本申請(qǐng)要求于2014年9月17日向韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請(qǐng)第10-2014-0123649號(hào)的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于移除光刻膠的剝離劑組合物，其表現(xiàn)出對(duì)光刻膠的優(yōu)異的剝離和沖洗能力，以及涉及使用該剝離劑組合物剝離光刻膠的方法。
背景技術(shù)：
：用于液晶顯示裝置的微電路或半導(dǎo)體集成電路的制造工藝包括以下若干步驟：在基板上形成多種下層膜，例如由鋁、鋁合金、銅、銅合金、鉬或鉬合金制成的導(dǎo)電金屬膜，或絕緣膜如氧化硅膜、氮化硅膜或丙烯酰基絕緣膜；將光刻膠均勻涂覆于該下層膜上；任選地使經(jīng)涂覆的光刻膠曝光和顯影以形成光刻膠圖案；以及用所述光刻膠圖案作為掩模使下層膜圖案化。在這些圖案化步驟后，經(jīng)歷移除殘留在下層膜上的光刻膠的過程。為了這個(gè)目的，使用用于移除光刻膠的剝離劑組合物。先前，已廣泛地知道且常規(guī)地使用包括胺化合物、質(zhì)子極性溶劑、非質(zhì)子極性溶劑等的剝離劑組合物。已知這些剝離劑組合物表現(xiàn)出對(duì)光刻膠的一定程度的移除和剝離能力。然而，這些常規(guī)剝離劑組合物對(duì)光刻膠的剝離能力不足且還表現(xiàn)出對(duì)光刻膠的低沖洗能力。因此，存在這樣的問題：在應(yīng)用剝離劑組合物時(shí)，產(chǎn)生異物和污點(diǎn)并殘留在光刻膠下層膜上并且無法充分移除。這樣的異物和污點(diǎn)可降低液晶顯示器如TFT-LCD的顯示特征，特別地，這在分辨率非常高且像素超小型化的最新TFT-LCD中顯現(xiàn)為重大問題。因此，持續(xù)需要開發(fā)表現(xiàn)出比常規(guī)發(fā)現(xiàn)的剝離劑組合物更好的光刻膠剝離和沖洗能力的剝離劑組合物，且此領(lǐng)域中的研究一直在繼續(xù)。舉例來說，已嘗試通過向剝離劑組合物添加表面活性劑進(jìn)一步改善光刻膠的剝離和沖洗能力。然而，在常規(guī)表面活性劑的情況下，包含具有強(qiáng)堿性的胺化合物，這樣導(dǎo)致對(duì)剝離劑組合物的化學(xué)改性或降解。因此，在大多數(shù)情況下，由于此原因不能獲得剝離和沖洗能力的改善。此外，由于該改性或降解產(chǎn)生多種副產(chǎn)物，因此存在剝離劑組合物的特性可能降低的問題。目前，需要開發(fā)一種表現(xiàn)出對(duì)光刻膠增強(qiáng)的剝離和沖洗能力的新剝離劑組合物。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：技術(shù)問題本發(fā)明的目的在于提供用于移除光刻膠的剝離劑組合物，其能夠在水性與非水性條件下表現(xiàn)出優(yōu)良的剝離和沖洗能力。本發(fā)明的另一目的在于提供使用上述用于移除光刻膠的剝離劑組合物來剝離光刻膠的方法。解決方案為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其他由本說明書將變得明顯的目的，本發(fā)明提供了用于移除光刻膠的剝離劑組合物，其包含：至少一種胺化合物；至少一種選自非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑和水的溶劑；質(zhì)子極性有機(jī)溶劑；以及聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為25mPa·s至250mPa·s且包含20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元。本發(fā)明還提供了用于剝離光刻膠的方法，其包括以下步驟：在形成有下層膜的基板上形成光刻膠圖案；用光刻膠圖案使下層膜圖案化；以及使用上述用于移除光刻膠的剝離劑組合物剝離光刻膠圖案。在下文中，將更詳細(xì)地描述根據(jù)本發(fā)明的特定實(shí)施方案的用于移除光刻膠的剝離劑組合物和使用其剝離光刻膠的方法。如本文所用的術(shù)語“質(zhì)子”是指溶解于溶劑中的某物質(zhì)產(chǎn)生質(zhì)子(H+)的特性。如本文所用的術(shù)語“非質(zhì)子”是指溶解于溶劑中的某物質(zhì)不產(chǎn)生質(zhì)子(H+)的特性。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案，可提供用于移除光刻膠的剝離劑組合物，其包含：至少一種胺化合物；至少一種選自非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑和水的溶劑；質(zhì)子極性有機(jī)溶劑；以及聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為25mPa·s至250mPa·s且包含20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元。本發(fā)明人通過大量實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，當(dāng)使用用于移除光刻膠的剝離劑組合物時(shí)，所述剝離劑組合物可在水性與非水性條件下表現(xiàn)出對(duì)光刻膠的優(yōu)異的剝離能力，例如，所述組合物可能具有與先前已知的剝離劑組合物同等水平的剝離能力以及極大改善的沖洗能力，從而有效移除下層膜上的異物或污點(diǎn)且使得其不能夠殘留，所述剝離劑組合物包含至少一種胺化合物；至少一種選自非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑和水的溶劑；質(zhì)子極性有機(jī)溶劑；以及聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，該聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為25mPa·s至250mPa·s且包含20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元。本發(fā)明已基于這樣的發(fā)現(xiàn)而完成。特別地，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可以包含含有20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的聚醚改性的聚二甲基硅氧烷。聚醚類官能團(tuán)意指在重復(fù)單元中包含醚鍵(-O-)的聚合物化合物為形成主鏈的化合物，其中包含氧原子的官能團(tuán)可與主鏈的一個(gè)末端鍵合。包含氧原子的官能團(tuán)的實(shí)例不受特別限制，但是例如可包括羥基。聚醚類官能團(tuán)的另一末端可引入到聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元中，狀態(tài)為其中主鏈的重復(fù)單元結(jié)構(gòu)保持為不與官能團(tuán)結(jié)合。換言之，聚醚類官能團(tuán)通過包含于重復(fù)單元中的醚鍵引入到聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元中，或通過包含于重復(fù)單元中的亞烷基引入到聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元中。另外，聚醚類官能團(tuán)可以包括含有具有1至5個(gè)碳原子的氧化烯重復(fù)單元的聚氧化烯。含有具有1至5個(gè)碳原子的氧化烯重復(fù)單元的聚氧化烯的實(shí)例不受特別限制，但可使用例如聚甲醛、聚環(huán)氧乙烷、聚環(huán)氧丙烷等。引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元可包括其中聚醚類官能團(tuán)與聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的甲基中的至少一個(gè)甲基鍵合的化合物。特別地，引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元可包含其中聚環(huán)氧乙烷鍵合至聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的甲基中的至少一個(gè)甲基的化合物。更特別地，引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元可包括由下式1表示的重復(fù)單元。[式1]在上式1中，n為5至10的整數(shù)。上述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷可以包含20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元。如果引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的含量小于20摩爾％，則相對(duì)親水部分變得過小，從而由于表面活性作用，用于移除光刻膠的剝離劑組合物的沖洗能力的改善程度可能降低。此外，如果引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的含量超過70摩爾％，則相對(duì)親脂部分變得過小，從而由于表面活性作用，用于移除光刻膠的剝離劑組合物的沖洗能力的改善程度可能降低。上述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷可以包含20摩爾％至70摩爾％的引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元和殘余量的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元。殘余量的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元是指不引入聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元，特別地可包括由下式5表示的重復(fù)單元。[式5]引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元與聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的摩爾比可以為1∶0.1至1∶5。如果引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元與聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的摩爾比小于1∶0.1，則因聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的比例變得相對(duì)較小，親脂性作用可能降低。此外，如果引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元與聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的摩爾比超過1∶5，則因引入有聚醚類官能團(tuán)的聚二甲基硅氧烷重復(fù)單元的比例變得相對(duì)較小，親水性作用可能降低。更特別地，聚醚改性的聚二甲基硅氧烷可包括由下式6表示的化合物。[式6]在上式6中，l為6至12、7至11、或8至10，n為5至10，p為25或更小、3至25、或5至23。同時(shí)，聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度可為25mPa·s至250mPa·s、或50mPa·s至150mPa·s。術(shù)語“動(dòng)態(tài)粘度”是指指示材料在流體狀態(tài)中抵抗運(yùn)動(dòng)方向的粘性水平的絕對(duì)值。此外，聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃和1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的密度可為1.03g/cm3或更大、1.03g/cm3至1.05g/cm3、或1.035g/cm3至1.04g/cm3?；诮M合物的總重量，聚醚改性的聚二甲基硅氧烷的含量可為0.0005重量％至0.1重量％、0.001重量％至0.05重量％、或0.005重量％至0.02重量％?；诮M合物的總重量，如果聚醚改性的聚二甲基硅氧烷的含量小于0.0005重量％，由于添加表面活性劑，可能無法完全實(shí)現(xiàn)改善剝離劑組合物的剝離和沖洗能力的作用。在使用剝離劑組合物的剝離過程期間，如果聚醚改性的聚二甲基硅氧烷的含量超過0.1重量％，則可能在高壓下產(chǎn)生氣泡，因此使得在下層膜上出現(xiàn)污點(diǎn)或使得設(shè)備傳感器發(fā)生故障。另一方面，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可包含至少一種胺化合物。所述胺化合物為表現(xiàn)出剝離能力的組分，其可用于溶解光刻膠且將其移除?？紤]到用于移除光刻膠的剝離劑組合物的優(yōu)異的剝離能力等，所述胺化合物可包括選自鏈胺化合物和環(huán)胺化合物中的一種或更多種。更特別地，可用于本文的鏈胺化合物包括選自以下中的一種或更多種：(2-氨基乙氧基)-1-乙醇(AEE)、氨乙基乙醇胺(AEEA)、單甲醇胺、單乙醇胺、N-甲基乙基胺(N-MEA)、1-氨基異丙醇(AIP)、甲基二甲基胺(MDEA)、二亞乙基三胺(DETA)、2-甲基氨基乙醇(MMEA)、3-氨基丙醇(AP)、二乙醇胺(DEA)、二乙基氨基乙醇(DEEA)、三乙醇胺(TEA)、以及三亞乙基四胺(TETA)。此外，環(huán)胺化合物可包括選自1-咪唑烷乙醇(IME)、氨基乙基哌嗪(AEP)、以及羥基乙基哌嗪(HEP)中的一種或更多種。在上述胺化合物中，環(huán)胺化合物可表現(xiàn)出對(duì)光刻膠更有效的剝離能力，鏈胺化合物可適當(dāng)?shù)匾瞥聦幽?例如含銅膜)上的天然氧化物，同時(shí)具有對(duì)光刻膠的剝離能力，從而改善與含銅膜及其上部絕緣膜(例如氮化硅膜等)的粘合力。考慮到用于移除光刻膠的剝離劑組合物所具有的優(yōu)異的剝離能力和天然氧化物膜的移除性能，可設(shè)定鏈胺化合物與環(huán)胺化合物的混合比以使得鏈胺化合物與環(huán)胺化合物的重量比為5∶1至1∶5、或3∶1至1∶3?；诮M合物的總重量，胺化合物的含量可以為約0.1重量％至10重量％、0.5重量％至7重量％、1重量％至5重量％、或2重量％至4.5重量％。根據(jù)該胺化合物的含量范圍，根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案的剝離劑組合物不僅可表現(xiàn)出優(yōu)異的剝離能力，而且還可減少由于胺過量造成的經(jīng)濟(jì)和效率的降低，以及可減少廢液等的產(chǎn)生。如果胺化合物的含量過大，則可能會(huì)導(dǎo)致下層膜(例如含銅下層膜)的腐蝕，因此可能需要使用大量緩蝕劑以抑制腐蝕。在此情況下，由于大量緩蝕劑的使用，顯著量的緩蝕劑可被吸收且殘留于下層膜表面上，因此降低含銅下層膜等的電特性。另一方面，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可包含非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑或非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑與水的混合溶劑。非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑、或非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑與水的混合溶劑可有利地溶解胺化合物，且還可使得用于移除光刻膠的剝離劑組合物適當(dāng)?shù)貪B透其上殘留待移除的光刻膠的下層膜，因此確保剝離劑組合物的優(yōu)異的剝離和沖洗能力?？捎糜诒疚牡姆琴|(zhì)子極性有機(jī)溶劑包括具有1至5個(gè)碳原子的直鏈烷基或支鏈烷基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物、砜、或亞砜，或其兩種或更多種的混合物。更特別地，具有1至5個(gè)碳原子的直鏈烷基或支鏈烷基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物可有利地溶解胺化合物，且還使得用于移除光刻膠的剝離劑組合物有效地滲透下層膜，因此改善剝離劑組合物的剝離和沖洗能力。特別地，具有1至5個(gè)碳原子的直鏈烷基或支鏈烷基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物可包括乙基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物。乙基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物可包括由下式11表示的化合物。[式11]在上式11中，R1為氫、甲基、乙基、或丙基，R2和R3各自獨(dú)立地為氫或具有1至5個(gè)碳原子的直鏈或支鏈烷基，且R2和R3中的至少一個(gè)為乙基。具有1至5個(gè)碳原子的直鏈或支鏈烷基的實(shí)例不受特別限制，但可使用例如甲基、乙基、丙基、丁基、異丁基、戊基等。更特別地，乙基經(jīng)氮單取代或二取代的酰胺類化合物的實(shí)例不受特別限制，但可使用例如乙基甲酰胺、N，N′-二乙基酰胺(DCA)等。優(yōu)選地，可使用N，N′-二乙基酰胺(DCA)。與常規(guī)甲基甲酰胺(NMF)或二甲基乙酰胺(DMAC)等不同，上述N，N′-二乙基酰胺(DCA)既基本上不表現(xiàn)出生殖或生物毒性，也基本上不誘發(fā)胺化合物隨時(shí)間的降解，因此根據(jù)上述實(shí)施方案的剝離劑組合物可保持優(yōu)異的剝離及沖洗能力很長時(shí)間。例如，本文中可使用的N，N′-二乙基酰胺包括二乙基甲酰胺(DEF)、二乙基乙酰胺、二乙基丙酰胺等。為了參照，在甲基甲酰胺(NMF)、二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基乙酰胺(DMAC)的情況下，其在顯示器或器件工藝中的使用由于生殖或生物毒性相關(guān)問題而受限制。特別地，DMF為顯示生殖毒性和特異性目標(biāo)器官毒性的物質(zhì)，且其確認(rèn)與白血病有關(guān)，以致其使用受限。相比之下，上述N，N′-二乙基酰胺(DCA)可實(shí)現(xiàn)剝離劑組合物的優(yōu)異的物理特性例如優(yōu)異的剝離能力，而不表現(xiàn)出這樣的生殖和生物毒性。此外，砜的實(shí)例不受特別限制，但可使用例如環(huán)丁砜。亞砜的實(shí)例亦不受特別限制，但可使用例如二甲基亞砜(DMSO)、二乙基亞砜、二丙基亞砜等?？蛇x擇性地與上述非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑一起使用的水可包括去離子水(DIW)。當(dāng)選擇性地包含這樣的水時(shí)，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可以用作水性剝離劑組合物。另一方面，基于組合物的總重量，非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑、或非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑與水的混合溶劑的含量可為15重量％至80重量％或18重量％至70重量％。此外，如果一起包含非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑與水，則基于組合物的總重量，非質(zhì)子極性有機(jī)溶劑的含量可為5重量％至50重量％或10重量％至45重量％，而基于組合物的總重量，水的含量可為10重量％至65重量％或15重量％至60重量％。根據(jù)上述含量范圍，可確保根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案的剝離劑組合物的優(yōu)異的剝離能力，且經(jīng)過長時(shí)段的時(shí)間仍可維持其剝離能力。另一方面，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可包含質(zhì)子極性有機(jī)溶劑。上述極性有機(jī)溶劑可使得用于移除光刻膠的剝離劑組合物更好地滲透下層膜，從而促進(jìn)用于移除光刻膠的剝離劑組合物的剝離能力，此外其可有效移除下層膜例如含銅膜上的污點(diǎn)以改善用于移除光刻膠的剝離劑組合物的沖洗能力。極性有機(jī)溶劑可包括亞烷基二醇或亞烷基二醇單烷基醚。更特別地，亞烷基二醇或亞烷基二醇單烷基醚可包括雙(2-羥乙基)醚、二乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丁醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丙醚、二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、二丙二醇單丙醚、二丙二醇單丁醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、三乙二醇單丙醚、三乙二醇單丁醚、三丙二醇單甲醚、三丙二醇單乙醚、三丙二醇單丙醚、三丙二醇單丁醚，或其兩種或更多種的混合物。更優(yōu)選地，考慮到用于移除光刻膠的剝離劑組合物的優(yōu)異的潤濕能力和由于此的改善的剝離和沖洗能力，本文中可使用的亞烷基二醇或亞烷基二醇單烷基醚包括雙(2-羥乙基)醚(HEE)、二乙二醇單甲醚(MDG)、二乙二醇單乙醚(EDG)、或二乙二醇單丁醚(BDG)等。此外，基于組合物的總重量，極性有機(jī)溶劑的含量可為30重量％至80重量％、或32重量％至78重量％。根據(jù)含量的范圍，可確保用于移除光刻膠的剝離劑組合物的優(yōu)異的剝離能力，且經(jīng)過長時(shí)段的時(shí)間仍可以維持其剝離和沖洗能力。另一方面，用于移除光刻膠的剝離劑組合物還可包含緩蝕劑。當(dāng)使用用于移除光刻膠的剝離劑組合物移除光刻膠圖案時(shí)，上述緩蝕劑可抑制對(duì)含金屬下層膜(例如含銅膜)的腐蝕。作為緩蝕劑，可使用三唑類化合物、四唑類化合物等。三唑類化合物可包括由下式2或式3表示的化合物。[式2]在上式2中，R9為氫或具有1至4個(gè)碳原子的烷基，R10和R11彼此相同或不同，各自獨(dú)立地為具有1至4個(gè)碳原子的羥基烷基，a為1至4的整數(shù)，[式3]在上式3中，R12為氫或具有1至4個(gè)碳原子的烷基，b為1至4的整數(shù)。本文中所使用的該緩蝕劑的實(shí)例可包括但不特別限于：三唑類化合物例如式2的化合物(其中R9為甲基，R10和R11各自為羥乙基，且a為1)或式3的化合物(其中R12為甲基且b為1)、四唑類化合物例如5-胺基四唑或其水合物等。通過使用上述緩蝕劑，可在有效抑制含金屬下層膜腐蝕的同時(shí)，優(yōu)異地維持剝離劑組合物的剝離能力。另外，基于組合物的總重量，緩蝕劑的含量可為0.01重量％至0.5重量％、0.05重量％至0.3重量％、或0.1重量％至0.2重量％。基于組合物的總重量，如果緩蝕劑的含量小于0.01重量％，則其可能難以有效抑制下層膜的腐蝕。此外，基于組合物的總重量，如果緩蝕劑的含量超過0.5重量％，則顯著量的緩蝕劑可被吸收并殘留于下層膜上，從而降低含銅下層膜等的電特性。如果需要，用于移除光刻膠的剝離劑組合物可進(jìn)一步包含常規(guī)的添加劑，且添加劑的具體種類和含量不受特別限制。此外，可根據(jù)混合上述組分的一般方法來制備用于移除光刻膠的剝離劑組合物。對(duì)制造用于移除光刻膠的剝離劑組合物的方法沒有特定限制。即使不使用生殖毒性物質(zhì)例如NMF和DMAC，用于移除光刻膠的光刻膠剝離劑組合物也可表現(xiàn)出優(yōu)異的剝離和沖洗能力。此外，隨時(shí)間推移其可保持優(yōu)異的剝離能力，從而可用于移除下層膜上的殘留光刻膠圖案。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方案，可提供剝離光刻膠的方法，該方法包括以下步驟：在其中形成有下層膜的基板上形成光刻膠圖案；用光刻膠圖案使下層膜圖案化；以及使用根據(jù)上述一個(gè)實(shí)施方案的用于移除光刻膠的剝離劑組合物剝離光刻膠圖案。與用于移除光刻膠的剝離劑組合物相關(guān)的描述包括與上述一個(gè)實(shí)施方案相關(guān)的具體描述。剝離光刻膠的方法可以包括以下步驟：通過光刻工藝在其上形成有待圖案化的下層膜的基板上形成光刻膠圖案；使用光刻膠圖案作為掩模使下層膜圖案化；以及通過使用上述剝離劑組合物剝離光刻膠圖案。在剝離光刻膠的方法中，形成光刻膠圖案和使下層膜圖案化的步驟可使用用于常規(guī)裝置的制造過程，其具體的制造方法不受特別限制。同時(shí)，通過使用用于移除光刻膠的剝離劑組合物剝離光刻膠圖案的步驟的實(shí)例不受特別限制，但可以使用例如以下步驟：將用于移除光刻膠的剝離劑組合物施加至其中殘留有光刻膠圖案的基板，以及使其經(jīng)歷用堿性緩沖溶液洗滌隨后用超純水洗滌，及干燥。因?yàn)樯鲜鰟冸x劑組合物表現(xiàn)出優(yōu)異的剝離能力以及有效移除下層膜上的污點(diǎn)的沖洗能力和用于移除天然氧化物膜的能力，所以可以在有效移除殘留在下層膜上的光刻膠圖案的同時(shí)，令人滿意地維持下層膜的表面狀態(tài)。因此，可以適當(dāng)?shù)卦诮?jīng)圖案化的下層膜上進(jìn)行隨后的步驟以形成裝置。發(fā)明的有益效果根據(jù)本發(fā)明，由于添加硅氧烷類非離子表面活性劑，所以可提供能夠在水性與和非水性條件下表現(xiàn)出優(yōu)異的對(duì)光刻膠的剝離能力以及對(duì)下層膜的沖洗能力的用于移除光刻膠的剝離劑組合物及使用其剝離光刻膠的方法。因此，能夠在使用這些剝離劑組合物充分移除光刻膠的同時(shí)，使下層膜中的污點(diǎn)和異物的出現(xiàn)和殘留最小化。具體實(shí)施方式通過下列實(shí)施例將更詳細(xì)地描述本發(fā)明。然而，這些實(shí)施例僅旨在舉例說明本發(fā)明，且本發(fā)明的內(nèi)容不旨在受實(shí)施例的限制。<實(shí)施例1至實(shí)施例3，比較例1至比較例4：用于移除光刻膠的剝離劑組合物的制備>根據(jù)下表1中所示的組成，混合各組分以制備實(shí)施例1至實(shí)施例3和比較例1至比較例4的用于移除光刻膠的剝離劑組合物。由此制備的用于移除光刻膠的剝離劑組合物的具體組成比概括于下表1中。[表1]用于移除光刻膠的剝離劑組合物的組成比＊LGA：1-咪唑烷乙醇＊AEE：2-(2-氨基乙氧基)乙醇＊DIW：水＊DCA：二乙基甲酰胺＊BDG：二乙二醇單丁醚＊EDG：二乙二醇單乙醚＊MDG：二乙二醇單甲醚＊HEE：雙(2-羥乙基)醚＊聚醚改性的聚二甲基硅氧烷A(20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為100mPa·s，且20℃、1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的密度為1.037g/cm3)＊聚醚改性的聚二甲基硅氧烷B(20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為360mPa·s，且20℃、1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的密度為1.02g/cm3)<實(shí)驗(yàn)例：測量實(shí)施例和比較例中獲得的用于移除光刻膠的剝離劑組合物的物理特性>通過以下方法測量實(shí)施例和比較例中所獲得的用于移除光刻膠的剝離劑組合物的物理特性且結(jié)果示于下表中。1.剝離能力1-1.用于移除光刻膠的非水性剝離劑組合物首先，將3.5ml的光刻膠組合物(商品名：JC-800)逐滴添加在100mm×100mm的玻璃基板上，通過旋涂設(shè)備以400rpm的速率將光刻膠組合物涂覆10秒。該玻璃基板配備有熱板且在140℃的溫度下硬烘12分鐘以形成光刻膠。在室溫下使其上形成有光刻膠的玻璃基板空氣冷卻，然后切成30mm×30mm的尺寸以制備用于評(píng)估新剝離劑液體的剝離能力的樣品。制備500g于實(shí)施例1和比較例1中所獲得的剝離劑組合物。在溫度升高至50℃的狀態(tài)下用剝離劑組合物處理玻璃基板上的光刻膠。測量完全剝離和移除光刻膠所需的時(shí)間以評(píng)估新剝離劑液體的剝離能力。此時(shí)，通過用紫外光照射玻璃基板觀察光刻膠是否殘留來確定光刻膠剝離的完成。在以上方法中，評(píng)估實(shí)施例1和比較例1的剝離劑組合物的新液體剝離能力，結(jié)果示于下表2中。[表2]用于移除光刻膠的剝離劑組合物的新液體剝離能力如上表2中所示，可確認(rèn)實(shí)施例1的剝離劑組合物由于包含表面活性劑，而表現(xiàn)出與不含有表面活性劑的比較例1的剝離劑組合物相當(dāng)?shù)墓饪棠z剝離能力(快速剝離時(shí)間)。1-2.用于移除光刻膠的水性剝離劑組合物以與測量用于移除光刻膠的非水性剝離劑組合物的新液體剝離能力的方法相同的方式測量新液體剝離能力，不同之處在于在溫度升高至40℃的狀態(tài)下處理實(shí)施例2至實(shí)施例3和比較例2至比較例3中所獲得的水性剝離劑組合物。結(jié)果示于下表3中。[表3]用于移除光刻膠的水性剝離劑組合物的新液體剝離能力如上表3中所示，可確認(rèn)實(shí)施例2和實(shí)施例3的剝離劑組合物由于包含表面活性劑，而表現(xiàn)出與不含有表面活性劑的比較例2和比較例3的剝離劑組合物相當(dāng)?shù)墓饪棠z剝離能力(快速剝離時(shí)間)。2.沖洗能力2-1.使用光學(xué)顯微鏡評(píng)估沖洗能力將500g的實(shí)施例1至實(shí)施例3和比較例1至比較例3的剝離劑組合物加熱至50℃的溫度，使用其上形成有下表4的膜的玻璃基板。用剝離劑組合物處理玻璃基板。然后，排出玻璃基板的液體且在其上逐滴添加幾滴超純水并靜置50秒。再次用超純水洗滌基板，用光學(xué)顯微鏡觀察玻璃基板上的污點(diǎn)和異物以按照以下標(biāo)準(zhǔn)評(píng)估沖洗能力。OK：未觀察到玻璃基板上的污點(diǎn)或異物；以及NG：觀察到玻璃基板上的污點(diǎn)或異物。在如上所述的方法中，評(píng)估實(shí)施例1至實(shí)施例3和比較例1至比較例3的剝離劑組合物隨時(shí)間推移的沖洗能力且結(jié)果示于下表4中。通過分別評(píng)估在不同條件下隨時(shí)間推移的沖洗能力示出這些結(jié)果。[表4]用于移除光刻膠的剝離劑組合物的沖洗能力如上表4中所示，確認(rèn)實(shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物即使在各種膜的條件下也表現(xiàn)出且維持優(yōu)異的長時(shí)間沖洗能力。在比較中，確認(rèn)比較例1至比較例3的剝離劑組合物在形成于玻璃基板上的膜中表現(xiàn)出降低的沖洗能力。由這些結(jié)果，可確認(rèn)包含于實(shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物中的表面活性劑表現(xiàn)出且維持優(yōu)異的沖洗能力。2-2.氣泡移除時(shí)間的評(píng)估將100g實(shí)施例1至實(shí)施例3和比較例1至比較例4的剝離劑組合物置放于1000ml容積圓筒中，且在5bar的壓力下吹空氣20秒。然后，測量用于移除在所述剝離劑組合物中產(chǎn)生的氣泡所需的時(shí)間，且結(jié)果示于下表5中。[表5]用于移除光刻膠的剝離劑組合物的氣泡移除時(shí)間實(shí)施例1實(shí)施例2實(shí)施例3比較例1比較例2比較例3比較例4505050505050500如上表5中所示，因?yàn)閷?shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物包含在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為100mPa·s且在20℃、1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的密度為1.037g/cm3的聚醚改性的聚二甲基硅氧烷表面活性劑，所以其表現(xiàn)出與不含有表面活性劑的比較例1至比較例3的剝離劑組合物相當(dāng)?shù)膶?duì)光刻膠的沖洗能力(快速氣泡移除時(shí)間)。此外，與包含在20℃下的動(dòng)態(tài)粘度為360mPa·s且在20℃、1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的密度為1.02g/cm3的聚醚改性的聚二甲基硅氧烷表面活性劑的比較例4的剝離劑組合物相比，可確認(rèn)實(shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物表現(xiàn)出且維持顯著優(yōu)異的沖洗能力。3.水鋪展性將500g實(shí)施例1至實(shí)施例3和比較例1至比較例3的剝離劑組合物加熱至50℃的溫度，用上述剝離劑組合物處理由氮化硅制成的鈍化玻璃基板。接著，排出玻璃基板的液體，并向該玻璃基板逐滴滴加純水滴10μl。測量水的鋪展直徑以評(píng)估水鋪展性。結(jié)果示于下表6中。[表6]用于移除光刻膠的剝離劑組合物的水鋪展性實(shí)施例1實(shí)施例2實(shí)施例3比較例1比較例2比較例32220.70.80.7如上表6中所示，與不合有表面活性劑的比較例1至比較例3的剝離劑組合物相比，可確認(rèn)實(shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物由于包含表面活性劑而表現(xiàn)出改善的水鋪展性。由這些結(jié)果，可確認(rèn)包含于實(shí)施例1至實(shí)施例3的剝離劑組合物中的表面活性劑改善潤濕性，從而表現(xiàn)出且維持優(yōu)異的沖洗能力。當(dāng)前第1頁1 2 3