技術(shù)編號：2744439
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于平板顯示元件用基板的壓印(imprint)工藝，特別涉及一種 可以簡單地從基板分離與基板粘合著的壓印用壓印模具的壓印模具分離裝置。背景技術(shù)在平板顯示元件用基板上形成各種功能性圖案的方法中，一般采用壓印 (imprint)的作業(yè)方式，并且主要使用具有平面狀的壓印模具(stamp)的壓印裝置。在此簡單地說明一下所述壓印裝置的結(jié)構(gòu)，所述裝置包括腔室單元；支撐臺，其設(shè) 置于所述腔室單元的內(nèi)側(cè)，用于放置涂敷有藥液(例如，蝕刻阻劑(etching r...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。