專利名稱：直線淀積源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
這里使用的章節(jié)標(biāo)題僅用于組織目的，并且決不應(yīng)該解釋為限制在本申請中描述的主題。相關(guān)申請部分本申請是在2009年11月30日提交的、標(biāo)題為Linear Deposition Source (直線淀積源)的美國專利申請12/628，189的部分繼續(xù)，后者要求對于在2009年2月27日提交的、標(biāo)題為 “Deposition Sources, Systems, and Related Methods for Co-DepositingCopper, Indium, and Gallium (用來共同淀積銅、銦以及鎵的淀積源、系統(tǒng)以及相關(guān)方法)”的美國臨時(shí)專利申請61/156，348 ;和在2008年12月18日提交的、標(biāo)題為“D印ositionSources, Systems,and Related Methods for Co-Depositing Copper，Indium,andGallium (用來共同淀積銅、銦以及鎵的淀積源、系統(tǒng)以及相關(guān)方法)”的美國臨時(shí)申請61/138,932，兩者的優(yōu)先權(quán)。美國專利申請12/628，189、美國臨時(shí)申請61/156，348及美國臨時(shí)申請61/138，932的全部說明書通過參引并入本文。
背景技術(shù)：
多年來，大面積基片淀積系統(tǒng)已經(jīng)用來處理多種類型基片材料的柔性腹板基片和剛性面板基片。多種已知系統(tǒng)設(shè)計(jì)成，處理塑料腹板基片和剛性面板玻璃基片。腹板基片或剛性面板直接在直線淀積源上方通過。已知直線淀積源包括船形坩鍋，這些已知直線淀積源適于將材料蒸發(fā)在腹板基片上或在剛性面板基片上，該船形坩鍋典型地由用來包含淀積源材料的耐火材料形成。將坩鍋放置在蒸汽出口管的內(nèi)部。蒸汽出口管同時(shí)起到蒸發(fā)空間和分配蒸汽的空間的作用。一個(gè)或更多個(gè)蒸汽出口開口沿著源按直線排列。


在聯(lián)系附圖進(jìn)行的如下詳細(xì)描述中，更具體地描述按照優(yōu)選和示范實(shí)施例的本發(fā)明、以及其另外的優(yōu)點(diǎn)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解，下面描述的附圖僅為了說明目的。附圖不必按比例，而是總體上著重于說明本發(fā)明的原理。附圖決不用于限制本發(fā)明的范圍。圖IA示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的立體橫截面圖，該直線淀積源包括多個(gè)坩 鍋，這些坩鍋聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴上。圖IB示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的立體橫截面圖，該直線淀積源包括多個(gè)坩鍋，這些坩鍋聯(lián)接到單條傳導(dǎo)通道上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴上。圖2A示出聯(lián)系圖IA和IB描述的直線淀積源的橫截面圖，這些直線淀積源具有多個(gè)噴嘴，這些噴嘴定位成，它們在向上方向上蒸發(fā)淀積材料。圖2B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的橫截面圖，該直線淀積源具有多個(gè)噴嘴，這些噴嘴定位成，它們在向下方向上蒸發(fā)淀積材料。圖2C示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的橫截面圖，該直線淀積源具有本體，該本體包括多個(gè)噴嘴，這些噴嘴定位在豎向方向上。
圖2D示出根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)直線淀積源的橫截面圖，該直線淀積源具有本體，該本體包括多個(gè)噴嘴，這些噴嘴定位在豎向方向上。圖3A示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的立體橫截面圖，該直線淀積源包括單個(gè)坩鍋，該單個(gè)坩鍋聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴上。圖3B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的立體橫截面圖，該直線淀積源包括單個(gè)坩鍋，該單個(gè)坩鍋聯(lián)接到單條傳導(dǎo)通道上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴上。圖4示出用于本發(fā)明的直線淀積源的坩鍋的立體橫截面圖，該坩鍋由兩種類型的 材料形成。圖5A示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的一部分的立體俯視圖，該圖示出三條傳導(dǎo)通道，這三條傳導(dǎo)通道聯(lián)接到在外殼中的三個(gè)坩鍋上。圖5B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的一部分的立體俯視圖，該圖示出單條傳導(dǎo)通道，該單條傳導(dǎo)通道聯(lián)接到在外殼中的三個(gè)坩鍋上。圖6A是用于本發(fā)明的直線淀積源的電阻坩鍋加熱器的一部分的立體圖，該圖示出加熱器的內(nèi)側(cè)和三個(gè)側(cè)部，在該處定位坩鍋。圖6B是多個(gè)坩鍋加熱器之一的外側(cè)的立體圖，這些坩鍋加熱器用來加熱多個(gè)坩鍋中的每一個(gè)坩鍋。圖7A是根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的側(cè)視圖，該圖示出傳導(dǎo)通道加熱器，這些傳導(dǎo)通道加熱器用來加熱多條傳導(dǎo)通道。圖7B是桿的立體圖，這些桿包括傳導(dǎo)通道加熱器。圖7C示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的本體的立體圖，該圖示出用于將桿的端部接合到本體上的接頭。圖8示出本體的框架，該框架包括膨脹鏈接部。圖9A是隔熱屏的立體橫截面圖，該隔熱屏用于多個(gè)坩鍋，并且用于根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的多條傳導(dǎo)通道。圖9B是在圖9A中所示的隔熱屏的完整立體圖。圖9C示出根據(jù)本發(fā)明的隔熱屏的一個(gè)實(shí)施例的角部橫截面。圖10示出根據(jù)本發(fā)明的淀積源的俯視立體圖，該圖示出在本體中的多個(gè)噴嘴，這些噴嘴用來將被蒸發(fā)的材料排出到基片或其它工件上。圖IlA示出根據(jù)本發(fā)明的淀積源的本體的橫截面圖，該圖示出一列噴嘴，這些噴嘴聯(lián)接到傳導(dǎo)通道上，該傳導(dǎo)通道具有管子，這些管子控制淀積材料到噴嘴的流動(dòng)。圖IlB示出根據(jù)本發(fā)明的淀積源的多條傳導(dǎo)通道的橫截面圖，該圖示出一排噴嘴，這些噴嘴聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道上，這些傳導(dǎo)通道具有管子，這些管子控制淀積材料到噴嘴的流動(dòng)。圖12示出噴嘴的立體圖，該噴嘴組成多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴嘴，這些噴嘴用于根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源。
具體實(shí)施例方式在本說明書中對于“一個(gè)實(shí)施例”或“實(shí)施例”的提及意味著，聯(lián)系實(shí)施例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、或特性包括在發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。短語“在一個(gè)實(shí)施例中”在本說明書中各個(gè)地方的出現(xiàn)不必都指同一實(shí)施例。應(yīng)該理解，本發(fā)明的方法的各個(gè)步驟可以按任何順序和/或同時(shí)地進(jìn)行，只要發(fā)明保持切實(shí)可行。此外，應(yīng)該理解，本發(fā)明的設(shè)備和方法可以包括任何數(shù)量或全部的所描述的實(shí)施例，只要發(fā)明保持切實(shí)可行。現(xiàn)在參照其示范實(shí)施例將更詳細(xì)地描述本發(fā)明，這些實(shí)施例如附圖所示。盡管本發(fā)明與各個(gè)實(shí)施例和例子一道描述，但本發(fā)明不打算限于這樣的實(shí)施例。相反，本發(fā)明包括如將由本領(lǐng)域的技術(shù)人員認(rèn)識到的那樣的各個(gè)選擇例、修改及等效物。已經(jīng)獲悉本發(fā)明的本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到另外的實(shí)施、修改以及實(shí)施例、以及其它 領(lǐng)域的使用，這些在這里所描述的本公開的范圍內(nèi)。本發(fā)明總體而言涉及用來產(chǎn)生源材料蒸汽通量的設(shè)備和方法，該源材料蒸汽通量用來淀積到基片上。本發(fā)明的一些方面涉及直線淀積源，這些直線淀積源適于產(chǎn)生源材料蒸汽通量，以便將材料淀積到腹板基片、剛性面板基片、或另一種類型的長形工件上。本發(fā)明的其它方面涉及直線淀積源，這些直線淀積源適于產(chǎn)生源材料蒸汽通量，以便將材料淀積到基片夾具上，該基片夾具支承多個(gè)常規(guī)基片，如半導(dǎo)體基片。在本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例中，方法和設(shè)備涉及通過蒸發(fā)的淀積。這里所使用的術(shù)語“蒸發(fā)”是指將源材料轉(zhuǎn)換成蒸汽，并且在本技術(shù)領(lǐng)域中包括幾個(gè)術(shù)語的正常使用，如蒸發(fā)、汽化以及升華。轉(zhuǎn)換成蒸汽的源材料可在任何物質(zhì)狀態(tài)下。在許多實(shí)施例中，本發(fā)明的設(shè)備和方法用來將兩種或更多種不同材料共同蒸發(fā)到基片上，如蒸發(fā)到腹板基片或剛性面板基片上。在一些實(shí)施例中，本發(fā)明的設(shè)備和方法用來將單種材料蒸發(fā)到基片上，如蒸發(fā)到腹板基片或剛性面板基片上。在多個(gè)或相隔離的坩鍋中使用單種淀積材料將添加冗余度，并且將增加通量率。本發(fā)明的一種應(yīng)用涉及用來將銅、銦以及鎵共同淀積到腹板基片或剛性面板基片上的方法和設(shè)備。二硒化銅銦的化合物(CIS化合物)稱作二硒化銅銦鎵化合物(CIGS化合物)，該二硒化銅銦的化合物具有代替全部或部分銦的鎵。CIGS化合物通常用來構(gòu)造光電池。具體地說，CIGS化合物通常用作在薄膜太陽能電池中的吸收層。這些CIGS化合物具有直接帶隙，該直接帶隙容許在電磁頻譜的可見區(qū)域中的太陽輻射的強(qiáng)烈吸收。已經(jīng)證明，與常用光電池相比，CIGS光電池具有很高的轉(zhuǎn)換效率和良好穩(wěn)定性，這些常用光電池具有其它類型的吸收層化合物，如碲化鎘(CdTe)和非晶硅(a-Si)。CIGS吸收層典型地是具有良好結(jié)晶度的P型化合物半導(dǎo)體層。為了實(shí)現(xiàn)對于高效率光電操作必要的所需電荷遷移性能，一般要求良好結(jié)晶度。在實(shí)際中，CIGS吸收層必須至少部分地結(jié)晶，以便實(shí)現(xiàn)高效率光電操作。結(jié)晶CIGS化合物具有結(jié)晶結(jié)構(gòu)，該結(jié)晶結(jié)構(gòu)依據(jù)為形成CIGS化合物使用的淀積溫度，可特征化為黃銅礦或閃鋅礦。CIGS化合物可以由各種技術(shù)形成。用來形成CIGS化合物的一種方法使用化學(xué)前體?；瘜W(xué)前體按薄膜淀積，并且在這之后退火以形成所需的CIGS層。當(dāng)CIGS前體材料在低溫下淀積時(shí)，生成的CIGS薄膜是非晶的，或者僅僅很弱地結(jié)晶。CIGS薄膜然后在升高的溫度下退火以改進(jìn)CIGS化合物的結(jié)晶，以便提供所需的電荷遷移性能。然而，在引起CIGS薄膜的部分結(jié)晶所必需的升高溫度下，在所淀積的薄膜中的硒比其它元素更易揮發(fā)。因此，在將前體層退火的同時(shí)，常常添加硒，以改進(jìn)結(jié)晶并且將CIGS化合物提供有所需的成分和化學(xué)計(jì)量配比。形成CIGS薄膜化合物的這種方法比較耗費(fèi)時(shí)間，并且在蒸汽相中需要大量的硒，這加大了制造成本。用來形成CIGS化合物的另一種方法使用真空蒸發(fā)。由共同蒸發(fā)構(gòu)造的CIGS光電池，與用前體材料構(gòu)造的CIGS光電池相比，可以具有高光電轉(zhuǎn)換效率。在這種方法中，將銅、銦、鎵以及硒共同淀積到基片上。共同蒸發(fā)允許薄膜化學(xué)計(jì)量配比的精確控制，并且允許在薄膜光吸收層中的成分分級。因此，共同蒸發(fā)可以用來精確地修整帶隙，以便實(shí)現(xiàn)最佳光電性能。然而，銅、銦、鎵以及硒的共同蒸發(fā)是可能難以按工業(yè)規(guī)模使用的工藝技術(shù)，因?yàn)殡y以在巨大表面面積上均勻地蒸發(fā)材料。本發(fā)明的一個(gè)方面是提供淀積源、系統(tǒng)以及操作這樣的源和系統(tǒng)的方法，以高效地和可控制地提供用于多種類型的裝置，(如CIGS光電池)的構(gòu)造的多種汽化源材料。本發(fā)明的另一個(gè)方面是提供淀積源、系統(tǒng)以及操作這樣的源和系統(tǒng)的方法，以高效地和可控制地提供用于多種類型的裝置(如有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)裝置)的構(gòu)造的單種汽化源材料。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，盡管聯(lián)系CIGS光電池和OLED裝置的構(gòu)造而描述本發(fā)明的一些方面，但在本公開中的發(fā)明適用于可以使用被蒸發(fā)的材料而被構(gòu)造的任何其它類型的裝 置。圖IA示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源100的立體橫截面圖，該直線淀積源100包括多個(gè)坩鍋102，這些坩鍋102聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道104上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴106上。多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋包含蒸發(fā)源材料，該蒸發(fā)源材料可以是相同或不同的源材料。多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到多個(gè)坩鍋102的相應(yīng)一個(gè)的輸出部上。在許多實(shí)施例中，多條傳導(dǎo)通道104設(shè)計(jì)成使得在各種被蒸發(fā)的材料正在多條傳導(dǎo)通道104中運(yùn)輸?shù)耐瑫r(shí)，各種被蒸發(fā)的材料沒有發(fā)生相互混合。外殼108包含多個(gè)坩鍋102。外殼108由不銹鋼或類似材料形成。在一些實(shí)施例中，沿外殼108定位流體冷卻通道。外殼108也包括密封凸緣110，該密封凸緣110將外殼108連結(jié)到真空腔室(未示出)上。直線淀積源100的一個(gè)特征是，坩鍋在真空腔室外面，并因此它們?nèi)菀妆辉偬畛浜途S護(hù)，由此增強(qiáng)適用性。本體112延伸過外殼108的密封凸緣110，該本體112包括多條傳導(dǎo)通道104和多個(gè)噴嘴106。在一些實(shí)施例中，沿本體112定位流體冷卻通道。在圖IA中所示的實(shí)施例中，源100包括處于直線構(gòu)造的三個(gè)坩鍋102，使三條傳導(dǎo)通道104中的相應(yīng)通道的輸入部聯(lián)接到三個(gè)坩鍋102中的相應(yīng)坩鍋的輸出部上。噴嘴106定位在沿多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道的多個(gè)位置處。然而，因?yàn)閳DIA是橫截面圖，所以只有中部傳導(dǎo)通道104、和一半噴嘴106在圖IA中示出。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，可以使用多種類型的坩鍋。例如，多個(gè)坩鍋的至少一些可以包括至少一個(gè)坩鍋，該至少一個(gè)坩鍋形成在另一個(gè)坩鍋內(nèi)部，如聯(lián)系圖4描述的那樣。多個(gè)坩鍋102包含適于具體構(gòu)造過程的蒸發(fā)材料。在許多實(shí)施例中，多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋包含不同蒸發(fā)材料。例如，三個(gè)坩鍋的每一個(gè)可包含銅、銦以及鎵的一種，從而提供材料源，該材料源用來高效地共同蒸發(fā)CIGS基光電裝置的功能吸收層。然而，在一些實(shí)施例中，多個(gè)坩鍋的至少兩個(gè)包含相同淀積材料。例如，三個(gè)坩鍋的每一個(gè)可包含單種材料系統(tǒng)，該單種材料系統(tǒng)用來淀積用于OLED裝置的觸點(diǎn)。一個(gè)或更多個(gè)坩鍋加熱器114定位成與多個(gè)坩鍋102熱連通。坩鍋加熱器114設(shè)計(jì)和定位成用以升高多個(gè)坩鍋102的溫度，從而多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋將其相應(yīng)淀積源材料蒸發(fā)到多條傳導(dǎo)通道104中的相應(yīng)一條傳導(dǎo)通道中。要求一些坩鍋加熱器114將蒸發(fā)源材料加熱到非常高的溫度。這樣的坩鍋加熱器可以由石墨、碳化硅、耐火材料、或其它非常高熔點(diǎn)材料形成。坩鍋加熱器114可以是單個(gè)加熱器，或者可以是多個(gè)加熱器。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)坩鍋加熱器中的每一個(gè)坩鍋加熱器是可以個(gè)別地控制的，從而多個(gè)坩鍋加熱器中的相應(yīng)一個(gè)加熱器與多個(gè)坩鍋102中的相應(yīng)一個(gè)坩鍋熱連通。坩鍋加熱器114可以是任何類型的加熱器。例如，坩鍋加熱器114可以是電阻加熱器，如圖IA所示。電阻加熱器的一個(gè)實(shí)施例聯(lián)系圖6A和6B更詳細(xì)地描述。坩鍋加熱器114也可以是多種類型的RF感應(yīng)加熱器和/或紅外加熱器中的一種。在許多實(shí)施例中，全部坩鍋加熱器114都是相同類型的加熱器。然而，在一些實(shí)施例中，坩鍋加熱器114的兩個(gè)或更多個(gè)是不同類型的加熱器，這些不同類型的加熱器具有用來蒸發(fā)不同淀積源材料的不同熱性能。各坩鍋加熱器114或相分離的傳導(dǎo)通道加熱器定位成與多條傳導(dǎo)通道104中的至少一條傳導(dǎo)通道熱連通，從而多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道的溫度升到淀積源材 料(這些淀積源材料通過具體傳導(dǎo)通道)的冷凝點(diǎn)以上。聯(lián)系圖7A、7B及7C描述傳導(dǎo)通道加熱器。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，多種類型的加熱器可以用來加熱多條傳導(dǎo)通道104，如電阻加熱器、RF感應(yīng)加熱器及/或紅外加熱器。傳導(dǎo)通道加熱器可以是單個(gè)加熱器，或者可以是多個(gè)加熱器?？梢允褂枚嘤谝环N類型的加熱器。在一個(gè)實(shí)施例中，傳導(dǎo)通道加熱器具有相對于多條傳導(dǎo)通道104的另一條，控制多條傳導(dǎo)通道104之一的溫度的能力。圖IB示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源101的立體橫截面圖，該直線淀積源101包括多個(gè)坩鍋102，這些坩鍋102聯(lián)接到單條傳導(dǎo)通道104'上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴106上。直線淀積源101與聯(lián)系圖IA描述的直線淀積源100相似，不同之處在于，本體112僅包括一條傳導(dǎo)通道104'。多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋包含蒸發(fā)源材料，該蒸發(fā)源材料可以是相同或不同源材料。傳導(dǎo)通道104'的輸入部聯(lián)接到多個(gè)坩鍋102的輸出部上。多個(gè)噴嘴106延伸過外殼108的密封凸緣110。在圖IB中所示的實(shí)施例中，源100包括處于直線構(gòu)造的三個(gè)坩鍋102，使傳導(dǎo)通道104'的輸入部聯(lián)接到三個(gè)坩鍋102的輸出部上。噴嘴106定位在沿傳導(dǎo)通道104'的多個(gè)位置處。
坩鍋加熱器114用來升高三個(gè)坩鍋102的溫度，從而坩鍋將淀積材料蒸發(fā)到傳導(dǎo)通道104'中。坩鍋加熱器114或分離傳導(dǎo)通道加熱器定位成與傳導(dǎo)通道104'熱連通，從而傳導(dǎo)通道104'的溫度升到淀積源材料(這些淀積源材料通過傳導(dǎo)通道104')的冷凝點(diǎn)以上。聯(lián)系圖7A、7B及7C描述傳導(dǎo)通道加熱器。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，多種類型的加熱器可以用來加熱傳導(dǎo)通道104,，如電阻加熱器、RF感應(yīng)加熱器及/或紅外加熱器。多個(gè)噴嘴106中的每一個(gè)噴嘴的輸入部聯(lián)接到傳導(dǎo)通道104'的輸出部上，從而將蒸發(fā)淀積材料從多個(gè)坩鍋102通過傳導(dǎo)通道104'運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴106，從而，從多個(gè)噴嘴106射出蒸發(fā)淀積材料，以形成淀積通量。圖2A示出聯(lián)系圖IA和IB描述的直線淀積源100和100'的橫截面圖，這些直線淀積源100和100'具有多個(gè)噴嘴106，這些噴嘴106定位成使得它們在向上方向上蒸發(fā)淀積材料。本發(fā)明的直線淀積源的一個(gè)特征是，多個(gè)噴嘴106可相對于多個(gè)坩鍋102按任何取向定位。用于多條傳導(dǎo)通道104或用于單條傳導(dǎo)通道104'的加熱器設(shè)計(jì)成，無論多個(gè)噴嘴106的取向如何，都防止被蒸發(fā)的源材料冷凝。
圖2B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源150的橫截面圖，該直線淀積源150具有多個(gè)噴嘴106，這些噴嘴106定位成使得它們在向下方向上蒸發(fā)淀積材料。圖2B的直線淀積源150與聯(lián)系圖2A描述的直線淀積源100和101相似。然而，多個(gè)噴嘴106定位成，使它們的出口孔口在多個(gè)坩鍋102的方向上面向下。圖2C示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源152的橫截面圖，該直線淀積源152具有本體112'，該本體112'包括多個(gè)噴嘴106，這些噴嘴106定位在豎向方向上。直線淀積源152與聯(lián)系圖2A描述的直線淀積源100和101相似，不同之處在于，直線淀積源152包括角形接頭154，該角形接頭154相對于來自密封凸緣110的正常方向改變本體112'的取向。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，角形接頭154可相對于密封凸緣110的正常方向按任何角度定位本體112'。因而，本發(fā)明的直線淀積源的一個(gè)特征是，本體112'(該本體112'包括多個(gè)噴嘴106)相對于外殼108 (該外殼108包括多個(gè)i甘鍋102)可按任何取向定位。用于多 條傳導(dǎo)通道104 (圖I)的加熱器設(shè)計(jì)成，無論本體112'的取向如何，都防止被蒸發(fā)的源材料冷凝。圖2D示出根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)直線淀積源156的橫截面圖，該直線淀積源156具有本體112"，該本體112"包括多個(gè)噴嘴106，這些噴嘴106定位在豎向方向上。直線淀積源156與聯(lián)系圖2C描述的直線淀積源152相似，不同之處在于，直線淀積源156包括T形接頭158，該T形接頭158相對于來自密封凸緣110的正常方向改變本體112"的取向。在圖2D中所示的實(shí)施例中，本體112"在T形接頭158的兩側(cè)上在豎向方向上延伸。圖3A示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源200的立體橫截面圖，該直線淀積源200包括單個(gè)坩鍋202，該單個(gè)坩鍋202聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道204上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴206上。直線淀積源200與聯(lián)系圖I和2描述的直線淀積源100相似。然而，直線淀積源200僅包括一個(gè)坩鍋202。單個(gè)坩鍋202定位在外殼208中，如聯(lián)系圖I描述的那樣。單個(gè)坩鍋202可以具有單個(gè)腔室，該單個(gè)腔室為一種類型的淀積源材料而設(shè)計(jì)。聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道204上的這樣一種坩鍋將具有比較高的淀積通量生產(chǎn)量?？蛇x擇地，單個(gè)坩鍋202可以具有多塊隔板210，這些隔板210部分地隔離坩鍋202的各段，從而，被部分地隔離的段中的每一個(gè)段的尺寸設(shè)定成用來定位多種淀積源材料中的一種淀積源材料。多種淀積源材料可以是相同材料，或者可以是不同材料。在被部分地隔離的段中的每一個(gè)段中使用相同源材料將添加冗余度，并且將增大通量率。在單個(gè)坩鍋202包括多個(gè)被部分地隔離的段的實(shí)施例中，多條傳導(dǎo)通道204中的每一條傳導(dǎo)通道的輸入部定位成，靠近多個(gè)被部分地隔離的段中的一個(gè)段。加熱器212定位成與單個(gè)坩鍋202熱連通。加熱器212升高坩鍋202的溫度，從而坩鍋將至少一種淀積材料蒸發(fā)到多條傳導(dǎo)通道204中，或蒸發(fā)到單條傳導(dǎo)通道204'(圖3B)中。加熱器212或第二加熱器定位成，與多條傳導(dǎo)通道204中的至少一條傳導(dǎo)通道或與單條傳導(dǎo)通道204'熱連通，以便升高多條傳導(dǎo)通道204或單條傳導(dǎo)通道204'的溫度，使得被蒸發(fā)的淀積源材料不會(huì)冷凝。一些加熱器212可以升高多條傳導(dǎo)通道204中的至少一條傳導(dǎo)通道的溫度——相對于多條傳導(dǎo)通道204中的另一條傳導(dǎo)通道而言。隔熱屏214定位成，靠近坩鍋202并且靠近多條傳導(dǎo)通道204，以提供坩鍋202的和多條傳導(dǎo)通道204的至少部分隔熱。在一些實(shí)施例中，隔熱屏214設(shè)計(jì)和定位成，控制坩鍋202的一段相對于坩鍋202的另一段的溫度。而且，在一些實(shí)施例中，隔熱屏214設(shè)計(jì)和定位成，為了提供多條傳導(dǎo)通道204中的至少一條傳導(dǎo)通道相對于至少一條其它傳導(dǎo)通道204的至少部分隔熱，從而不同溫度可保持在多條傳導(dǎo)通道204的至少兩條中。在這個(gè)實(shí)施例中，多條傳導(dǎo)通道204的至少兩條可用隔熱材料屏蔽，它們具有不同的熱性能。多個(gè)噴嘴206聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道204上。被蒸發(fā)的淀積材料從單個(gè)坩鍋202通過多條傳導(dǎo)通道204運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴206，在該處，被蒸發(fā)的淀積材料從多個(gè)噴嘴206射出，以形成淀積通量。圖3B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源200的立體橫截面圖，該直線淀積源200包括單個(gè)坩鍋202，該單個(gè)坩鍋202聯(lián)接到單條傳導(dǎo)通道204'上，并且然后聯(lián)接到處于直線構(gòu)造的多個(gè)噴嘴206上。直線淀積源200與聯(lián)系圖3A描述的直線淀積源200相似。然而，源201僅包括一條傳導(dǎo)通道204'。
本發(fā)明的直線源良好適于將一種或更多種不同淀積源材料蒸發(fā)到大面積工件上，如腹板基片和剛性面板基片上。源的直線幾何形狀使它們良好地適于處理寬的并且大面積的工件，如對于光電池使用的腹板基片和剛性面板基片，因?yàn)樵纯梢栽诒容^大面積上提供高效和高度可控制的被蒸發(fā)的材料。本發(fā)明的直線淀積源的一個(gè)特征是，它們比較緊湊。本發(fā)明的直線淀積源的另一個(gè)特征是，它們對于多個(gè)淀積源中的每一個(gè)淀積源和對于多條傳導(dǎo)通道中的每一條傳導(dǎo)通道使用共用加熱器和共用隔熱材料，這增進(jìn)了多種設(shè)備性能量度，如尺寸、設(shè)備成本以及操作成本。圖4示出用于本發(fā)明的直線淀積源的坩鍋300的立體橫截面圖，該坩鍋300由兩種類型的材料形成。坩鍋300包括至少一個(gè)坩鍋，該至少一個(gè)坩鍋定位在另一個(gè)坩鍋內(nèi)部。在圖4中所示的實(shí)施例中，坩鍋300包括內(nèi)部坩鍋302，該內(nèi)部坩鍋302嵌套在外部坩鍋304內(nèi)部。在這種坩鍋設(shè)計(jì)中，兩種類型的材料可以用來包含淀積材料，以便增進(jìn)坩鍋的性能。在其它實(shí)施例中，至少一個(gè)坩鍋嵌套在至少兩個(gè)其它坩鍋內(nèi)部。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)坩鍋102 (圖IA和1B)或坩鍋202 (圖3A和3B)的一個(gè)或更多個(gè)用內(nèi)部坩鍋302和外部坩鍋304建造，該內(nèi)部坩鍋302由熱解氮化硼形成，該外部坩鍋304由石墨形成。在這個(gè)實(shí)施例中，由熱解氮化硼形成的內(nèi)部坩鍋302包含淀積源材料。熱解氮化硼是一種非多孔的、高度惰性的并且格外純的材料。另外，熱解氮化硼具有非常高的熔點(diǎn)、良好的導(dǎo)熱性以及優(yōu)良的熱沖擊性能。這些性能使熱解氮化硼非常良好地適于直接包含大多數(shù)蒸發(fā)源材料。然而，熱解氮化硼特別脆，并因此容易損壞。對于內(nèi)部坩鍋材料，也可以使用氧化物或金屬氧化物。外部坩鍋304由諸如石墨之類的材料形成，石墨更耐用，便仍然能夠高溫操作。較耐用材料保護(hù)熱解氮化硼免于損壞。在另一個(gè)實(shí)施例中，內(nèi)部坩鍋由石英形成，并且外部坩鍋由氧化鋁形成。石英內(nèi)部坩鍋和氧化鋁外部坩鍋的組合具有比較高性能，并且比較便宜。圖5A示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源100的一部分的立體俯視圖，該圖示出三條傳導(dǎo)通道104，這三條傳導(dǎo)通道104聯(lián)接到在外殼108中的三個(gè)坩鍋102上。三條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道的輸入部118聯(lián)接到三個(gè)坩鍋102的相應(yīng)一個(gè)的輸出部上。三條傳導(dǎo)通道104設(shè)計(jì)成，在被蒸發(fā)的材料正在通過多條傳導(dǎo)通道104運(yùn)輸?shù)耐瑫r(shí)，來自三個(gè)坩鍋102中的任一個(gè)坩鍋的被蒸發(fā)的材料沒有顯著相互混合。在多個(gè)淀積過程中，重要的是，基本防止淀積材料的相互混合，以便防止在淀積材料到達(dá)被處理的基片的表面之前發(fā)生兩種或更多種淀積材料的反應(yīng)。圖5B示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源101的一部分的立體俯視圖，該圖示出單條傳導(dǎo)通道104'，該單條傳導(dǎo)通道104'聯(lián)接到在外殼108中的三個(gè)坩鍋102上。傳導(dǎo)通道104'的輸入部118聯(lián)接到三個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋的輸出部上，如圖IA和IB所示，或者聯(lián)接到單個(gè)坩鍋202的輸出部上，如圖3A和3B所示。圖6A是用于本發(fā)明的直線淀積源的電阻坩鍋加熱器400的一部分的立體圖，該圖示出坩鍋加熱器400的內(nèi)側(cè)和三個(gè)側(cè)部，在該處定位坩鍋102 (圖I)。在各個(gè)實(shí)施例中，坩鍋加熱器400可以固定在外殼108 (圖I)中，或者可以可除去地連結(jié)到外殼 108上。坩鍋加熱器400在圍繞坩鍋102的底部和側(cè)部上，包括多個(gè)電阻加熱元件402。在圖6A中所示的實(shí)施例中，電阻加熱元件402是多個(gè)間隔開石墨匯流條402，這些石墨匯流條402是石墨材料的直線帶條。支承桿404將各石墨匯流條402結(jié)構(gòu)性地連接在一起，并且也將各匯流條402電氣絕緣。電阻加熱元件402可以包括曲折型石墨彈簧，這些曲折型石墨彈簧定位在加熱元件402的相對兩端之間。電線穿過源100的外殼108進(jìn)給，以將石墨匯流條402連接到電源(未示出)上。石墨匯流條402包括螺釘406，這些螺釘406用來牢固地連結(jié)電線。圖6B是多個(gè)坩鍋加熱器400之一的外側(cè)的立體圖，這些坩鍋加熱器400用來加熱多個(gè)坩鍋102 (圖I)中的每一個(gè)坩鍋。在圖6B中所示的立體圖與在圖6A中所示的立體圖相似，但它示出了坩鍋加熱器400的全部四個(gè)側(cè)部。圖7A是根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源100的側(cè)視圖，該圖示出傳導(dǎo)通道加熱器，這些傳導(dǎo)通道加熱器用來加熱多條傳導(dǎo)通道。圖7B表示桿130的立體圖，這些桿包括傳導(dǎo)通道加熱器。圖7C示出根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源100的本體112的立體圖，該圖示出了將桿130的端部接合到本體112上的接頭132。參照圖1A、1B、7A、7B以及7C，桿130定位成，沿傳導(dǎo)通道104的長度在本體112的縱向方向上靠近傳導(dǎo)通道104。桿130可以由任何類型的耐高溫材料形成，如由石墨、碳化硅、耐火材料、或其它非常高熔點(diǎn)材料形成。桿130電氣連接到電源(未示出)的輸出部上，該電源產(chǎn)生流過桿130的電流，由此升高桿130的溫度。桿130可以使用彈簧或?qū)Ь€系統(tǒng)電氣連接到電源的輸出部上，該彈簧或?qū)Ь€系統(tǒng)保證足夠的運(yùn)動(dòng)，以允許桿130在正常操作期間的熱膨脹。在桿130中由來自電源的電流產(chǎn)生的熱量輻射到傳導(dǎo)通道104中，由此升高傳導(dǎo)通道104的溫度，從而穿過多條傳導(dǎo)通道104運(yùn)輸?shù)谋徽舭l(fā)的源材料不會(huì)冷凝。圖7A也示出了多個(gè)接頭132，這些接頭132將桿130的各個(gè)段連結(jié)在一起。在一些實(shí)施例中，本體112的長度是如此長，從而將桿130的多個(gè)段聯(lián)接在一起更便宜、可靠并且制造更容易。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，有多種類型的可以用來將桿130的多個(gè)段聯(lián)接在一起的接頭。例如，螺紋接頭可以用來將兩個(gè)桿段聯(lián)接在一起。接頭132提供連續(xù)電氣連接，該連續(xù)電氣連接通過桿130的整個(gè)長度具有比較恒定的電阻。圖8示出本體112 (圖I)的框架500，該框架500包括膨脹鏈接部502。參照圖1A、1B、7A以及8，將多條傳導(dǎo)通道104從本體112的框架500內(nèi)部的空間除去，以便觀察膨脹鏈接部502。有時(shí)使用膨脹鏈接部502，因?yàn)楸倔w112在正常操作期間經(jīng)歷顯著的熱膨脹和收縮。桿130和多條傳導(dǎo)通道104的熱膨脹系數(shù)可以與框架500和在本體112中的其它元件的熱膨脹系數(shù)顯著地不同。另外，在框架500與在本體112中的其它元件(如桿130和多條傳導(dǎo)通道104)之間可能有顯著的溫度差。因此，所需的是，框架500相對于在本體112中的其它元件(如多條傳導(dǎo)通道104和桿130)自由地膨脹和收縮。在圖8中所示的膨脹鏈接部500是可用在框架500中的多種類型的膨脹鏈接部中的一種。在圖8中所示的實(shí)施例中，膨脹鏈接部500用銷504或其它類型的緊固件連結(jié)到框架500的兩個(gè)段上。當(dāng)膨脹鏈接部502膨脹時(shí)，鏈接段506膨脹，由此在框架500中為在本體112中的元件產(chǎn)生空間，這些元件正在按比框架500的膨脹速率快的速率膨脹。可選擇地，當(dāng)在本體112中的元件正在比框架500收縮得快時(shí)，鏈接段506折收，由此減小在框架500中的空間，以與收縮本體112的空間相匹配。圖9A是隔熱屏600的立體橫截面圖，該隔熱屏用于多個(gè)坩鍋102 (圖IA和1B)，并且用于根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源的多條傳導(dǎo)通道104。圖9B是在圖9A中所示的隔熱屏600的完整立體圖。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，隔熱屏600可以由多種類型的隔熱材料中 的任一種制成。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，隔熱屏600由碳纖維碳復(fù)合材料形成。圖9C示出根據(jù)本發(fā)明的隔熱屏650的一個(gè)實(shí)施例的角部橫截面。只有頂部和一個(gè)側(cè)表面表示在圖9C中，以更容易地示出在隔熱屏650中的各個(gè)層。在一些實(shí)施例中，隔熱屏650包括在頂部和底部表面上和在側(cè)部表面上的外部層652。在各個(gè)實(shí)施例中，外部層652可以是剛性的、耐用的，并且可以具有比較高水平的防腐蝕性。反射材料可淀積在外部層652的至少一些的外表面上，以增進(jìn)隔熱屏650的熱性能。在一個(gè)實(shí)施例中,夕卜部層652是碳纖維板。例如，夕卜部層652可以是碳纖維板,該碳纖維板具有在O. 02至O. 08英寸厚的范圍中的厚度。在一些實(shí)施例中，碳纖維板覆有傳導(dǎo)性材料，如在至少一個(gè)表面上的金屬碳化物。隔熱屏650在頂部和底部表面上和在側(cè)部表面上也包括多個(gè)耐熱材料層654。在一些實(shí)施例中，耐熱材料層654可以是耐熱瓦。例如，可以有多于五個(gè)、多于十個(gè)、或多于20個(gè)耐熱材料層654定位在隔熱屏650的頂部、底部及/或側(cè)部表面上。在一些實(shí)施例中，多個(gè)耐熱材料層654中的至少某一些層具有在O. 001英寸至O. 020英寸厚的范圍中的厚度。在一些實(shí)施例中，反射材料可定位在多個(gè)耐熱材料層654中的至少一個(gè)層的至少一個(gè)外表面上。在一些實(shí)施例中，耐熱材料層654是各種類型的耐火金屬箔層之一。而且,在一些實(shí)施例中，耐熱材料層是石墨材料層?？梢允褂枚喾N類型的石墨材料層。例如，石墨材料層可以由Grafoil 、或任何其它類型的柔性石墨材料形成，該柔性石墨材料由純的、天然的石墨片制成。Grafoil 良好地適于用作隔熱材料，因?yàn)樗蜔?、耐火、耐腐蝕并且能夠耐受侵蝕性化學(xué)品。在一些實(shí)施例中，隔熱屏650包括剛性材料656，該剛性材料656定位在多個(gè)耐熱材料層654中的一些層之間。剛性材料656典型地比耐熱材料層654厚。剛性材料656為隔熱屏提供機(jī)械強(qiáng)度和腐蝕保護(hù)?？梢允褂枚喾N類型的剛性材料，這些剛性材料可以與在多個(gè)耐熱材料層654中的至少一個(gè)層的外表面上定位的剛性材料相同或不同。例如，剛性材料可以是多種類型的碳纖維板中的一種，如具有碳基體的碳纖維布，該碳纖維布在工業(yè)中通常稱作CFC或碳/碳。在一個(gè)實(shí)施例中，碳纖維板具有在O. 02和O. 08英寸厚的范圍中的厚度。在一些實(shí)施例中，碳纖維板覆有傳導(dǎo)性材料，如在至少一個(gè)表面上的金屬碳化物。另外，剛性材料可以是一種不用纖維加強(qiáng)的石墨板。因而，在各個(gè)實(shí)施例中，剛性材料652、656可定位在耐熱材料層654的外和/或內(nèi)表面上。例如，在一個(gè)具體實(shí)施例中，隔熱屏650包括頂部和底部表面，該頂部和底部表面包括如下層(1)至少一層剛性材料，覆有耐火陶瓷材料，例如，一層或兩層用碳化鈮覆蓋的碳纖維板或類似材料；(2)多個(gè)耐火金屬箔和/或石墨層，例如，2-20個(gè)耐火金屬箔和/或石墨層；(3)至少一層剛性材料，例如，一層或兩層碳纖維板；(4)多個(gè)耐火金屬箔和/或石墨層，例如，2-20個(gè)耐火金屬箔和/或石墨層；以及(5)至少一層剛性材料，覆有耐火陶瓷材料，例如，一層或兩層用碳化鈮覆蓋的碳纖維板或類似材料。參照圖1A、1B以及9A-9C，隔熱屏600的第一段602定位成，靠近多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋，以便提供對于多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋的至少部分隔熱。隔熱屏600的第一段602隔離各個(gè)坩鍋102，從而如有必要，則在處理期間可保持顯著不同的坩鍋溫度。保持顯著不同的坩鍋溫度對于某些淀積過程是重要的，因?yàn)檫@樣多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè) 坩鍋就可以被加熱到其對于具體源材料而言最佳的溫度。將坩鍋102加熱到它們對于具體源材料而言最佳的溫度減少了不利的加熱效應(yīng)，如淀積材料的噴濺。另外，將坩鍋102加熱到它們對于具體源材料而言最佳的溫度，可顯著地降低淀積源的操作成本。在各個(gè)其它實(shí)施例中，隔熱屏600的第一段602可以包括多個(gè)相分離的隔熱屏，其中，多個(gè)相分離的隔熱屏600中的相應(yīng)一個(gè)隔熱屏包圍多個(gè)坩鍋102中的相應(yīng)一個(gè)坩鍋。多個(gè)相分離的隔熱屏中的每一個(gè)隔熱屏可以是相同的隔熱屏，或者可以是不同的隔熱屏。例如，用來將淀積源材料加熱到較高溫度的坩鍋，可以由具有不同熱性能的不同或較厚的隔熱材料形成。隔熱屏600的第二段604定位成，靠近多條傳導(dǎo)通道104，以便提供多條傳導(dǎo)通道104與多個(gè)坩鍋102之間的至少部分隔熱。多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道可以由一分立隔熱屏屏蔽，或者可以使用單個(gè)隔熱屏。在一些實(shí)施例中，隔熱屏600的第二段604定位成，為了提供多條傳導(dǎo)通道104中的至少一條傳導(dǎo)通道相對于至少一條其它傳導(dǎo)通道的至少部分隔熱。換句話說，可選擇隔熱屏600的第二段604的設(shè)計(jì)和定位，以允許相對于多條傳導(dǎo)通道104的至少另外一條，在多條傳導(dǎo)通道104中的至少一條傳導(dǎo)通道中的不同操作溫度。在這些實(shí)施例中，多條傳導(dǎo)通道104的至少兩條可用隔熱材料屏蔽，它們具有不同的熱性能。例如，多條傳導(dǎo)通道104的至少兩條可以由不同隔熱材料、不同隔熱厚度及/或?qū)τ诰唧w傳導(dǎo)通道不同接近程度的隔熱材料而屏蔽。隔熱屏600在正常操作期間暴露于非常高的溫度。根據(jù)本發(fā)明的某些隔熱屏建造有至少一個(gè)表面，該至少一個(gè)表面由低發(fā)射率材料形成，或者具有低發(fā)射率涂層，該低發(fā)射率涂層減小熱輻射的發(fā)射。例如，隔熱屏600的內(nèi)或外表面可覆有低發(fā)射率涂層或任何其它類型的涂層，該其它類型的涂層減少熱傳遞。任何這樣的涂層通常設(shè)計(jì)成，在源的操作壽命期間保持恒定發(fā)射率。與外殼108和本體112相比并且與在外殼108和本體112中的元件相比，隔熱屏600也按不同的速率膨脹和收縮。在一個(gè)實(shí)施例中，隔熱屏600可動(dòng)地連結(jié)到本體112的外殼108和框架500 (圖8)這二者中的至少一者上，從而它可在正常操作期間相對于外殼108和框架500中的至少一者而運(yùn)動(dòng)。在一些實(shí)施例中，膨脹鏈接部用來允許隔熱屏600相對于其它源元件膨脹和收縮。此外，在一些實(shí)施例中，隔熱屏600包括多層隔熱材料，這些隔熱材料容許熱膨脹和收縮。例如，多個(gè)隔熱瓦可以用來增大對于熱膨脹和收縮的容許度。圖10示出根據(jù)本發(fā)明的淀積源100的俯視立體圖，該圖示出在本體112中的多個(gè)噴嘴106，這些噴嘴106用來將被蒸發(fā)的材料排出到基片或其它工件上。多個(gè)噴嘴106中的每一個(gè)噴嘴的輸入部聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道104的相應(yīng)一條的輸出部上，如聯(lián)系圖5A描述的那樣，或者聯(lián)接到傳導(dǎo)通道104'的輸出部上，如聯(lián)系圖5B描述的那樣。在圖5A中所示的實(shí)施例中，被蒸發(fā)的淀積材料在沒有相互混合的情況下，從多個(gè)坩鍋102通過多條傳導(dǎo)通道104運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴106，在該處，被蒸發(fā)的淀積材料從多個(gè)噴嘴106排出，以形成淀積通量。在圖10中所示的源100示出七組噴嘴106，其中，每組包括三個(gè)噴嘴。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到，根據(jù)本發(fā)明的淀積源可以包括任何數(shù)量組的噴嘴、和在每組內(nèi)的任何數(shù)量的噴嘴。在各個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106的間隔可以是均勻的或不均勻的。本發(fā)明的一個(gè)方面是，多個(gè)噴嘴106可以不均勻地間隔開，以便實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106的間隔被選擇成用以增進(jìn)淀積通量的均勻性。在這個(gè)實(shí)施例中，在本體112的邊緣附近的噴嘴106的間隔，比如圖10所示接近本體112的中心的噴嘴106的間隔 更加緊密，以便補(bǔ)償在本體112的邊緣附近的被減小的淀積通量。準(zhǔn)確間隔可以被選擇成，使得淀積源100產(chǎn)生靠近基片或工件的基本均勻的淀積材料通量。在一些實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106的間隔被選擇成用以得到很高材料利用率，以便降低淀積源100的操作成本、和增大在維護(hù)間隔之間的過程時(shí)間和適用性。而且，在一些實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106的間隔被選擇成用以提供來自多個(gè)噴嘴106的淀積通量的所需重疊，以便實(shí)現(xiàn)各種被蒸發(fā)的材料的預(yù)定混合。在一個(gè)實(shí)施例中，將多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴相對于傳導(dǎo)通道104的頂部表面160的法向角按一定角度定位，以便實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)。例如，在一個(gè)實(shí)施例中，將多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴相對于傳導(dǎo)通道104的頂部表面160的法向角按一定角度定位，該角度被選擇成用以提供跨過被處理的基片或工件的表面的均勻淀積通量。而且，在一 些實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴相對于傳導(dǎo)通道104的頂部表面160的法向角按一定角度定位，該角度被選擇成用以提供來自多個(gè)噴嘴106的淀積通量的所需重疊，以實(shí)現(xiàn)各種被蒸發(fā)的材料的預(yù)定混合。圖IlA示出根據(jù)本發(fā)明的淀積源100的本體112的橫截面圖，該圖示出一列噴嘴106，這些噴嘴106聯(lián)接到傳導(dǎo)通道104上，該傳導(dǎo)通道104具有管子170，這些管子170控制淀積材料到噴嘴106的流動(dòng)。管子170定位成靠近傳導(dǎo)通道104，從而管子170限制供給到噴嘴106的淀積材料的量。管子170至少部分地定位到傳導(dǎo)通道104中?？梢赃x擇管子170的長度，以實(shí)現(xiàn)通過噴嘴106的預(yù)定淀積通量。與多個(gè)噴嘴106之一相對應(yīng)的管子170的長度，可以不同于多個(gè)噴嘴106的至少另一個(gè)相對應(yīng)的管子的長度。在一些實(shí)施例中，在管子170的頂部處的發(fā)射率低于在管子170的底部處的發(fā)射率，以提供所需的熱梯度?？梢赃x擇各噴嘴106中的一些或全部噴嘴的幾何形狀，以增進(jìn)均勻性。例如，多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴可以包括輸出孔口，該輸出孔口被成形為用以傳送不均勻的淀積通量。與多個(gè)噴嘴106中的一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子170的幾何形狀，可以不同于與多個(gè)噴嘴106中的至少另一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子170的幾何形狀。多個(gè)噴嘴106的間隔可以是不均勻的，以實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)。例如，與在本體112的中心附近的多個(gè)噴嘴106的間隔相比，在本體112的邊緣附近的多個(gè)噴嘴106的間隔可以更為緊密。多個(gè)噴嘴106的間隔可以被選擇成用以實(shí)現(xiàn)從多個(gè)噴嘴106排出基本均勻的淀積材料通量。而且，多個(gè)噴嘴106的間隔可以被選擇成用以增大淀積材料的利用率。而且，多個(gè)噴嘴106的間隔可以被選擇成用以提供從多個(gè)噴嘴106排出的淀積通量的所需重疊。管子170的尺寸，如管子170的長度和直徑，確定從傳導(dǎo)通道104供給到對應(yīng)噴嘴106的淀積材料的量。另外，管子170的定位，如管子170定位在傳導(dǎo)通道104中的距離，也確定從傳導(dǎo)通道104供給到對應(yīng)噴嘴106的淀積材料的量。例如，改變管子170的直徑，會(huì)改變從噴嘴106發(fā)出的淀積通量圖案。管子170的長度一般被選擇成與管子170的整體流動(dòng)阻力和設(shè)計(jì)相匹配。在一些實(shí)施例中，進(jìn)一步透入到傳導(dǎo)通道104中的較長管子170，將把較少的被蒸發(fā)的淀積材料供給到對應(yīng)噴嘴106。在各個(gè)實(shí)施例中，具體管子170的幾何形狀和位置可以是相同的，或者可以是不同的。在一個(gè)實(shí)施例中，多根管子170中的至少兩根管子可以具有不同的長度和/或不同的幾何形狀，以便得到通過多根管子170中的每一根管子的具體傳導(dǎo)率，這實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)。例如，具有不同尺寸的管子170可以用來補(bǔ)償在源100中從密封凸緣110附近的本體112到本體112的端部的壓差。因而，本發(fā)明的淀積源100的一個(gè)特征是，可以選擇管子170的幾何形狀和定位，以精確地控制供給到多個(gè)噴嘴106中的每一個(gè)噴嘴的被蒸發(fā)的源材料的量，而不改變從多個(gè)噴嘴106發(fā)出的被蒸發(fā)的材料的分布。例如，具體管子170的幾何形狀和位置可以被選擇成用以實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)，如來自具體噴嘴或來自多個(gè)噴嘴106的預(yù)定淀積通量。在一些實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴在傳導(dǎo)通道104的頂部表面上方延伸，以便防止在一段時(shí)間之后發(fā)生蒸汽冷凝和材料積累。噴嘴也可被定位成用以實(shí)現(xiàn)所需的淀積通量分布圖案。各個(gè)噴嘴加熱器可被定位成靠近多個(gè)噴嘴106中的一個(gè)或更多個(gè)噴嘴，以控制從噴嘴106發(fā)出的被蒸發(fā)的材料的溫度，而防止冷凝和材料積累。在其它實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴定位在多條傳導(dǎo)通道104的頂部表面160的下面，以便傳導(dǎo)來自加熱器和多條傳導(dǎo)通道104的熱量的所需量，并且/或者實(shí)現(xiàn)所需的淀積通量分布圖案。圖IlB不出根據(jù)本發(fā)明的淀積源100的多條傳導(dǎo)通道104的橫截面圖，該圖不出一排噴嘴106，這些噴嘴106聯(lián)接到多條傳導(dǎo)通道104上，這些傳導(dǎo)通道104具有管子170，這些管子170控制淀積材料到噴嘴104的流動(dòng)。圖IlB表示具有管子的三條傳導(dǎo)通道。在各個(gè)實(shí)施例中，管子可以具有不同長度，如圖IlB所示。本發(fā)明的一個(gè)方面是，噴嘴106由傳導(dǎo)通道加熱器(在圖7A-C中的桿130)并且由相關(guān)的傳導(dǎo)通道104加熱。圖12示出噴嘴106的立體圖，該噴嘴106包括多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴用于根據(jù)本發(fā)明的直線淀積源100和101。在一些實(shí)施例中，噴嘴106包括錐形外表面和/或錐形內(nèi)表面，以提供用于被蒸發(fā)的材料的所需熱梯度。噴嘴106設(shè)計(jì)成使得它能夠提供要求的熱傳導(dǎo)，以防止被蒸發(fā)的源材料冷凝。多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴可以由一定材料形成，并且可以包括一定涂層，以增進(jìn)性能。例如，噴嘴106可以由具有一種導(dǎo)熱率的材料形成，該材料導(dǎo)致基本均勻的操作溫度，這減少來自噴嘴的淀積材料的噴濺。例如，噴嘴106可以由石墨、碳化硅、耐火材料、或其它非常高熔點(diǎn)材料形成。在一些實(shí)施例中，將噴嘴106設(shè)計(jì)成用以減小由通過噴嘴106的材料經(jīng)歷的熱梯度。另外，可將噴嘴106設(shè)計(jì)成，使整個(gè)輻射損失最小。噴嘴106可在至少一個(gè)外表面上包括低發(fā)射率涂層。噴嘴106包括孔口 180，該孔口 180用來使來自相關(guān)的傳導(dǎo)通道104的被蒸發(fā)的源材料通過。多個(gè)噴嘴中的至少一個(gè)噴嘴的輸出孔口 180可以相對于傳導(dǎo)通道104的頂部表面的法向角按一定角度定位，如聯(lián)系圖10描述的那樣。在一些實(shí)施例中，孔口 180的表面具有低發(fā)射率涂層，該低發(fā)射率涂層降低熱發(fā)射，由此減少在噴嘴106中的任何冷凝。孔口 180設(shè)計(jì)成用以排出被蒸發(fā)的材料的所需的羽流。在圖12的噴嘴106中示出了大致圓形的孔口 180。然而，應(yīng)該理解，在噴嘴106中可以使用多種孔口形狀的任一種形狀，以實(shí)現(xiàn)所需的工藝目標(biāo)。例如，孔口 180可以是圓形、橢圓形、矩形、正方形、或呈縫隙狀。另外，所示的孔口 180的出口具有圓形形狀。然而，應(yīng)該理解，孔口 180可以使用多種出口形狀的任一種，以實(shí)現(xiàn)所需的工藝目標(biāo)。例如，出口形狀可以是倒角、切成的圓角或是sumo樣式(即，反向斜度(reverse draft)或其它類型的節(jié)流噴嘴形狀)。
在一些實(shí)施例中，多個(gè)噴嘴106中的至少一個(gè)噴嘴具有孔口 180，該孔口 180成形為用以傳送不均勻的淀積通量。在這些實(shí)施例中，多個(gè)孔口 180的至少一些可以成形為用以傳送不均勻的淀積通量，該不均勻淀積通量組合以形成所需的淀積通量圖案。例如，所需的組合淀積通量圖案在預(yù)定面積上可以是均勻淀積通量圖案。在操作中，一種從多個(gè)淀積源產(chǎn)生淀積通量的方法包括加熱多個(gè)坩鍋102，這些坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋包含淀積源材料，從而多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋對淀積材料加以蒸發(fā)。方法可以包括獨(dú)立地控制相分立的坩鍋加熱器，以實(shí)現(xiàn)用于每種淀積源材料的不同坩鍋溫度。方法也可以包括屏蔽多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋，從而不同溫度可保持在具體坩鍋中。來自多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋的淀積材料通過在本體112中的傳導(dǎo)通道104'運(yùn)輸。在包括多條傳導(dǎo)通道104的實(shí)施例中，來自多個(gè)坩鍋102中的每一個(gè)坩鍋的淀積材料通過在本體112中的相應(yīng)傳導(dǎo)通道104運(yùn)輸，而不將從多個(gè)坩鍋102中的任何一個(gè)坩鍋蒸發(fā)的淀積材料相互混合。將傳導(dǎo)通道104加熱，使得被蒸發(fā)的淀積材料在從噴嘴106發(fā)出之前不冷凝。可以將各傳導(dǎo)通道104分別地加熱，從而對于多條傳導(dǎo)通道104的至少兩條實(shí)現(xiàn)不同的溫度。多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道可被屏蔽，使得不同溫度可保持在不同傳導(dǎo)通道104中。多種方法包括在多個(gè)坩鍋102附近和在多條傳導(dǎo)通道104附近，提供用于加熱器和隔熱材料的可運(yùn)動(dòng)元件和熱膨脹的空間。
蒸發(fā)的淀積材料從傳導(dǎo)通道104'或從多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴106中的相應(yīng)噴嘴。在各個(gè)實(shí)施例中，蒸發(fā)的淀積材料從傳導(dǎo)通道104'或從多條傳導(dǎo)通道104中的每一條傳導(dǎo)通道，通過多根管子170的相應(yīng)一根或其它結(jié)構(gòu)，運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴106的相應(yīng)噴嘴，這些其它結(jié)構(gòu)控制淀積材料的流動(dòng)。在本發(fā)明的方法的各個(gè)實(shí)施例中，通過使用相對于傳導(dǎo)通道104具有管子進(jìn)口的變化長度、幾何形狀及/或位置的管子，控制通過多個(gè)噴嘴106的淀積材料的流動(dòng)。相對于傳導(dǎo)通道104的管子進(jìn)口的長度、幾何形狀及/或位置被選擇為用以實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)，如均勻淀積通量和/或高淀積材料利用率。多個(gè)噴嘴106然后傳送被蒸發(fā)的淀積材料，由此形成淀積通量。方法可以包括選擇多個(gè)噴嘴106的間隔，以實(shí)現(xiàn)一定過程目標(biāo)，如來自多個(gè)噴嘴106的均勻淀積通量和/或高淀積材料利用率。等效物
盡管聯(lián)系各個(gè)實(shí)施例描述了本申請人的發(fā)明，但本申請人的發(fā)明不打算限于這樣的實(shí)施例。相反，本申請人的發(fā)明包括其中可以形成的各種選擇例、修改以及等效物，如由本領(lǐng)域的技術(shù)人員將認(rèn)識到的那樣，而不脫離發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種淀積源，該淀積源包括 a)坩鍋，所述坩鍋用來包含淀積材料； b)本體，所述本體包括傳導(dǎo)通道，所述傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到所述坩鍋的輸出部上； c)加熱器，所述加熱器定位成與所述坩鍋以及所述傳導(dǎo)通道熱連通，所述加熱器加熱所述坩鍋，使得所述坩鍋將所述淀積材料蒸發(fā)到所述傳導(dǎo)通道中； d)隔熱屏，所述隔熱屏在所述加熱器和所述本體中的至少一者周圍定位，所述隔熱屏包括多個(gè)耐熱材料層；以及 e)多個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴中的每一個(gè)噴嘴的輸入部聯(lián)接到所述傳導(dǎo)通道的輸出部上，使得被蒸發(fā)的淀積材料從所述坩鍋通過所述傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)剿龆鄠€(gè)噴嘴，從而，被蒸發(fā)的淀積材料從所述多個(gè)噴嘴排出，以形成淀積通量。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括剛性材料，該剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的淀積源，其中，所述剛性材料提供腐蝕防護(hù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的淀積源，其中，所述剛性材料包括碳纖維板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的淀積源，其中，所述碳纖維板在至少一個(gè)表面上覆有金屬碳化 物。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的淀積源，其中，所述碳纖維板具有在0.02和0. 08英寸厚的范圍中的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的外表面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的兩個(gè)耐熱材料層之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，還包括反射材料，該反射材料定位在所述隔熱屏的至少一個(gè)外表面上。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括第一剛性材料和第二剛性材料，該第一剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的頂部表面上，該第二剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的底部表面上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的淀積源，其中，所述第一剛性材料和第二剛性材料中的至少一者包括碳纖維板。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的淀積源，其中，所述第一剛性材料和第二剛性材料的至少一個(gè)外表面覆有金屬碳化物。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一些耐熱材料層具有在0. 001英寸和0. 020英寸厚的范圍中的厚度。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述多個(gè)耐熱材料層包括多于5個(gè)石墨材料層。
15.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述多個(gè)耐熱材料層包括多于10個(gè)石墨材料層。
16.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)耐火金屬箔。
17.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)石墨材料層。
18.根據(jù)權(quán)利要求I所述的淀積源，其中，所述多個(gè)噴嘴中的至少兩個(gè)噴嘴包括管子，所述管子限制供給到其對應(yīng)噴嘴的材料的量，與所述多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度，不同于與所述多個(gè)噴嘴中的至少另一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度。
19.一種淀積源，所述淀積源包括 a)坩鍋，所述坩鍋用來包含淀積材料； b)本體，所述本體包括多條傳導(dǎo)通道，所述多條傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到所述坩鍋的輸出部上； c)加熱器，所述加熱器定位成與所述坩鍋以及所述多條傳導(dǎo)通道熱連通，所述加熱器加熱所述坩鍋，使得所述坩鍋將所述淀積材料蒸發(fā)到所述多條傳導(dǎo)通道中； d)隔熱屏，所述隔熱屏在所述加熱器和所述本體中的至少一者周圍定位，所述隔熱屏包括多個(gè)耐熱材料層；以及 e)多個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴中的每一個(gè)噴嘴的輸入部聯(lián)接到所述多條傳導(dǎo)通道中的一條傳導(dǎo)通道的輸出部上，使得被蒸發(fā)的淀積材料從所述坩鍋通過所述多條傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)剿龆鄠€(gè)噴嘴，從而，被蒸發(fā)的淀積材料從所述多個(gè)噴嘴排出，以形成淀積通量。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，在所述加熱器和所述本體周圍定位的所述隔熱屏，具有靠近所述多條傳導(dǎo)通道中的一條傳導(dǎo)通道的多個(gè)耐熱材料層，這些耐熱材料層與靠近所述多條傳導(dǎo)通道中的另一條傳導(dǎo)通道定位的多個(gè)耐熱材料層不同。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括剛性材料，該剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的表面上。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的淀積源，其中，所述剛性材料包括碳纖維板。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的淀積源，其中，所述碳纖維板在至少一個(gè)表面上覆有金屬碳化物。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的外表面上。
25.根據(jù)權(quán)利要求21所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的兩個(gè)耐熱材料層之間。
26.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，還包括反射材料，該反射材料定位在所述隔熱屏的至少一個(gè)外表面上。
27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括第一剛性材料和第二剛性材料，該第一剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的頂部表面上，該第二剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的底部表面上。
28.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，所述多個(gè)噴嘴中的至少兩個(gè)噴嘴包括管子，所述管子限制供給到其對應(yīng)噴嘴的材料的量，與所述多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度，不同于與所述多個(gè)噴嘴中的至少另一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度。
29.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)耐火金屬箔。
30.根據(jù)權(quán)利要求19所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)石墨材料層。
31.一種淀積源，所述淀積源包括 a)多個(gè)坩鍋，所述多個(gè)坩鍋用來包含淀積材料；b)本體，所述本體包括多條傳導(dǎo)通道，所述多條傳導(dǎo)通道中的每一條傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到所述多個(gè)坩鍋中的相應(yīng)一個(gè)坩鍋的輸出部上； C)加熱器，所述加熱器定位成與所述多個(gè)坩鍋以及所述多條傳導(dǎo)通道熱連通，所述加熱器加熱所述多個(gè)坩鍋，使得所述多個(gè)坩鍋中的每一個(gè)坩鍋將所述淀積材料蒸發(fā)到所述多條傳導(dǎo)通道中； d)隔熱屏，所述隔熱屏在所述加熱器和所述本體中的至少一者周圍定位，所述隔熱屏包括多個(gè)耐熱材料層；以及 e)多個(gè)噴嘴，所述多個(gè)噴嘴中的每一個(gè)噴嘴的輸入部聯(lián)接到所述多條傳導(dǎo)通道中的一條傳導(dǎo)通道的輸出部上，被蒸發(fā)的淀積材料從所述多個(gè)坩鍋通過所述多條傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)剿龆鄠€(gè)噴嘴，從而，被蒸發(fā)的淀積材料從所述多個(gè)噴嘴排出，以形成淀積通量。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，在所述加熱器和所述本體周圍定位的所述隔熱屏，具有靠近所述多個(gè)坩鍋中的一個(gè)坩鍋的多個(gè)耐熱材料層，這些耐熱材料層與靠近所述多個(gè)坩鍋中的另一個(gè)坩鍋定位的多個(gè)耐熱材料層不同。
33.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括剛性材料，該剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的表面上。
34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的淀積源，其中，所述剛性材料包括碳纖維板。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的淀積源，其中，所述碳纖維板在至少一個(gè)表面上覆有金屬碳化物。
36.根據(jù)權(quán)利要求33所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的至少一個(gè)耐熱材料層的外表面上。
37.根據(jù)權(quán)利要求33所述的淀積源，其中，所述剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層中的兩個(gè)耐熱材料層之間。
38.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，還包括反射材料，該反射材料定位在所述隔熱屏的至少一個(gè)外表面上。
39.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述隔熱屏還包括第一剛性材料和第二剛性材料，該第一剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的頂部表面上，該第二剛性材料定位在所述多個(gè)耐熱材料層的底部表面上。
40.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述多個(gè)噴嘴中的至少兩個(gè)噴嘴包括管子，所述管子限制供給到其對應(yīng)噴嘴的材料的量，與所述多個(gè)噴嘴中的一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度，不同于與所述多個(gè)噴嘴中的至少另一個(gè)噴嘴相對應(yīng)的管子的長度。
41.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述多個(gè)坩鍋中的至少一些坩鍋包括定位在外部坩鍋內(nèi)的內(nèi)部坩鍋。
42.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述多個(gè)坩鍋包括第一坩鍋、第二坩鍋以及第三坩鍋，該第一坩鍋包含Cu，該第二坩鍋包含In，該第三坩鍋包含Ga。
43.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述加熱器包括多個(gè)可個(gè)別地控制的加熱器，其中，所述多個(gè)加熱器中的相應(yīng)一個(gè)加熱器與所述多個(gè)坩鍋中的相應(yīng)一個(gè)坩鍋熱連通。
44.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)耐火金屬箔。
45.根據(jù)權(quán)利要求31所述的淀積源，其中，所述耐熱材料層包括至少一個(gè)石墨材料層。
全文摘要
一種淀積源，所述淀積源包括坩鍋和本體，該坩鍋用來包含淀積材料，該本體包括傳導(dǎo)通道。傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到坩鍋的輸出部上。加熱器加熱坩鍋，從而坩鍋將淀積材料蒸發(fā)到傳導(dǎo)通道中。隔熱屏在加熱器和本體中的至少一者周圍定位，該隔熱屏包括多個(gè)耐熱材料層。多個(gè)噴嘴聯(lián)接到傳導(dǎo)通道的輸出部上，從而蒸發(fā)淀積材料從坩鍋通過傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴，從而，蒸發(fā)淀積材料從多個(gè)噴嘴排出，以形成淀積通量。
文檔編號C23C14/24GK102712993SQ201080059918
公開日2012年10月3日 申請日期2010年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月30日
發(fā)明者C·康羅伊, D·W·戈特霍德, J·A·達(dá)爾斯特倫, J·帕特林, R·布雷斯納漢, S·W·普里迪 申請人:維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司