專(zhuān)利名稱(chēng)：壓印模具分離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于平板顯示元件用基板的壓印(imprint)工藝，特別涉及一種 可以簡(jiǎn)單地從基板分離與基板粘合著的壓印用壓印模具的壓印模具分離裝置。
背景技術(shù)：
在平板顯示元件用基板上形成各種功能性圖案的方法中，一般采用壓印 (imprint)的作業(yè)方式，并且主要使用具有平面狀的壓印模具(stamp)的壓印裝置。在此簡(jiǎn)單地說(shuō)明一下所述壓印裝置的結(jié)構(gòu)，所述裝置包括腔室單元；支撐臺(tái)，其設(shè) 置于所述腔室單元的內(nèi)側(cè)，用于放置涂敷有藥液(例如，蝕刻阻劑(etching resist))的基 板；壓印模具，其設(shè)置于所述支撐臺(tái)上側(cè)；以及固定件，其用于固定所述壓印模具，使之能 夠與放置在所述支撐臺(tái)上的基板粘合或者分離。S卩，上述壓印裝置在利用固定件固定壓印模具的上表面的狀態(tài)下，通過(guò)常規(guī)方法 (例如降落)使壓印模具與基板粘合，然后再利用所述固定件向上拉起與基板粘合的壓印 模具，并使該模具從基板脫離。上述壓印裝置通過(guò)這種方式進(jìn)行壓印工藝。而且，從基板分離壓印模具之前，通過(guò)常規(guī)的方法對(duì)粘合面之間的藥液進(jìn)行硬化。因此，依序進(jìn)行如上所述的粘合、硬化及分離工序時(shí)，可以在基板的藥液層上通過(guò) 壓印方式簡(jiǎn)單地形成各種功能性圖案。就這種壓印作業(yè)方式而言，在將基板和壓印模具粘合并硬化的狀態(tài)下，從基板穩(wěn) 定地分離壓印模具的作業(yè)非常重要。即，在基板和壓印模具的粘合面之間，由于存在藥液的 粘接力，因此分離壓印模具時(shí)，會(huì)產(chǎn)生非常大的阻力。最近，為了改善上述問(wèn)題，提出了將壓印模具的整個(gè)表面分成兩部分之后，首先分 離邊緣部分(第一次分離)，然后再分離中間部分(第二次分離)的方法等。但是，就這種分離方式而言，利用多個(gè)固定件抬起壓印模具的邊緣時(shí)，由于所述壓 印模具的整個(gè)面積中用多個(gè)固定件固定的部分(壓印模具的邊緣部分)和非固定的部分 (壓印模具的中間部分)的邊界處容易發(fā)生階梯狀的折彎現(xiàn)象。因此，在進(jìn)行壓印模具的分離工作時(shí)，壓印模具的形狀扭曲變形且容易損壞，從而 壓印模具的耐久性很快就會(huì)降低，并引發(fā)縮短壽命的問(wèn)題。進(jìn)而，由于壓印模具和基板的尺寸越大作用于粘合面之間的粘接力就越大，因此 在進(jìn)行大面積基板的壓印作業(yè)時(shí)很難適當(dāng)?shù)靥幚砩鲜鰡?wèn)題。而且，就在壓印裝置內(nèi)同時(shí)進(jìn)行粘合及分離的方式而言，由于分離工作需要消耗 過(guò)多的時(shí)間，因此很難提高壓印工藝的工作效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題而作。本發(fā)明的目的在于提供一種尤其能夠在分離基板和壓印模具的粘合狀態(tài)時(shí)，減少 壓印模具的損壞程度，并可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行分離的壓印模具分離裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的壓印模具分離裝置包括支撐臺(tái)，其用于放置與壓印模具粘合的基板；多個(gè)第一分離用固定件，其設(shè)置于所述支撐臺(tái)的上側(cè)，用于將所述壓印模具整個(gè) 表面的邊緣部分抬起，從而可以將所述邊緣部分從基板分離開(kāi)；多個(gè)第二分離用固定件，其用于抬起所述壓印模具整個(gè)表面的中間部分，從而可 以將所述中間部分從基板分離開(kāi)；傾斜裝置，其用于傾斜所述多個(gè)第一分離用固定件，從而可通過(guò)所述多個(gè)第一分 離用固定件的傾斜動(dòng)作來(lái)抬起所述壓印模具的邊緣部分。如上所述的本發(fā)明由于具有能夠分開(kāi)分離壓印模具的整個(gè)表面的多個(gè)第一分離 用固定件和多個(gè)第二分離用固定件，可以簡(jiǎn)單地進(jìn)行壓印模具的分離工作。例如，本發(fā)明可 在壓印模具的整個(gè)表面中，首先抬起邊緣部分并將其分離(第一次分離)后，再抬起壓印模 具的中間部分并將其分離開(kāi)(第二次分離)。特別是，本發(fā)明具有與多個(gè)第一分離用固定件對(duì)應(yīng)的傾斜裝置，因此例如在分離 壓印模具的邊緣時(shí)，為了使作用于基板和壓印模具之間粘合面的粘接力所致的分離阻力達(dá) 到最小化，適當(dāng)?shù)貎A斜所述多個(gè)第一分離用固定件，并向側(cè)面拉所述壓印模具的邊緣部分， 從而使所述邊緣部分從基板剝離。本發(fā)明就是通過(guò)該方式進(jìn)行分離工作。而且，將壓印模具的整個(gè)表面分成兩部分來(lái)進(jìn)行分離時(shí)，可以適當(dāng)?shù)貎A斜多個(gè)第 一分離用固定件，從而不會(huì)使邊界處以階梯狀折彎，因而可以防止在進(jìn)行分離工作時(shí)壓印 模具扭曲變形或者損壞引起的壽命縮短。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2和圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置的多個(gè)第一分離 用固定件和多個(gè)第二分離用固定件的較佳排列方式的附圖；圖4是用于說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置的流體噴射單元的詳 細(xì)結(jié)構(gòu)及作用的附圖；圖5和圖6是用于說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置中傾斜裝置的作 用的附圖；圖7和圖8是用于說(shuō)明由本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置進(jìn)行壓印模具 分離作業(yè)的附圖；圖9和圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置中傾斜裝置 的其他結(jié)構(gòu)及作用的附圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，以使所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員 能夠?qū)嵤?。本發(fā)明的實(shí)施例可以具有各種不同的實(shí)施方式，而本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于 下面描述的實(shí)施例。圖1是本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖，其中附圖標(biāo)記2表示支撐臺(tái)。所述支撐臺(tái)2具有可裝載與常規(guī)的壓印用壓印模具S粘合的基板G的結(jié)構(gòu)。即，所述支撐臺(tái)2的上側(cè)具有裝載面L，如圖1所示，所述支撐臺(tái)2可以在支架F的 上側(cè)水平設(shè)置，以使所述裝載面L朝上。而且，雖然未圖示，但是所述支架F上最好以圍繞所述支撐臺(tái)2的狀態(tài)設(shè)置殼體 (或者蓋體)。這樣一來(lái)，可以防止基板G或壓印模具S被外部異物污染。為了把基板G以裝載的狀態(tài)固定或者解除其固定狀態(tài)，所述支撐臺(tái)S例如可以使 用板狀的真空吸盤(pán)(vacuum chuck或靜電吸盤(pán))。因此，在所述基板G上進(jìn)行壓印模具S的分離工作時(shí)，可利用所述支撐臺(tái)2簡(jiǎn)單地 固定基板G，從而使其不動(dòng)。本發(fā)明的上述實(shí)施例所涉及的壓印模具分離裝置包括多個(gè)第一分離用固定件4 和多個(gè)第二分離用固定件6。所述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6從放置在所述支撐臺(tái)2 上的基板G抬起壓印模具S，從而使壓印模具S從與所述基板G粘合的狀態(tài)分離。再次參照?qǐng)D1，所述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6可使用吸 附器，例如，下部具備真空吸附單元H的銷(xiāo)(pin)型吸附器。雖然未圖示，但是所述吸附單元H通過(guò)常規(guī)的方法產(chǎn)生真空吸附力，并通過(guò)該真 空吸附力來(lái)固定所述壓印模具S。上述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6設(shè)置于所述支架F上， 從而將所述壓印模具S的整個(gè)表面分成多個(gè)部分后進(jìn)行分離工作。圖2和圖3是用于說(shuō)明上述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6 的較佳排列方式的附圖。S卩，參照?qǐng)D2，所述多個(gè)第一分離用固定件4可與所述壓印模具S的整個(gè)表面中的 左、右側(cè)邊緣部分對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述多個(gè)第二分離用固定件6可與壓印模具S的中間部分對(duì)應(yīng)設(shè)置。另外，參照?qǐng)D3，所述多個(gè)第一分離用固定件4可以與所述壓印模具S邊緣的四個(gè) 位置相對(duì)應(yīng)設(shè)置。具有如上配置結(jié)構(gòu)的多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6被設(shè)置 成其吸附單元H朝下，以此來(lái)固定所述壓印模具S的上表面。而且，上述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6從固定件驅(qū)動(dòng)單 元M接收動(dòng)力，從而可以上下方向移動(dòng)。再次參照?qǐng)D1，所述固定件驅(qū)動(dòng)單元M例如可以把常規(guī)的多個(gè)螺旋千斤頂J (screw jack)作為動(dòng)力源使用，所述螺旋千斤頂具有升降用螺桿J1。即，所述多個(gè)螺旋千斤頂J設(shè)置于所述支架F的上部，并將所述多個(gè)升降用螺桿Jl 與多個(gè)第一分離用固定件4和第二分離用固定件6連接，從而使所述多個(gè)升降用螺桿Jl能 夠上下方向移動(dòng)所述第一分離用固定件4和第二分離用固定件6。例如，所述多個(gè)第一分離用固定件4分別與所述多個(gè)升降用螺桿Jl的端部連接， 從而可以獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)。而且，所述多個(gè)第二分離用固定件6的上部分別固定于額外的固定板J2上，并通
5過(guò)所述升降用螺桿Jl移動(dòng)固定板J2，從而以上下方向同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)固定件。雖然未圖示，所述螺旋千斤頂J通過(guò)常規(guī)方法(蝸輪(worm gear)、錐齒輪)接收 齒輪電機(jī)(geared motor)的動(dòng)力，并使所述升降用螺桿Jl進(jìn)行線性(linear)運(yùn)動(dòng)，這種 結(jié)構(gòu)不僅適用于大型重量物體的輸送，而且還具有自鎖(self locking)功能，因此可以保 障進(jìn)一步提高的操作安全性。并且，雖然未圖示，但是本發(fā)明除了所述螺旋千斤頂J以外，還可以利用氣缸并通 過(guò)常規(guī)方法來(lái)推拉所述多個(gè)第一分離用固定件4或多個(gè)第二分離用固定件6，從而使其上 下方向移動(dòng)。上述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第二分離用固定件6在進(jìn)行從所述基板G分 離粘合在基板G上的壓印模具S的作業(yè)時(shí)，可以將所述壓印模具S的整個(gè)表面劃分，并通過(guò) 兩次分離動(dòng)作(第一次分離、第二次分離)來(lái)分離壓印模具S。本發(fā)明的上述實(shí)施例所涉及的壓印模具分離裝置還可以包括流體噴射單元8。所述流體噴射單元8可以向所述基板G和壓印模具S的粘合面之間噴射分離用流 體W。再次參照?qǐng)D1，所述流體噴射單元8可以由噴射分離用流體W的多個(gè)分離用噴嘴N 構(gòu)成。并且，所述多個(gè)分離用噴嘴N可以安裝于所述支架F上，并與所述支撐臺(tái)2相隔一 定距離，從而可以向所述基板G和壓印模具S的粘合面之間噴射流體。所述分離用流體W可以使用氮?dú)饣蛘邼崈舾稍锟諝?CDA =Clean DriedAir)。如此用多個(gè)分離用噴嘴N向基板G和壓印模具S的粘合面之間噴射分離用流體W 的結(jié)構(gòu)是所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員容易實(shí)施的，因此在此不再詳細(xì)說(shuō)明。就上述流體噴射單元8的結(jié)構(gòu)而言，通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件4和多個(gè)第 二分離用固定件6來(lái)進(jìn)行壓印模具S的分離工作時(shí)，可通過(guò)分離用流體W的噴射壓力有效 地消除作用于基板G和壓印模具S的粘合面之間的藥液Gl (例如，蝕刻阻劑)的粘接力。圖4是用于說(shuō)明所述流體噴射單元8的作用的附圖。參照?qǐng)D4，本發(fā)明可以在通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件4從基板G分離或者已經(jīng) 分離壓印模具S的邊緣部分的狀態(tài)下，向基板G和壓印模具S的粘合面之間噴射分離用流 體W，從而消除藥液的粘接力。因此，只要具備如上所述的流體噴射單元8，在從基板G分離壓印模具S時(shí)，就能夠 減少因作用于粘合面之間的藥液的粘接力而產(chǎn)生的分離阻力，從而可以更加簡(jiǎn)單地進(jìn)行所 述壓印模具S的分離工作。并且，雖然未圖示，但是本發(fā)明還可以通過(guò)以下方式進(jìn)行分離工作，例如，在利用 所述多個(gè)第一分離用固定件4抬起所述壓印模具S的邊緣部分的狀態(tài)下，若向已分離的縫 隙噴射分離用流體W，則會(huì)通過(guò)流體壓力來(lái)推動(dòng)壓印模具S的中間部分，從而在壓印模具S 的中間部分更加穩(wěn)定地吸附于所述第二分離用固定件6的狀態(tài)下進(jìn)行分離(第二次分離)工作。另外，本發(fā)明一實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置包括傾斜裝置10。所述傾斜裝置10可以使所述多個(gè)第一分離用固定件4傾斜。圖5是用于說(shuō)明所述傾斜裝置10的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的附圖。
S卩，所述傾斜裝置10例如可以由輸送單元Ul構(gòu)成，而所述輸送單元Ul具有可依 據(jù)空氣壓力進(jìn)行線性運(yùn)動(dòng)的輸送單元塊Bi。所述輸送單元Ul可以設(shè)置于所述第一分離用固定件4和所述螺旋千斤頂J之間， 其中主體固定于所述螺旋千斤頂J的升降用螺桿Jl的端部，輸送單元塊Bl可連接固定于 所述多個(gè)第一分離用固定件4的上部。而且，以圖5為基準(zhǔn)時(shí)，所述輸送單元Ul通過(guò)所述輸送單元塊Bl可以左右方向移 動(dòng)第一分離用固定件4的上端部。就這種結(jié)構(gòu)而言，通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件4將所述壓印模具S的整個(gè)表 面中的邊緣部分分離時(shí)，可通過(guò)把所述第一分離用固定件4傾斜，就可以更加容易分離該 邊緣部分。圖6是用于說(shuō)明所述傾斜裝置10的作用的附圖。S卩，參照?qǐng)D6，在利用所述多個(gè)第一分離用固定件4固定壓印模具S的整個(gè)表面中 的邊緣部分的狀態(tài)下，向左側(cè)移動(dòng)所述輸送單元Ul的輸送單元塊Bi。這樣一來(lái)，所述第一分離用固定件4的上部隨著所述輸送單元塊Bl向左側(cè)移動(dòng)的 同時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)所述吸附單元H的傾斜。因此，可通過(guò)向側(cè)面拉動(dòng)所述壓印模具S的整個(gè)表 面中的邊緣部分的同時(shí)將其剝開(kāi)的方式來(lái)進(jìn)行分離(第一次分離)工作。如此，與簡(jiǎn)單地向上抬起壓印模具S后將其從基板G分離的現(xiàn)有分離方式相比較， 通過(guò)傾斜進(jìn)行分離的方式可以使因作用于粘合面的粘接力所產(chǎn)生的分離阻力達(dá)到最小化。尤其是，若在多個(gè)第一分離用固定件4傾斜的狀態(tài)下進(jìn)行分離工作，則在把所述 壓印模具S的整個(gè)表面分成邊緣和中間兩部分之后，經(jīng)兩次分離動(dòng)作進(jìn)行分離時(shí)，可以防 止其邊界處以階梯狀折彎而導(dǎo)致壓印模具S扭曲變形或者損壞的現(xiàn)象。因此，本發(fā)明的上述實(shí)施例涉及的壓印模具分離裝置，在與壓印模具S粘合的基 板G放置于所述支撐臺(tái)2上的狀態(tài)下，可利用所述多個(gè)第一分離用固定件4及多個(gè)第二分 離用固定件6將所述壓印模具S的整個(gè)表面分成兩部分之后，將其從基板G簡(jiǎn)單地分離開(kāi)。圖7和圖8是用于說(shuō)明利用本發(fā)明的上述實(shí)施例的壓印模具分離裝置分離壓印模 具的附圖。S卩，如圖7所示，在利用所述多個(gè)第一分離用固定件4固定所述壓印模具S的整個(gè) 表面中的邊緣部分的狀態(tài)下，傾斜所述多個(gè)第一分離用固定件4。這樣一來(lái)，通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件4的傾斜動(dòng)作從基板G抬起所述壓印 模具S的整個(gè)表面中的邊緣部分，從而分離該邊緣部分(第一次分離)。然后，如圖8所示，在利用所述多個(gè)第二分離用固定件6固定所述壓印模具S的整 個(gè)表面的中間部分的狀態(tài)下，向上移動(dòng)所述多個(gè)第二分離用固定件6。那么，所述壓印模具S的整個(gè)表面的中間部分就會(huì)隨著所述多個(gè)第二分離用固定 件6移動(dòng)的同時(shí)從基板G分離(第二次分離)。經(jīng)過(guò)如上所述的兩次分離動(dòng)作，可以將壓印 模具S的整個(gè)表面分成兩個(gè)部分后，再?gòu)幕錑分離。如此，首先分離所述壓印模具S的整個(gè)表面的邊緣部分的方式，例如與將壓印模 具S的整個(gè)表面一次性抬起后分離的方式相比較時(shí)，即使基板G和壓印模具S的粘合面之 間存在藥液Gl的粘接力，也可較容易地分離壓印模具S。而且，通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件4的傾斜動(dòng)作向側(cè)面拉動(dòng)壓印模具S的邊緣部分的同時(shí)將其分離的方式，不僅可以使壓印模具S的分離阻力達(dá)到最小化，而且當(dāng)將 壓印模具S的中間部分和邊緣部分分開(kāi)來(lái)進(jìn)行分離時(shí)，可以防止由于它們的邊界處以階梯 狀折彎，從而使所述壓印模具S扭曲變形或者損壞的現(xiàn)象。圖9用于說(shuō)明傾斜裝置10的其它結(jié)構(gòu)。本實(shí)施例與上述實(shí)施例相比較，其區(qū)別在 于，所述多個(gè)第一分離用固定件4通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元U2的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，形成傾斜 狀態(tài)。S卩，參照?qǐng)D9，所述旋轉(zhuǎn)單元U2可以使用具有旋轉(zhuǎn)軸B2的旋轉(zhuǎn)式氣缸(或者步進(jìn) 電機(jī))，其主體固定于所述升降用螺桿Jl的端部，而旋轉(zhuǎn)軸B2可連接固定于所述第一分離 用固定件4的上部。而且，在所述第一分離用固定件4中吸附單元H的上側(cè)用常規(guī)的方法(例如，鉸鏈 銷(xiāo)結(jié)合)設(shè)置有鉸接單元HI。就這種結(jié)構(gòu)而言，可以通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)單元U2產(chǎn)生及傳遞旋轉(zhuǎn)力的同時(shí)，傾斜所述 多個(gè)第一分離用固定件4。圖10是用于說(shuō)明所述傾斜裝置10的其他結(jié)構(gòu)的作用的附圖。S卩，如圖10所示，在利用所述第一分離用固定件4支撐所述壓印模具S的邊緣部 分的狀態(tài)下，通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)單元U2朝附圖所示的方向旋轉(zhuǎn)所述第一分離用固定件4。這樣一來(lái)，所述第一分離用固定件4旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述吸附單元H可以通過(guò)鉸接單元 H1，并以從基板G向側(cè)面拉動(dòng)及剝開(kāi)所述壓印模具S的邊緣部分的狀態(tài)傾斜。因此，以上述旋轉(zhuǎn)方式傾斜多個(gè)第一分離用固定件4會(huì)使所述壓印模具S的邊緣 部分簡(jiǎn)單地分離開(kāi)。并且，所述傾斜裝置10除了上述結(jié)構(gòu)以外，還可以通過(guò)各種動(dòng)力傳遞的方式傾斜 所述多個(gè)第一分離用固定件4。理所當(dāng)然，這些結(jié)構(gòu)也屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
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權(quán)利要求
一種壓印模具分離裝置，其特征在于，包括支撐臺(tái)，其用于放置與壓印模具粘合的基板；多個(gè)第一分離用固定件，其設(shè)置于所述支撐臺(tái)的上側(cè)，用于將所述壓印模具整個(gè)表面的邊緣部分抬起，并將所述邊緣部分從基板分離開(kāi)；多個(gè)第二分離用固定件，其用于抬起所述壓印模具整個(gè)表面的中間部分，并將所述中間部分從基板分離開(kāi)；傾斜裝置，其用于傾斜所述多個(gè)第一分離用固定件，并通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件的傾斜動(dòng)作來(lái)抬起所述壓印模具的邊緣部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述支撐臺(tái)由板狀真空吸盤(pán)構(gòu)成，其具有與所述基板面積相對(duì)應(yīng)的裝載面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述多個(gè)第一分離用固定件和多個(gè)第二分離用固定件由多個(gè)真空吸附器構(gòu)成，所述多 個(gè)真空吸附器具有通過(guò)吸附力固定所述壓印模具一表面的吸附單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述多個(gè)第一分離用固定件被配置成其能夠固定壓印模具一表面的兩個(gè)邊緣或四個(gè) 邊緣處。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述傾斜裝置由具有輸送單元塊的輸送單元構(gòu)成，并通過(guò)所述輸送單元塊傳遞動(dòng)力的 同時(shí)，使所述多個(gè)第一分離用固定件傾斜，其中所述輸送單元塊能夠線性運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述傾斜裝置由具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)單元構(gòu)成，并通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)軸傳遞動(dòng)力的同時(shí)，使 所述多個(gè)第一分離用固定件傾斜，其中所述旋轉(zhuǎn)軸能夠旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述傾斜裝置根據(jù)所述多個(gè)第一分離用固定件的傾斜動(dòng)作從基板向側(cè)面拉動(dòng)所述壓 印模具的邊緣部分，從而使所述邊緣部分脫離基板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述壓印模具分離裝置還包括流體噴射單元，所述流體噴射單元由向所述基板和壓印 模具的粘合面之間噴射分離用流體的多個(gè)分離用噴嘴構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓印模具分離裝置，其特征在于所述分離用流體為氮?dú)饣驖崈舾稍锟諝狻?br> 全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種壓印模具分離裝置，其可以簡(jiǎn)單地把基板和壓印模具從粘合狀態(tài)分離。該裝置包括支撐臺(tái)，其用于放置與壓印模具粘合的基板；多個(gè)第一分離用固定件，其設(shè)置于所述支撐臺(tái)的上側(cè)，將所述壓印模具整個(gè)表面的邊緣部分抬起，從而可以將所述邊緣部分從基板分離開(kāi)；多個(gè)第二分離用固定件，其用于抬起所述壓印模具整個(gè)表面的中間部分，從而可以將所述中間部分從基板分離開(kāi)；以及傾斜裝置，其用于傾斜所述多個(gè)第一分離用固定件，從而可通過(guò)所述多個(gè)第一分離用固定件的傾斜動(dòng)作來(lái)抬起所述壓印模具的邊緣部分。
文檔編號(hào)G03F7/00GK101930169SQ20091017886
公開(kāi)日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2009年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者樸春成, 李真香, 鄭昌鎬, 金德洙 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社