專利名稱：：感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法以及印制電路板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及聚合性化合物能在短時間內(nèi)高效聚合的高靈敏度感光性組合物、以及使用該感光性組合物的感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法以及印制電路板。
背景技術(shù)：
：阻焊劑用于防治在印刷布線板軟釬焊部件時的錫焊橋以及保護電路，要求具有密合性、耐試劑性、電特性等各種特性。近年來，在印刷布線板制造行業(yè)，要求印刷布線板的輕量化、導體電路的高密度化，針對此需求，已開發(fā)并使用照片顯影型的阻焊劑形成用感光性組合物、尤其是能在堿水溶液的作用下顯影的感光性組合物(參照日本專利特開平1-141904號公報)。關(guān)于使用這種照片顯影型的阻焊劑形成用感光性組合物的感光層的形成，必須要有如下工序利用絲網(wǎng)印刷法、簾式涂布法、噴涂法、輥涂法等將該阻焊劑形成用感光性組合物在基板上整面涂布的涂布工序；為了能進行接觸曝光而使有機溶劑揮發(fā)的臨時干燥工序；冷卻、接觸曝光的曝光工序；通過顯影來除去未曝光部的顯影工序；用于得到充分的涂膜特性的熱固化工序。在這些工序中，尤其是曝光工序中，根據(jù)印刷布線板的種類交換底片，進行對位，然后抽真空，曝光，是極其繁瑣的工序。因此，為了提高生產(chǎn)率、降低價格，曝光工序的縮短是一大因素，另外，阻焊劑形成用感光性組合物的高靈敏度化對曝光工序的縮短很有幫助，因此希望實現(xiàn)阻焊劑形成用感光性組合物的高靈敏度化。為了實現(xiàn)上述高靈敏度化的要求，已知某種肟酯衍生物以及某種二硫代亞烷基化合物能作為在光的作用下生成活性自由基而引發(fā)單體聚合的光聚合引發(fā)劑使用(參照日本專利特開昭60-166306號公報、日本專利特開2001-233842號公報、日本專利特開2000-80068號公報、日本專利特開2005-182004號公報以及日本專利第2632069號公報)。但最近，關(guān)于通用的電子設(shè)備中使用的阻焊劑形成用感光性組合物的現(xiàn)狀，對在光的照射下產(chǎn)生活性自由基并高效地引發(fā)聚合、聚合性化合物能在短時間內(nèi)高效聚合的高靈敏度的組合物的需求極高，希望進一步進行改良和開發(fā)。本發(fā)明的目的在于提供在能量線、尤其是光的照射下產(chǎn)生活性自由基并高效地引發(fā)聚合、聚合性化合物能在短時間內(nèi)高效聚合的高靈敏度感光性組合物、以及使用該感光性組合物的感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法、以及印制電路板。用于解決上述技術(shù)問題的方法如下所述。即<1>一種感光性組合物，其特征在于，其至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-l)表示的化合物。上述通式(A-l)中，R'表示?；⑼檠趸驶约胺佳趸驶械娜我环N，該R'還可以被取代基取代，W表示氫原子、垸基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與W可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1。上述通式(B-l)中，116和117可以分別相同或不同，表示烷基、芳基
發(fā)明內(nèi)容以及烯基中的任一種，該W和該W可以與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，G'和GZ可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺?；?、芳基磺酰基以及氟烷基磺?；械娜我环N，該G1和該02可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺?；?、芳基磺酰基以及氟烷基磺?；械娜我环N，p表示0或l。<2〉根據(jù)上述<1〉所述的感光性組合物，其中，由通式(A-l)表示的化合物是由下述通式(A-2)表示的化合物。上述通式(A-2)中，R'表示酰基、垸氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，它們還可以被取代基取代，W表示烷基、烷氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及?；被械娜我环N，m表示0以上的整數(shù)，當該m為2以上時，該R可以分別相同或不同，也可以相互連結(jié)形成環(huán)，Ar表示芳環(huán)和雜芳環(huán)中的任一種，A表示5元環(huán)、6元環(huán)以及7元環(huán)中的任一種，它們還可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一種。<3>根據(jù)上述<2〉所述的感光性組合物，其中，由通式(A-2)表示的化合物是由下述通式(A-3)以及(A-4)中的任一式表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>通式(A-4)上述通式(A-3)和(A-4)中，W表示烷基以及烷氧基中的任一種，該W還可以被取代基取代，RS表示院基、垸氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及?；被械娜我环N，1表示06的整數(shù)，當該1為2以上時，該W可以分別相同或不同，可以相互連結(jié)形成環(huán)，A表示5元環(huán)以及6元環(huán)中的任一種，它們還可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一種。<4>根據(jù)上述<1><3>中任一項所述的感光性組合物，其中，由通式(B-l)表示的化合物是由下述通式(B-2)表示的化合物。上述通式(B-2)中，118和119可以分別相同或不同，表示氫原子、垸基、芳基、酰基以及鹵原子中的任一種，該RS和該W可以相互連結(jié)形成芳環(huán)，還可以在該芳環(huán)上具有垸基、烷氧基以及鹵原子中的至少任一種，RW和R"可以相同，也可以不同，表示氫原子、烷基以及芳基中的任一種，Y表示氧原子以及硫原子中的任一種。<5>根據(jù)上述<1><4>中任一項所述的感光性組合物，其中，熱固性化合物是在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧化合物。<6>根據(jù)上述<5>所述的感光性組合物，其中，在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧化合物是選自雙酚型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、含脂環(huán)基型環(huán)氧樹脂以及難溶性環(huán)氧樹脂中的至少1種。<7>根據(jù)上述<1><6>中任一項所述的感光性組合物，其還含有無機填充劑和有機填充劑中的至少任一種。<8>—種感光性薄膜，其特征在于，在支撐體上具有包含上述<1><7>中任一項所述的感光性組合物的感光層。<9>一種感光性層疊體，其特征在于，在基體上具有包含上述<1><7>中任一項所述的感光性組合物的感光層。<10>—種永久圖案形成方法，其特征在于，包括對由上述<1><7>中任一項所述的感光性組合物形成的感光層進行曝光的步驟。<11>一種印制電路板，其特征在于，利用上述<10>所述的永久圖案形成方法來形成永久圖案。根據(jù)本發(fā)明，能解決現(xiàn)有問題，能提供在能量線、尤其是光的照射下產(chǎn)生活性自由基并高效地引發(fā)聚合、聚合性化合物能在短時間內(nèi)高效聚合的高靈敏度感光性組合物、以及使用該感光性組合物的感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法以及印制電路板。具體實施例方式本發(fā)明的感光性組合物至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物和光聚合引發(fā)劑和增感劑，還可以根據(jù)需要含有其他成分。<粘合劑>作為上述粘合劑，在不損害本發(fā)明效果的前提下，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的適當選擇。上述粘合劑可以單獨使用1種，也可以2種以上并用。作為上述粘合劑的質(zhì)均分子量，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的適當選擇，例如優(yōu)選為10000100000，更優(yōu)選為1000050000。若上述質(zhì)均分子量不足10000，則固化膜強度有可能不足，若超過100000，則存在顯影性下降的傾向。作為上述粘合劑，例如優(yōu)選1分子中具有1個以上羧基的含羧基樹脂(以下有時也稱為"含羧基樹脂")。作為上述含羧基樹脂，優(yōu)選不溶于水且在堿性水溶液的作用下發(fā)生溶脹或溶解的化合物。作為上述含羧基樹脂，只要在l分子中具有l(wèi)個以上羧基即可，沒有特殊限制，優(yōu)選在1分子中分別具有至少1個羧基和能聚合的不飽和雙鍵。作為該不飽和雙鍵，例如可以列舉丙烯?；?例如(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰胺基等)、羧酸的乙烯基酯、乙烯基醚、烯丙基醚等各種聚合性雙鍵。作為這種在1分子中分別具有至少1個羧基和能聚合的不飽和雙鍵的含羧基樹脂，更具體而言，可以列舉使含有羧基的丙烯酸樹脂與含有環(huán)狀醚基的聚合性化合物(例如丙烯酸縮水甘油酯；甲基丙烯酸縮水甘油酯；肉桂酸等不飽和脂肪酸的縮水甘油酯；具有脂環(huán)式環(huán)氧基(例如環(huán)氧環(huán)己烷等)和(甲基)丙烯酰氧基的化合物；等)加成得到的化合物等。另外，還可以列舉使含有羧基和羥基的丙烯酸樹脂與(甲基)丙烯酸乙酯異氰酸酯等含有異氰酸酯基的聚合性化合物加成得到的化合物等。作為這樣的化合物的例子，可以列舉在日本專利2763775號公報、日本專利特開平3-172301號公報、日本專利特開2000-232264號公報等中記載的化合物等。這些化合物中，作為上述含羧基樹脂，更優(yōu)選選自使羧基的一部分與含有環(huán)狀醚基(例如部分結(jié)構(gòu)具有環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷基的基團)的聚合性化合物加成得到的聚合物、以及使環(huán)狀醚基的一部分或全部與含羧基聚合性化合物加成得到的聚合物中的任一種。此時，具有羧基和環(huán)狀醚基的化合物的加成反應(yīng)優(yōu)選在催化劑的存在下實施，特別優(yōu)選該催化劑為選自酸性化合物和中性化合物中的化合物。其中，從感光性組合物的經(jīng)時顯影穩(wěn)定性的觀點出發(fā)，作為含羧基樹脂，優(yōu)選在側(cè)鏈含有羧基、可以含有雜環(huán)的芳香族基以及乙烯性不飽和鍵的含羧基樹脂。-羧基-上述羧基可以利用1種以上具有酸基的自由基聚合性化合物與1種以上根據(jù)需要作為共聚成分的其他自由基聚合性化合物通過通常的自由基聚合法來制造，作為上述自由基聚合法，例如可以列舉懸浮聚合法、溶液聚合法等。作為上述自由基聚合性化合物所具有的酸基，例如可以列舉羧酸基、磺酸基、磷酸基等。其中，特別優(yōu)選磺酸基。作為上述具有羧基的自由基聚合性化合物，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸、馬來酸、對羧基苯乙烯等。它們可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。其中，特別優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸、對羧基苯乙烯。關(guān)于上述含羧基樹脂中的羧基的含量，優(yōu)選為1.0meq/g4.0meq/g，更優(yōu)選為1.5meq/g3.0meq/g。若上述含量不足1.0meq/g，則顯影性有時不足，若超過4.0meq/g，則堿水顯影容易損害圖像強度。這里，關(guān)于上述羧基的含量(meq/g)，例如可以通過使用氫氧化鈉的中和滴定來測定。-可以含有雜環(huán)的芳香族基-作為上述可以含有雜環(huán)的芳香族基(以下有時也稱為"芳香族基")，例如可以列舉苯環(huán)、由2到3個苯環(huán)形成的縮合環(huán)、由苯環(huán)與5元不飽和環(huán)形成的縮合環(huán)等。作為上述芳香族基的具體例子，可以列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基、苯并吡咯環(huán)基、苯并呋喃環(huán)基、苯并噻吩環(huán)基、吡唑環(huán)基、異噁唑環(huán)基、異噻唑環(huán)基、吲唑環(huán)基、苯并異噁唑環(huán)基、苯并異噻唑環(huán)基、咪唑環(huán)基、噁唑環(huán)基、噻唑環(huán)基、苯并咪唑環(huán)基、苯并噁唑環(huán)基、苯并噻唑環(huán)基、吡啶環(huán)基、喹啉環(huán)基、異喹啉環(huán)基、噠嗪環(huán)基、嘧啶環(huán)基、吡嗪環(huán)基、酞嗪環(huán)基、喹唑啉環(huán)基、喹喔啉環(huán)基、氮丙啶環(huán)基、菲啶環(huán)基、咔唑環(huán)基、嘌呤環(huán)基、吡喃環(huán)基、哌啶環(huán)基、哌嗪環(huán)基、吲哚環(huán)基、吲哚嗪環(huán)基、色烯環(huán)基、噌啉環(huán)基、吖啶環(huán)基、吩噻嗪環(huán)基、四唑環(huán)基、三嗪環(huán)基等。其中，優(yōu)選烴芳香族基，更優(yōu)選苯基、萘基。上述芳香族基可以具有取代基，作為上述取代基，例如可以列舉鹵原子、可以具有取代基的氨基、烷氧基羰基、羥基、醚基、硫醇基、硫醚基、甲硅烷基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烯基、可以具有取代基的炔基、可以具有取代基的雜環(huán)基等。作為上述垸基，例如可以列舉碳原子數(shù)為120的直鏈狀烷基、支鏈狀烷基、環(huán)狀垸基等。作為上述垸基的具體例子，可以列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一垸基、十二烷基、十三烷基、十六烷基、十八垸基、二十垸基、異丙基、異丁基、仲丁基、叔丁基、異戊基、新戊基、l-甲基丁基、異己基、2-乙基己基、2-甲基己基、環(huán)己基、環(huán)戊基、2-降冰片烷基等。其中，優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀烷基、碳原子數(shù)為312的支鏈狀垸基、碳原子數(shù)為510的環(huán)狀烷基。作為上述烷基可以具有的取代基，例如可以列舉包含去掉氫原子的一價非金屬原子團的基團。作為這樣的取代基，具體可以列舉鹵原子(-F、-Br、-Cl、-1)、羥基、烷氧基、芳氧基、巰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基二硫基、芳基二硫基、氨基、N-烷基氨基、N，N-二垸基氨基、N-芳基氨基、N，N-二芳基氨基、N-垸基-N-芳基氨基、酰氧基、氨甲酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、N，N-二烷基氨甲酰氧基、N，N-二芳基氨甲酰氧基、N-垸基-N-芳基氨甲酰氧基、垸基硫氧基、芳基硫氧基、?；蚧?、酰基氨基；N-烷基?；被?、N-芳基?；被?、脲基、N'-烷基脲基、N'，N，-二烷基脲基、N，-芳基脲基、N'，N'-二芳基脲基、N，-烷基-N，-芳基脲基、N-烷基脲基、N-芳基脲基、N'-烷基-N-烷基脲基、N'-垸基-N-芳基脲基、N'，N'-二烷基-N-垸基脲基、N'，N'-二垸基-N-芳基脲基、N'-芳基-N-烷基脲基、N'-芳基-N-芳基脲基、N'，N'-二芳基-N-垸基脲基、N'，N'-二芳基-N-芳基脲基、N'-烷基-N，-芳基-N-烷基脲基、N，-烷基-N'-芳基-N-芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N-垸基-N-垸氧基羰基氨基、N-烷基-N-芳氧基羰基氨基、N-芳基-N-垸氧基羰基氨基、N-芳基-N-芳氧基羰基氨基、甲?；?、酰基、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲?；?、N-烷基氨甲酰基、N，N-二烷基氨甲?；-芳基氨甲?；?、N，N-二芳基氨甲?；-烷基-N-芳基氨甲?；?、烷基亞磺酰基、芳基亞磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、磺基(-S03H)及其共軛堿基(也稱為磺酸根(sulfonato))、垸氧基磺酰基、芳氧基磺酰基、氨亞磺?；?sulfinamoyl,7少7^于千^，)、N-垸基氨亞磺酰基、N，N-二烷基氨亞磺?；?、N-芳基氨亞磺?；，N-二芳基氨亞磺?；?、N-垸基-N-芳基氨亞磺?；?、氨磺?；?、N-烷基氨磺?；，N-二垸基氨磺?；?、N-芳基氨磺?；?、N，N-二芳基氨磺酰基、N-烷基-N-芳基氨磺酰基、膦酰基(-PO3H2)或其共軛堿基(稱作膦酸根(phosphonato，爾7爾于卜)基)、二垸基膦酰基(-P03(alkyl)2)(以下"alkyl"表示垸基)、二芳基膦?；?-P03(aryl)2)(以下"aryl"表示芳基)、烷基芳基膦?；?-P03(alkyl)(aryl))、單烷基膦?；?-P03(alkyl))或其共軛堿基(稱為垸基磷酸根基)、單芳基膦酰基(-P03H(aryl))或其共軛堿基(稱為芳基膦酸根基)、膦酰氧基(-OP03H2)或其共軛堿基(稱為磷酸根氧基)、二垸基膦酰氧基(-OP03H(alkyl)2)、二芳基膦酰氧基(-OPO3(aryl)2)、烷基芳基膦酰氧基(-OP03(alkyl)(aryl))、單烷基膦酰氧基(-OP03H(alkyl))或其共軛堿(稱為烷基膦酸根氧基)、單芳基膦酰氧基(-OP03H(aryl))或其共軛堿基(稱為芳基磷酸根氧基)、氰基、硝基、芳基、烯基、炔基、雜環(huán)基、甲硅烷基等。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的烷基的具體例子，可以列舉上述烷基。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的芳基的具體例子，可以列舉苯基、聯(lián)苯基、萘基、甲苯基、二甲苯基、茶(mesityl)基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氯甲基苯基、羥基苯基、甲氧基苯基、乙氧基苯基、苯氧基苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酰氧基苯基、甲基硫代苯基、苯基硫代苯基、甲基氨基苯基、二甲基氨基苯基、乙?；被交?、羧基苯基、甲氧基羰基苯基、乙氧基苯基羰基、苯氧基羰基苯基、N-苯基氨甲?；交⑶杌交?、磺基苯基、磺酸根苯基、膦酰苯基、膦酸根苯基等。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的烯基的具體例子，可以列舉乙烯基、l-丙烯基、l-丁烯基、肉桂基、2-氯-l-乙烯基等。，關(guān)于作為上述垸基可以具有的取代基的炔基的具體例子，可以列舉乙炔基、l-丙炔基、l-丁炔基、三甲基甲硅烷基乙炔基等。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的?；?RQ1CO-)的RQ1，例如可以列舉氫原子、上述烷基、以及芳基中的任一種。關(guān)于作為上述垸基可以具有的取代基的雜環(huán)基的具體例子，可以列舉吡啶基、哌啶基等，作為上述取代基中的甲硅垸基，可以列舉三甲基甲硅檢其望關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的氧基(RQ20-)，例如可以列舉R"為由去掉氫原子的一價非金屬原子團構(gòu)成的基團等。作為這樣的氧基，例如可以列舉垸氧基、芳氧基、酰氧基、氨甲酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、N，N-二垸基氨甲酰氧基、N，N-二芳基氨甲酰氧基、N-烷基-N-芳基氨甲酰氧基、烷基硫氧基、芳基硫氧基、膦酰氧基、磷酰氧基等。作為其中的烷基和芳基，可以列舉與作為上述烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基所示的基團相同的基團。另外，作為酰氧基中的?；?RQ3CO-)，RW可以列舉作為上述例子所列舉的垸基、取代烷基、芳基、取代芳基等。其中，特別優(yōu)選烷氧基、芳氧基、酰氧基、芳基硫氧基。作為更優(yōu)選的氧基的具體例子，可以列舉甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、十二烷氧基、芐氧基、烯丙氧基、苯乙基氧基、羧基乙氧基、甲氧基羰基乙基氧基、乙氧基羰基乙基氧基、甲氧基乙氧基、苯氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、嗎啉代乙氧基、嗎啉代丙氧基、烯丙氧基乙氧基乙氧基、苯氧基、甲苯氧基、二甲苯氧基、茶基氧基、枯烯基氧基、甲氧基苯基氧基、乙氧基苯基氧基、氯苯基氧基、溴苯基氧基、乙酰氧基、苯甲酸基、萘基氧基、苯基磺酰氧基、膦酰氧基、膦酸根氧基等。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的磺?；?R°4-S02-)，例如可以列舉R0"為由1價非金屬原子團構(gòu)成的基團。作為這樣的磺酰基，例如優(yōu)選烷基磺?；?、芳基磺酰基等。作為其中的烷基和芳基，可以列舉作為上述垸基、取代垸基、芳基以及取代芳基所例示的基團。作為上述磺酰基的具體例子，可以列舉丁基磺?；?、苯基磺酰基、氯苯基磺?；?。關(guān)于作為上述垸基可以具有的取代基的磺酸根(-S03-)，如上所述，意味著磺酸基(-S03H)的共軛堿陰離子，通常優(yōu)選與對陽離子一起使用。作為這樣的對陽離子，可以適當選擇周知的對陽離子，例如可以列舉鐵類(例如銨類、锍類、轔類、碘鑰類、疊氮鐵(:r^二々厶)類等)、金屬離子類(例如Na+、K+、Ca2+、Zn2，)。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的羰基(RQ5-CO-)，例如可以列舉RM為由l價非金屬原子團構(gòu)成的基團。作為這樣的羰基，例如可以列舉甲?；Ⅴ；?、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲?；?、N-烷基氨甲?；?、N，N-二垸基氨甲?；-芳基氨甲?；?、N，N-二芳基氨甲?；?、N-烷基-N'-芳基氨甲?；?。作為其中的烷基和芳基，可以列舉作為上述的烷基、取代烷基、芳基、以及取代芳基所例示的基團。作為上述羰基，可以列舉甲?；?、?；?、羧基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲?；?、N-烷基氨甲?；?、N，N-二烷基氨甲?；?、N-芳基氨甲?；?。其中，更優(yōu)選甲酰基、?；?、烷氧基羰基、芳氧基羰基。作為上述羰基的具體例子，可以列舉甲?；⒁阴；?、苯甲?；?、羧基、甲氧基羰基、乙氧基羰基、芳氧基羰基、二甲基氨基苯基乙烯基羰基、甲氧基羰基甲氧基羰基、N-甲基氨甲?；?、N-苯基氨甲酰基、N，N-二乙基氨甲酰基、嗎啉代羰基等。關(guān)于作為上述烷基可以具有的取代基的亞磺?；?RD6-SO-)，可以列舉RQ6由1價的非金屬原子團構(gòu)成的基團。作為這樣的亞磺?；?，例如可以列舉烷基亞磺?；?、芳基亞磺酰基、氨亞磺酰基、N-烷基氨亞磺?；?、N，N-二烷基氨亞磺?；-芳基氨亞磺?；，N-二芳基氨亞磺酰基、N-烷基-N-芳基氨亞磺酰基等。作為其中的烷基和芳基，可以列舉作為上述的垸基、取代垸基、芳基以及取代芳基所例示的基團。其中，優(yōu)選烷基亞磺?；?、芳基亞磺酰基。作為上述取代亞磺?；木唧w例子，優(yōu)選列舉己基亞磺酰基、芐基亞磺?；⒓妆交鶃喕酋；?。作為上述烷基可以具有的取代基的膦?；侵胳Ⅴ；系囊粋€或兩個羥基被其他有機氧代基團取代的基團，例如優(yōu)選上述二烷基膦?；⒍蓟Ⅴ；?、烷基芳基膦?；?、單烷基膦酰基、單芳基膦酰基等。其中，更優(yōu)選二烷基膦?；?、二芳基膦?；Ｗ鳛樯鲜鲮Ⅴ；母鼉?yōu)選的具體例子，可以列舉二乙基膦?；?、二丁基膦酰基、二苯基膦酰基等。作為上述垸基可以具有的取代基的膦酸根(-P03H2-、-P03H-)，如上所述，是指膦?；?-P03H2-)的來源于酸第一解離或酸第二解離的共軛堿陰離子基。通常優(yōu)選與對陽離子一起使用。作為這樣的對陽離子，可以適當選擇周知的對陽離子，例如可以列舉各種鑰類(銨類、锍類、鱗類、碘鐵類、疊氮鎿類等)、金屬離子類(Na+、K+、Ca2+、Zn"等)。上述膦酸根基可以是膦酸基中羥基被取代為一個有機氧代基團后的共軛堿陰離子，作為這樣的具體例子，可以列舉上述單烷基膦?；?-P03H(alkyl))、單芳基膦?；?-P03H(aiyl))的共軛堿基。上述烷基可以具有的取代基中，優(yōu)選鹵原子(-F、-Br、-Cl、-1)、烷氧基、芳氧基、垸基硫基、芳基硫基、N-烷基氨基、N，N-二垸基氨基、酰氧基、N-烷基氨甲酰氧基、N-芳基氨甲酰氧基、酰基氨基、甲酰基、?；?、羧基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲?；?、N-烷基氨甲?；?、N，N-二垸基氨甲?；-芳基氨甲?；?、N-垸基-N-芳基氨甲酰基、磺基、磺酸根、氨磺酰基、N-烷基氨磺?；，N-二垸基氨磺?；?、N-芳基氨磺?；?、N-垸基-N-芳基氨磺酰基、膦?；?、膦酸根、二垸基膦?；?、二芳基膦?；?、單烷基膦?；?、垸基膦酸根、單芳基膦酰基、芳基膦酸根、膦酰氧基、膦酸根氧基、芳基、烯基等。作為這種取代基和烷基組合得到的取代垸基的優(yōu)選具體例子，可以列舉氯甲基、溴甲基、2-氯乙基、三氟甲基、甲氧基甲基、異丙氧基甲基、丁氧基甲基、仲丁氧基丁基、甲氧基乙氧基乙基、烯丙氧基甲基、苯氧基甲基、甲基硫代甲基、甲苯基硫代甲基、吡啶基甲基、四甲基哌啶基甲基、N-乙?；募谆哙せ谆?、三甲基甲硅垸基甲基、甲氧基乙基、乙基氨基乙基、二乙基氨基丙基、嗎啉代丙基、乙酰氧基甲基、苯甲酰氧基甲基、N-環(huán)己基氨甲酰氧基乙基、N-苯基氨甲酰氧基乙基、乙?；被一-甲基苯甲酰氨基丙基、2-氧代乙基、2-氧代丙基、羧基丙基、甲氧基羰基乙基、烯丙氧基羰基丁基、氯苯氧基羰基甲基、氨甲酰基甲基、N-甲基氨甲?；一?、N，N-二丙基氨甲?；谆-(甲氧基苯基)氨甲?；一-甲基-N-(磺基苯基)氨甲?；谆?、磺基丁基、磺酸根丁基、氨磺?；』?、N-乙基氨磺?；谆?、N，N-二丙基氨磺?；-甲苯基氨磺?；?、N-甲基-N-(膦酰苯基)氨磺?；粱㈧Ⅴ６』?、膦酸根己基、二乙基膦酰丁基、二苯基膦酰丙基、甲基膦酰丁基、甲基膦酸根丁基、甲苯基膦酰己基、甲苯基膦酸根己基、膦酰氧基丙基、膦酸氧基丁基、芐基、苯乙基、ci-甲基芐基、l-甲基-l-苯基乙基、對甲基芐基、肉桂基、烯丙基、1-丙烯基甲基、2-丁烯基、2-甲基烯丙基、2-甲基丙烯基甲基、2-丙炔基、2-丁炔基、3-丁炔基等。另一方面，關(guān)于上述可以具有芳香族基的取代基的芳基，例如可以列舉苯環(huán)、由2個到3個苯環(huán)形成的縮合環(huán)、由苯環(huán)與5元不飽和環(huán)形成的縮合環(huán)等。作為上述芳基的具體例子，例如可以列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、茚基、苊基、芴基等。其中，優(yōu)選苯基、萘基。上述芳基可以具有取代基，作為這種具有取代基的芳基(以下有時也稱為"取代芳基")，例如可以列舉在上述芳基的成環(huán)碳原子上具有由氫原子以外的1價非金屬原子團形成的基團作為取代基的取代芳基。作為上述可以具有芳基的取代基，例如優(yōu)選作為上述烷基、取代垸基、上述可以具有烷基的取代基所例示的基團。作為上述取代芳基的優(yōu)選具體例子，可以列舉聯(lián)苯基、甲苯基、二甲苯基、萊基、枯烯基、氯苯基、溴苯基、氟苯基、氯甲基苯基、三氟甲基苯基、羥基苯基、甲氧基苯基、甲氧基乙氧基苯基、烯丙基氧基苯基、苯氧基苯基、甲基硫代苯基、甲苯基硫代苯基、乙基氨基苯基、二乙基氨基苯基、嗎啉代苯基、乙酰氧基苯基、苯甲酰氧基苯基、N-環(huán)己基氨甲?；趸交?、N-苯基氨甲?；趸交⒁阴；被交?、N-甲基苯甲?；被交Ⅳ然交?、甲氧基羰基苯基、烯丙基氧基羰基苯基、氯苯氧基羰基苯基、氨甲?；交?、N-甲基氨甲?；交?、N，N-二丙基氨甲?；交?、N-(甲氧基苯基)氨甲?；交-甲基-N-(磺基苯基)氨甲?；交?、磺基苯基、磺酸根苯基、氨磺?；交?、N-乙基氨磺酰基苯基、N，N-二丙基氨磺酰基苯基、N-甲苯基氨磺?；交-甲基-N-(磺基苯基)氨磺?；交?、膦?；交?、膦酸根苯基、二乙基膦?；交?、二苯基膦?；交?、甲基膦酰基苯基、甲基膦酸根苯基、甲苯基膦?；交?、甲苯基膦酸根苯基、甲苯基苯基、1-丙烯基甲基苯基、2-丁烯基苯基、2-甲基烯丙基苯基、2-甲基丙烯基苯基、2-丙炔基苯基、2-丁炔基苯基、3-丁炔基苯基等。關(guān)于作為上述可以具有芳香族基的取代基的烯基或炔基，例如可以列舉除去上述碳原子數(shù)為120的垸基上的任意1個或2個氫原子得到的2價或3價的有機殘基,例如優(yōu)選碳原子數(shù)為112的直鏈狀的烯基或炔基、碳原子數(shù)為312的支鏈狀的烯基或炔基、碳原子數(shù)為510的環(huán)狀的烯基或炔基等。作為上述烯基(-C(R07)=C(R08)(R09))以及炔基(-C三C(R固))，例如可以列舉R137、RD8、R^以及R,為l價的非金屬原子團形成的基團。作為上述R，R08、R09、R010，例如可以列舉氫原子、鹵原子、烷基、取代烷基、芳基、取代芳基等。作為它們的具體例子，可以列舉作為上述例子所示的基團。其中，優(yōu)選氫原子、鹵原子、碳原子數(shù)為110的直鏈狀烷基、支鏈狀的烷基、環(huán)狀的垸基。作為上述烯基以及炔基的優(yōu)選具體例子，可以列舉乙烯基、l-丙烯基、l-丁烯基、l-戊烯基、l-己烯基、l-辛烯基、l-甲基-l-丙烯基、2-甲基-1-丙烯基、2-甲基-l-丁烯基、2-苯基-l-乙烯基、2-氯-l-乙烯基、乙炔基、1-丙炔基、l-丁炔基、苯基乙炔基等。作為上述雜環(huán)基，例如可以列舉作為取代垸基的取代基例示的吡啶基等。關(guān)于作為上述可以具有芳香族基的取代基的可以含有取代基的氨基(R011NH-、(R012)(R013)N-)，例如可以列舉R^11、RQ12以及RQ13為由去掉氫原子的1價非金屬原子團形成的基團。另外，R^和R。u可以鍵合形成環(huán)。作為上述氨基，例如可以列舉N-烷基氨基、N，N-二烷基氨基、N-芳基氨基、N，N-二芳基氨基、N-烷基-N-芳基氨基、?；被?、N-垸基?；被?、N-芳基酰基氨基、脲基、N'-烷基脲基、N'，N，-二垸基脲基、N'-芳基脲基、N'，N'-二芳基脲基、N'-烷基-N'-芳基脲基、N-烷基脲基、N-芳基脲基、N'-烷基-N-烷基脲基、N，-烷基-N-芳基脲基、N'，N'-二垸基-N-烷基脲基、N，-垸基-N，-芳基脲基、N，，N，-二烷基-N-垸基脲基、N'，N，-二垸基-N，-芳基脲基、N，-芳基-N-垸基脲基、N，-芳基-N-芳基脲基、N'，N，-二芳基-N-烷基脲基、N'，N，-二芳基-N-芳基脲基、N，-烷基-N，-芳基-N-烷基脲基、N，-垸基-N，-芳基-N-芳基脲基、垸氧基羰基氨基、芳氧基羰基氨基、N-垸基-N-垸氧基羰基氨基、N-烷基-N-芳氧基羰基氨基、N-芳基-N-垸氧基羰基氨基、N-芳基-N-芳氧基羰基氨基等。作為其中的烷基以及芳基，可以列舉作為上述烷基、取代垸基、芳基、以及取代芳基所示的基團。另外，?；被?、n-烷基?；被?、n-芳基酰基氨基中的?；?rq3co-)的rM如上所述。其中，更優(yōu)選n-垸基氨基、n，n-二垸基氨基、n-芳基氨基、?；被?。作為優(yōu)選的氮基的具體例子，可以列舉甲基氨基、乙基氨基、二乙基氨基、嗎啉基、哌啶基、吡咯嗪基、苯基氨基、苯甲酰氨基、乙酰氨基等。作為向側(cè)鏈導入上述芳香族基的方法，沒有特殊限制，例如可以將上述側(cè)鏈含有羧基的聚合物與1種以上含有芳香族基的自由基聚合性化合物以及根據(jù)需要使用的l種以上作為共聚成分的其他自由基聚合性化合物通過通常的自由基聚合法來制造。作為上述自由基聚合法，例如通?？梢粤信e懸浮聚合法或溶液聚合法等。作為上述含有芳香族基的自由基聚合性化合物，例如優(yōu)選由下述通式(a-l)表示的化合物、下述通式(a-2)表示的化合物。r2C—0—l—Aro上述通式(a-l)中，R,、R2以及R3表示氫原子或1價的有機基團。L表示有機基團和單鍵中的任一種。Ar表示可以含有雜環(huán)的芳香族基。上述通式(a-2)中，R"R2、113以及Ar表示與上述通式(a-l)相同的思思。作為上述L的有機基團，例如由非金屬原子形成的多價有機基團，可以列舉由160個碳原子、0個10個氮原子、0個50個氧原子、1個100個氫原子及0個20個硫原子組成的有機基團。更具體來說，作為上述L的有機基團，可以列舉由下述結(jié)構(gòu)單位組合構(gòu)成的有機基團、多價萘、多價蒽等。RiR3通式(a-i)上述L的連結(jié)基可以具有取代基，作為上述取代基，可以列舉上述囪原子、羥基、羧基、磺酸根、硝基、氰基、酰胺基、氨基、烷基、烯基、炔基、芳基、取代氧基、取代磺?；⑷〈驶?、取代亞磺?；⒒腔?、膦酰基、膦酸根、甲硅垸基、雜環(huán)基。在由上述通式(a-l)表示的化合物以及由上述通式(a-2)表示的化合物中，通式(a-l)在靈敏度方面成為優(yōu)選。另外，在上述通式(a-l)中，具有連結(jié)基的化合物在穩(wěn)定性方面成為優(yōu)選，作為上述L的有機基團，碳原子數(shù)為14的亞垸基在非像素部的除去性(顯影性)方面成為優(yōu)選。由上述通式(a-l)表示的化合物聚合時，形成含有由下述通式(a-3)表示的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。另外，由上述通式(a-2)表示的化合物形成含有由下述通式(a-4)的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。其中，含有通式(a-4)的結(jié)構(gòu)單元的聚合物在保存穩(wěn)定性方面成為優(yōu)選。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>通式(a-4)上述通式(a-3)禾卩(a-4)中，R,、R2、R3、L以及Ar表示與上述通式(a-l)以及(a-2)相同的意思。在上述通式(a-3)和(a-4)中，R,和R2為氫原子、113為甲基時在非像素部的除去性(顯影性)方面成為優(yōu)選。另夕卜，上述通式(a-3)的L為碳原子數(shù)為14的亞烷基時在非像素部的除去性(顯影性)方面成為優(yōu)選。作為由上述通式(a-l)表示的化合物或由通式(a-2)表示的化合物，沒有特殊限制，例如可以列舉以下的例示化合物(1)(30)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>(22).0、(29)SiCCHaJa(3^上述例示化合物(1)(30)中，優(yōu)選(5)、(6)、(11)、(14)以及(28)，其中，從保存穩(wěn)定性和顯影性的觀點出發(fā)，更優(yōu)選(5)和(6)。上述可以含有雜環(huán)的芳香族基在上述含羧基樹脂中的含量，沒有特殊限制，當以含羧基樹脂的總結(jié)構(gòu)單元為100mol。/。時，優(yōu)選含有20mol。/。以上的由上述通式(a-3)表示的結(jié)構(gòu)單元，更優(yōu)選含有30mol。/。45mo1。/。。若上述含量不足20mol%，則保存穩(wěn)定性有時會下降，若超過45mo1。/。，則顯影性有時會下降。-乙烯性不飽和鍵-作為上述乙烯性不飽和鍵，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選由下述通式(a-5)(a-7)中任一式所示的乙烯性不飽和鍵。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>OC3OKgK6K7z—c二ct1R9Rio通式(a-7)上述通式(a-5)(a-7)中，R,R分別獨立地表示氫原子、1價的有機基團。X和Y分別獨立地表示氧原子、硫原子、或-N-R4。Z表示氧原子、硫原子、-^&或亞苯基。R4表示氫原子、或l價的有機基團。在上述通式(a-5)中，作為Rp分別獨立地優(yōu)選為例如氫原子、可以具有取代基的垸基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基。作為上述R2和R3，分別獨立地例如為氫原子、鹵原子、氨基、羧基、垸氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的烷基磺酰基、可以具有取代基的芳基磺酰基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基。作為上述R4，例如優(yōu)選氫原子、可以具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。這里，作為能導入的上述取代基，例如可以列舉烷基、烯基、炔基、芳基、烷氧基、芳氧基、鹵原子、氨基、垸基氨基、芳基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、酰胺基、垸基磺酰基、芳基磺?；取Ｉ鲜鐾ㄊ?a-6)中，作為R4R8，分別獨立地例如為氫原子、鹵原子、氨基、二烷基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的垸基磺?；⒖梢跃哂腥〈姆蓟酋；?，更優(yōu)選氫原子、羧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基。作為能導入的上述取代基，可以例示上述通式(a-5)中列舉的取代基。上述通式(a-7)中，作為R9，例如優(yōu)選氫原子、可以具有取代基的垸基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，優(yōu)選氫原子、甲基。作為上述Ru)、Ru，分別獨立地例如為氫原子、鹵原子、氨基、二烷基氨基、羧基、烷氧基羰基、磺基、硝基、氰基、可以具有取代基的垸基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的烷氧基、可以具有取代基的芳氧基、可以具有取代基的烷基氨基、可以具有取代基的芳基氨基、可以具有取代基的烷基磺酰基、可以具有取代基的芳基磺酰基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，更優(yōu)選氫原子、羧基、垸氧基羰基、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的芳基。這里，作為能導入的上述取代基，可以例示上述通式(a-5)中列舉的取代基。作為上述Z，表示氧原子、硫原子、-NR13-、或可以具有取代基的亞苯基。Rn表示可以具有取代基的烷基等，從自由基反應(yīng)性高的觀點出發(fā)，優(yōu)選氫原子、甲基、乙基、異丙基。由上述通式(a-5)(a-7)表示的乙烯性不飽和鍵中，由上述通式(a-5)表示的乙烯性不飽和鍵的聚合反應(yīng)性高，靈敏度高，因而更優(yōu)選。關(guān)于上述乙烯性不飽和鍵在上述含羧基樹脂中的含量，沒有特殊限制，優(yōu)選0.5meq/g3.0m叫/g，更優(yōu)選1.0meq/g3.0m叫/g，特別優(yōu)選1.5m叫/g2.8m叫/g。當上述含量不足0.5meq/g時，固化反應(yīng)量少，因此有時靈敏度低，當超過3.0meq/g時，保存穩(wěn)定性有時會下降。這里，上述含量(meq/g)例如可以通過碘滴定來測定。作為在側(cè)鏈導入上述通式(a-5)所示的乙烯性不飽和鍵的方法，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如，可以通過使上述側(cè)鏈含有羧基的聚合物與具有乙烯性不飽和鍵和環(huán)氧基的化合物加成反應(yīng)來得到。作為上述具有乙烯性不飽和鍵和環(huán)氧基的化合物，只要具有這些基團即可，沒有特殊限制，例如優(yōu)選由下述通式(a-8)和(a-9)中任一式表示的化合物。上述通式(a-8)中，R,表示氫原子或甲基。L,表示有機基團。上述通式(a-9)中，R2表示氫原子或甲基。L2表示有機基團。W表示47元環(huán)的脂肪族烴基。上述通式(a-8)所示的化合物以及通式(a-9)所示的化合物中，優(yōu)選通式(a-8)所示的化合物，上述通式(a-8)中，更優(yōu)選L,是碳原子數(shù)為14的亞垸基的化合物。作為由上述通式(a-8)表示的化合物或由通式(a-9)表示的化合物，沒有特殊限制，例如可以列舉以下的例示化合物(31)(40)。iII—^r"iTHc一o—u—c—通式(a-8)作為上述側(cè)鏈的導入反應(yīng)，具體而言，可以通過如下方法來進行以三乙胺、芐基甲基胺等叔胺、十二垸基三甲基氯化銨、四甲基氯化銨、四乙基氯化銨等季銨鹽、吡啶、三苯基膦等為催化劑，在有機溶劑中，在反應(yīng)溫度5015(TC下反應(yīng)數(shù)小時數(shù)十小時來進行。作為上述側(cè)鏈具有乙烯性不飽和鍵的結(jié)構(gòu)單元，沒有特殊限制，例如優(yōu)選由下述通式(a-10)表示的結(jié)構(gòu)單元、由通式(a-ll)表示的結(jié)構(gòu)單元以及它們混合合成的結(jié)構(gòu)單元。RaRcRjt-t十i=CH2febS—0~CH2-CH—Lroi通式(a—10)(5i)H&RaRc(!;-c4"C=CH2通式(a-ll)(!)CH2OHO上述通式(a-10)和(a-11)中，RaRc表示氫原子或1價的有機基團。R,表示氫原子或甲基。Li表示可以具有連結(jié)基的有機基團。關(guān)于由上述通式(a-10)表示的結(jié)構(gòu)以及由通式(a-11)表示的結(jié)構(gòu)單元的含量，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，當含羧基樹脂的總結(jié)構(gòu)單元為100mol。/。時，優(yōu)選為20mol。/。以上，更優(yōu)選為20mol%50mol%，特別優(yōu)選為25mol%45mol%。當上述含量不足20mol。/。時，由于固化反應(yīng)量少，因此有時靈敏度低，當超過50moiy。時，保存穩(wěn)定性有時會下降。關(guān)于上述含羧基樹脂，出于提高圖像強度等各性能的目的，除上述自由基聚合性化合物外，優(yōu)選還使其他的自由基聚合性化合物共聚。作為上述其他的自由基聚合性化合物，例如可以列舉選自丙烯酸酯類、甲基丙烯酸酯類、苯乙烯類等中的自由基聚合性化合物等。具體而言，可以列舉丙烯酸烷基酯等丙烯酸酯類；丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸烷基酯等甲基丙烯酸酯類；甲基丙烯酸芳基酯、苯乙烯、烷基苯乙烯等苯乙烯類；烷氧基苯乙烯、鹵苯乙烯等。作為上述丙烯酸酯類，優(yōu)選垸基的碳原子數(shù)為120的丙烯酸酯類，例如可以列舉丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸戊酯、丙烯酸乙基己酯、丙烯酸辛酯、丙烯酸叔辛酯、丙烯酸氯乙酯、丙烯酸2，2-二甲基羥丙酯、丙烯酸5-羥戊酯、三羥甲基丙垸單丙烯酸酯、季戊四醇單丙烯酸酯、丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸甲氧基芐酯、丙烯酸糠酯、丙烯酸四氫糠酯等。作為上述丙烯酸芳酯，例如可以列舉丙烯酸苯酯等。作為上述甲基丙烯酸酯類，優(yōu)選烷基的碳原子數(shù)為120的甲基丙烯酸酯類，例如可以列舉甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸戊酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸氯芐酯、甲基丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸4-輕基丁酯、甲基丙烯酸5-羥基戊酯、甲基丙烯酸2，2-二甲基-3-羥基丙酯、三羥甲基丙烷單甲基丙烯酸、季戊四醇單甲基丙烯酸、甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸糠酯、甲基丙烯酸四氫糠酯等。作為上述甲基丙烯酸芳基酯，例如可以列舉甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸甲苯酯、甲基丙烯酸萘酯等。.作為上述苯乙烯類，例如可以列舉甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、異丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、環(huán)己基苯乙烯、十二烷基苯乙烯、芐基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酰氧基甲基苯乙烯等。作為上述烷氧基苯乙烯，例如可以列舉甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等。作為上述鹵苯乙烯，例如可以列舉氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等。這些自由基聚合性化合物可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。作為在合成上述含羧基樹脂時使用的溶劑，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的適當選擇，例如可以列舉二氯乙垸、環(huán)己酮、甲乙酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙酸2-甲氧基乙酯、l-甲氧基-2-丙醇、乙酸l-甲氧基-2-丙酯、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、甲苯、乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯等。它們可以單獨使用l種，也可以2種以上混合使用。在上述含羧基樹脂中，可以含有未反應(yīng)的單體。此時，上述單體在上述含羧基樹脂中的含量優(yōu)選為15質(zhì)量％以下。上述含羧基樹脂可以單獨使用1種，也可以2種以上混合使用。關(guān)于上述含羧基樹脂的含量，相對于感光性組合物中的總固體成分，優(yōu)選為5質(zhì)量％80質(zhì)量％，更優(yōu)選為10質(zhì)量％70質(zhì)量％。若該固體成分含量不足5質(zhì)量％，則感光層的膜強度容易變?nèi)?，該感光層的表面的粘性有時會下降，若超過80質(zhì)量％，則感光靈敏度有時會下降。<聚合性化合物>作為上述聚合性化合物，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選在1分子中具有至少1個不飽和雙鍵的聚合性化合物，例如可以優(yōu)選列舉選自具有(甲基)丙烯酰基的單體中的至少l種。另外，優(yōu)選常壓下的沸點為iocrc以上的化合物。作為上述具有(甲基)丙烯酰基的單體，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能丙烯酸酯或單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙垸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰脲酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸或甘油、雙酚等多官能醇與環(huán)氧乙垸或環(huán)氧丙烷加成反應(yīng)后進行(甲基)丙烯酸酯化得到的化合物、日本專利特公昭48-41708號、日本專利特公昭50-6034號、日本專利特開昭51-37193號等各公報中記載的丙烯酸脲酯類；日本專利特開昭48-64183號、日本專利特公昭49-43191號、日本專利特公昭52-30490號等各公報中記載的聚酯丙烯酸酯類；環(huán)氧樹脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物即環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特別優(yōu)選三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。關(guān)于上述聚合性化合物的含量，當上述粘合劑的含量為100質(zhì)量份時，優(yōu)選為2質(zhì)量份50質(zhì)量份，更優(yōu)選為10質(zhì)量份35質(zhì)量份。若該含量不足2質(zhì)量份，則有時會出現(xiàn)顯影性惡化、曝光靈敏度下降等問題，若超過50質(zhì)量份，則有時感光層的粘附性過強，不優(yōu)選。<熱固性化合物>作為上述熱固性化合物(熱交聯(lián)劑)，只要是通過加熱引起交聯(lián)反應(yīng)的化合物即可，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，為了改善用上述感光性組合物形成的感光層的固化后的膜強度，在不對顯影性帶來不良影響的范圍內(nèi)，例如可以使用在1分子內(nèi)具有至少2個環(huán)氧基(環(huán)氧乙烷環(huán))的環(huán)氧化合物(環(huán)氧乙烷化合物)、l分子內(nèi)具有至少2個氧雜環(huán)丁垸環(huán)的氧雜環(huán)丁垸化合物等。其中，特別優(yōu)選l分子內(nèi)具有至少兩個環(huán)氧基的環(huán)氧化合物。作為上述1分子中具有至少2個環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如可以列舉二甲苯酚型(匕、年、乂lz/—少)或雙酚型環(huán)氧樹脂("YX4000、日本環(huán)氧樹脂公司制"等)或它們的混合物、具有異氰脲酸酯骨架等的雜環(huán)式環(huán)氧樹脂("TEPIC、日產(chǎn)化學工業(yè)株式會社制"、"7，》夕、V卜PT810、汽巴精化公司制"等)、雙酚A型環(huán)氧樹脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、雙酚F型環(huán)氧樹脂、氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂、雙酚S型環(huán)氧樹脂、苯酚酚醛型環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛型環(huán)氧樹脂、鹵化環(huán)氧樹脂(例如、低溴化環(huán)氧樹脂、高鹵化環(huán)氧樹脂、溴化苯酚酚醛型環(huán)氧樹脂等)、含烯丙基雙酚A型環(huán)氧樹脂、三苯酚甲烷型環(huán)氧樹脂、二苯基二甲醇型環(huán)氧樹脂、苯酚亞聯(lián)苯型環(huán)氧樹脂、雙環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹脂("HP-7200，HP-7200H;大日本油墨化學工業(yè)株式會社制"等)、縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂(二氨基二苯基甲烷型環(huán)氧樹脂、二縮水甘油苯胺、三縮水甘油氨基苯酚等)、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂(鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、己二酸二縮水甘油酯、六氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、二聚酸二縮水甘油酯等)乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹脂(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3'，4'-環(huán)氧基環(huán)己烷羧酸酯、雙(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基)己二酸酯、雙環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、"GT-300、GT-400、ZEHPE3150;大賽璐化學工業(yè)株式會社制"等)、酰亞胺型脂環(huán)式環(huán)氧樹脂、三羥基苯基甲垸型環(huán)氧樹脂、雙酚A酚醛型環(huán)氧樹脂、四苯酚基乙垸型環(huán)氧樹脂、鄰苯二甲酸縮水甘油酯樹脂、四縮水甘油二甲酚基乙烷樹脂、含萘基環(huán)氧樹脂(萘酚芳烷基型環(huán)氧樹脂、萘酚酚醛型環(huán)氧樹脂、4官能萘型環(huán)氧樹脂、作為市售品的"ESN-190，ESN-360;新日鐵化學株式會社制"、"HP-4032,EXA-4750,EXA-4700;大日本油墨化學工業(yè)株式會社制"等)、由苯酚化合物與二乙烯基苯或雙環(huán)戊二烯等二烯化合物的加成反應(yīng)得到的多酚化合物和環(huán)氧氯丙垸的反應(yīng)產(chǎn)物、用過乙酸等將4-乙烯基環(huán)己烯-l-氧化物的開環(huán)聚合物環(huán)氧化得到的化合物、具有線狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、具有環(huán)狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂、a-甲基芪型液晶環(huán)氧樹脂、二苯甲酰氧基苯型液晶環(huán)氧樹脂、偶氮苯基型液晶環(huán)氧樹脂、偶氮次甲基苯基型液晶環(huán)氧樹脂、聯(lián)萘型液晶環(huán)氧樹脂、吖嗪型環(huán)氧樹脂、甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚類環(huán)氧樹脂("CP-50S，CP-50M;日本油脂株式會社制"等)、環(huán)己基馬來酰亞胺與甲基丙烯酸縮水甘油酯的共聚環(huán)氧樹脂、雙(縮水甘油基氧基苯基)芴型環(huán)氧樹脂、雙(縮水甘油基氧基苯基)金剛垸型環(huán)氧樹脂等，但不限于這些。這些環(huán)氧樹脂可以單獨使用1種，也可以2種以上并用。作為上述1分子中具有至少2個環(huán)氧基的環(huán)氧化合物中的環(huán)氧基，可以在e位具有烷基，特別優(yōu)選P位被垸基取代的環(huán)氧基(更具體而言，如P-垸基取代縮水甘油基等)。上述至少含有在e位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，可以是1分子中含有的2個以上的環(huán)氧基均為P-垸基取代縮水甘油基，也可以是至少1個環(huán)氧基為P-烷基取代縮水甘油基。上述含有在P位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，從室溫下的保存穩(wěn)定性的觀點出發(fā)，在上述感光性組合物中含有的上述環(huán)氧化合物總量中的總環(huán)氧基中的P-垸基取代縮水甘油基的比例優(yōu)選為30%以上，更優(yōu)選為40%以上，特別優(yōu)選為50%以上。作為上述P-垸基取代縮水甘油基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉e-甲基縮水甘油基、P-乙基縮水甘油基、P-丙基縮水甘油基、e-丁基縮水甘油基等，其中，從提高上述感光性組合物的保存穩(wěn)定性的觀點以及合成容易性的觀點出發(fā)，優(yōu)選P-甲基縮水甘油基。作為上述含有在P位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如優(yōu)選由多價苯酚化合物與P-烷基環(huán)氧鹵丙垸衍生的環(huán)氧化合物。作為上述P-烷基環(huán)氧鹵丙烷，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉e-甲基環(huán)氧氯丙垸、P-甲基環(huán)氧溴丙烷、P-甲基環(huán)氧氟丙烷等e-甲基環(huán)氧鹵丙烷；P-乙基環(huán)氧氯丙烷、P-乙基環(huán)氧溴丙烷、e-乙基環(huán)氧氟丙垸等e-乙基環(huán)氧鹵丙烷；e-丙基環(huán)氧氯丙烷、P-丙基環(huán)氧溴丙烷、e-丙基環(huán)氧氟丙烷等e-丙基環(huán)氧鹵丙烷；P-丁基環(huán)氧氯丙垸、e-丁基環(huán)氧溴丙烷、P-丁基環(huán)氧氟丙烷等P-丁基環(huán)氧鹵丙垸等。其中，從與上述多價苯酚的反應(yīng)性以及流動性的觀點出發(fā)，優(yōu)選e-甲基環(huán)氧鹵丙烷。作為上述多價苯酚化合物，只要是1分子中含有2個以上芳香族性羥基的化合物即可，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的適當選擇，例如可以列舉雙酚A、雙酚F、雙酚S等雙酚化合物、聯(lián)苯酚、四甲基聯(lián)苯酚等聯(lián)苯酚化合物、二羥基萘、聯(lián)萘酚等萘酚化合物、苯酚-甲醛縮聚物等苯酚酚醛樹脂、甲酚-甲醛縮聚物等碳原子數(shù)110的單垸基取代苯酚-甲醛縮聚物、二甲酚-甲醛縮聚物等碳原子數(shù)為110的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物、雙酚A-甲醛縮聚物等雙酚化合物-甲醛縮聚物、苯酚與碳原子數(shù)為110的單烷基取代苯酚與甲醛的共縮聚物、苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物等。其中，例如在出于提高流動性和保存穩(wěn)定性的目的而選擇時，優(yōu)選上述雙酚化合物。作為上述含有在3位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如可以列舉雙酚A的二-e-烷基縮水甘油醚、雙酚F的二-P-垸基縮水甘油醚、雙酚S的二-P-烷基縮水甘油醚等雙酚化合物的二-e-烷基縮水甘油醚；雙酚的二-e-烷基縮水甘油醚、四甲基雙酚的二-P-烷基縮水甘油醚等雙酚化合物的二-P-垸基縮水甘油醚；二羥基萘的二-P-烷基縮水甘油醚、聯(lián)萘酚的二-P-烷基縮水甘油醚等萘酚化合物的3-烷基縮水甘油醚;苯酚-甲醛縮聚物的聚-P-垸基縮水甘油醚；甲酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為110的單烷基取代苯酚-甲醛縮聚物的聚-e-烷基縮水甘油醚；二甲酚-甲醛縮聚物的聚-e-烷基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為iio的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚；雙酚A-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等雙酚化合物-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚;苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等。其中，優(yōu)選由下述通式(C-1)表示的雙酚化合物、由其與環(huán)氧氯丙垸等得到的聚合物衍生的e-烷基縮水甘油醚、以及由下述通式(C-2)表示的苯酚化合物-甲醛縮聚物的聚-3-垸基縮水甘油醚。O-ctvRH~(O》°~浙9"-通式(C-l)上述通式(C-1)中，R表示氫原子和碳原子數(shù)為16的烷基中的任-種。n表示020的任一整數(shù)。通式(C-2)上述通式(C-2)中，R表示氫原子和碳原子數(shù)為16的烷基中的任一種。R"表示氫原子以及CH3中的任一種，n表示020的任一整數(shù)。這些含有在e位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物可以單獨使用1種，也可以2種以上并用。另外，還可以將1分子中具有至少2個環(huán)氧基(環(huán)氧乙烷環(huán))的環(huán)氧化合物以及含有在P位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物并用。作為上述環(huán)氧化合物的骨架，優(yōu)選選自雙酚型環(huán)氧樹脂、酚醛型環(huán)氧樹脂、含脂環(huán)基型環(huán)氧樹脂、以及難溶性環(huán)氧樹脂中的至少l種。作為上述在1分子中具有至少2個氧雜環(huán)丁烷環(huán)的環(huán)氧化合物，例如可以列舉雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]醚、雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]醚、1，4-雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1，4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯或它們的低聚物或共聚物等多官能氧雜環(huán)丁烷類、以及具有氧雜環(huán)丁烷基的化合物與、酚醛樹脂、聚(對-羥基苯乙烯)、Cardo型雙酚類、杯芳烴類、間苯二酚杯芳烴(CalixResorcinarene)類、硅倍半氧烷等具有羥基的樹脂等的醚化合物等，此外，還可以列舉具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與(甲基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。關(guān)于上述熱固性化合物(熱交聯(lián)劑)的含量，相對于感光性組合物中的總固體成分，優(yōu)選為1質(zhì)量％50質(zhì)量％，更優(yōu)選為3質(zhì)量％30質(zhì)量％。若上述含量不足1質(zhì)量％，則固化膜的膜強度不會提高，若超過50質(zhì)量％，則有時會出現(xiàn)顯影性的下降和曝光靈敏度的下降。<光聚合引發(fā)劑>本發(fā)明的上述感光性組合物含有肟化合物作為光聚合引發(fā)劑，還可以根據(jù)需要含有該肟化合物以外的現(xiàn)有公知的光聚合引發(fā)劑。-肟化合物-本發(fā)明中使用的肟化合物用下述通式(A-O表示。上述通式(A-l)中，W表示?；?、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種。作為上述?；?，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉脂肪族?；?、芳香族?；㈦s芳香族?；取Ｗ鳛樯鲜鲺；目偺荚訑?shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選230，進一步優(yōu)選220，更優(yōu)選216。作為上述酰基，還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、芳基氧基、鹵原子等。作為上述酰基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉乙酰基、丙酰基、甲基丙?；⒍□；?、戊?；⒓乎；?、環(huán)己垸羰基、辛?；⒐秕；?、十二烷酰基、十八烷?；?、芐基羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己?；?、氯乙酰基、苯甲?；?、對甲氧基苯甲酰基、2，5-二丁氧基苯甲?；?、l-萘氧基、2-萘氧基、吡啶基羰基、甲基丙烯?；?、丙烯?；取Ｗ鳛樯鲜鐾檠趸驶?，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。關(guān)于上述垸氧基羰基的總碳原子數(shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選230,進一步優(yōu)選220，更優(yōu)選為216。上述垸氧基羰基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、鹵原子等。作為上述烷氧基羰基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、異丙氧基羰基丁氧基羰基、異丁基氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。作為上述芳氧基羰基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。關(guān)于上述芳氧基羰基的總碳原子數(shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選730，進一步優(yōu)選720，更優(yōu)選為716。上述芳氧基羰基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、鹵原子等。作為上述芳氧基羰基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、對甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、對氯苯氧基羰基、對硝基苯氧基羰基、對氰基苯氧基羰基等。上述通式(A-l)中，W表示氫原子、垸基、氰基。作為上述烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲基、乙基、異丙基、叔丁基、叔辛基等。上述通式(A-l)中，Ar表示芳香族環(huán)和雜芳香族環(huán)中的任一種。作為上述芳香族環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉苯環(huán)、萘環(huán)、蒽環(huán)等。作為雜芳香族環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉吡咯環(huán)、吲哚環(huán)、苯并呋喃環(huán)、苯并噻吩環(huán)等。n表示O或l的整數(shù)，Ar與W可以相互連結(jié)形成環(huán)。由上述通式(A-l)表示的肟化合物中，從靈敏度優(yōu)異的觀點出發(fā)，優(yōu)選下述通式(A-2)表示的化合物。N(R\r~A/A1通式(A—2)、？上述通式(A-2)中，R"表示?；?、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，它們還可以被取代基取代。W表示垸基、烷氧基、芳基氧基、垸基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一種。m表示0以上的整數(shù)，當該m表示2以上的整數(shù)時，該W可以分別相同或不同，可以相互連結(jié)形成環(huán)，Ar表示芳環(huán)和雜芳環(huán)中的任一種。A表示5元環(huán)、6元環(huán)以及7元環(huán)中的任一種，它們還可以被取代基取代。X表示氧原子以及硫原子中的任一種。另外，關(guān)于上述R'和Ar的詳細情況，與上述通式(A-l)相同。作為上述?；?，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉脂肪族酰基、芳香族?；㈦s芳香族?；?。作為上述?；目偺荚訑?shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選.擇，優(yōu)選230，進一步優(yōu)選220，更優(yōu)選216。作為上述?；?，還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、芳基氧基、鹵原子等。作為上述?；木唧w例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉乙?；⒈；?、甲基丙?；?、丁酰基、戊酰基、己?；?、環(huán)己垸羰基、辛?；⒐秕；?、十二垸?；?、十八垸?；?、芐基羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己?；?、氯乙?；?、苯甲酰基、對甲氧基苯甲?；?，5-二丁氧基苯甲?；?、l-萘氧基、2-萘氧基、吡啶基羰基、甲基丙烯?；?、丙烯?；?。作為上述垸氧基羰基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。關(guān)于上述烷氧基羰基的總碳原子數(shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選230，進一步優(yōu)選220，更優(yōu)選為216。上述垸氧基羰基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、鹵原子等。作為上述烷氧基羰基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基、異丙氧基羰基丁氧基羰基、異丁基氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二垸氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。作為上述芳氧基羰基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。關(guān)于上述芳氧基羰基的總碳原子數(shù)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選730，進一步優(yōu)選720，更優(yōu)選為716。上述芳氧基羰基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、鹵原子等。作為上述芳氧基羰基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、對甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、對氯苯氧基羰基、對硝基苯氧基羰基、對氰基苯氧基羰基等。上述通式(A-2)中，113分別獨立地表示垸基、烷氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及?；械娜我环N。作為上述垸基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲基、乙基、異丙基、叔丁基、叔辛基等。作為烷氧基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。作為芳基氧基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉芐基氧基、苯氧基、4-氯苯氧基、4-甲基苯氧基等。作為上述垸基硫基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲基硫基、丁基硫基、辛基硫基、十二烷基硫基等。作為上述芳基硫基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉節(jié)基硫基、苯基硫基、4-甲基苯基硫基等。作為上述鹵原子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉鹵基、溴基、碘基等。作為上述垸氧基羰基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲氧基羰基、乙氧基羰基等。作為上述?；被?，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲基羰基氨基、乙基羰基氨基、苯甲酰基氨基等。上述通式(A-2)中，m表示0以上的任一整數(shù)，可以根據(jù)上述Ar的結(jié)構(gòu)來適當選擇。另外，當上述m表示2以上的任一整數(shù)時，該ie可以分別相同或不同，可以相互連結(jié)形成環(huán)。當該RS相互連結(jié)形成環(huán)時，作為通式(A-2)表示的躬化合物的具體例子，可以列舉下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物等。另外，包含形成的環(huán)結(jié)構(gòu)部分的、用Ar表示的芳香族環(huán)上可以進一步具有取代基，該取代基與上述W相同。X表示-CH2-、氧原子以及硫原子中的任一種。上述結(jié)構(gòu)式中，Y和Z分別表示CH2、-O-、-S-以及-NR-中的任一種，該R表示氫原子或烷基。上述通式(A-2)中，Ar表示芳香族環(huán)和雜芳香族環(huán)中的任一種。作為上述芳香族環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉苯環(huán)、萘環(huán)、蒽環(huán)等。作為雜芳香族環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉吡咯環(huán)、吲哚環(huán)、苯并呋喃環(huán)、苯并噻吩環(huán)等。上述通式(A-2)中，A表示5元環(huán)、6元環(huán)以及7元環(huán)中的任一種。作為上述5元環(huán)、上述6元環(huán)或上述7元環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選利用成環(huán)取代基來形成。作為該成環(huán)取代基，例如可以列舉亞烷基、烯基、炔基等。該成環(huán)取代基可以單獨使用1種，也可以2種以上并用，另外，還可以具有氧原子、硫原子等雜原子。上述5元環(huán)、上述6元環(huán)以及上述7元環(huán)還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸基、烯基、烷氧基、芳基氧基、鹵原子等。其中，作為上述A，從靈敏度優(yōu)異的觀點出發(fā)，優(yōu)選上述5元環(huán)以及上述6元環(huán)中的任一種。在上述通式(A-2)表示的肟化合物中，從靈敏度優(yōu)異的觀點出發(fā)，更優(yōu)選由下述通式(A-3)和(A-4)中任一式表示的化合物。通式(A-3)通式(A-4)上述通式(A-3)和(A-4)中，W表示烷基以及垸氧基中的任一種。作為上述烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。上述垸基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉烷氧基、鹵原子等。作為上述烷基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲基、乙基、丙基、丁基、己基等。其中，從靈敏度優(yōu)異的觀點出發(fā)，優(yōu)選甲基、乙基、丙基。作為上述垸氧基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇。作為垸氧基，還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉垸氧基、鹵原子等。作為垸氧基的具體例子，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。上述通式(A-3)和(A-4)中，RS分別獨立地表示烷基、垸氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及?；被械娜我环N。另外，上述垸基、上述垸氧基、上述芳基氧基、上述烷基硫基、上述芳基硫基、上述囟原子、上述垸氧基羰基、上述硝基以及上述?；被脑敿毲闆r，與上述通式(A-l)中112表示的上述烷基、上述垸氧基、上述芳基氧基、上述烷基硫基、上述芳基硫基、上述鹵原子、上述烷氧基羰基、上述硝基以及上述酰基氨基的情況相同。其中，作為上述R5，從吸收效率優(yōu)異的觀點出發(fā)，優(yōu)選上述烷氧基、上述芳基硫基、上述鹵原子。上述通式(A-3)和(A-4)中，I表示06中的任一整數(shù)。其中，從合成適應(yīng)性的觀點出發(fā)，優(yōu)選02中的任一整數(shù)。另外，當上述1表示2以上的任一整數(shù)時，該W可以相同，也可以不同，還可以相互連結(jié)形成環(huán)。上述通式(A-3)和(A-4)中，A表示5元環(huán)和6元環(huán)中的任一環(huán)，它們還可以被取代基取代。另外，上述5元環(huán)和上述6元環(huán)的詳細情況與上述通式(A-2)中A表示的上述5元環(huán)和上述6元環(huán)的詳細情況相同。其中，作為上述A，從靈敏度優(yōu)異的觀點出發(fā)，優(yōu)選為5元環(huán)。上述通式(A-3)和(A-4)中，X表示-CH2-、氧原子以及硫原子中的任一種。作為上述通式(A-O、(A-2)、(A-3)以及(A-4)中的至少任一種表示的肟化合物的具體例子，可以列舉下述結(jié)構(gòu)式(1)(26)表示的化合物，但本發(fā)明不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>上述結(jié)構(gòu)式(1)(26)中，Me表示甲基，Ph表示苯基。上述結(jié)構(gòu)式(24)(26)為CIBA公司制IRGACUREOXEOl、IRGACUREOXE02、IRGACURECGI325。-現(xiàn)有公知的光聚合引發(fā)劑-作為上述光聚合引發(fā)劑，例如可以列舉樟腦醌、二苯甲酮、二苯甲酮衍生物、苯乙酮、苯乙酮衍生物、例如a-羥基環(huán)垸基苯基酮或2-羥基-2-甲基-l-苯基丙酮、二烷氧基苯乙酮、a-羥基-或a-氨基-苯乙酮、例如(4-甲基硫代苯甲酰)-l-甲基-l-嗎啉代乙垸、(4-嗎啉代苯甲酰)-l-節(jié)基-l-二甲基氨基丙垸、4-芳?；?l，3-二噁烷、苯偶姻浣基醚以及芐基縮酮(例如二甲基節(jié)基縮酮)、苯基乙醛酸酯或其衍生物、二聚物的苯基乙醛酸酯、雙乙酰酮、全酯(例如歐洲專利第126541號公報中記載的二苯甲酮四羧酸全酯)、單?；⒀趸?例如(2，4，6-三甲基苯甲酰)二苯基膦氧化物、雙酰基膦氧化物、雙(2，6-二甲氧基苯甲酰)-(2，4，4-三甲基戊基)膦氧化物、雙(2，4，6-三甲基苯甲酰)苯基膦氧化物、雙(2，4，6-三甲基苯甲酰)-2，4-二戊氧基苯基膦氧化物、三?；⒀趸?、鹵甲基三嗪(例如2-(2-(4-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5)三嗪、2-(3，4-二甲氧基苯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-甲基-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(4-N，N-二(乙氧基羰基甲基氨基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)(1，3，5)三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(1，3-苯并噁烷-5-基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-〔2-〔4-(戊氧基)苯基)乙烯基〕-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5)三嗪、2-(2-(3-甲基-2-呋喃基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(5-甲基-2-呋喃基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(2，4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(2-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(2-(4-異丙基氧基苯基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-(3-氯-4-甲氧基苯基)乙烯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5)三嗪、2-(2-溴-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基〕-4，6-雙三氯甲基〔1，3,5〕三嗪、2-〔2-氯-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-雙三氯甲基〔1，3，5〕三嗪、2-(3-溴-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5〕三嗪、2-〔3-氯-4-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基)-4，6-雙三氯甲基(1，3，5〕三嗪)；G.Buhr，R.DammelandC.Lindley，Polym.Mater.Sci.Eng.61，269(1989)、歐洲專利第022788號公報等中記載的其他鹵甲基三嗪；美國專利第4371606號說明書、美國專利第4371607號說明書等中記載的鹵甲基噁唑光引發(fā)劑；E.A,Bartmann，Synthesis5490(1993)等中記載的1，2-二砜；六芳基聯(lián)咪唑、以及六芳基聯(lián)咪唑/共引發(fā)劑類(例如2-巰基苯并噻唑、二茂鐵錄化合物)；二茂鈦鐺(例如與雙(環(huán)戊二烯基)-雙(2，6-二氟-3-吡咯基苯基)鈦組合的鄰氯六苯基-聯(lián)咪唑的混合物)等。作為上述現(xiàn)有公知的光聚合引發(fā)劑，還可以列舉陽離子光引發(fā)劑、過氧化化合物(例如過氧化苯甲酰、美國專利第4950581號說明書第19欄第1725行中記載的過氧化化合物等)、美國專利第4950581號說明書第1S欄第60行第19欄第IO行中記載的、芳香族的锍、鱗或碘鎗鹽、環(huán)戊二烯基-芳烯-鐵(II)絡(luò)鹽(例如(116-異丙基苯)(115-環(huán)戊二烯基)-鐵(II)六氟磷酸鹽)、歐洲專利第780729號公報中記載的肟磺酸酯等。此外，還可以列舉例如歐洲專利第497531號以及第441232號公報中記載的吡啶鎗以及(異)喹啉鑰鹽等。關(guān)于上述光聚合引發(fā)劑的含量，相對于上述感光性組合物的固體成分，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％25質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為0.01質(zhì)量％10質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為0.01質(zhì)量％5質(zhì)量％。在將現(xiàn)有公知的光聚合引發(fā)劑并用的情況下，上述含量表示全部光聚合引發(fā)劑的合計。<增感劑>作為上述增感劑，用下述通式(B-l)表示。^by_^~c—c^j~_^通式(b-i)上述通式(B-1)中，R6和R7分別獨立地表示烷基、芳基以及烯基中的任一種。作為上述烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選甲基、乙基等碳原子數(shù)為110的垸基等。上述垸基還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉羥基、氰基、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、鹵原子(例如氯基、溴基等)、羧基、羧基烷氧基、磺酰基、苯基、芳基(例如對硝基苯基等)、乙烯基、甲基乙烯基、肉桂?；?。作為上述芳基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選苯基、萘基等。上述芳基可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉碳原子數(shù)為110的烷基、羥基、氰基、碳原子數(shù)為110的烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、鹵原子(例如氯基、溴基等)、羧基、羧基烷氧基、磺酰基等。作為上述烯基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選乙烯基等。上述烯基，還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉碳原子數(shù)為110的烷基、碳原子數(shù)為618的芳基等，該取代基還還可以被甲基等碳原子數(shù)為110的垸基等取代。上述W和上述W可以與各自連結(jié)的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)。作為該環(huán)，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉5元環(huán)、6元環(huán)、由芳香族環(huán)縮環(huán)得到的5元環(huán)、由芳香族環(huán)縮環(huán)得到的6元環(huán)等。上述環(huán)還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉烷基、芳基、取代烷基、取代芳基、羥基、氰基、烷氧基、鹵原子、羧基、羧基垸氧基、磺?；?。上述通式(B-l)中，p表示O或l。上述通式(B-l)中，G'和該02分別獨立地表示氫原子、氰基、、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺?；⒎蓟酋；约胺酋；械娜我环N。但是，該G'和該GZ中的任一種表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺?；⒎蓟酋；约胺榛酋；械娜我环N。作為上述烷氧基羰基、上述烷基硫基、上述垸基磺酰基、以及上述氟烷基磺酰基中的烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選碳原子數(shù)為110的烷基等。作為上述芳氧基羰基、上述芳基硫基、以及上述芳基磺?；械姆蓟?，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選苯基、萘基等。作為上述?；?-COR)，例如可以列舉該R為烷基、芳基以及烷基芳基中的任一種的酰基等。作為該芳基以及該烷基芳基中的烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選碳原子數(shù)為110的烷基等。作為芳基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選苯基、萘基等。作為上述烷基和芳基，還可以被取代基取代，作為該取代基，例如可以列舉碳原子數(shù)為110的烷基、羥基、氰基、碳原子數(shù)為110的垸氧基、鹵原子、羧基、羧基烷氧基、磺?；⒒腔趸?、碳原子數(shù)為618的芳基、?；⒁蚁┗?、肉桂?；?。上述G1和上述G2可以與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的作為花部青色素的酸性核使用的環(huán)。該作為花部青色素的酸性核使用的環(huán)沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉以下的(a)(t)等。(a)1，3-二羰基核(例如l，3-茚二酮、1，3-環(huán)己二酮、5，5-二甲基-1，3-環(huán)己二酮、1，3-二噁烷-4，6-二酮等。)(b)吡唑啉酮核[例如3-甲基-l-苯基-2-吡唑啉-5-酮、l-苯基-2-吡唑啉-5-酮、1-(2-苯并噻唑啉基)-3-甲基-2-吡唑啉-5-酮等〗(c)異噁唑啉酮核(例如3-苯基-2-異噁唑啉-5-酮、3-甲基-2-異噁唑啉-5-酮等)(d)羥吲哚核(例如l-垸基-2，3-二氫-2-羥吲哚)(e)2，4，6-三酮基六氫嘧啶核[例如可以列舉巴比土酸、2-硫代巴比土酸、或其衍生物等。作為該衍生物，例如可以列舉l-甲基、1-乙基等l-烷基體；1，3-二乙基、1，3-二丁基等l，3-二烷基體；1，3-二苯基、1，3-二(對-氯苯基)、1，3-二(對-乙氧基羰基苯基)等1，3-二芳基體；1-乙基-3-苯基等l-烷基-3-芳基體等](f)2-硫代-2，4-噻唑烷二酮核(例如可以列舉繞丹寧或其衍生物等。作為該衍生物，例如可以列舉3-乙基繞丹寧、3-烯丙基繞丹寧等3-烷基繞丹寧；3-苯基繞丹寧等3-芳基繞丹寧等。)(g)2-硫代-2，4-噁唑烷二酮(2-硫代-2，4-(3H，5H)-噁唑二酮)核(例如2-乙基-2-硫代-2，4-噁唑垸二酮等)(h)硫茚酮核[例如3(2H)-硫茚酮、3(2H)-硫茚酮-l，1-二氧化物等](i)2-硫代-2，5-噻唑烷二酮核(例如3-乙基-2-硫代-2，5-噻唑烷二酮等)(j)2，4-噻唑烷二酮核(例如2，4-噻唑烷二酮、3-乙基-2，4-噻唑烷二酮、3-苯基-2，4-噻唑垸二酮等)(k)噻唑烷酮核(例如4-噻唑垸酮、3-乙基-4-噻唑院酮等)(1)4-噻唑啉酮核(例如2-乙基巰基-5-噻唑啉-4-酮、2-烷基苯基氨基-5-噻唑啉-4-酮等)(m)2-亞氨基-2-噁唑啉-4-酮(凝乙內(nèi)酰脲)核(n)2，4-咪唑啉二酮(乙內(nèi)酰脲)核(例如2，4-咪唑啉二酮、3-乙基-2，4-咪唑啉二酮等)(o)2-硫代-2，4-咪唑啉二酮(2-硫代乙內(nèi)酰脲)核(例如2-硫代-2，4-咪唑啉二酮、3-乙基-2-硫代-2，4-咪唑啉二酮等)(p)2-咪唑啉-5-酮核(例如2-正丙基-巰基-2-咪唑啉-5-酮等)(q)呋喃-5-酮核(r)4-羥基-2(1H)-喹啉酮核或4-羥基-2(1H)-吡啶酮核[例如N-甲基-4-羥基-2(1H)-喹啉酮、N-正丁基-4-羥基-2(1H)-喹啉酮、N-甲基-4-羥基-2(1H)-吡啶酮等](s)可以被取代基取代的4-羥基-2H-卩比喃-2-酮核或4-羥基香豆素核(t)可以被取代基取代的硫茚羥核(例如5-甲基硫茚羥等)上述通式(B-l)表示的增感劑中，從固化靈敏度的觀點出發(fā)，優(yōu)選下述通式(B-2)表示的化合物。上述通式(B-2)中，RS和W可分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基、?；约胞u原子中的任一種。該118和該119可以相互連結(jié)形成芳環(huán)，還可以在該芳環(huán)上具有烷基、垸氧基以及鹵原子中的至少任一種。上述通式(B-2)中，111()和R"分別獨立地表示氫原子、烷基以及芳基中的任一種。Y表示氧原子、硫原子。作為上述烷基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選乙基、丁基等o作為上述芳基，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選苯基等。作為上述通式(B-l)以及(B-2)的至少任一種表示的增感劑的具體例子，可以列舉下述例示化合物No.lNo.36，但本發(fā)明不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage54</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage55</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula>,產(chǎn)SNo.34PhPh'產(chǎn)SNo.35wNo36O、Et上述結(jié)構(gòu)式中，t-Bu表示叔丁基。Ph表示苯基。Et表示乙基。上述增感劑的含量沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，相對于上述聚合性化合物，優(yōu)選為0.01質(zhì)量5%50質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.1質(zhì)量%20質(zhì)量％。<無機填充劑和有機填充劑>上述無機填充劑沒有特殊限制，可以從公知的無機填充劑中適當選擇，例如可以列舉高嶺土、硫酸鋇、鈦酸鋇、氧化硅粉、微粉狀氧化硅、氣相法二氧化硅、無定形二氧化硅、晶體二氧化硅、熔融二氧化硅、球狀二氧化硅、滑石粉、粘土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、云母等。上述無機填充劑的平均粒徑優(yōu)選不足10Um，更優(yōu)選為3nm以下。若該平均粒徑為10um以上，則會因光散射而導致析像度下降。上述有機填充劑沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉三聚氰胺樹脂、苯并胍胺樹脂、交聯(lián)聚苯乙烯樹脂等。另外，還可以使用平均粒徑為0.015txm、吸油量為100200m2/g左右的二氧化硅、由交聯(lián)樹脂形成的球狀多孔質(zhì)微粒等。關(guān)于上述無機填充劑和有機填充劑的至少任一種的含量，相對于上述感光性組合物的總固體成分，優(yōu)選為1質(zhì)量％60質(zhì)量％。若上述含量不足1質(zhì)量％，則無法使線膨脹系數(shù)充分下降，若超過60質(zhì)量％，則當在感光層表面形成固化膜時，該固化膜的膜質(zhì)變脆，在使用永久圖案來形成布線的情況下，有時會影響作為布線的保護膜的功能。<其他成分>作為上述其他成分，例如可以列舉環(huán)氧固化促進劑、熱聚合抑制劑、增塑劑、著色劑(著色顏料或染料)、體質(zhì)顏料等，此外，還可以并用針對基材表面的密合促進劑及其他助劑類(例如導電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、均化劑、剝離促進劑、抗氧劑、香料、表面張力調(diào)節(jié)劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等)。通過適當含有這些成分，可以調(diào)節(jié)目標感光性薄膜的穩(wěn)定性、感光性、膜物性等性質(zhì)。-環(huán)氧固化促進劑-為了促進上述熱固性化合物(熱交聯(lián)劑)的熱固化，本發(fā)明的感光性組合物可以使用公知的環(huán)氧固化促進劑。作為該環(huán)氧固化促進劑，例如可以使用胺化合物(例如雙氰胺、芐基二甲基胺、4-(二甲基氨基)-N，N-二甲基節(jié)基胺、4-甲氧基-N，N-二甲基芐基胺、4-甲基-N，N-二甲基芐基胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基芐基氯化銨等)、封端異氰酸酯化合物(例如二甲基胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、l-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯基膦等)、三聚氰二胺化合物(例如三聚氰胺、三聚氰二胺、乙酰三聚氰二胺、苯并三聚氰二胺等)、S-三嗪衍生物(例如2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基-S-三嗪異氰脲酸加成物、2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧基乙基-S-三嗪，異氰脲酸加成物等)等。它們可以單獨使用1種，也可以2種以上并用。另外，作為上述環(huán)氧固化促進劑，只要是上述熱交聯(lián)劑、或能促進其與羧基的反應(yīng)的化合物即可，沒有特殊限制，可以使用上述以外的能促進熱固化的化合物。上述環(huán)氧固化促進劑在上述感光性組合物固體成分中的固體成分含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％15質(zhì)量％。-熱聚合抑制劑-為了防止上述感光性組合物中的上述聚合性化合物的熱聚合或經(jīng)時聚合，還可以添加上述熱聚合抑制劑。作為上述熱聚合抑制劑，例如可以列舉4-甲氧基苯基、氫醌、烷基或芳基取代氫醌、叔丁基兒茶酚、聯(lián)苯三酚、2-羥基二苯甲酮、4-甲氧基-2-羥基二苯甲酮、氯化亞銅、吩噻嗪、四氯對醌、萘胺、e-萘酚、2，6-二叔丁基_4_甲酚、2，2'-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4-甲苯胺、亞甲基藍、銅與有機螯合劑反應(yīng)物、水楊酸甲酯、吩噻嗪、亞硝基化合物、亞硝基化合物與Al的螯合物等。關(guān)于上述熱聚合抑制劑的含量，相對于上述感光性組合物中的上述聚合性化合物，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％5質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.005質(zhì)量％2質(zhì)量％，特別優(yōu)選為0.01質(zhì)量％1質(zhì)量％。若上述含量不足0.001質(zhì)量％，則保存時的穩(wěn)定性有時會下降，若超過5質(zhì)量％，則對活性能量線的靈敏度有時會下降。-增塑劑-為了控制上述感光性組合物形成的感光層的膜物性(可撓性)，還可以添加上述增塑劑。作為上述增塑劑，例如可以列舉鄰苯二甲酸二甲酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二異丁酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二環(huán)己酯、鄰苯二甲酸二(十三烷基)酯、鄰苯二甲酸丁基芐基酯、鄰苯二甲酸二異癸酯、鄰苯二甲酸二苯酯、鄰苯二甲酸二烯丙酯、鄰苯二甲酸辛基癸酰基酯等鄰苯二甲酸酯類；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、二甲基葡萄糖鄰苯二甲酸酯、乙基鄰苯二甲酰羥乙酸乙酯、甲基鄰苯二甲酰羥乙酸乙酯、丁基鄰苯二甲酰羥乙酸丁酯、三甘醇二辛酸酯等二醇酯類；三甲苯基磷酸酯、三苯基磷酸酯等磷酸酯類；4-甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N-正丁基苯磺酰胺、N-正丁基乙酰胺等酰胺類；己二酸二異丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、馬來酸二丁酯等脂肪族二元酸酯類；檸檬酸三乙酯、檸檬酸三丁酯、三乙酸甘油酯、月桂酸丁酯、4，5-二環(huán)氧基環(huán)己烷-l，2-二羧酸二辛酯等；聚乙二醇、聚丙二醇等二醇類。關(guān)于上述增塑劑的含量，相對于上述感光性組合物的總固體成分，優(yōu)選為0.1質(zhì)量％50質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為0.5質(zhì)量％40質(zhì)量％，更優(yōu)選為1質(zhì)量％30質(zhì)量％。-著色劑-上述著色劑沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉維多利亞純藍BO(C丄42595)、槐黃(C丄41000)、蘇丹黑HB(C丄26150)、莫諾賴特黃GT(C.I.顏料黃12)、永固黃GR(C.I.顏料黃17)、永固黃HR(C丄顏料黃83)、永固洋紅FBB(C丄顏料紅146)、廣告畫顏料紅ESB(C.I.顏料紫19)、永固寶石紅FBH(C.I.顏料紅ll)、法斯特爾粉紅B蘇普拉(C丄顏料紅81)、莫鈉斯特拉爾堅牢藍(C.I.顏料藍15)、莫諾賴特堅牢黑B(C.I.顏料黑1)、碳、C.I.顏料紅97、C.I.顏料紅122、C.I.顏料紅149、C丄顏料紅168、C.I.顏料紅177、C丄顏料紅180、C.I.顏料紅192、C丄顏料紅215、C丄顏料綠7、C.I.顏料綠36、C丄顏料藍15:1、C.I.顏料藍15:4、C.I.顏料藍15:6、C.I.顏料藍22、C.I.顏料藍60、C丄顏料藍64等。它們可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。此外，根據(jù)需要，還可以使用從公知的染料中適當選擇的染料。關(guān)于上述著色劑的含量，可以考慮永久圖案形成時的感光層的曝光靈敏度、析像度等來決定，根據(jù)上述著色劑的種類的不同而各異，通常，相對于上述感光性組合物的總固體成分，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％10質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.05質(zhì)量％5質(zhì)量％。-密合促進劑-為了提高各層間的密合性、或由感光性組合物形成的感光層與基體間的密合性，可以在各層中使用公知的所謂的密合促進劑。作為上述密合促進劑，例如可以優(yōu)選列舉在日本專利特開平5-11439號公報、日本專利特開平5-341532號公報以及日本專利特開平6-43638號公報等中記載的密合促進劑。具體而言，可以列舉苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基苯并噻唑、3-嗎啉代甲基-l-苯基-三唑-2-硫酮、3-嗎啉代甲基-5-苯基-噁二唑-2-硫酮、5-氨基-3-嗎啉代甲基-噻二唑-2-硫酮以及2-巰基-5-甲硫基-噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基苯并三唑、硅烷偶聯(lián)劑等。關(guān)于上述密合促進劑的含量，相對于上述感光性組合物的總固體成分，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％20質(zhì)量％，進一步優(yōu)選為0.01質(zhì)量％10質(zhì)量%，特別優(yōu)選為0.1質(zhì)量％5質(zhì)量％。本發(fā)明的感光性組合物在靈敏度、析像度以及保存穩(wěn)定性上優(yōu)異，能高效地形成高精細的永久圖案。因此，可以廣泛應(yīng)用于印刷布線板、濾色器或柱材、筋材、間隔物、隔板等顯示器用部件、全息圖、微機電系統(tǒng)、印樣等的永久圖像形成用途，特別優(yōu)選用于印制電路板的永久圖案形成用途。(感光性薄膜)作為本發(fā)明的感光性薄膜，優(yōu)選至少具有支撐體和形成于該支撐體上的由本發(fā)明的上述感光性組合物形成的感光層，根據(jù)需要具有合適的熱可塑性樹脂層等其他層。<支撐體>上述支撐體沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選上述感光層能剝離且透光性良好的支撐體，更優(yōu)選表面的平滑性良好。上述支撐體優(yōu)選為合成樹脂制且透明，例如可以列舉聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纖維素、二乙酸纖維素、聚(甲基)丙烯酸烷基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、賽璐玢、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亞胺、氯乙烯'乙酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氟乙烯、纖維素類膜、尼龍膜等各種塑料膜。其中，特別優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯。上述支撐體的厚度沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選為2um150iim，進一步優(yōu)選為5Um100Pm，更優(yōu)選為8ym50um。上述支撐體可以是單層，也可以具有多層結(jié)構(gòu)。上述支撐體的形狀沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，優(yōu)選長條狀。上述長條狀的支撐體的長度沒有特殊限制，例如可以列舉長10m20000m的支撐體。<感光層>上述感光層采用本發(fā)明的上述感光性組合物來形成。在將上述感光層曝光并顯影的情況下，在該曝光和顯影后不使該感光層的曝光部分的厚度改變的上述曝光中使用的光的最小能量優(yōu)選為0.1mJ/cm2200mJ/cm2，進一步優(yōu)選為0.2mJ/cm2100mJ/cm2，更優(yōu)選為0.5mJ/cm250mJ/cm2，特別優(yōu)選為lmJ/cm230mJ/cm2。若上述最小能量不足0.1mJ/cm2，則會在處理工序中產(chǎn)生灰霧，若超過200mJ/cm2，則曝光所需的時間會延長，處理速度變慢。這里，"在該曝光和顯影后不使該感光層的曝光部分的厚度改變的上述曝光中使用的光的最小能量"即所謂的顯影靈敏度，例如可以由表示將上述感光層曝光時的上述曝光中使用的光的能量(曝光量)與通過上述曝光后的上述顯影處理而生成的上述固化層的厚度之間的關(guān)系圖(靈敏度曲線)來求出。上述固化層的厚度隨上述曝光量的增加而增加，然后與上述曝光前的上述感光層的厚度大致相同且大致恒定。上述顯影靈敏度是通過讀取在上述固化層的厚度大致恒定時的最小曝光量而求出的值。這里，當上述固化層的厚度與上述曝光前的上述感光層的厚度之差在土lmy以內(nèi)時，視為上述固化層的厚度未因曝光和顯影而發(fā)生變化。上述固化層和上述曝光前的上述感光層的厚度的測定方法沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，可以列舉使用膜厚測定裝置、表面粗糙度測定儀(例如撒氟可穆(廿一73厶)1400D、東京精密株式會社制)等來測定的方法。上述感光層的厚度沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選為lum100um，更優(yōu)選為2iim50nm，特別優(yōu)選為4um30um。<保護膜>上述感光性薄膜可以在上述感光層上形成保護膜。作為上述保護膜，例如可以列舉上述支撐體中使用的膜、紙、聚乙烯、聚丙烯層疊而成的紙等，其中，優(yōu)選聚乙烯膜、聚丙烯膜。上述保護膜的厚度沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選為5ym100iim，進一步優(yōu)選為8um50um，更優(yōu)選為10um30ym。作為上述支撐體和保護膜的組合(支撐體/保護膜)，例如可以列舉聚對苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/玻璃紙、聚酰亞胺/聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯/聚對苯二甲酸乙二醇酯等。另外，還可以通過對支撐體和保護膜中的至少任一者進行表面處理，來調(diào)節(jié)層間膠粘力。為了提高與上述感光層之間的膠粘力，可以實施上述支撐體的表面處理，例如可以列舉底涂布層的涂設(shè)、電暈放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、高頻照射處理、輝光放電照射處理、活性等離子體照射處理、激光照射處理等。上述支撐體與上述保護膜之間的靜摩擦系數(shù)優(yōu)選為0.31.4，更優(yōu)選為0.51.2。若上述靜摩擦系數(shù)不足0.3，則由于過滑，在制成輥狀時會巻偏，若超過1.4，則很難巻成良好的輥狀。上述感光性薄膜優(yōu)選例如巻取于圓筒狀巻芯并以長條狀巻成輥狀后保管。上述長條狀的感光性薄膜的長度沒有特殊限制，例如可以從10m20000m的范圍適當選擇。另外，為了便于使用者使用，也可以進行分切加工，將100m1000m范圍的長條膜制成輥狀。此時，優(yōu)選按上述支撐體為最外側(cè)的方式來巻取。另外，也可以將上述輥狀的感光性薄膜分切成層狀。保管時，從保護端面、防止熔邊的觀點出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置間隔物(特別是防濕性間隔物、含干燥劑的間隔物)，包裝也優(yōu)選采用透濕性低的材料。為了調(diào)節(jié)上述保護膜與上述感光層之間的膠粘性，可以對上述保護膜進行表面處理。關(guān)于上述表面處理，例如在上述保護膜的表面形成由聚有機硅氧烷、氟化聚烯、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物形成的底涂層。該底涂層可以通過如下方法來形成在上述保護膜的表面涂布上述聚合物的涂布液后，在3(TC150。C下干燥1分鐘30分鐘，來形成上述底涂層。上述干燥時的溫度特別優(yōu)選為5(TC120。C-其他的層-作為上述感光性薄膜中的其他的層，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以具有緩沖層、氧屏蔽層(PC層)、剝離層、膠粘層、光吸收層、表面保護層等層?？梢詥为毦哂羞@些層中的1種層，也可以具有2種以上。另外，在上述感光層上還可以具有保護膜。[感光性薄膜的制造方法]上述感光性薄膜例如可以如下來制造。首先，將上述感光性組合物中含有的材料在水或溶劑中溶解，使其乳化或分散，制備感光性薄膜用的感光性組合物溶液。上述溶劑沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇類；丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、二異丁基酮等酮類；乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸正戊酯、硫酸甲酯、丙酸乙酯、鄰苯二甲酸二甲酯、苯甲酸乙酯、乙酸甲氧基丙酯等酯類；甲苯、二甲苯、苯、乙基苯等芳烴類;四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1，1，l-三氯乙烷、二氯甲烷、一氯代苯等鹵代烴類；四氫呋喃、乙醚、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、1-甲氧基-2-丙醇等醚類；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、環(huán)丁砜等。它們可以單獨使用1種，也可以2種以上并用。另外，還可以添加公知的表面活性劑。接著，在上述支撐體上涂布上述感光性組合物溶液，使其干燥形成感光層，即可制造感光性薄膜。上述感光性組合物溶液的涂布方法沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉噴霧法、輥涂法、旋涂法、狹縫涂布法、擠出涂布法、簾式涂布法、模涂法、凹版涂布法、線棒涂布法、氣刀涂布法等各種涂布方法。作為上述干燥的條件，根據(jù)各成分、溶劑的種類、使用比例等的不同而各異，通常為在6(TC11(TC的溫度下干燥30秒15分鐘左右。上述感光性薄膜例如優(yōu)選巻取于圓筒狀巻芯并以長條狀巻成輥狀后保管。上述長條狀感光性薄膜的長度沒有特殊限制，例如可以從10m20000m的范圍適當選擇。另外，為了便于使用者使用，也可以進行分切加工，將100m1000m范圍的長條膜制成輥狀。此時，優(yōu)選按上述支撐體為最外側(cè)的方式來巻取。另外，也可以將上述輥狀的感光性薄膜分切成層狀。保管時，從保護端面、防止熔邊的觀點出發(fā)，優(yōu)選在端面設(shè)置間隔物(特別是防濕性間隔物、含干燥劑的間隔物)，包裝也優(yōu)選采用透濕性低的材料。(感光性層疊體)上述感光性層疊體在基體上至少具有上述感光層，層疊根據(jù)目的適當選擇的其他層。<基體>上述基體是形成感光層的被處理基體、或是至少轉(zhuǎn)印本發(fā)明的感光性薄膜的感光層的被轉(zhuǎn)印體，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如，可以從表面平滑性好的基體到表面凸凹的基體中任意選擇。優(yōu)選板狀基體，也就是指使用基板。具體而言，可以列舉公知的制造印刷布線板的基板(印制電路板)、玻璃板(鈉玻璃板等)、合成樹脂性膜、紙、金屬板等。關(guān)于上述感光性層疊體的制造方法，作為第1方案，可以列舉將上述感光性組成物在上述基體表面上涂抹、干燥的方法，作為其第2方案，可以列舉一邊對本發(fā)明的感光性薄膜中的至少感光層進行加熱和加壓中的至少任一種，一邊轉(zhuǎn)印、層疊的方法。上述第1方案的感光性層疊體的制造方法是指在上述基體上涂布上述感光性組成物，使其干燥形成感光層。作為上述涂布和干燥的方法，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉如下方法將上述感光性組成物溶解在水或溶劑中，使其乳化或分散，制備感光性組成物溶液，將該溶液直接涂布在上述基體的表面上，使其干燥而層疊。作為上述感光性組成物溶液的溶劑，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，可列舉與上述感光性薄膜中使用溶劑相同的溶劑。這些溶劑可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。另外，還可以添加公知的表面活性劑。'作為上述涂布方法和干燥條件，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，可在與上述感光性薄膜中使用的同樣的方法和條件下進行。上述第2方案的感光性層疊體的制造方法是指一邊對本發(fā)明的感光性薄膜進行加熱和加壓中的至少任一種，一邊在上述基體的表面層疊。另外，當上述感光性薄膜具有上述保護膜時，優(yōu)選將該保護膜剝離后，將上述感光膜層疊于上述基體。上述加熱溫度沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如，優(yōu)選15。C180。C，更優(yōu)選60。C140。C。上述加壓的壓力沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如優(yōu)選0.1MPa1.OMPa，更優(yōu)選為0.2MPa0.8MPa。作為至少實行上述加熱中任一種的裝置，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如，優(yōu)選列舉層壓機(大成層壓機株式會社制、VP-II;Nichigo-morton株式會社制、VP130;日立化成工業(yè)株式會社制、HLM-V570)等。本發(fā)明的感光性薄膜和感光性層疊層由于使用本發(fā)明的上述感光性組成物，因而具有高靈敏度、高析像度，靈敏度的經(jīng)時穩(wěn)定性、膜硬化性以及耐熱沖擊性良好，能高效地形成高精細的永久圖案，可試用于保護膜、層間絕緣膜及阻焊圖案等永久圖案等各種圖案形成用途；濾色器、柱材、筋材、間隔物、隔板等液晶結(jié)構(gòu)器材的制造用途；全息圖、微機電系統(tǒng)、印樣等圖案形成用途等，特別可以優(yōu)選用于印制電路板的永久圖案形成用途。本發(fā)明的感光性薄膜由于膜的厚度均一，因此在形成永久圖案之際，即使將永久圖案(保護膜、層間絕緣膜、阻焊劑等)薄層化，也不會在高加速度試驗(HAST)中發(fā)生離子遷移，能得到耐熱性、耐濕性優(yōu)異的高精細永久圖案，因此能更精細地在基材上進行層疊。(圖案形成裝置和永久圖案形成方法)本發(fā)明的圖案形成裝置具備上述感光層，至少具有光照射機構(gòu)和光調(diào)制機構(gòu)。本發(fā)明的永久圖案形成方法至少包括曝光工序，可包括適當選擇的顯影工序等其他工序。另外，通過本發(fā)明的上述永久圖案形成方法的說明，即可明白本發(fā)明的上述永久圖案形成裝置。上述曝光工序是對感光層進行曝光的工序。上述感光層和基體的材料如上所述。作為上述曝光的對象，只要是上述感光層即可，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如如上所述，優(yōu)選對通過邊對感光性組成物實行加熱和加壓中的至少任一種邊在基體上層疊而形成的感光性層疊體中的感光層實行曝光。作為上述曝光，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，可列舉數(shù)碼曝光、模擬曝光等，其中，優(yōu)選數(shù)碼曝光。作為上述模擬曝光，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉如下方法通過具有規(guī)定圖案的光掩膜，用(超)高壓汞燈、疝燈、鹵素燈等進行曝光。作為上述數(shù)碼曝光，只要是不用上述光掩模而進行曝光即可，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如，優(yōu)選移動至少具有光照射機構(gòu)和光調(diào)制機構(gòu)的曝光頭和上述感光層中的至少任一者，對上述感光層，基于圖案信息通過上述光調(diào)制機構(gòu)調(diào)制從上述光照射機構(gòu)射出的光的同時，從上述曝光頭進行照射。作為上述數(shù)碼曝光使用的光源，只要是發(fā)出紫外到近紅外線的光源即可，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以使用(超)高壓汞燈、疝燈、炭弧燈、鹵素燈和復(fù)印機用等的熒光管、或是激光等公知的光源。其中，優(yōu)選(超)高壓汞燈、激光，更優(yōu)選激光。上述(超)高壓汞燈是指將石英玻璃管等封入水銀中得到的放電燈，將汞的蒸氣壓設(shè)定得較高，發(fā)光效率變高。線光譜中，使用ND濾色器等，可以使用僅1波長的線光譜，也可以使用具有多個線光譜的光線。上述激光白勺"laser"是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation(利用光的受激射出的光的放大)的首字母簡稱。作為發(fā)出上述激光的裝置，是利用在具有旋轉(zhuǎn)分布的物質(zhì)中發(fā)生的誘導射出的現(xiàn)象，利用光波的放大、振蕩，創(chuàng)造相干性、方向性更強的單色光的振蕩器及放大器。作為上述激光的激發(fā)介質(zhì)，有結(jié)晶、玻璃、液體、色素、氣體等，可以從這些介質(zhì)中使用固體激光、液體激光、氣體激光、半導體激光等公知的激光。具體而言，作為氣體激光，可列舉Ar離子激光(364nm、351nm)、Kr離子激光(356nm、351nm)、He-Cd激光(325nm);作為固體激光，可列舉YAG激光、YV04激光(1064nm)、YAG激光或YV04激光的2倍波(532nm)、3倍波(355nm)、4倍波(266nm)、波導型波長轉(zhuǎn)換元件與AlGaAs、InGaAs半導體的組合(380nm400nm)、波導型波長轉(zhuǎn)換元件與AlGalnP或InGaAs半導體的組合(300nm350nm)、AlGalnN(350nm470nm)等。其中，從成本方面考慮，可列舉AlGalnN半導體激光(市售InGaN類半導體激光375nm或405nm)，從生產(chǎn)率方面考慮，可列舉高功率的355nm激光。上述激光的波長例如優(yōu)選為200nm1500nm，進一步優(yōu)選為300nm800nm，更優(yōu)選為330nm500nm，特優(yōu)選為350nm420nm。-光調(diào)制機構(gòu)-作為上述光調(diào)制機構(gòu)，具有代表性的方法可以舉出優(yōu)選具有n個描繪部，對應(yīng)上述圖案信息控制上述描繪部的方法。具體而言，可以舉出數(shù)字'微鏡'器件(DMD)、MEMS(微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystems))型的空間光調(diào)制元件(SLM;空間光調(diào)節(jié)器(SpecialLightModulator))、利用電光學效果調(diào)制透過光的光學元件(PLZT元件)、液晶光開閉器(FLC)等，其中，可以優(yōu)選舉出DMD。使用上述DMD的情況下，來自光源的光被適當?shù)墓鈱W系照射在上述DMD上，來自在DMD上二維排列的各鏡的反射光，經(jīng)過其他光學系等，在感光層上形成排列成二維的光點的像。可以以如下所述的形式，對感光層的全面進行曝光，即如果不直接在光點與光點之間曝光，而使上述二維排列的光點的像，相對二維的排列方向略微傾斜的方向搖動，后方列的光點在最初列的光點與光點之間進行曝光。上述DMD通過控制各鏡角度，開-關(guān)控制上述光點，可以形成圖像圖案。通過排列使用具有這樣的上述DMD的曝光頭，可以對應(yīng)各種寬度的基板。在上述DMD中，上述光點的亮度只有開或關(guān)這2個等級，但如果使用鏡等級型空間調(diào)制元件，則可以進行256個等級的曝光。另外，上述光調(diào)制機構(gòu)優(yōu)選具有基于形成的圖案信息來生成控制信號的圖案信號生成機構(gòu)。此時，上述光調(diào)制機構(gòu)對應(yīng)上述圖案信號生成機構(gòu)產(chǎn)生的控制信號來調(diào)制光。作為上述控制信號，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可優(yōu)選列舉數(shù)字信號。另一方面，上述光調(diào)制機構(gòu)的其他代表性方法，可以舉出使用多角鏡(polygonmirror)的方法。在此，多角鏡是指在周圍具有一列的平面反射面的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件。上述多角鏡在感光層上反射照射來自光源的光，而反射光的光點被該平面鏡的旋轉(zhuǎn)掃描。通過使基板相對該掃描方向成直角地移動，可以對基板上的感光層的全面進行曝光。接著，可以通過開-關(guān)來自光源的光的強度或?qū)⑵淇刂茷橹虚g色調(diào)，形成圖像圖案。此時，可以通過使來自光源的光成為多束，縮短掃描時間。作為上述光調(diào)制機構(gòu)，還可列舉日本專利特開平5-150175號公報中記載的使用多面鏡描繪的例子、特表2004-523101號公報(國際公開第2002/039793號小冊子)中記載的視覺獲取下部層的圖像的一部分、通過使用多面鏡的裝置將上部層的位置與下部層位置一致曝光的例子、日本專利特開2004-56080號公報中記載的具有DMD的曝光的例子、特表2002-523905號公報中記載的具有多面鏡的曝光裝置，日本專利特開2001-255661號公報中記載的具有多面鏡的曝光裝置，日本專利特開2003-50469號公報中記載的DMD、LD、多重曝光的組合例、日本專利特開2003-156853號公報中記載的利用基板部位來改變曝光量的曝光方法的例子、日本專利特開2005-43576號公報中記載的進行錯位調(diào)整的曝光方法的例子等。-光照射機構(gòu)-上述光照射機構(gòu)、即光照射方法，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的適當選擇上述曝光光源，優(yōu)選將2種以上來自這些光源的光合成后照射，特別優(yōu)選照射由2種以上的光合成的激光(合波激光)。作為上述合波激光的照射方法，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，可優(yōu)選列舉如下方法利用多個激光光源、多模光纖、將來自該多個激光光源的激光會聚并使其與上述多模光纖鍵合的集合光學系統(tǒng)，構(gòu)成合波激光后進行照射。上述激光的光束徑?jīng)]有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，從深色隔離板的析像度的觀點出發(fā)，高斯光束的1/V值優(yōu)選為5um30um，更優(yōu)選為7um20um。在本發(fā)明中，優(yōu)選根據(jù)圖像數(shù)據(jù)對激光進行空間光調(diào)制。因此，出于此目的，優(yōu)選使用空間光調(diào)制元件的上述DMD。作為具有上述光調(diào)制機構(gòu)和上述光照射機構(gòu)的曝光裝置，例如可以使用在日本專利特開2005-222039號公報、日本專利特開2005-258431號公報、日本專利特開2006-30966號公報等中記載的裝置，但本發(fā)明的曝光裝置不限于此。作為上述顯影，通過除去上述感光層的未曝光部分來進行。作為上述未固化區(qū)域的除去方法，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉使用顯影液來除去的方法等。作為上述顯影液，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可以列舉堿性水溶液、水系顯影液、有機溶劑等，其中，優(yōu)選弱堿性的水溶液。作為該弱堿性水溶液的堿成分，例如可以列舉氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、磷酸鈉、磷酸鉀、焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、硼砂等。上述弱堿性水溶液的pH例如優(yōu)選為812，更優(yōu)選為911。作為上述弱堿性水溶液，例如可以列舉0.1質(zhì)量％5質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。上述顯影液的溫度可以根據(jù)上述感光層的顯影性來適當選擇，例如優(yōu)選為25。C40。C。上述顯影液可以與表面活性劑、消泡劑、有機堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氫氧化銨、二乙烯三胺、三乙烯五胺、嗎啉、三乙醇胺等)、用于促進顯影的有機溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等并用。另外，上述顯影液可以是由水或堿水溶液與有機溶劑混合得到的水系顯影液，也可以是單獨的有機溶劑。在上述圖案的形成中，例如還可以含有固化處理工序、蝕刻工序、鍍敷工序等。它們可以單獨使用l種，也可以2種以上并用。當上述圖案的形成方法是形成保護膜、層間絕緣膜、阻焊劑等永久圖案或濾色器的永久圖案形成方法時，優(yōu)選在上述顯影工序后具備對感光層進行固化處理的固化處理工序。作為上述固化處理工序，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可優(yōu)選列舉整面曝光處理、整面加熱處理等。作為上述整面曝光處理的方法，例如可以列舉在上述顯影后將形成了上述永久圖案的上述層疊體上的整個面曝光的方法。通過該整面曝光，促進形成上述感光層的感光組成物中的樹脂的固化，使上述永久圖案的表面固化。作為進行上述整面曝光的裝置，沒有特殊限制，可以根據(jù)目的來適當選擇，例如可優(yōu)選列舉超高壓汞燈等UV曝光機、使用氙燈的曝光機、激光曝光機等。曝光量優(yōu)選為10mJ/cm22000mJ/cm2。作為上述整面加熱處理的方法，可以列舉在上述顯影后將形成了上述永久圖案的上述層疊體上的整個面加熱的方法。通過該整面加熱，使上述永久圖案表面的膜強度提高。上述整面加熱中的加熱溫度優(yōu)選為12(TC250。C，更加優(yōu)選為120'C20(TC。若上述加熱溫度不足120'C，則加熱處理不能提高膜強度，若超過250'C，則上述感光性組成物中的樹脂會分解，膜的質(zhì)量變脆弱。上述整面加熱中的加熱時間優(yōu)選為10分鐘120分鐘，更優(yōu)選為15分鐘60分鐘。作為進行上述整面加熱的裝置，沒有特殊限制，可以從公知的裝置中根據(jù)目的來適當選擇，例如可列舉干燥箱、加熱板、IR加熱器等。上述圖案的形成方法可以應(yīng)用于在通過405nm的激光曝光進行直接曝光時必須防止由氧引起的感光層靈敏度下降的各種圖案的形成等，適用于兼具高密度和高生產(chǎn)率的圖案的形成。在上述永久圖案形成方法中，若用永久圖案形成方法形成的永久圖案是上述保護膜或上述層間絕緣膜，則可以保護布線使其避免來自外部的沖擊或彎曲，特別是上述層間絕緣膜的情況下，例如可用于將半導體和部件高密度安裝于多層布線基板和再組裝布線基板。本發(fā)明的永久圖案形成方法由于使用本發(fā)明的上述感光性組合物，因此適用于保護膜、層間絕緣膜以及阻焊圖案等永久圖案等各種圖案形成用71途；濾色器、柱材、筋材、間隔物、隔板等液晶結(jié)構(gòu)部件的制造；全息圖、微機電系統(tǒng)、印樣等的制造，特別適用于印制電路板的永久圖案形成用途。實施例以下，對本發(fā)明的實施例進行說明，但本發(fā)明不限于下述實施例。(合成例1)-高分子化合物1的合成-在1000mL的三口燒瓶內(nèi)裝入l-甲氧基-2-丙醇159g,在氮氣流下，加熱至85°C。在其中花2小時滴加甲基丙烯酸芐酯63.4g、甲基丙烯酸72.3g、V-601(和光純藥工業(yè)株式會社制)4.15g的l-甲氧基-2-丙醇159g溶液。滴加結(jié)束后，進一步加熱5小時使其反應(yīng)。然后，停止加熱，得到甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸(30/70mol。/。比)的共聚物。接著，將上述共聚物溶液中的120.0g轉(zhuǎn)移至300mL的三口燒瓶內(nèi)，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯16.6g和對甲氧基苯酚0.16g，攪拌，使其溶解。溶解后，加入三苯基膦3.0g，加熱至10(TC,進行加成反應(yīng)。用氣相色譜法確認甲基丙烯酸縮水甘油酯消失后，停止加熱。加入l-甲氧基-2-丙醇，制備固體成分30質(zhì)量％的下述結(jié)構(gòu)式表示的高分子化合物1的溶液。以聚苯乙烯為標準物質(zhì)，用凝膠滲透色譜法(GPC)測定得到的高分子化合物1的質(zhì)均分子量，結(jié)果為15000。采用氫氧化鈉進行滴定，每份固體成分的酸值為2.2meq/g。另外，由碘值滴定求得的每份固體成分的乙烯性不飽和鍵的含量(C-C值)為2.1meq/g。<高分子化合物1>上述高分子化合物1中，*1表示下述結(jié)構(gòu)式(a)表示的結(jié)構(gòu)和結(jié)構(gòu)式(b)表示的結(jié)構(gòu)的混合(混合比不詳)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage73</formula>(實施例1)<感光性組合物的制作>-分散液的制備-關(guān)于分散液，將下述成分預(yù)先混合后，在電動磨M-200(阿依嘎(7一力'一)公司制)中，采用直徑l.Omm的氧化鋯珠，以9m/s的圓周速度分散3小時來制備。二氧化硅(株式會社亞渡(Admatechs)制、Admafme(了K^770)S0-C2)…22質(zhì)量份*熱固化促進劑(雙氰胺)…0.26質(zhì)量份HELIOGENBLUED7086(BASF公司制)…0.40質(zhì)量份PALIOTOLYELLOWD0960(BASF公司制)…0.11質(zhì)量份*合成例1的高分子化合物1(1-甲氧基-2-丙醇溶液中固體成分質(zhì)量45質(zhì)量％)…35質(zhì)量份乙酸正丙酯…43質(zhì)量份接著，將下述各成分與上述分散液(過濾后)38質(zhì)量份混合，制備感光性組合物溶液。*合成例1的高分子化合物1(l-甲氧基-2-丙醇溶液中固體成分質(zhì)量45質(zhì)量％)…40質(zhì)量份*聚合性化合物(六丙烯酸二季戊四醇酯)…9.6質(zhì)量份下述結(jié)構(gòu)式表示的熱固性化合物(東都化成株式會社制、艾泡陶特(工求卜一卜)YDF-170、環(huán)氧當量為170g/eq)…5.3質(zhì)量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>其中，n為0體，70%以上。下式10表示的光聚合引發(fā)劑…0.82質(zhì)量份O、、<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>下式表示的增感劑(例示化合物No.33)…0.06質(zhì)量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage74</formula>式中，Me表示甲基，Et表示乙基。'氟類表面活性劑(麥嘎法庫(;^力'77:y夕)F-780F、大日本油墨化學工業(yè)株式會社制、30質(zhì)量%2-丁酮溶液)…0.2質(zhì)量份甲乙酮…10質(zhì)量份-感光性薄膜的制造-在作為支撐體的厚16lim、寬300mm、長200m的PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯)膜(東麗株式會社制、16FB50)上，用棒涂器涂布得到的感光性組合物溶液，在80。C熱風循環(huán)式干燥機中干燥，形成厚30um的感光層。然后，在該感光層上通過層壓來層疊作為保護膜的膜厚20wm、寬310mm、長210m的聚丙烯膜(王子制紙株式會社制、E-200)，制造感光性薄膜。-感光性層疊體的制備-然后，對上述基材、即作為印制電路板的形成了布線的覆銅層疊板(無通孔、銅厚度為12um)的表面實施化學研磨處理來制備。在該覆銅層疊板上，以上述感光性薄膜的感光層與上述覆銅層疊板相接的方式，一邊將上述感光性薄膜的保護膜剝離，一邊使用真空層壓機(二于^一千一卜乂株式會社制、VP130)使其層疊，制備以上述覆銅層疊板、上述感光層、上述聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(支撐體)的順序?qū)盈B而成的感光性層疊體。層壓條件為抽真空的時間為40秒，壓接溫度為70°C，壓接壓力為0.2MPa，加壓時間為10秒。<靈敏度的評價>將上述層疊體在室溫(23°C、55%RH)下靜置IO分鐘。在得到的上述層疊體的感光層表面，使用INPREXIP-3000(富士膠片株式會社制、像素間距-1.0um)，以0.5mJ/cm22l/2倍間距照射光能量不同的光直至500mJ/cn^來進行曝光，使L/S=50/50(um/um)的圖案固化。在室溫下靜置10分鐘后，將上述支撐體從上述感光性層疊體剝離，在覆銅層疊板上的感光層的整個面上，將3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液在噴淋壓0.15MPa下以上述最短顯影時間的2倍的時間進行噴淋顯影，將未固化的區(qū)域溶解除去，測定L/S-50/50(um/um)的圖案的線寬，將線寬為50wm的曝光量作為最佳曝光量。結(jié)果如表l所示?！次鱿穸鹊脑u價〉將上述層疊體在室溫(23°C、55%RH)下靜置IO分鐘。在得到的上述層疊體的感光層表面，使用INPREXIP-3000(富士膠片株式會社制、像素間距=1.0um)，以上述最佳曝光量照射直徑為40ym直徑400um的以lOum為刻度的圓孔圖案數(shù)據(jù)，進行各孔徑的圖案曝光。在室溫下靜置IO分鐘后，采用與上述最短顯影時間的評價中相同的方法，以通過上述方法求得的最短顯影時間的2倍的時間進行噴淋顯影，將未固化的區(qū)域溶解除去。用光學顯微鏡觀察上述方式得到的固化樹脂圖案的表面，將固化樹脂圖案沒有堵塞、歪曲等異常的最小圓孔徑作為析像度。結(jié)果如表1所示。另外，析像度的數(shù)值越小越好。(實施例2)除了將下式10表示的化合物用作光聚合引發(fā)劑、將下式表示的例示化合物No.36用作增感劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表1所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage76</formula>OEt(實施例3)除了將下式17表示的化合物用作光聚合引發(fā)劑，將下式表示的例示化合物No.34用作增感劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表1所示。No<formula>formulaseeoriginaldocumentpage76</formula>式中，Ph表示苯基，Et表示乙基。(實施例4)除了將下式18表示的化合物用作光聚合引發(fā)劑、將下式表示的例示化合物N0.4用作增感劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表l所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage77</formula>式中，t-Bu表示叔丁基。(實施例5)除了將下式24表示的化合物用作光聚合引發(fā)劑、將下式表示的例示化合物No.33用作增感劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表1所示。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage77</formula>MeOSNo.33式中，Me表示甲基，Et表示乙基。(比較例1)除了不添加光聚合引發(fā)劑、用下式表示的例示化合物No.4作為增感劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表l所示。t-Bu他.4C:HS式中，t-Bu表示叔丁基。(比較例2)除了不添加增感劑、用下式IO表示的化合物作為光聚合引發(fā)劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表l所示。O、、10(比較例3)除了不添加增感劑、用下式24表示的化合物作為光聚合引發(fā)劑以外，均與實施例1同樣地來制備感光性組合物。用得到的各感光性組合物，與實施例1同樣地進行靈敏度和析像度的評價。結(jié)果如表1所示。oIRGACUREOXE0124<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table>本發(fā)明的感光性組合物和感光性薄膜在靈敏度和析像度上優(yōu)異，能高效地形成高精細的圖案，因此可以廣泛應(yīng)用于保護膜、層間絕緣膜、阻焊圖案等各種圖案形成用途、印制電路板、濾色器或柱材、筋材、間隔物、隔板等顯示器用部件、全息圖、微機電系統(tǒng)、印樣等永久圖像形成用途，特別優(yōu)選用于印制電路板的永久圖案形成用途。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其特征在于，其至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-1)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-1)表示的化合物，id="icf0001"file="A2009101601340002C1.tif"wi="55"he="30"top="72"left="37"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>通式(A-1)所述通式(A-1)中，R1表示?；?、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，該R1還可以被取代基取代，R2表示氫原子、烷基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與R2可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1，id="icf0002"file="A2009101601340002C2.tif"wi="61"he="17"top="145"left="38"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>通式(B-1)在所述通式(B-1)中，R6和R7可以分別相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一種，該R6和該R7可與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，G1和G2可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基以及氟烷基磺?；械娜我环N，該G1和該G2可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素作為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，G1和G2中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基磺?；?、芳基磺?；约胺榛酋；械娜我环N，p表示0或1。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其中，由通式(A-l)表示的化合物是由下述通式(A-2)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(R3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-2)在所述通式(A-2)中，R'表示?；?、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，它們還可以被取代基取代，W表示垸基、烷氧基、芳基氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及酰基氨基中的任一種，m表示0以上的整數(shù)，當該m為2以上時，該W可以分別相同或不同，可以相互連結(jié)形成環(huán)，Ar表示芳環(huán)和雜芳環(huán)中的任一種，A表示5元環(huán)、6元環(huán)以及7元環(huán)中的任一種，它們還可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一種。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性組合物，其中，由通式(A-2)表示的化合物是由下述通式(A-3)以及(A-4)中任一式表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-3)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>通式(A-4)在所述通式(A-3)和(A-4)中，R"表示烷基以及垸氧基中的任一種，該W還可以被取代基取代，RS表示烷基、烷氧基、芳氧基、烷基硫基、芳基硫基、鹵原子、烷氧基羰基、硝基以及?；被械娜我环N，1表示06的整數(shù)，當該1為2以上時，該RS可以分別相同或不同，可以相互連結(jié)形成環(huán)，A表示5元環(huán)以及6元環(huán)中的任一種，它們還可以被取代基取代，X表示氧原子以及硫原子中的任一種。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，由通式(B-l)表示的化合物是由下述通式(B-2)表示的化合物，在所述通式(B-2)中，RS和W可以分別相同或不同，表示氫原子、烷基、芳基、?；约胞u原子中的任一種，該RS和該W可以相互連結(jié)形成芳環(huán)，還可以在該芳環(huán)上具有烷基、垸氧基以及鹵原子中的至少任一種，R^和R"可以分別相同或不同，表示氫原子、烷基以及芳基中的任一種，Y表示氧原子以及硫原子中的任一種。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，熱固性化合物是在1分子中具有2個以上環(huán)氧基的環(huán)氧化合物。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，所述組合物還含有無機填充劑和有機填充劑中的至少任一種。7.—種感光性薄膜，其特征在于，在支撐體上具有包含下述感光性組合物的感光層，所述感光性組合物至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-l)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>所述通式(A-l)中，R'表示?；⑼檠趸驶约胺佳趸驶械娜我环N，該R'還可以被取代基取代，W表示氫原子、垸基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與ie可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>在所述通式(B-l)中，116和117可以相同，也可以不同，表示垸基、芳基以及烯基中的任一種，該116和該117可與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，G'和GZ可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、垸基硫基、芳基硫基、烷基磺?；?、芳基磺?；约胺榛酋；械娜我环N，該G'和該GS可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素作為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、垸基磺?；⒎蓟酋；约胺酋；械娜我环N，p表示0或l。8.—種感光性層疊體，其特征在于，在基體上具有包含下述感光性組合物的感光層，該感光性組合物至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-l)表示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>所述通式(A-l)中，W表示?；?、烷氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，該R'還可以被取代基取代，W表示氫原子、烷基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與W可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>在所述通式(B-l)中，116和117可以分別相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一種，該W和該W與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，G'和02可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、烷基硫基、芳基硫基、垸基磺酰基、芳基磺?；约胺酋；械娜我环N，該G1和該02可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、?；?、烷基磺?；?、芳基磺?；约胺榛酋；械娜我环N，p表示0或l。9.永久圖案形成方法，其特征在于，包括對由下述感光性組合物形成的感光層進行曝光的步驟，該感光性組合物至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-l)表示的化合物，所述通式(A-l)中，R"表示?；⑼檠趸驶约胺佳趸驶械娜我环N，該R'還可以被取代基取代，W表示氫原子、垸基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與W可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1，在所述通式(B-l)中，W和R7可以分別相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一種，該^和該W與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，0]和tf可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、?；⑼榛蚧?、芳基硫基、垸基磺?；?、芳基磺酰基以及氟烷基磺?；械娜我环N，該G1和該G2可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，01和02中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、?；⑼榛酋；?、芳基磺?；约胺榛酋；械娜我环N，p表示0或l。10.—種印制電路板，其特征在于，所述印制電路板是利用包括對由下述感光性組合物形成的感光層進行曝光的步驟的永久圖案形成方法形成有永久圖案的印制電路板，該感光性組合物至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，所述光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-l)表示的化合物，所述增感劑是由下述通式(B-l)表示的化合物，所述通式(A-l)中，W表示?；?、垸氧基羰基以及芳氧基羰基中的任一種，該R'還可以被取代基取代，W表示氫原子、烷基以及氰基中的任一種，Ar表示芳環(huán)以及雜芳環(huán)中的任一種，Ar與W可以相互鍵合形成環(huán)，n表示0或1，在所述通式(B-l)中，116和117可以分別相同或不同，表示烷基、芳基以及烯基中的任一種，該116和該117與各自鍵合的硫原子一起形成包含非金屬元素的環(huán)，它們還可以被取代基取代，G'和02可以分別相同或不同，表示氫原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、垸基磺?；?、芳基磺?；约胺酋；械娜我环N，該G1和該02可與各自鍵合的碳原子一起形成包含非金屬原子的以部花青色素為酸性核的環(huán)，它們還可以被取代基取代，其中，G'和GZ中的任一個表示羰基、氰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、垸基磺酰基、芳基磺?；约胺酋；械娜我环N，p表示0或l。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性組合物，其至少含有粘合劑、聚合性化合物、熱固性化合物、光聚合引發(fā)劑以及增感劑，光聚合引發(fā)劑是由下述通式(A-1)表示的化合物，增感劑是由下述通式(B-1)表示的化合物。通式(A-1)R¹表示?；?、烷氧基羰基或芳氧基羰基，R²表示氫原子、烷基或氰基，Ar表示芳環(huán)或雜芳環(huán)，n表示0或1。通式(B-1)R⁶和R⁷表示烷基、芳基或烯基，G¹和G²表示氫原子、氰基、羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、烷基硫基、芳基硫基、烷基磺?；?、芳基磺酰基或氟烷基磺?；琾表示0或1。文檔編號G03F7/004GK101639627SQ20091016013公開日2010年2月3日申請日期2009年7月24日優(yōu)先權(quán)日2008年7月29日發(fā)明者神川弘申請人:富士膠片株式會社