1.一種表面處理方法,其特征在于,包括:
(1)對工件進行清潔處理;
(2)對步驟(1)得到的工件進行預(yù)熱處理;
(3)對步驟(2)得到的工件表面進行離子束清潔;
(4)通過真空蒸鍍法在步驟(3)得到的工件表面形成耐磨層;
(5)通過真空蒸鍍法在步驟(4)得到的工件表面形成防指紋層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(1)中,所述工件為陶瓷工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(1)中,所述清潔處理是通過超聲波清洗或擦拭進行的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(2)中,所述預(yù)熱處理的溫度為80-120攝氏度,時間為5-15分鐘。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(3)中,所述離子束清洗是在真空設(shè)備中、惰性氣體氣氛下進行的,其中,離子源電壓為100V,電流為9-10A。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(3)中,所述離子束清洗進行的時間為5-15分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(4)中,所述真空蒸鍍法在真空度為5×10-3至2×10-3Pa的條件下進行,蒸發(fā)速度為1-10埃/秒,鍍膜時間為3-8分鐘。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(4)中,所述真空蒸鍍法的電子槍電壓為4-8KV,電流為150-200mA。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(4)中,所述耐磨層為二氧化硅層,所述耐磨層的厚度為10-15納米。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(5)中,所述真空蒸鍍法在真空度為5×10-3至2×10-3Pa的條件下進行,蒸發(fā)速度為1-10埃/秒,鍍膜時間為5-10分鐘。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(5)中,所述真空蒸鍍法的電子槍電壓為380V,電流為120-180A。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(5)中,所述防指紋層由全氟聚醚形成,所述防指紋層的厚度為15-25納米。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,步驟(3)至(5)各自獨立地在80-120攝氏度下進行。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面處理方法,其特征在于,所述耐磨層與所述防指紋層之間形成化學鍵合。