技術總結
本發(fā)明涉及用于移除光刻膠的剝離劑組合物以及使用其剝離光刻膠的方法，所述組合物包含：至少一種胺化合物；至少一種選自非質子極性有機溶劑和水的溶劑；質子極性有機溶劑；以及聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的動態(tài)粘度為25mPa·s至250mPa·s且包含20摩爾％至70摩爾％的包含聚醚類官能團的聚二甲基硅氧烷重復單元。

技術研發(fā)人員：樸泰文;鄭大哲;李東勛;李佑然;李賢浚;金周永
受保護的技術使用者：株式會社LG化學
文檔號碼：201580038411
技術研發(fā)日：2015.08.31
技術公布日：2017.05.10