鹽酸、硫酸、硝酸 等，作為堿可以使用氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉等堿金屬，堿土類金屬的氫氧化物溶液。如 上所述，可以在不阻礙檸檬酸的效果的范圍內(nèi)進(jìn)行使用。另外，當(dāng)在含檸檬酸的溶液中以 100ml/L的高濃度含有硝酸時(shí)，與僅含檸檬酸的溶液進(jìn)行處理時(shí)相比，改善粘接性的效果降 低。
[0081] 作為還原劑，只要是具有還原性則無特別限定，可以舉出次磷酸、甲醛、硼烷二甲 基胺、硼氫化鈉等。
[0082] 接著，進(jìn)行置換鍍金。置換鍍金有氰化物浴和非氰化物浴，但考慮到環(huán)境負(fù)荷及殘 留時(shí)的細(xì)胞毒性，優(yōu)選非氰化物浴。作為非氰化物浴中含有的金鹽，可以示例氯金酸鹽、亞 硫酸金鹽、硫代硫酸金鹽、巰基丁二酸金鹽。金鹽可以僅使用一種，也可組合使用兩種以上。
[0083] 此外，氰化物系的浴由于溶解金屬的效果過強(qiáng)，因此根據(jù)金屬不同，易于發(fā)生溶 解、產(chǎn)生針孔。如上所述，充分地進(jìn)行前處理時(shí)，優(yōu)選非氰化物系的鍍覆浴。
[0084] 作為金的供給源特別優(yōu)選亞硫酸金。作為亞硫酸金，可以是亞硫酸金鈉、亞硫酸金 鉀、亞硫酸金銨等。
[0085] 金濃度優(yōu)選為0.lg/L~5g/L的范圍。小于0.lg/L時(shí)，金難以析出，超過5g/L時(shí)， 溶液變得易于分解。
[0086] 置換鍍金浴中作為金的絡(luò)合劑也可含有銨鹽或乙二胺四乙酸鹽。作為銨鹽，可舉 出氯化銨、硫酸銨，作為乙二胺四乙酸鹽，使用乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸鈉、乙二胺四乙 酸鉀、乙二胺四乙酸銨。銨鹽的濃度優(yōu)選以7X10 3m〇l/L~0. 4mol/L的范圍進(jìn)行使用， 當(dāng)銨鹽的濃度為該范圍外時(shí)，則有溶液變得不穩(wěn)定的傾向。乙二胺四乙酸鹽的濃度優(yōu)選以 2X10 3m〇l/L~0. 2mol/L的范圍進(jìn)行使用，當(dāng)乙二胺四乙酸鹽的濃度為該范圍外時(shí)，則有 溶液變得不穩(wěn)定的傾向。
[0087] 為了穩(wěn)定地保持溶液，還可以含有0.lg/L~50g/L的亞硫酸鹽。作為亞硫酸鹽， 可舉出亞硫酸鈉、亞硫酸鉀、亞硫酸銨等。
[0088] 作為pH調(diào)節(jié)劑降低pH時(shí)，優(yōu)選使用鹽酸或硫酸。另外，在提高pH時(shí)，優(yōu)選使用氫 氧化鈉、氫氧化鉀、氨水。pH可以調(diào)節(jié)至6~7。為該范圍外時(shí)，會(huì)對(duì)溶液的穩(wěn)定性及鍍覆 的外觀造成不良影響。
[0089] 置換鍍覆優(yōu)選在30°C~80°C的液溫下進(jìn)行使用，為該范圍外時(shí)，會(huì)對(duì)溶液的穩(wěn)定 性及鍍覆的外觀造成不良影響。
[0090] 如上所述進(jìn)行了置換鍍覆，但通過置換鍍覆難以完全地將金屬覆蓋。因此，接著進(jìn) 行加有還原劑的還原型鍍金。置換鍍覆的厚度優(yōu)選為0. 02~0.Iym的范圍。
[0091] 作為還原型鍍金的金鹽，優(yōu)選是亞硫酸金鹽或硫代硫酸鹽，其含量以金計(jì)優(yōu)選為 1~10g/L的范圍。金的含量小于lg/L時(shí)，則金的析出反應(yīng)降低，超過10g/L時(shí)，則鍍覆液 的穩(wěn)定性降低，同時(shí)由于鍍覆液的夾帶（entrainment)而金消耗量增多，因此不優(yōu)選。含量 更優(yōu)選為2~5g/L。
[0092] 作為還原劑可舉出次磷酸、甲醛、硼烷二甲基胺、硼氫化鈉等，更優(yōu)選苯基化合物 系還原劑。例如可舉出苯酚、鄰甲酚、對(duì)甲酚、鄰乙基苯酚、對(duì)乙基苯酚、叔丁基苯酚、鄰氨基 苯酚、對(duì)氨基苯酚、氫醌、兒茶酚、焦掊酸、甲基氫醌、苯胺、鄰苯二胺、對(duì)苯二胺、鄰甲苯胺、 鄰乙基苯胺、對(duì)乙