專利名稱：：感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、永久圖案形成方法和印刷基板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種靈敏度和保存穩(wěn)定性優(yōu)異、能夠高效率地形成高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法、以及利用該永久圖案形成方法形成有永久圖案的印刷基板(日文原文7，y卜基板)。
背景技術(shù)：
：一直以來(lái)，在形成阻焊劑(solderresist)圖案等永久圖案時(shí)，使用通過(guò)在支撐體上涂布感光性組合物并進(jìn)行干燥而形成感光層的感光性薄膜。作為所述永久圖案的制造方法，例如在形成有所述永久圖案的貼銅層疊板等基體上層疊所述感光性薄膜而形成層疊體，對(duì)該層疊體中的所述感光層進(jìn)行曝光，該曝光后將所述感光層顯影使形成圖案，之后進(jìn)行固化處理等，從而形成所述永久圖案。形成所述永久圖案時(shí)，作為向乙烯基系高分子化合物的側(cè)鏈中導(dǎo)入烯屬性不飽和鍵的方法，通常采用下述方法使用路易斯堿化合物等作為催化劑，在所述乙烯基系高分子的側(cè)鏈的羧基上加成含有環(huán)氧基的不飽和化合物(例如甲基丙烯酸縮水甘油酯)而得到的方法(參照下述反應(yīng)式)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>但是，象阻焊劑用感光層那樣，在混有環(huán)氧化合物的系統(tǒng)中，若在聚合物中存在合成環(huán)氧改性粘合劑聚合物時(shí)所使用的改性催化劑，則所述改物的羧基反應(yīng)而固化。因此，非圖像部分無(wú)法通過(guò)顯影而除去，存在保存穩(wěn)定性劣化的問(wèn)題。另外，所述改性催化劑是導(dǎo)致粘合劑樹(shù)脂及其樹(shù)脂溶液著色的原因，由于該粘合劑樹(shù)脂的著色，而存在感材的色味變差的問(wèn)題。其中，有人提出了在粘合劑樹(shù)脂中含有0.5~5重量％的叔膦(參照日本特開(kāi)平10-17779號(hào)公報(bào))或者在粘合劑樹(shù)脂中含有0.4~0.6重量°/。的催化劑(參照日本特開(kāi)2000-191737號(hào)公報(bào))并規(guī)定了催化劑的種類及其含量的提案。另外，有人公開(kāi)了下述不飽和環(huán)氧酯樹(shù)脂的制造方法使用三價(jià)有機(jī)磷化合物催化劑，使環(huán)氧化合物與聚合性單羧酸反應(yīng)合成不飽和環(huán)氧酯樹(shù)脂，之后通過(guò)將所述三價(jià)有機(jī)磷化合物催化劑氧化而使其失活，從而促進(jìn)環(huán)氧基與羧酸的反應(yīng)的實(shí)質(zhì)上不含催化劑的不飽和環(huán)氧酯樹(shù)脂的制造方法(日本專利第2593019號(hào)公報(bào))。還有人公開(kāi)了下述固化性樹(shù)脂的制造方法在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少含有1個(gè)酸根的化合物(B)得到的共聚物的一部分酸根上加成含有環(huán)氧基的不飽和化合物而得到改性共聚物(C)時(shí)，在催化劑的存在下進(jìn)行加成反應(yīng)后使催化劑失活的由改性聚合物(D)形成的固化性樹(shù)脂的制造方法(日本特開(kāi)2000-72814號(hào)公報(bào))。但是，在這些方法中，感材的保存穩(wěn)定性不充分，粘合劑樹(shù)脂的著色顯著、感材的色味差的問(wèn)題也沒(méi)有得到解決。因此，現(xiàn)狀是通過(guò)充分減少粘合劑的種類和催化劑的殘留量，還不能提供保存穩(wěn)定性優(yōu)異、且減輕了粘合劑樹(shù)脂的著色并抑制了感材的色味變差(色故障)、能夠高效率地形成高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法、利用所述永久圖案形成方法形成有圖案的印刷基板、以及感光性組合物的制造方法，人們希望進(jìn)一步進(jìn)行改良開(kāi)發(fā)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于所述現(xiàn)狀而設(shè)，本發(fā)明的課題在于解決現(xiàn)有的所述各種問(wèn)題，達(dá)到以下目的。即，本發(fā)明的目的在于通過(guò)規(guī)定粘合劑的種類和催化劑的殘留量，提供一種保存穩(wěn)定性和層壓后的析像度(圓孔)的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異、且減輕了粘合劑樹(shù)脂的著色并抑制了感材的色味變差(色故障)、能夠高效率地形成高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法和通過(guò)利用所述永久圖案形成方法形成有圖案的印刷基板。用于解決所述課題的方法如下。艮P-<1>一種感光性組合物，其包括由下述的改性共聚物形成的粘合劑、聚合性化合物、光聚合起始劑、熱交聯(lián)劑以及催化劑，所述改性共聚物是在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少具有1個(gè)酸根的化合物(B)所得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯而成的改性共聚物，其特征在于，相對(duì)于所述粘合劑固體成分量，所述催化劑的殘留量為500質(zhì)量ppm以下。<2>根據(jù)所述<1>所記載的感光性組合物，其中，相對(duì)于粘合劑固體成分量，催化劑的殘留量為300質(zhì)量ppm以下。<3>根據(jù)所述<1>~<2>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，催化劑為三苯膦。<4>根據(jù)所述<1>~<3>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，光聚合起始劑為肟衍生物。<5〉根據(jù)所述<1>《4>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑為從環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、封端聚異氰酸酯化合物以及蜜胺衍生物中選擇的至少一種。<6>根據(jù)所述<5>所記載的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑為環(huán)氧化合物，該環(huán)氧化合物選自酚醛清漆型環(huán)氧化合物、雙酚型環(huán)氧化合物、含雜環(huán)的環(huán)氧化合物以及脂環(huán)式環(huán)氧化合物。<7>根據(jù)所述<5>~<6>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑含有環(huán)氧當(dāng)量為卯g/eq.~400g/叫.的環(huán)氧化合物和環(huán)氧當(dāng)量為150g/eq,9，000g/eq.的環(huán)氧化合物。<8>根據(jù)所述<1>《7>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，還含有熱固化促進(jìn)劑?！?lt;9>根據(jù)所述<1>~<8>中的任一項(xiàng)所記載的感光性組合物，其中，還含有無(wú)機(jī)填充劑。<10>根據(jù)所述<9>所記載的感光性組合物，其中，無(wú)機(jī)填充劑為二氧化硅。<11>一種感光性薄膜，其特征在于，通過(guò)在支撐體上具有由所述<1>~<10>中任一項(xiàng)所記載的感光性組合物所形成的感光層而形成。<12>根據(jù)所述<11>所記載的感光性薄膜，該薄膜為長(zhǎng)尺狀，并通過(guò)被巻成輥狀而形成。<13>—種感光性層疊體，其特征在于，其在基體上具有由所述<1><10>中任一項(xiàng)所記載的感光性組合物所形成的感光層。<14>根據(jù)所述<13>所記載的感光性層疊體，其中，感光層由所述<11>~<12>中任一項(xiàng)所記載的感光性薄膜形成。<15>—種永久圖案的形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)由所述<1>~<10>中任一項(xiàng)所記載的感光性組合物所形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。<16>根據(jù)所述<15>所記載的永久圖案形成方法，其中，使用350~415nm波長(zhǎng)的激光來(lái)進(jìn)行曝光。<17>—種印刷基板，其特征在于，利用所述<15>~<16>中任一項(xiàng)所記載的永久圖案的形成方法來(lái)形成永久圖案。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，可以解決現(xiàn)有問(wèn)題，通過(guò)規(guī)定粘合劑的種類和催化劑的殘留量，可以提供一種能夠高效率地形成保存穩(wěn)定性和層壓后的析像度(圓孔)的經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異、且減輕了粘合劑樹(shù)脂的著色、并抑制了感材的色味變差(色故障)、高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)的感光性組合物、感光性薄膜、感光性層疊體、使用所述感光性組合物的永久圖案形成方法和利用所述永久圖案形成方法形成有圖案的印刷基板。具體實(shí)施方式(感光性組合物)本發(fā)明的感光性組合物通過(guò)含有粘合劑、聚合性化合物、光聚合起始　劑、熱交聯(lián)劑和催化劑，并根據(jù)需要含有其他成分而形成。<粘合劑>作為所述粘合劑，其由下述的改性共聚物形成，所述改性共聚物是在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少含有1個(gè)酸根的化合物(B)所得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯而成的改性共聚物?！?甲基)丙烯酸酯(A)—作為所述(甲基)丙烯酸酯(A)，可以列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯類；(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸羥丙酯、(甲基)丙烯酸羥丁酯、己內(nèi)酯改性(甲基)丙烯酸2-羥乙酯等含羥基的(甲基)丙烯酸酯類；甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、異辛氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸酯類等。一含不飽和基團(tuán)的化合物(B)—作為所述含不飽和基團(tuán)的化合物(B)，可以列舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、乙烯基苯酚、在不飽和基團(tuán)與羧酸之間鏈被延長(zhǎng)的改性不飽和單羧酸例如P-羧乙基(甲基)丙烯酸酯、2-丙烯酰氧乙基琥珀酸、2-丙烯酰氧乙基鄰苯二甲酸、2-丙烯酰氧乙基六氫化鄰苯二甲酸、內(nèi)酯改性等含有酯鍵的不飽和單羧酸、含有醚鍵的改性不飽和單羧酸等。一一改性不飽和單羧酸一一作為所述改性不飽和單羧酸，具體而言，可以列舉出作為將(甲基)丙烯酸進(jìn)行內(nèi)酯改性而成的化合物，CH2=C(-R》CO-,OH(1);作為將末端羥基用酸酐進(jìn)行酸改性而成的內(nèi)酯改性物，CH2=C(-R)COO-CHsCHzOCCCKCI^CR^OLCOI^COOH"式(l)、(2)中，Ri表示氫原子或甲基。m個(gè)R2和R3分別表示氫原子、甲基或乙基，彼此可以不同。R4表示碳原子數(shù)為110的二價(jià)脂肪族飽和或不飽和烴基、碳原子數(shù)為1~6的二價(jià)脂環(huán)式飽和或不飽和烴基、對(duì)亞二甲苯基、亞苯基等。m表示48的整數(shù)，n表示l10的整數(shù)。"。一一含有醚鍵的改性不飽和單羧酸一一作為所述含有醚鍵的改性不飽和單羧酸，可以列舉出在(甲基)丙烯酸上加成環(huán)氧乙垸等環(huán)氧化合物、并將加成物的分子末端羥基用酸酐進(jìn)行酸改性而成的下述通式CH2=C(-R,)COO-[(CR2R3)raO]n-COR.,COOH(3)"式中，Ri表示氫原子或甲基。m個(gè)R2和R3分別表示氫原子、甲基、乙基、丙基或丁基，彼此可以不同。R4表示碳原子數(shù)為110的二價(jià)脂肪族飽和或不飽和烴基、碳原子數(shù)為1~6的二價(jià)脂環(huán)式飽和或不飽和烴基、對(duì)亞二甲苯基、亞苯基等。m和n表示l10的整數(shù)。"?；蛘?，也可以是分子中含有兩個(gè)以上的馬來(lái)酸等的羧酸基團(tuán)的物質(zhì)。所述物質(zhì)可以單獨(dú)使用，也可以混合使用。一一加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯一一接下來(lái)，通過(guò)在由所述(A)和含有不飽和基團(tuán)的化合物(B)所得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯而得到改性共聚物。(甲基)丙烯酸縮水甘油酯在1分子中聚有至少一個(gè)自由基聚合性不飽和基團(tuán)和環(huán)氧基。相對(duì)于所得到的改性共聚物，該(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的加成量?jī)?yōu)選為570重量％的范圍。所述加成量不足5重量％時(shí)，紫外線固化性差，固化覆膜的物理性質(zhì)降低。所述加成量為70重量％以上時(shí)，樹(shù)脂的保存穩(wěn)定性變差。如此操作而得到的改性共聚物，優(yōu)選酸值為10-150KOH-mg/g、進(jìn)一步為50150KOH-mg/g的范圍。該酸值不足10KOH-mg/g時(shí)，難以用稀堿水溶液除去未固化膜；超過(guò)150KOH-mg/g時(shí)，存在固化覆膜的耐水性、電特性差的問(wèn)題。另外，改性共聚物(D)優(yōu)選重均分子量為5,000-100,000的范圍。重均分子量不足5,000時(shí)，存在(l)不粘(tackfree:夕、_y夕7!J一)性能差、(2)曝光后涂膜的耐濕性差，顯影時(shí)產(chǎn)生膜邊兒，析像度非常差的問(wèn)題。當(dāng)重均分子量超過(guò)IOO，OOO時(shí)，存在(l)顯影性明顯變差、(2)貯藏穩(wěn)定性差等問(wèn)題。制造改性共聚物時(shí)，作為反應(yīng)中使用的溶劑，只要是溶解所用原料的　溶劑即可，沒(méi)有特別限定，例如可以使用苯、甲苯、二甲苯等芳族烴類；甲醇、乙醇、2-丙醇等醇類；丙酮、丁酮、甲基異丁基酮等酮類；二乙醚、二丁醚、二瞎烷等醚類；乙酸乙酯、乙酸異丁酯、乙二醇單乙酸酯、丙二醇單乙酸酯、二丙二醇單乙酸酯等酯類；乙二醇單烷基醚類；二甘醇單烷基醚類；丙二醇單垸基醚類；二丙二醇單烷基醚類；丁二醇單烷基醚類；乙二醇二烷基醚類；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚等二甘醇二烷基醚類；乙二醇單垸基醚乙酸酯類；二甘醇單烷基醚乙酸酯類；二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺等酰胺類；四氯化碳、氯仿等鹵代烴等。所述溶劑可以單獨(dú)使用，或者可以混合使用。<催化劑>從迅速進(jìn)行反應(yīng)的角度考慮，當(dāng)在所述側(cè)鏈具有羧基的高分子化合物的羧基上，加成1分子中具有至少一個(gè)自由基聚合性的不飽和基團(tuán)和環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸縮水甘油酯時(shí)，使用催化劑。此處，在本發(fā)明中，"催化劑"是指用于促進(jìn)在所述側(cè)鏈具有羧基的高分子化合物的羧基上，加成1分子中具有至少一個(gè)自由基聚合性的不飽和基團(tuán)和環(huán)氧基的(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的反應(yīng)的物質(zhì)，該物質(zhì)促進(jìn)所述反應(yīng)，這例如可以通過(guò)使用氣相色譜法測(cè)定含有環(huán)氧基和烯屬性不飽和鍵的化合物的消耗速度和未添加催化劑時(shí)的速度的方式來(lái)確認(rèn)。對(duì)所述催化劑沒(méi)有特別限定，通常可以適當(dāng)選擇在加成所述含有環(huán)氧基和烯屬性不飽和鍵的(甲基)丙烯酸縮水甘油酯時(shí)所使用的催化劑，可以列舉如羧酸的金屬鹽、垸基尿素、烷基胍、路易斯酸堿性化合物等。作為所述羧酸的金屬鹽，可以列舉如環(huán)垸酸、月桂酸、硬脂酸、油酸、辛烯酸等的鋰鹽、絡(luò)鹽、鋯鹽、鉀鹽或鈉鹽。作為所述垸基尿素，可以列舉如西甲基氯化銨、四乙基溴化銨、四丁基溴化銨等季銨鹽、四甲基尿素等。作為所述烷基胍，可以列舉如四甲基胍等。作為所述路易斯堿性化合物，可以列舉如膦化合物、鏈狀烷基叔胺化合物、芳族叔胺化合物、雜環(huán)狀叔胺化合物等。所述膦化合物可以列舉如三苯膦等。所述鏈狀垸基叔胺化合物可以列舉如二甲基芐胺、三乙胺、四甲基乙二胺、三正辛基胺等。所述芳族叔胺化合物可以列舉如吡啶、甲基吡啶、二甲基吡啶、二甲氨基吡啶等。所述雜環(huán)狀叔胺化合物可以列舉如N-甲基吡咯垸、N-甲基哌啶、1，4-二甲基哌嗪、奎寧環(huán)、1，4-二氮雜雙環(huán){2.2.2}辛垸(0入8(:0)、N-甲基嗎啉、1,5-二氮雜雙環(huán)[4.3.0]壬-5-碳烯(DBN)、1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]H^—-5-碳烯(DBU)等。作為所述催化劑，從加成反應(yīng)促進(jìn)效果、感材的保存穩(wěn)定性的角度考慮，優(yōu)選膦化合物，其中特別優(yōu)選三苯膦。所述催化劑在所述粘合劑固體成分中的固體成分殘留量為500質(zhì)量ppm以下，優(yōu)選為300質(zhì)量ppm以下，更優(yōu)選為完全不殘留。此處，所述催化劑的殘留量例如可以使用高效液相色譜法、氣相色譜法進(jìn)行測(cè)定。<聚合性化合物>對(duì)所述聚合性化合物沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選含有1個(gè)以上的烯屬性不飽和鍵的化合物。作為所述烯屬性不飽和鍵，可以列舉如(甲基)丙烯?；?、(甲基)丙烯酰胺基、苯乙烯基、乙烯基酯或乙烯基醚等的乙烯基、烯丙基醚或烯丙基酯等的烯丙基等。對(duì)所述含有1個(gè)以上的烯屬性不飽和鍵的化合物沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以優(yōu)選列舉如從具有(甲基)丙烯酸基的單體中選擇的至少一種。對(duì)所述具有(甲基)丙烯酸基的單體沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能丙烯酸酯或單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(丙烯酰氧丙基)醚、三(丙烯酰氧乙基)異氰尿酸酯、三(丙烯酰氧乙基)氰尿酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯；對(duì)三羥甲基丙垸或甘油、雙酚等多官能醇進(jìn)行環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙垸的加成反應(yīng)后進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化的產(chǎn)物；日本特公昭48-41708號(hào)、日本特公昭50-6034號(hào)、日本特公昭51-37193號(hào)等各公報(bào)中記載的聚氨酯丙烯酸酯類；日本特開(kāi)昭48-64183號(hào)、日本特公昭49-43191號(hào)、日本特公昭52-30490號(hào)等各公報(bào)中記載的聚酯丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹(shù)脂與(甲基)丙烯酸的反應(yīng)產(chǎn)物的環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯等。其中，特別優(yōu)選三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。所述聚合性化合物在所述感光性組合物固體成分中的固體成分殘留量?jī)?yōu)選5~50質(zhì)量％，更優(yōu)選為10~40質(zhì)量％。若該固體成分含量不足5質(zhì)量％，則有時(shí)會(huì)出現(xiàn)顯影性惡化、曝光靈敏度下降等問(wèn)題；當(dāng)所述固體成分含量超過(guò)50質(zhì)量％時(shí)，有時(shí)感光層的粘合性變得過(guò)強(qiáng)。<光聚合起始劑>作為光聚合起始劑，只要具有引發(fā)所述聚合性化合物的聚合的能力即可，沒(méi)有特別限定，可以從公知的光聚合起始劑中適當(dāng)選擇。例如優(yōu)選從紫外線區(qū)對(duì)可見(jiàn)光線具有感光性的物質(zhì)，可以是與光激發(fā)的增感劑發(fā)生某種作用而生成活性自由基的活性劑，也可以是根據(jù)單體種類引發(fā)陽(yáng)離子聚合的起始劑。另外，所述光聚合起始劑優(yōu)選含有至少一種在波長(zhǎng)約300-800nm的范圍內(nèi)具有至少約50的分子吸光系數(shù)的成分。所述波長(zhǎng)更優(yōu)選330~500nm。作為所述光聚合起始劑，可以列舉如鹵代烴衍生物(例如具有三嗪骨架的鹵代烴、具有嗯二唑骨架的鹵代烴等)、六芳基二咪唑、肟衍生物、有機(jī)過(guò)氧化物、硫化合物、酮化合物、芳族鎗鹽、金屬茂類等。其中，從感光層的靈敏度、保存性和感光層與印刷線路板形成用基板的密合性等角度考慮，優(yōu)選具有三嗪骨架的鹵代烴、肟衍生物、酮化合物、六芳基二咪唑系化合物。作為所述六芳基二咪唑，可以列舉如2，2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5，5'-四苯基二咪唑、2，2，-雙(鄰氯苯基)-4，4，,5,5，-四苯基二咪唑、2,2，-雙(2-溴苯基)-4,4，,5，5，-四苯基二咪唑、2，2，-雙(2,4-二氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基二咪唑、2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4,，5,5，畫四(3-甲氧基苯基)二咪唑、2,2，-雙(2-氯苯基)-4，4，,5,5，-四(4-甲氧基苯基)二咪唑、2,2，-雙(4-甲氧基苯基)-4,4，，5,5，-四苯基二咪唑、2，2，-雙(2，4-二氯苯基)-4,4，，5,5，-四苯基二咪唑、2，2，-雙(2-硝基苯基)-4，4',5,5'-四苯基二咪唑、2，2'-雙(2-甲基苯基)-4，4',5,5，-四苯基二咪唑、2,2，-雙(2-三氟甲基苯基)-4,4，，5，5，-四苯基二咪唑、WO00/52529號(hào)公報(bào)中記載的化合物等。作為所述二咪唑類，例如可以利用Bull.Chem.Soc.Japan,33，565(1960)和J.Org.Chem，36(16)2262(1971)中公開(kāi)的方法容易地進(jìn)行合成。作為具有三嗪骨架的鹵代烴化合物，可以列舉如若林等著、Bull.Chem.Soc.Japan,42，2924(1969)記載的化合物、英國(guó)專利1388492號(hào)說(shuō)明書記載的化合物、日本特開(kāi)昭53-133428號(hào)公報(bào)記載的化合物、德國(guó)專利3337024號(hào)說(shuō)明書記載的化合物、F.C.Schaefer等著的J.Org.Chem.;29、1527(1964)記載的化合物、日本特開(kāi)昭62-58241號(hào)公報(bào)記載的化合物、日本特開(kāi)平5-281728號(hào)公報(bào)記載的化合物、日本特開(kāi)平5-34920號(hào)公報(bào)記載的化合物、美國(guó)專利第4212976號(hào)說(shuō)明書中記載的化合物等。所述若林等著、Bull.Chem.Soc.Japan,42，2924(1969)記載的化合物可以列舉如2-苯基-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-氯苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(4-甲苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(2,4-二氯苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-甲基-4，6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-正壬基-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪和2-(a,a,卩-三氯乙基)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三嗪等。所述英國(guó)專利1388492號(hào)說(shuō)明書記載的化合物可以列舉如2-苯乙烯基-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(4-甲基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4-氨基-6-三氯甲基-1，3,5-三嗪等。所述日本特開(kāi)昭53-133428號(hào)公報(bào)記載的化合物可以列舉如2-(4-甲氧基-萘-l-基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-乙氧基-萘-l-基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘-1-基]-4，6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-(4，7-二甲氧基-萘-l-基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪和2-(苊并-5-基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪等。所述德國(guó)專利3337024號(hào)說(shuō)明書記載的化合物可以列舉如2-(4-苯乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(4-甲氧基苯乙烯基傳基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(1-萘基亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-氯苯乙烯基苯基-4，6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(4-噻吩-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-(4-噻吩-3-亞乙烯基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(4-呋喃-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3，5-三嗪和2-(4-苯并呋喃-2-亞乙烯基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪等。所述F.C.Schaefer等著的J.Org.Chem.;29、1527(1964)記載的化合物可以列舉如2-甲基-4，6-雙(三溴甲基)-l,3，5-三嗪、2，4,6-三(三溴甲基)-l,3,5-三嗪、2,4,6-三(二溴甲基)-1,3，5-三嗪、2-氨基-4-甲基-6-三(溴甲基)-1,3，5-三嗪和2-甲氧基-4-甲基-6-三氯甲基-1,3,5-三嗪等。所述日本特開(kāi)昭62-58241號(hào)公報(bào)記載的化合物可以列舉如2-(4-苯基乙炔基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-萘基-1-乙炔基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(4-(4-甲苯基乙炔基)苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-(4-甲氧基苯基)乙炔基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-(4-異丙基苯基乙炔基)苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(4-(4-乙基苯基乙炔基)苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3，5-三嗪等。所述日本特開(kāi)平5-281728號(hào)公報(bào)記載的化合物可以列舉如2-(4-三氟甲基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(2,6-二氟苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3，5-三嗪、2-(2，6-二氯苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪、2-(2，6-二溴苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪等。所述日本特開(kāi)平5-34920號(hào)公報(bào)記載的化合物可以列舉如2，4-雙(三氯甲基)-6-[4-(N,N-二乙氧基羰基甲氨基)-3-溴苯基]-l，3,5-三嗪、美國(guó)專利第4239850號(hào)說(shuō)明書中記載的三鹵甲基-s-三嗪化合物以及2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-氯苯基)-4,6-雙(三溴甲基)-s-三嗪等。所述美國(guó)專利第4212976號(hào)說(shuō)明書中記載的化合物可以列舉如具有隨二唑骨架的化合物(例如2-三氯甲基-5-苯基-l，3，4-嗯二唑、2-三氯甲基-5-(4-氯苯基)-1,3，4-隨二唑、2-三氯甲基-5-(l-萘基)-l，3,4-嗨二唑、2-三氯甲基-5-(2-萘基)-l,3，4-瞎二唑、2-三溴甲基-5-苯基-l，3，4-嚼二唑、2-三溴甲基-5-(2-萘基)-1，3,4-嗨二唑、2-三氯甲基-5-苯乙烯基-l,3，4-嗨二唑、2-三氯甲基_5_(4-氯苯乙烯基)-1,3，4-嚼二唑、2-三氯甲基-5-(4-甲氧基苯乙烯基)-l，3，44惡二唑、2-三氯甲基-5-(l-萘基)-l,3,4-P惡二唑、2-三氯甲基-5-(4-正丁氧基苯乙烯基)-l,3,4-聰二唑、2-三溴甲基-5-苯乙烯基-l,3，4-嚼、二唑等)等。作為本發(fā)明中適合使用的肟衍生物，例如以下述通式(l)表示。其中，所述通式(l)中，R'表示氫原子、可具有取代基的?；⑼檠趸驶?、芳氧基羰基、垸基磺酰基和芳基磺?；械娜我环N；W分別獨(dú)立表示取代基。m表示04的整數(shù)，當(dāng)m為2以上時(shí)，可以相互連結(jié)形成環(huán)。A表示4、5、6、7元環(huán)中的任一種。A優(yōu)選為5和6元環(huán)中的任一種。作為本發(fā)明中使用的肟衍生物(肟化合物)，更優(yōu)選下述通式(2)表示的化合物。其中，所述通式(2)中，W表示氫原子、可具有取代基的酰基、垸氧基羰基、芳氧基羰基、垸基磺?；头蓟酋；械娜我环N；W分別獨(dú)立地表示取代基。m表示04的整數(shù)，當(dāng)m為2以上時(shí)，可以相互連結(jié)形成環(huán)。X表示CH2、O和S中的任一種；A表示5和6元環(huán)中的任一種。所述通式(1)和(2)中，W表示的?；梢允侵咀濉⒎甲搴碗s環(huán)中的任一種，可以進(jìn)一步具有取代基。作為脂肪族基團(tuán)，可以列舉出乙?；⒈；⒍□；?、己?；?、癸?；?、苯氧基乙?；⒙纫阴；?。作為芳族基團(tuán)，可以列舉出苯甲?；?、萘甲?；?、甲氧基苯甲?；⑾趸郊柞；?。作為雜環(huán)基，可以列舉出呋喃基(7，乂^》基)、巰基苯基(千才7工乂一々)等。作為取代基，優(yōu)選烷氧基、芳氧基和鹵原子中的任一種。作為?；?，優(yōu)選總碳原子數(shù)為2~30的酰基，更優(yōu)選總碳原子數(shù)為2~20的酰基，特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為216的酰基。作為所述酰基，可以列舉如乙?；?、丙酰基、甲基丙?；⒍□；?、戊?；⒓乎；?、環(huán)己烷羰基、辛?；?、癸?；⒃鹿鸹?、十八烷酰基、節(jié)基羰基、苯氧基乙?；?-乙基己?；?、氯乙酰基、苯甲?；?duì)甲氧基苯甲?；?、2,5-二丁氧基苯甲?；?-萘甲?；?-萘甲?；⑦拎せ驶?、甲基丙烯酰基、丙烯?；?。作為垸氧基羰基，可以具有取代基，優(yōu)選總碳原子數(shù)為2~30的烷氧基羰基，更優(yōu)選總碳原子數(shù)為2~20的烷氧基羰基，特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為216的烷氧基羰基。作為所述垸氧基羰基，可以列舉如甲氧基羰基、乙氧基羰基、異丙氧基羰基、丁氧基羰基、異丁氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基。作為芳氧基羰基，可以具有取代基，優(yōu)選總碳原子數(shù)為730的芳氧基羰基，更優(yōu)選總碳原子數(shù)為720的芳氧基羰基，特別優(yōu)選總碳原子數(shù)為716的芳氧基羰基。作為所述芳氧基羰基，可以列舉如苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、對(duì)甲氧基苯氧基羰基、2，5-二乙氧基苯氧基羰基、對(duì)氯苯氧基羰基、對(duì)硝基苯氧基羰基、對(duì)氰基苯氧基羰基。作為烷基磺?；?，可以進(jìn)一步具有取代基。作為該取代基，可以優(yōu)選列舉如苯基、鹵原子、垸氧基、芳氧基、烷氧基羰基、酰基氧基、?；被?、氨基甲?；?、氰基、羧酸基、磺酸基、雜環(huán)基。作為烷基磺?；?，特別優(yōu)選列舉甲基磺?；?、丁基磺?；?、辛基磺酰基、癸基磺?；?、十二烷基磺?；?、節(jié)基磺?；?、三氟甲基磺?；Ｗ鳛榉蓟酋；梢赃M(jìn)一步具有取代基。作為該取代基，可以優(yōu)選列舉如苯基、鹵原子、垸氧基、芳氧基、烷氧基羰基、酰基氧基、酰基氨基、氨基甲酰基、氰基、羧酸基、磺酸基、雜環(huán)基。作為芳基磺?；貏e優(yōu)選列舉苯磺?；?、甲苯磺?；?、氯苯磺?；?、丁氧基苯磺?；?,5-二丁氧基苯磺?；?、對(duì)硝基苯磺?；?duì)氟苯磺?；Ｋ鐾ㄊ?1)和(2)中，W表示的取代基可以列舉出脂肪族、芳族和雜芳族、鹵原子、-OR3、-SR3、-NR3R4。W和W可以互相連烤形成環(huán)。另外，W和W各自獨(dú)立表示氫原子或脂肪族基團(tuán)、芳族基團(tuán)、雜芳族基團(tuán)中的任一種。當(dāng)m為2以上、彼此連結(jié)形成環(huán)時(shí)，各自獨(dú)立的W之間可以形成環(huán)，還可以經(jīng)由113和114中的至少任一個(gè)而形成環(huán)。當(dāng)經(jīng)由所述取代基W而形成環(huán)時(shí)，可以列舉出下述結(jié)構(gòu)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>所述結(jié)構(gòu)式中，Y和Z表示CH2、-O-、-S-和-NR-中的任一種。R2、RS和W的脂肪族基團(tuán)、芳族基團(tuán)和雜芳族基團(tuán)的具體例子可以列舉出與所述W相同的例子。作為所述通式(l)表示的肟化合物的具體例子，可以列舉出下述結(jié)構(gòu)式(1)(5)表示的化合物，但本發(fā)明并不限于這些。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>需要說(shuō)明的是，本發(fā)明中使用的肟化合物，可以測(cè)定iH-NMR圖譜、UY-vis吸收?qǐng)D譜來(lái)進(jìn)行判定。(肟化合物的制造方法)作為所述本發(fā)明的肟化合物的制造方法，可以通過(guò)使對(duì)應(yīng)的后化合物和?；}化物或無(wú)水物在堿(例如三乙胺、吡啶)的存在下、在THF、DMF、乙腈等惰性溶劑中或吡啶等堿性溶劑中進(jìn)行反應(yīng)而容易地合成。所述反應(yīng)溫度優(yōu)選-106(TC。另外，通過(guò)使用氯甲酸酯、垸基磺酰氯、芳基磺酰氯作為所述?；}化物，可以合成對(duì)應(yīng)的各種肟酯化合物。作為制造所述肟化合物時(shí)用作起始原料的肟化合物的合成方法，利用標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)教科書(例如J.March,AdvancedOrganicChemisrey，4thEdition,WileyInterscience，1992)或?qū)ｉT的單章、例如S.R.Sandler&W.Karo，Organicfunctionalgrouppreparations,Vol.3，AcademicPress中記載的各禾中方法可以得到。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>作為所述肟化合物的特別優(yōu)選的合成方法，可以列舉如使醛或酮與羥胺或其鹽在乙醇或乙醇水等極性溶劑中進(jìn)行反應(yīng)的方法。該情況下，加入乙酸鈉或吡啶等堿來(lái)控制反應(yīng)混合物的pH。眾所周知，反應(yīng)速度依賴于pH，可以在反應(yīng)開(kāi)始時(shí)或反應(yīng)期間連續(xù)添加堿?？梢允褂眠拎さ葔A性溶劑作為堿和/或溶劑或助溶劑。所述反應(yīng)溫度通常優(yōu)選為混合物的回流溫度、即約60~120°C。作為所述肟化合物的其他不同的優(yōu)選合成方法，可以列舉出利用亞硝酸或亞硝酸垸基酯產(chǎn)生的"活性"亞甲基進(jìn)行亞硝基化的方法。例如，OrganicSynthesescoll.Vol.VI(J.Wiley&Sons，NewYork,1988)，pp.199和840中記載的堿性條件和例如OrganicSynthesescoll.Vol.V，pp.32和373、coll.Vol.III.pp.191和513、coll.Vol.II，pp.202、204和363中記載的酸性條件這兩種條件都適于合成本發(fā)明中用作起始原料的肟化合物。所述亞硝酸通常由亞硝酸鈉生成。作為所述亞硝酸烷基酯，可以列舉如亞硝酸甲酯、亞硝酸乙酯、亞硝酸異丙酯、亞硝酸丁酯或亞硝酸異戊酯。作為所述肟酯的基團(tuán)，可以是以兩種立體構(gòu)型(Z)或(E)存在的基團(tuán)?？梢酝ㄟ^(guò)慣用的方法分離異構(gòu)體，也可以直接將異構(gòu)體混合物用作光起始用的種。因此，本發(fā)明的肟化合物可以是所述結(jié)構(gòu)式(1)(51)的化合物的立體構(gòu)型上的異構(gòu)體的混合物。肟化合物的保存穩(wěn)定性優(yōu)異、靈敏度高，因此通過(guò)將肟化合物添加到聚合性組合物中，可以得到一種保存時(shí)不發(fā)生聚合、保存穩(wěn)定性優(yōu)異、利用能量線、特別是光的照射產(chǎn)生活性自由基而有效率地引發(fā)聚合、該聚合性化合物能夠在短時(shí)間內(nèi)有效率地進(jìn)行聚合的靈敏度高的聚合性組合物。作為上述以外的光聚合起始劑，可以列舉出吖啶衍生物(例如9-苯基吖啶、1,7-雙(9,9，-吖啶基廣烷等)、N-苯基甘氨酸等、多鹵化合物(例如四溴化碳、苯基三溴甲基砜、苯基三氯甲基酮等)、香豆素類(例如3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-(l-吡咯垸基)香豆素、3-苯甲?；?7-二乙基氨基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二甲氨基苯甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3,3'-羰基雙(5,7-二正丙氧基香豆素)、3,3，-羰基雙(7-二乙基氨基香豆素)、3-苯甲酰基-7-甲氧基香豆素、3-(2-呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二乙基氨基桂皮酰基)-7-二乙基氨基香豆素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基羰基)香豆素、3-苯甲?；?5，7-二丙氧基香豆素、7-苯并三唑-2-基香豆素、以及日本特開(kāi)平5-19475號(hào)、日本特開(kāi)平7-271028號(hào)、日本特開(kāi)2002-363206號(hào)、日本特開(kāi)2002-363207號(hào)、日本特開(kāi)2002-363208號(hào)、日本特開(kāi)2002-363209號(hào)公報(bào)等記載的香豆素化合物等)、胺類(例如4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸正丁酯、4-二甲氨基苯甲酸苯乙酯、4-二甲氨基苯甲酸2-鄰苯二甲酰亞胺乙酯、4-二甲氨基苯甲酸2-甲基丙烯酰氧乙酯、五亞甲基雙(4-二甲氨基苯甲酸酯)、3-二甲氨基苯甲酸的苯乙酯、五亞甲基酯；4-二甲氨基苯甲醛、2-氯-4-二甲氨基苯甲醛、4-二甲氨基苯甲醇、乙基(4-二甲氨基苯甲?；?乙酸酯、4-哌啶基苯乙酮、4-二甲氨基苯偶姻、N,N-二甲基-4-甲苯胺、N，N-二乙基-3-乙氧基苯胺、三芐基胺、二芐基苯基胺、N-甲基-N-苯基芐基胺、4-溴-N,N-二甲基苯胺、三月桂胺、氨基熒烷對(duì)ODB、ODBII等)、龍膽紫內(nèi)酯、無(wú)色龍膽紫等)、?；趸㈩?例如雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、雙(2，6-二甲氧基苯甲?；?-2，4，6-三甲基戊基苯基氧化膦、LucirinTPO等)等?？梢赃M(jìn)一步列舉出美國(guó)專利第2367660號(hào)說(shuō)明書中記載的VicinalPolyketalDonyl(匕、、乂于/V求U亇夕A^K二/k)化合物、美國(guó)專利第2448828號(hào)說(shuō)明書中記載的偶姻醚化合物、美國(guó)專利第2722512號(hào)說(shuō)明書中記載的被a-烴取代的芳香族偶姻化合物、美國(guó)專利第3046127號(hào)說(shuō)明書和美國(guó)專利第2951758號(hào)說(shuō)明書中記載的多核醌化合物、日本特開(kāi)2002-229194號(hào)公報(bào)中記載的有機(jī)硼化合物、自由基產(chǎn)生劑、三芳基锍鹽(例如與六氟銻或六氟磷酸酯的鹽)、磷鑰鹽化合物(例如苯基硫代苯基)二苯基锍鹽等)(作為陽(yáng)離子聚合起始劑有效)、WO01/71428號(hào)公報(bào)記載的鐵鹽化合物等。所述光聚合起始劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。作為兩種以上的組合，可以列舉如美國(guó)專利第3549367號(hào)說(shuō)明書中記載的六芳基二咪唑與4-氨基酮類的組合；日本特公昭51-48516號(hào)公報(bào)中記載的苯并噻唑化合物與三鹵甲基-s-三嗪化合物的組合；以及芳族酮化合物(例如噻噸酮等)與氫供予體(例如含二垸基氨基的化合物、酚類化合物等)的組合；六芳基二咪唑與二茂鈦的組合；香豆素類與二茂鈦與苯基甘氨酸類的組合等。作為所述光聚合起始劑的特別優(yōu)選的例子，可以列舉出將在后述曝光中能夠響應(yīng)波長(zhǎng)為405nm的激光的所述氧化膦類、所述a-氨基烷基酮類、所述具有三嗪骨架的鹵代烴化合物與后述作為增感劑的胺化合物組合的復(fù)合光起始劑、六芳基二咪唑化合物或二茂鈦等。所述光聚合起始劑在所述感光性組合物中的含量?jī)?yōu)選0.1~30質(zhì)量％，更優(yōu)選0.520質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.5-15質(zhì)量％。<熱交聯(lián)劑>對(duì)熱交聯(lián)劑沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，為了改良使用所述感光性薄膜形成的感光層的固化后的膜強(qiáng)度，可以在不會(huì)對(duì)顯影性等產(chǎn)生不良影響的范圍內(nèi)使用例如包括環(huán)氧化合物的化合物(例如1分子內(nèi)含有至少2個(gè)環(huán)氧乙垸基的環(huán)氧化合物)、1分子內(nèi)具有至少2個(gè)氧雜環(huán)丁烷基的氧雜環(huán)丁垸化合物，可以列舉出日本特開(kāi)2007-47729號(hào)公報(bào)中記載的具有環(huán)氧乙垸基的環(huán)氧化合物、卩位具有烷基的環(huán)氧化合物、具有氧雜環(huán)丁烷基的氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、使封端劑與聚異氰酸酯及其衍生物的異氰酸酯基反應(yīng)而得到的化合物等。作為所述熱交聯(lián)劑，還可以使用蜜胺衍生物。該蜜胺衍生物可以列舉如羥甲基蜜胺、烷基化羥甲基蜜胺(用甲基、乙基、丁基等將羥甲基醚化的化合物)等。所述熱交聯(lián)劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。其中，從保存穩(wěn)定性良好、對(duì)提高感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身有效的角度考慮，優(yōu)選烷基化羥甲基蜜胺，特別優(yōu)選六甲基化羥甲基蜜胺。所述熱交聯(lián)劑在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量?jī)?yōu)選1質(zhì)量％~50質(zhì)量％，更優(yōu)選為3質(zhì)量％~30質(zhì)量％。若該固體成分含量不足1質(zhì)量％，則固化膜的膜強(qiáng)度的不能得到提高；當(dāng)所述固體成分含量超過(guò)50質(zhì)量％時(shí)，有時(shí)會(huì)發(fā)生顯影性的下降或曝光靈敏度的下降。作為所述環(huán)氧化合物，可以列舉如l分子中至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物、1分子中至少含有2個(gè)在(3位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物等。所述1分子中至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物可以列舉如雙二甲酚型或雙酚型環(huán)氧樹(shù)脂("YX4000日本環(huán)氧樹(shù)脂(JapanEpoxyResin)社制"等)或它們的混合物、具有異氰尿酸酯骨架等的雜環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂("TEPIC;日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)(株)制"、"了，少夕、V卜PT810;汽巴特殊化學(xué)藥品(CibaSpecialtyChemicals)社制"等)、雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂；氫化雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚S型環(huán)氧樹(shù)脂、線形酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂；甲酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、鹵化環(huán)氧樹(shù)脂(例如低溴化環(huán)氧樹(shù)脂、高鹵化環(huán)氧樹(shù)脂、溴化酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂等)、含烯丙基的雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂、三苯酚甲垸型環(huán)氧樹(shù)脂、二苯基二甲醇型環(huán)氧樹(shù)脂、苯酚亞聯(lián)苯基型環(huán)氧樹(shù)脂、二環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹(shù)脂("HP-7200，HP-7200H;大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制"等)、縮水甘油胺型環(huán)氧樹(shù)脂(二氨基二苯基甲垸型環(huán)氧樹(shù)脂、二縮水甘油基苯胺、三縮水甘油基氨基苯酚等)、縮水甘油酯型環(huán)氧樹(shù)脂(鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、己二酸二縮水甘油酯、六氫化鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、二聚酸二縮水甘油酯等)、乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹(shù)脂、脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3',4'-環(huán)氧基環(huán)己垸羧酸酯、雙(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基)己二酸酯、雙環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、"GT-300、GT-400、ZEHPE3150;大賽璐化學(xué)工業(yè)制"等)、酰亞胺型脂環(huán)式環(huán)氧樹(shù)脂、三羥基苯基甲烷型環(huán)氧樹(shù)脂、雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、四酚基乙垸型環(huán)氧樹(shù)脂、鄰苯二甲酸縮水甘油酯樹(shù)脂、四縮水甘油基二甲酚基乙烷樹(shù)脂、含萘基的環(huán)氧樹(shù)脂(萘酚芳垸基型環(huán)氧樹(shù)脂、萘酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂、四官能萘型環(huán)氧樹(shù)脂、作為市售品的"ESN-190，ESN-360;新日鐵化學(xué)(株)制"、"HP-4032，EXA-4750，EXA-4700;大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制，，等)、由苯酚化合物與二乙烯基苯或二環(huán)戊二烯等二烯烴化合物的加成反應(yīng)得到的多酚化合物和環(huán)氧氯丙垸的反應(yīng)物、將4-乙烯基環(huán)己烯-l-氧化物的開(kāi)環(huán)聚合物用過(guò)乙酸等進(jìn)行環(huán)氧化的產(chǎn)物、具有線狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂、具有環(huán)狀含磷結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹(shù)脂、(x-甲基二苯乙烯型液晶環(huán)氧樹(shù)脂、二苯甲酰氧基苯型液晶環(huán)氧樹(shù)脂、苯偶氮基型液晶環(huán)氧樹(shù)脂、甲亞胺苯基型液晶環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)萘型液晶環(huán)氧樹(shù)脂、吖嗪型環(huán)氧樹(shù)脂、甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚系環(huán)氧樹(shù)脂("CP-50S，CP-50M;日本油脂(株)制"等)、環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺與甲基丙烯酸縮水甘油酯的共聚環(huán)氧樹(shù)脂、雙(縮水甘油氧基苯基)芴型環(huán)氧樹(shù)脂、雙(縮水甘油氧基苯基)金剛烷型環(huán)氧樹(shù)脂等，但并不限于所述樹(shù)脂。所述環(huán)氧樹(shù)脂可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。除1分子中至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的所述環(huán)氧化合物以外，還可以使用1分子中至少含有2個(gè)在(3位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，特別優(yōu)選含有卩位被垸基取代的環(huán)氧基(更具體為用卩-烷基取代縮水甘油基等)的化合物。就所述至少含有在(3位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物而言，1分子內(nèi)所含有的2個(gè)以上的環(huán)氧基可以全部為用J3-垸基取代的縮水甘油基，也可以是至少1個(gè)環(huán)氧基是用p-烷基取代的縮水甘油基。就所述至少含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物而言，從室溫下的保存穩(wěn)定性的角度考慮，在所述感光性組合物中所含的所述環(huán)氧化合物總量中的總環(huán)氧基中，|3-烷基取代縮水甘油基的比例優(yōu)選為30%以上，更優(yōu)選為40%以上，特別優(yōu)選為50%以上。對(duì)所述p-垸基取代縮水甘油基沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如P-甲基縮水甘油基、J3-乙基縮水甘油基、P-丙基縮水甘油基、p-丁基縮水甘油基等，其中，從提高所述感光性樹(shù)脂組合物的保存穩(wěn)定性的角度以及合成的容易性的角度考慮，優(yōu)選P-甲基縮水甘油基。作為所述含有在卩位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物，例如優(yōu)選由多元酚化合物和卩-烷基環(huán)氧鹵丙烷衍生而來(lái)的環(huán)氧化合物。對(duì)所述p-烷基環(huán)氧鹵丙垸沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如p-甲基環(huán)氧氯丙烷、P-甲基環(huán)氧溴丙垸、(3-甲基環(huán)氧氟丙烷等卩-甲基環(huán)氧鹵丙烷；(3-乙基環(huán)氧氯丙垸、P-乙基環(huán)氧溴丙垸、P-乙基環(huán)氧氟丙烷等p-乙基環(huán)氧鹵丙烷；p-丙基環(huán)氧氯丙烷、(3-丙基環(huán)氧溴丙垸、P-丙基環(huán)氧氟丙烷等卩-丙基環(huán)氧鹵丙垸；卩-丁基環(huán)氧氯丙烷、(3-丁基環(huán)氧溴丙烷、p-丁基環(huán)氧氟丙垸等(3-丁基環(huán)氧鹵丙垸等。其中，從與所述多元酚的反應(yīng)性和流動(dòng)性的角度考慮，優(yōu)選(3-甲基環(huán)氧卣丙烷。作為所述多元酚化合物，只要是1分子中具有2個(gè)以上的芳族性羥基的化合物即可，沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如雙酚A、雙酚F、雙酚S等雙酚化合物；聯(lián)苯酚、四甲基聯(lián)苯酚等聯(lián)苯酚化合物；二羥基萘、聯(lián)萘酚等萘酚化合物；苯酚-甲醛縮聚物等酚醛清漆樹(shù)脂；甲酚-甲醛縮聚物等碳原子數(shù)為1~10的單垸基取代苯酚-甲醛縮聚物、二甲酚-甲醛縮聚物等碳原子數(shù)為1~10的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物、雙酚A-甲醛縮聚物等雙酚化合物-甲醛縮聚物、苯酚與碳原子數(shù)為110的單烷基取代苯酚與甲醛的共縮聚物、苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物等。其中，例如為了提高流動(dòng)性及保存穩(wěn)定性而進(jìn)行選擇時(shí)，優(yōu)選所述雙酚化合物。所述含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物可以列舉如雙酚A的二-(3-烷基縮水甘油醚、雙酚F的二-P-垸基縮水甘油醚、雙酚S的二-p-烷基縮水甘油醚等雙酚化合物的二-p-烷基縮水甘油醚;聯(lián)苯酚的二-p-垸基縮水甘油醚、四甲基聯(lián)苯酚的二-P-烷基縮水甘油醚等聯(lián)苯酚化合物的二-卩-烷基縮水甘油醚；二羥基萘的二-|3-烷基縮水甘油醚、聯(lián)萘酚的二-p-垸基縮水甘油醚等萘酚化合物的(3-烷基縮水甘油醚；苯酚-甲醛縮聚物的聚-|3-垸基縮水甘油醚；甲酚-甲醛縮聚物的聚-(3-烷基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為1~10的單垸基取代苯酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚；二甲酚-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚等碳原子數(shù)為1~10的二烷基取代苯酚-甲醛縮聚物的聚-p-烷基縮水甘油醚；雙酚A-甲醛縮聚物的聚-P-垸基縮水甘油醚等雙酚化合物-甲醛縮聚物的聚-P-烷基縮水甘油醚；苯酚化合物與二乙烯基苯的加聚物的聚-卩-烷基縮水甘油醚等。其中優(yōu)選由下述結(jié)構(gòu)式(i)表示的雙酚化合物和由其與環(huán)氧氯丙烷等得到的聚合物衍生而來(lái)的P-烷基縮水甘油醚；以及下述結(jié)構(gòu)式(ii)表示的苯酚化合物-甲醛縮聚物的聚-P-垸基縮水甘油醚。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>結(jié)構(gòu)式(i)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>結(jié)構(gòu)式(H)其中，所述結(jié)構(gòu)式(i)中，R表示氫原子和碳原子數(shù)為16的垸基中的任一種，n表示0~20的整數(shù)。其中，所述結(jié)構(gòu)式(ii)中，R表示氫原子和碳原子數(shù)為16的烷基中的任一種；R"表示氫原子和CH3中的任一種；n表示020的整數(shù)。所述含有在卩位具有垸基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。還可以將1分子中至少具有2個(gè)環(huán)氧乙烷基的環(huán)氧化合物和含有在(3位具有烷基的環(huán)氧基的環(huán)氧化合物結(jié)合使用。并且，作為所述環(huán)氧化合物，還可以適當(dāng)使用日本特開(kāi)2005-182004號(hào)公報(bào)中記載的市售品及其混合物。作為所述氧雜環(huán)丁烷化合物，可以列舉如l分子內(nèi)至少具有2個(gè)氧雜環(huán)丁垸基的氧雜環(huán)丁垸化合物。具體可以列舉如雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁垸基甲氧基)甲基]醚、雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]醚、1，4-雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1,4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁垸基)甲酯、甲基丙烯酸(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、甲基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁垸基)甲酯或它們的低聚物或者共聚物等多官能氧雜環(huán)丁垸類；此外還包括具有氧雜環(huán)丁烷基的化合物與酚醛清漆樹(shù)脂、聚(對(duì)羥基苯乙烯)、卡爾多(力》K)型雙酚類、杯(calix:力U、;/夕7)芳烴類、杯(calix:力]J、乂夕7)間苯二酚芳烴類、倍半硅氧烷(Silsesquioxane，、乂小ir義年才年廿乂)等具有羥基的樹(shù)脂等的醚化合物。此外，還可以列舉出具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與(甲基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。作為所述聚異氰酸酯化合物，可以使用日本特開(kāi)平5-9407號(hào)公報(bào)記載的聚異氰酸酯化合物。該聚異氰酸酯化合物可以由至少含有2個(gè)異氰酸酯基的脂肪族、環(huán)式脂肪族或芳族基團(tuán)取代的脂肪族化合物衍生而來(lái)。具體可以列舉出二官能異氰酸酯(例如1，3-亞苯基二異氰酸酯與1，4-亞苯基二異氰酸酯的混合物、2，4-甲苯二異氰酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、1，3-二甲苯二異氰酸酯、1,4-二甲苯二異氰酸酯、雙(4-異氰酸酯-苯基)甲垸、雙(4-異氰酸酯環(huán)己基)甲烷、異佛爾酮二異氰酸酯、六亞甲基二異氰酸酯、三甲基六亞甲基二異氰酸酯等);該二官能異氰酸酯與三羥甲基丙烷、季戊四醇、甘油等的多官能醇；該多官能醇的環(huán)氧烷烴加成物與所述二官能異氰酸酯的加成物；六亞甲基二異氰酸酯、六亞甲基-l,6-二異氰酸酯及其衍生物等的環(huán)式三聚物等。作為使封端劑與所述聚異氰酸酯化合物反應(yīng)而得到的化合物、即，使封端劑與聚異氰酸酯及其衍生物的異氰酸酯基反應(yīng)而得到的化合物中的異氰酸酯基封端劑，可以列舉出醇類(例如異丙醇、叔丁醇等)、內(nèi)酰胺類(例如S-己內(nèi)酰胺等)、酚類(例如苯酚、甲酚、對(duì)叔丁基苯酚、對(duì)仲丁基苯酚、對(duì)仲戊基苯酚、對(duì)辛基苯酚、對(duì)壬基苯酚等)、雜環(huán)式羥基化合物(例如3-羥基吡啶、8-羥基喹啉等)、活性亞甲基化合物(例如丙二酸二烷基酯、甲基乙基酮肟、乙酰丙酮、乙酰乙酸垸基酯肟、丙酮肟、環(huán)己酮肟等)等。除此之外，還可以使用日本特開(kāi)平6-295060號(hào)公報(bào)記載的分子內(nèi)具有至少一個(gè)可聚合的雙鍵和至少一個(gè)封端異氰酸酯基中的任一個(gè)的化合物等。作為所述蜜胺衍生物，可以列舉如羥甲基蜜胺、烷基化羥甲基蜜胺(將羥甲基用甲基、乙基、丁基等進(jìn)行醚化的化合物)等。所述蜜胺衍生物可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。其中，從保存穩(wěn)定性良好、對(duì)提高感光層的表面硬度或固化膜的膜強(qiáng)度本身有效的角度考慮，優(yōu)選烷基化羥甲基蜜胺，特別優(yōu)選六甲基化羥甲基蜜胺。所述熱交聯(lián)劑也可以作為兩種以上的混合物來(lái)使用。作為所述組合，例如優(yōu)選二官能化合物之間的組合、二官能化合物與三官能以上的化合物的組合、單官能化合物與多官能化合物的組合。所述組合中，特別優(yōu)選二官能化合物之間的組合、二官能化合物與三官能以上的化合物的組合。作為所述二官能化合物，優(yōu)選環(huán)氧化合物中的雙酚型環(huán)氧化合物，具體優(yōu)選從雙酚A型、雙酚F型、雙酚S型和聯(lián)苯酚型中選擇的兩種的組合。另外，還優(yōu)選雙酚型環(huán)氧化合物與酚醛清漆型環(huán)氧化合物的組合、雙酚型環(huán)氧化合物與含雜環(huán)的環(huán)氧化合物的組合、雙酚型環(huán)氧化合物與脂環(huán)式環(huán)氧化合物的組合、酚醛清漆型環(huán)氧化合物與含雜環(huán)的環(huán)氧化合物的組合、雜環(huán)環(huán)氧化合物與脂環(huán)式環(huán)氧化合物的組合。所述熱交聯(lián)劑的組合例如優(yōu)選環(huán)氧當(dāng)量為90~400g/eq.的環(huán)氧化合物與環(huán)氧當(dāng)量為150-9,000g/eq.的環(huán)氧化合物的組合，更優(yōu)選環(huán)氧當(dāng)量為90300g/eq.的化合物與環(huán)氧當(dāng)量為150~8,000g/叫.的化合物的組合。艮口，當(dāng)所述熱交聯(lián)劑為含有兩種以上的化合物的混合物時(shí)，該混合物的環(huán)氧當(dāng)量?jī)?yōu)選為150-400g/eq.，更優(yōu)選為150~300g/eq.。需要說(shuō)明的是，環(huán)氧當(dāng)量可以根據(jù)JISK7236進(jìn)行測(cè)定。就所述樹(shù)脂的含量比而言，當(dāng)以環(huán)氧當(dāng)量值小的樹(shù)脂作為樹(shù)脂A、以環(huán)氧當(dāng)量值高的樹(shù)脂作為樹(shù)脂B時(shí)，例如以質(zhì)量比計(jì)，優(yōu)選A:B=1:100100:1，更優(yōu)選1:2020:1，特別優(yōu)選1:1010:1。所述熱交聯(lián)劑在所述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選1~50質(zhì)量%，更優(yōu)選3~30質(zhì)量％。若該固體成分含量不足1質(zhì)量％，則確認(rèn)不到固化膜的膜強(qiáng)度的提高；若所述固體成分含量超過(guò)50質(zhì)量％，則有時(shí)會(huì)發(fā)生顯影性的下降或曝光靈敏度的下降。<熱固化促進(jìn)劑>為了促進(jìn)作為所述熱交聯(lián)劑的環(huán)氧化合物或所述氧雜環(huán)丁垸化合物的熱固化，作為熱固化促進(jìn)劑，例如可以使用胺化合物(例如雙氰胺、芐基二甲胺、4-(二甲氨基)-N,N-二甲基芐基胺、4-甲氧基-N,N-二甲基芐基胺、4-甲基-N,N-二甲基芐基胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基芐基氯化銨等)、封端異氰酸酯化合物(例如二甲胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、l-氰基乙基-2-苯基咪唑、l-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯膦等)、胍胺化合物(例如蜜胺、胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺等)、S-三嗪衍生物(例如2，4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4,6-二氨基-S-三嗪'異氰尿酸加成物、2,4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧乙基-S-三嗪.異氰尿酸加成物等)等。所述熱固化促進(jìn)劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。需要說(shuō)明的是，只要是所述環(huán)氧樹(shù)脂化合物或所述氧雜環(huán)丁烷化合物的固化催化劑、或者能夠促進(jìn)所述物質(zhì)與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)即可，沒(méi)有特別限定，可以使用上述物質(zhì)以外的能夠促進(jìn)熱固化的化合物。所述環(huán)氧化合物、所述氧雜環(huán)丁烷化合物和能夠促進(jìn)這些物質(zhì)與羧酸的熱固化的熱固化促進(jìn)劑在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量通常為0.01~15質(zhì)量％。另外，為了促進(jìn)作為所述熱交聯(lián)劑的除環(huán)氧化合物或所述氧雜環(huán)丁烷化合物以外的熱交聯(lián)劑的熱固化，作為熱固化促進(jìn)劑，例如可以使用胺化合物(例如雙氰胺、節(jié)基二甲胺、4-(二甲氨基)-N,N-二甲基芐基胺、4-甲氧基-N,N-二甲基芐基胺、4-甲基-N，N-二甲基芐基胺等)、季銨鹽化合物(例如三乙基節(jié)基氯化銨等)、封端異氰酸酯化合物(例如二甲胺等)、咪唑衍生物二環(huán)式脒化合物及其鹽(例如咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、l-氰基乙基-2-苯基咪唑、l-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等)、磷化合物(例如三苯膦等)、胍胺化合物(例如蜜胺、胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺等)、S-三嗪衍生物(例如2,4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2，4-二氨基-S-三嗪、2-乙烯基-4，6-二氨基-S-三嗪.異氰尿酸加成物、2,4-二氨基-6-甲基丙烯酰氧乙基-S-三嗪-異氰尿酸加成物等)等。所述熱固化促進(jìn)劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。需要說(shuō)明的是，只要是所述熱交聯(lián)劑的固化催化劑、或者能夠促進(jìn)所述物質(zhì)與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)即可，沒(méi)有特別限定，可以使用所述物質(zhì)以外的能夠促進(jìn)熱固化的化合物。所述熱交聯(lián)劑以及能夠促進(jìn)這些物質(zhì)與羧酸的熱固化的熱固化促進(jìn)劑在所述感光性組合物中的固體成分含量?jī)?yōu)選0.01~15質(zhì)量％。<其他成分>作為所述其他成分，可以列舉如增感劑、熱聚合抑制劑、增塑劑、著色劑(著色顏料或染料)、填充顏料等，可以進(jìn)一步結(jié)合使用促進(jìn)與基板表面的密合性的密合促進(jìn)劑及其它助劑類(例如導(dǎo)電性微粒、填充劑、消泡劑、阻燃劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧劑、香料、表面張力調(diào)節(jié)劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等)。通過(guò)適當(dāng)含有所述成分，可以調(diào)節(jié)目標(biāo)感光性薄膜的穩(wěn)定性、照相性、膜物理性質(zhì)等性質(zhì)。一增感劑—對(duì)所述增感劑沒(méi)有特別限定，可以從公知的增感劑中適當(dāng)選擇，可以列舉如公知的多環(huán)芳香族類(例如芘、芘、苯并菲)、卩占噸類(例如熒光黃、曙紅、赤蘚紅、羅丹明B、玫瑰紅)、花青苷類(例如吲哚碳菁(indocarbocyanine)、噻碳菁(thiacarbocyanine)、氧雜羰花青oxacarbocyanine)、部花青類(例如部花青、羰部花青(carbomerocyanine))、噻嗪類(例如硫堇、亞甲基藍(lán)、甲苯胺藍(lán))、吖啶類(例如吖啶橙、氯黃素、吖啶黃、9-苯基吖啶、1，7-雙(9,9'-吖啶基)庚烷)、蒽醌類(例如蒽醌)、suquarium類(例如suquarium)、吖啶酮類(例如吖啶酮、氯吖啶酮、N-甲基吖啶酮、N-丁基吖啶酮、N-丁基氯吖啶酮、2-氯-10-丁基吖啶酮等)、香豆素類(例如3-(2-苯并呋喃甲?；?-7-二乙基氨基香豆素、3-(2-苯并呋喃甲?；?_7_(1_批咯垸基)香豆素、3-苯甲酰基-7-二乙基氨基香豆素、3-(2-甲氧基苯甲酰基)-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二甲基氨基苯甲酰基)-7-二乙基氨基香豆素、3,3，-羰基雙(5,7-二正丙氧基香豆素)、3，3，-羰基雙(7-二乙基氨基香豆素)、3-苯甲?；?7-甲氧基香豆素、3-(2-呋喃甲酰基)-7-二乙基氨基香豆素、3-(4-二乙基氨基肉桂?；?-7-二乙基氨基香豆素、7-甲氧基-3-(3-吡啶基羰基)香豆素、3-苯甲?；?5,7-二丙氧基香豆素等)和噻噸酮化合物(噻噸酮、異丙基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮、l-氯-4-丙氧基噻噸酮、QuantacureQTX等)等，此外還可以列舉出日本特開(kāi)平5-19475號(hào)、日本特開(kāi)平7-271028號(hào)、日本特開(kāi)2002-363206號(hào)、日本特開(kāi)2002-363207號(hào)、日本特開(kāi)2002-363208號(hào)、日本特開(kāi)2002-363209號(hào)等各公報(bào)中記載的香豆素化合物等。其中，優(yōu)選芳族環(huán)或雜環(huán)縮環(huán)的化合物(縮環(huán)系化合物)，更優(yōu)選雜縮環(huán)系酮化合物和吖啶類。所述雜縮環(huán)系酮化合物中，特別優(yōu)選吖啶酮化合物和噻噸酮化合物。作為所述光聚合起始劑與所述增感劑的組合，可以列舉如日本特開(kāi)2001-305734號(hào)公報(bào)中記載的電子轉(zhuǎn)移型起始劑[(l)供電子型起始劑和增感色素、(2)電子受容型起始劑和增感色素、(3)供電子型起始劑、增感色素和電子受容型起始劑(三元起始劑)]等的組合。相對(duì)于感光性薄膜用感光性樹(shù)脂組合物的總成分，所述增感劑的含量?jī)?yōu)選0.01-4質(zhì)量％，更優(yōu)選0.02~2質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.05~1質(zhì)量％。若所述含量不足0.01質(zhì)量％，則靈敏度有時(shí)會(huì)下降；若超過(guò)4質(zhì)量％，則圖案形狀有時(shí)會(huì)惡化。一熱聚合抑制劑一為了防止所述感光層中的所述聚合性化合物的熱聚合或經(jīng)時(shí)性聚合，可以添加所述熱聚合抑制劑。作為所述熱聚合抑制劑，可以列舉如4-甲氧基苯酚、氫醌、垸基或芳基取代的氫醌、叔丁基鄰苯二酚、連苯三酚、2-羥基二苯甲酮、4-甲氧基-2-羥基二苯甲酮、氯化亞銅、吩噻嗪、四氯醌、萘胺、(3-萘酚、2，6-二叔丁基_4_甲酚、2,2，-亞甲基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、吡啶、硝基苯、二硝基苯、苦味酸、4-甲苯胺、亞甲基藍(lán)、銅與有機(jī)螯合劑反應(yīng)物、水楊酸甲酯和吩噻嗪、亞硝基化合物、亞硝基化合物與A1的螯合物等。相對(duì)于所述感光層的所述聚合性化合物，所述熱聚合抑制劑的含量?jī)?yōu)選0.001-5質(zhì)量％，更優(yōu)選0.005~2質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.011質(zhì)量％。若所述含量不足0.001質(zhì)量％，則保存時(shí)的穩(wěn)定性有時(shí)會(huì)下降；若超過(guò)5質(zhì)量％，則相對(duì)于活性能量線的靈敏度有時(shí)會(huì)降低?！鏊軇獮榱丝刂扑龈泄鈱拥哪の锢硇再|(zhì)(可撓性)，可以添加所述增塑劑。作為所述增塑劑，可以列舉如鄰苯二甲酸二甲酯、鄰苯二甲酸二丁酯、鄰苯二甲酸二異丁酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二環(huán)己酯、鄰苯二甲酸二(十三烷基)酯、鄰苯二甲酸丁基芐基酯、鄰苯二甲酸二異癸酯、鄰苯二甲酸二苯酯、鄰苯二甲酸二烯丙酯、鄰苯二甲酸辛基癸酰基酯等鄰苯二甲酸酯類；三甘醇二乙酸酯、四甘醇二乙酸酯、二甲基葡糖鄰苯二甲酸酯、葡糖酸乙基鄰苯二甲?；阴?、葡糖酸甲基鄰苯二甲酰基乙酯、葡糖酸丁基鄰苯二甲?；□ァ⑷蚀级了狨サ榷减ヮ?；三甲酚磷酸酯、磷酸三苯酯等磷酸酯類；4-甲苯磺酰胺、苯磺酰胺、N-正丁基苯磺酰胺、N-正丁基乙酰胺等酰胺類；己二酸二異丁酯、己二酸二辛酯、癸二酸二甲酯、癸二酸二丁酯、癸二酸二辛酯、壬二酸二辛酯、馬來(lái)酸二丁酯等脂肪族二元酸酯類；枸櫞酸三乙酯、枸櫞酸三丁酯、甘油三乙酰酯、月桂酸丁酯、4，5-二環(huán)氧基環(huán)己垸-1,2-二羧酸二辛酯等；聚乙二醇、聚丙二醇等二醇類。相對(duì)于所述感光層的總成分，所述增塑劑的含量?jī)?yōu)選0.150質(zhì)量％，更優(yōu)選0.5~40質(zhì)量％，特別優(yōu)選1~30質(zhì)量％。一著色顏料—對(duì)所述著色顏料沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如維多利亞艷藍(lán)BO(C.I.42595)、金胺(C.I.41000)、溶劑黑HB(C.I,26150)、莫諾賴特黃(MonoliteYellow)GT(C.I.顏料'黃12)、永固黃GR(C.I.顏料'黃17)、永固黃HR(C.I.顏料'黃83)、永久洋紅(PermanentCarmine)FBB(C.I.顏料,紅146)、廣告畫顏料紅(求7夕一/《一厶l/、;/卜)ESB(C.I.顏料'紫19)、永久紅寶石(Permanent.Ruby)FBH(C.I.顏料'紅11)、法斯特爾粉紅B蘇普拉(777亍》匕°:/夕B77°，)(C.I.顏料'紅81)、莫鈉斯特拉爾堅(jiān)牢藍(lán)(千于7卜，》77—7卜7VP—)(C.I.顏料.藍(lán)15)、莫諾賴特堅(jiān)牢黒B(MonoliteFastBlackB)(C.I.顏料'黑1)、碳、C.I.顏料-紅97、C.1.顏料'紅122、C.1.顏料'紅149、C.I.顏料'紅168、C.I.顏料-紅177、C.I.顏料'紅180、C.I.顏料-紅192、C.I.顏料'紅215、C.I.顏料-綠7、C.L顏料'綠36、C.I.顏料'藍(lán)]5:]、C.L顏料'藍(lán)15:4、C.I.顏料v藍(lán)15:6、C丄顏料'藍(lán)22、C.I.顏料'藍(lán)60、C.I.顏料'藍(lán)64等。所述顏料可以單獨(dú)使用，也可以將兩種以上結(jié)合使用。另外，根據(jù)需要，可以使用從公知的顏料中適當(dāng)選擇的顏料。所述著色顏料在所述感光性組合物固體成分中的固體成分含量可以考慮形成永久圖案時(shí)的感光層的曝光靈敏度、析像性等來(lái)確定，根據(jù)所述著色顏料的種類不同而不同，通常優(yōu)選0.01~10質(zhì)量％，更優(yōu)選0.05-5質(zhì)量％。一填充顏料一在所述感光性組合物中，為了提高永久圖案的表面硬度、或者降低線膨脹系數(shù)、或者減小固化膜本身的介龜常數(shù)或介質(zhì)損耗正切，根據(jù)需要可以添加無(wú)機(jī)顏料(無(wú)機(jī)填充劑)或有機(jī)微粒。對(duì)所述無(wú)機(jī)顏料(無(wú)機(jī)填充劑)沒(méi)有特別限定，可以從公知的物質(zhì)中適當(dāng)選擇，可以列舉如高嶺土、硫酸鋇、鈦酸鋇、氧化硅粉、微粉狀氧化硅、氣相法二氧化硅、無(wú)定形二氧化硅、結(jié)晶性二氧化硅、熔融二氧化硅、球狀二氧化硅、滑石粉、粘土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、云母等。其中，從冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘慕嵌瓤紤]，優(yōu)選二氧化硅。所述無(wú)機(jī)顏料(無(wú)機(jī)填充劑)的平均粒徑優(yōu)選不足10nm，更優(yōu)選3pm以下。若該平均粒徑為10pm以上，則由于光彌散有時(shí)引起析像度變差。對(duì)所述有機(jī)微粒沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的而適當(dāng)選擇，可以列舉如蜜胺樹(shù)脂、苯并胍胺樹(shù)脂、交聯(lián)聚苯乙烯樹(shù)脂等。另外，可以使用平均粒徑為1~5pm、吸油量為100~200mVg左右的由二氧化硅、交聯(lián)樹(shù)脂形成的球狀多孔微粒等。所述填充顏料的添加量?jī)?yōu)選5~60質(zhì)量％。若該添加量不足5質(zhì)量％,則有時(shí)無(wú)法充分降低線膨脹系數(shù)；若超過(guò)60質(zhì)量％，則在感光層表面形成固化膜時(shí)有時(shí)該固化膜的膜質(zhì)變脆，使用永久圖案形成布線時(shí)，有時(shí)會(huì)損及作為布線的保護(hù)膜的功能。一一密合促進(jìn)劑一一為了提高各層間的密合性或感光性薄膜與基體的密合性，可以在各層中使用公知的所謂密合促進(jìn)劑。作為所述密合促進(jìn)劑，可優(yōu)選列舉如日本特開(kāi)平5-11439號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)平5-341532號(hào)公報(bào)和日本特開(kāi)平6-43638號(hào)公報(bào)等中記載的密合促進(jìn)劑。具體可以列舉出苯并咪唑、苯并嗨唑、苯并噻唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并瞎唑、2-巰基苯并噻唑、3-嗎啉基甲基-l-苯基三唑-2-硫酮、3-嗎啉代甲基-5-苯基瞎二唑-2-硫酮、5-氨基-3-嗎啉代甲基噻二唑-2-硫酮和2-巰基-5-甲基硫代噻二唑、三唑、四唑、苯并三唑、羧基苯并三唑、含氨基的苯并三唑、硅垸偶聯(lián)劑等。相對(duì)于所述感光層的總成分，所述密合促進(jìn)劑的含量?jī)?yōu)選0.001質(zhì)量%~20質(zhì)量％，更優(yōu)選0.01-10質(zhì)量％，特別優(yōu)選0.1質(zhì)量％~5質(zhì)量％。根據(jù)本發(fā)明的感光性組合物，由于規(guī)定了催化劑的殘留量，因此保存穩(wěn)定性優(yōu)異，可以高效率地得到高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)。(感光性組合物的制造方法)所述感光性組合物的制造方法包含加成工序和催化劑失活工序，根據(jù)需要還包括其它工序。所述加成工序和所述催化劑失活工序同時(shí)進(jìn)行。<加成工序>所述加成工序是在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少含有1個(gè)酸根的化合物(B)得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的工序。<催化劑失活工序>所述催化劑失活工序使所述催化劑失活。例如為使氧起泡的工序。(感光性薄膜)本發(fā)明的感光性薄膜具有支撐體、和該支撐體上的由本發(fā)明的感光性組合物形成的感光層，根據(jù)目的層疊熱塑性樹(shù)脂層等適當(dāng)選擇的其它層而形成。<支撐體>對(duì)所述支撐體沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但優(yōu)選能夠剝離所述感光層、且光的透過(guò)性良好的支撐體，更進(jìn)一步優(yōu)選表面的平滑性良好。所述支撐體優(yōu)選合成樹(shù)脂制且透明的支撐體，可以列舉如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、三乙酸纖維素、二乙酸纖維素、聚(甲基)丙烯酸烷基酯、聚(甲基)丙烯酸酯共聚物、聚氯乙烯、聚乙烯醇、聚碳酸酯、聚苯乙烯、玻璃紙、聚偏二氯乙烯共聚物、聚酰胺、聚酰亞胺、氯乙烯.乙酸乙烯酯共聚物、聚四氟乙烯、聚三氟乙烯、纖維素系薄膜、尼龍薄膜等各種塑料薄膜，其中特別優(yōu)選聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。所述支撐體可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。對(duì)所述支撐體的厚度沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選2-150pm，更優(yōu)選5-100pm，特別優(yōu)選8~50pm。對(duì)所述支撐體的形狀沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，但優(yōu)選長(zhǎng)尺狀。對(duì)所述長(zhǎng)尺狀支撐體的長(zhǎng)度沒(méi)有特別限定，可以列舉如10~20,000m長(zhǎng)的支撐體。<感光層>如上所述，所述感光層使用本發(fā)明的感光性組合物形成。所述感光層，當(dāng)將其曝光進(jìn)行顯影時(shí)，不使該感光層的曝光部分的厚度在該曝光和顯影后發(fā)生變化的所述曝光中使用的光的最小能量?jī)?yōu)選為0.150mJ/cm2，更優(yōu)選為0.2~40mJ/cm2，特別優(yōu)選為0.5~30mJ/cm2。若所述最小能量不足O.lmJ/cm2，則在處理工序中有時(shí)會(huì)產(chǎn)生翳影；若超過(guò)50mJ/cm2，則有時(shí)曝光所需的時(shí)間變長(zhǎng)、處理速度變慢。此處，"使該感光層的曝光部分的厚度在該曝光和顯影后不發(fā)生變化的、在所述曝光中所使用的光的最小能量"是指所謂的顯影靈敏度，例如可以通過(guò)表示將所述感光層曝光時(shí)的用于所述曝光中的光的能量(曝光量)與接著所述曝光而利用所述顯影處理產(chǎn)生的所述固化層的厚度之間的關(guān)系的曲線圖(靈敏度曲線)來(lái)求得。所述固化層的厚度隨所述曝光量的增加而增加，之后變成與所述曝光前的所述感光層的厚度大致相同且大致恒定。所述顯影靈敏度是指通過(guò)讀取當(dāng)所述固化層的厚度大致恒定時(shí)的最小曝光量而求得的值。此處，當(dāng)所述固化層的厚度與所述曝光前的所述感光層的厚度為士lpm以內(nèi)時(shí)，所述固化層的厚度視為沒(méi)有因曝光和顯影而發(fā)生變化。對(duì)所述固化層和所述曝光前的所述感光層的厚度的測(cè)定方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉出使用膜厚測(cè)定裝置、表面粗糙度測(cè)定儀(例如廿一7〕厶1400D(東京精密社制))等進(jìn)行測(cè)定的方法。對(duì)所述感光層的厚度沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選1-100nm，更優(yōu)選2~50pm，特別優(yōu)選4~30pm。<保護(hù)薄膜>所述感光性薄膜可以在所述感光層上形成保護(hù)薄膜。作為所述保護(hù)薄膜，可以列舉如在所述支撐體中使用的薄膜、層壓有紙、聚乙烯、聚丙烯的紙等，其中優(yōu)選聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜。對(duì)所述保護(hù)薄膜的厚度沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5~100pm，更優(yōu)選850pm，特別優(yōu)選10~30nm。作為所述支撐體與保護(hù)薄膜的組合(支撐體/保護(hù)薄膜)，可以列舉如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯、聚氯乙烯/玻璃紙、聚酰亞胺/聚丙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯/聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等。另外，通過(guò)對(duì)支撐體和保護(hù)薄膜中的至少任一者進(jìn)行表面處理，可以調(diào)整層間粘合力。為了提高與所述感光層的粘合力，可以對(duì)所述支撐體實(shí)施表面處理，可以列舉如底涂層的涂設(shè)、電暈放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、高頻照射處理、輝光放電照射處理、活性等離子體照射處理、激光光線照射處理等。所述支撐體與所述保護(hù)薄膜的靜摩擦系數(shù)優(yōu)選0.3-1.4，更優(yōu)選0.5~1.2。若所述靜摩擦系數(shù)不足0.3，則由于過(guò)于光滑，形成輥狀時(shí)有時(shí)會(huì)巻得參差不齊；若超過(guò)1.4，則有時(shí)難以巻成良好的輥狀。所述感光性薄膜，例如優(yōu)選巻繞在圓輥狀的巻芯上，以長(zhǎng)尺狀巻成輥狀來(lái)保管。對(duì)所述長(zhǎng)尺狀的感光性薄膜的長(zhǎng)度沒(méi)有特別限定，例如可以從10~20,000m的范圍適當(dāng)選擇。另外，為了便于用戶使用，可以進(jìn)行分割加工，使100~1,000m范圍的長(zhǎng)尺體作成輥狀。需要說(shuō)明的是，該情況下優(yōu)選所述支撐體被巻繞成為最外側(cè)。另外，可以將所述輥狀的感光性薄膜分割成薄片狀。保管時(shí)，從端面的保護(hù)、防止邊緣融合的角度考慮，優(yōu)選在端面上設(shè)置隔離件(separator)(特別是防濕性隔離件、放有千燥劑的隔離件)，另外打包也優(yōu)選使用透濕性低的材料。為了調(diào)整所述保護(hù)薄膜與所述感光層的粘合性，可以對(duì)所述保護(hù)薄膜進(jìn)行表面處理。所述表面處理例如是在所述保護(hù)薄膜的表面形成由聚有機(jī)硅氧烷、氟化聚烯烴、聚氟乙烯、聚乙烯醇等聚合物形成的底涂層。該底涂層可以通過(guò)在所述保護(hù)薄膜的表面涂布所述聚合物的涂布液，之后在3015(TC下干燥1~30分鐘而形成。所述干燥時(shí)的溫度特別優(yōu)選50~120°C。<其他層>對(duì)所述其他層沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如熱塑性樹(shù)脂層、阻擋層、剝離層、粘合層、光吸收層、表面保護(hù)層等層。所述感光性薄膜可以單獨(dú)具有一種這些層，也可以具有兩種以上的這些層。熱塑性樹(shù)脂層>>對(duì)所述熱塑性樹(shù)脂層(以下有時(shí)還稱作"緩沖層")沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，其在堿性液中可以膨潤(rùn)乃至可溶，也可以不溶。在所述緩沖層在堿性液中膨潤(rùn)乃至可溶的情況下，作為所述熱塑性樹(shù)脂，可以列舉如乙烯與丙烯酸酯共聚物的皂化物；苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物；乙烯基甲苯與(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物；聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯與乙酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物；(甲基)丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸的共聚物；苯乙烯與(甲基)丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸的共聚物等。對(duì)此時(shí)的熱塑性樹(shù)脂的軟化點(diǎn)(Vicat)沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選8(TC以下。作為所述軟化點(diǎn)為8(TC以下的熱塑性樹(shù)脂，除所述熱塑性樹(shù)脂外，可以列舉出"塑料性能便覽"(日本塑料工業(yè)聯(lián)盟、全日本塑料成形工業(yè)連合會(huì)編著、工業(yè)調(diào)查會(huì)發(fā)行、1968年10月25日發(fā)行)的軟化點(diǎn)為約80'C以下的有機(jī)高分子中可溶于堿性液的熱塑性樹(shù)脂。另外，即使在軟化點(diǎn)為8(TC以上的有機(jī)高分子物質(zhì)中，也可以在該有機(jī)高分子物質(zhì)中添加與該有機(jī)高分子物質(zhì)具相溶性的各種增塑劑，將實(shí)質(zhì)的軟化點(diǎn)降至sere以下。在所述緩沖層在堿性液中膨潤(rùn)乃至可溶的情況下，對(duì)所述感光性薄膜的層間粘合力沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選在各層的層間粘合力中，所述支撐體與所述緩沖層之間的層間粘合力最小。通過(guò)形成所述層間粘合力，可以自所述層疊體上僅剝離所述支撐體，經(jīng)由所述緩沖層將所述感光層曝光，之后使用堿性顯影液將該感光層顯影。另外，還可以殘留所述支撐體，直接將所述感光層曝光，之后自所述層疊體上僅剝離所述支撐體，使用堿性顯影液將該感光層顯影。對(duì)所述層間粘合力的調(diào)整方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如向所述熱塑性樹(shù)脂中添加公知的聚合物、過(guò)冷卻物質(zhì)、密合改良劑、表面活性劑、脫模劑等。在所述緩沖層在堿性液中不溶的情況下，作為所述熱塑性樹(shù)脂，可以列舉如主成分以乙烯作為必須的共聚成分的共聚物。對(duì)所述以所述乙烯作為必須的共聚成分的共聚物沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如乙烯-乙酸乙烯酯共聚物(EVA)、乙烯-丙烯酸乙酯共聚物(EEA)等。在所述緩沖層在堿性液中不溶的情況下，對(duì)所述感光性薄膜的層間粘合力沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選在各層的層間粘合力中，所述支撐體與所述緩沖層之間的層間粘合力最小。通過(guò)形成所述層間粘合力，可以自所述層疊體上剝離所述支撐體和緩沖層，將所述感光層曝光，之后使用堿性顯影液將該感光層顯影。還可以殘留所述支撐體，直接將所述感光層曝光，之后自所述層疊體上剝離所述支撐體和緩沖層，使用堿性顯影液將該感光層顯影。對(duì)所述層間粘合力的調(diào)整方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如向所述熱塑性樹(shù)脂中添加各種聚合物、過(guò)冷卻物質(zhì)、密合改良劑、表面活性劑、脫模劑等的方法以及以下說(shuō)明的調(diào)整乙烯共聚比的方法等。對(duì)所述以乙烯作為必須的共聚成分的共聚物中的乙烯共聚比沒(méi)有特目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選60~90質(zhì)量％，更優(yōu)選60~80質(zhì)量％,特別優(yōu)選65~80質(zhì)量％。若所述乙烯的共聚比不足60質(zhì)量％，則所述緩沖層與所述感光層的層間粘合力變高，有時(shí)難以在該緩沖層與該感光層的界面進(jìn)行剝離；若超過(guò)90質(zhì)量％，則所述緩沖層與所述感光層的層間粘合力變得過(guò)小，因此在該緩沖層與該感光層之間非常容易剝離，有時(shí)難以制造含有所述緩沖層的感光性薄膜。對(duì)所述緩沖層的厚度沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選5~50更優(yōu)選10-50^m，特別優(yōu)選1540[im。若所述厚度不足5pm，則對(duì)基體表面的凹凸或氣泡等的凹凸追蹤性下降，有時(shí)無(wú)法形成高精細(xì)的永久圖案；若超過(guò)50拜，則有時(shí)會(huì)發(fā)生制造上的干燥負(fù)荷增大等不良情形。(感光性薄膜的制造方法)所述感光性薄膜例如可以如下制造。首先，將所述感光性組合物中所含的材料溶解、乳化或分散于水或有機(jī)溶劑中，制備感光性薄膜用的感光性組合物溶液。還可以添加公知的表面活性劑。接下來(lái)，在所述基體上或所述支撐體上涂布所述感光性組合物溶液，使之干燥形成感光層，可以制造感光性薄膜。對(duì)所述感光性組合物溶液的涂布方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法、狹縫涂布法、擠壓涂布法、幕式涂布法、模具涂布法、凹版涂布法、拉絲錠涂布法、刮涂法等各種涂布方法。所述干燥的條件還因各成分、溶劑的種類、使用比例等而不同，通常在6011(TC的溫度下干燥30秒~15分鐘左右。(感光性層疊體)所述感光性層疊體通過(guò)在基板上至少具有所述感光層，并層疊根據(jù)目的而適當(dāng)選擇的其它層而形成。<基體>所述基體，作為形成有感光層的被處理體、或者本發(fā)明的感光性薄膜的至少轉(zhuǎn)印有感光層的被轉(zhuǎn)印體，沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如可以從表面平滑性高的基體到具有具凹凸的表面的基體中任意選擇。優(yōu)選板狀基體，使用所謂的基板。具體可以列舉出公知的印刷線路板制造用的基板(印刷基板)、玻璃基板(鈉玻璃板等)、合成樹(shù)脂性的薄膜、紙、金屬板等。(感光性層疊體的制造方法)作為所述感光性層疊體的制造方法，作為第一方案，可以列舉出在所述基體的表面涂布所述感光性組合物并進(jìn)行干燥的方法；作為第二方案，可以列舉出一邊對(duì)本發(fā)明的感光性薄膜中的至少感光層進(jìn)行加熱和加壓中的至少任一種，一邊進(jìn)行轉(zhuǎn)印而層疊的方法。所述第一方案的感光性層疊體的制造方法為在所述基體上涂布和干燥所述感光性組合物形成感光層。對(duì)所述涂布和干燥的方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如將所述感光性組合物溶解、乳化或分散于水或溶劑中制備感光性組合物溶液，將該溶液直接涂布在所述基體的表面并使之干燥，從而進(jìn)行層疊的方法。對(duì)所述感光性組合物溶液的溶劑沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如與所述感光性薄膜中使用的溶劑相同的溶劑。所述溶劑可以單獨(dú)使用一種，也可以將兩種以上結(jié)合使用。還可以添加公知的表面活性劑。對(duì)所述涂布方法和干燥條件沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，按照與所述感光性薄膜所使用的相同的方法和條件來(lái)進(jìn)行。所述第二方案的感光性層疊體的制造方法為在所述基體表面一邊對(duì)本發(fā)明的感光性薄膜進(jìn)行加熱和加壓中的至少任一種，一邊進(jìn)行層疊。需要說(shuō)明的是，當(dāng)所述感光性薄膜具有所述保護(hù)薄膜時(shí)，優(yōu)選將該保護(hù)薄膜剝離，并在所述基體上進(jìn)行層疊的方式使所述感光層重疊。對(duì)所述加熱溫度沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選15~180°C，更優(yōu)選60140。C。對(duì)所述加壓的壓力沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選0.11.0MPa，更優(yōu)選0.2~0.8MPa。對(duì)進(jìn)行所述加熱中的至少任一種的裝置沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，優(yōu)選列舉如層壓機(jī)(例如大成層壓機(jī)(，$冬一夕)社制VP-ll、日合摩頓株式會(huì)社Nichigo-mortonco丄td制VP130)等。本發(fā)明的感光性薄膜使用本發(fā)明的所述感光性組合物，因此保存穩(wěn)定性優(yōu)異，可以高效率地得到高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)。本發(fā)明的感光性薄膜和所述感光性層疊體通過(guò)規(guī)定粘合劑的種類和催化劑的殘留量，能夠高效率地形成保存穩(wěn)定性優(yōu)異，并且減輕了粘合劑樹(shù)脂的著色，抑制了感材的色味變差(色故障)，高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)，因此可以廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域中的高精細(xì)的永久圖案(層間絕緣膜、保護(hù)膜、阻焊劑圖案等)的形成，特別是可以適用于印刷基板的永久圖案形成。本發(fā)明的圖案形成裝置具有本發(fā)明的所述感光性層疊體，并至少具有光照射機(jī)構(gòu)和光調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明的永久圖案形成方法至少包括曝光工序，還包括適當(dāng)選擇的顯影工序等其他其他工序。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明的所述圖案形成裝置通過(guò)說(shuō)明本發(fā)明的所述永久圖案形成方法的說(shuō)明相通并加以明確。<曝光工序>所述曝光工序是對(duì)本發(fā)明的感光性薄膜中的感光層進(jìn)行曝光的工序。本發(fā)明的所述感光性薄膜和基材的材料如上所述。作為所述曝光的對(duì)象，只要是所述感光性薄膜中的感光層，沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選對(duì)如上所述在基材上一邊對(duì)感光性薄膜進(jìn)行加熱和加壓中的至少任一種一邊層疊并對(duì)形成的層疊體進(jìn)行曝光。對(duì)所述曝光沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如數(shù)字曝光、模擬曝光等，其中優(yōu)選數(shù)字曝光。[顯影工序]作為所述顯影，通過(guò)除去所述感光層的未曝光部分來(lái)進(jìn)行。對(duì)所述未固化區(qū)域的除去方法沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如使用顯影液進(jìn)行除去的方法等。對(duì)所述顯影液沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以列舉如堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等，其中優(yōu)選弱堿性水溶液。作為該弱堿水溶液的堿成分，可以列舉如氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鋰、碳酸氫鈉、碳酸氫鉀、磷酸鈉、磷酸鉀、焦磷酸鈉、焦磷酸鉀、硼砂等。所述弱堿性水溶液的pH值例如優(yōu)選約812，更優(yōu)選約9~11。作為所述弱堿性水溶液，可以列舉如0.1~5質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液或碳酸鉀水溶液等。所述顯影液的溫度可以根據(jù)所述感光層的顯影性而適當(dāng)選擇，例如優(yōu)選約25~40°C。所述顯影液可以和表面活性劑、消泡劑、有機(jī)堿(例如乙二胺、乙醇胺、四甲基氫氧化銨、二亞乙基三胺、三亞乙基五胺、嗎啉、三乙醇胺等)或用于促進(jìn)顯影的有機(jī)溶劑(例如醇類、酮類、酯類、醚類、酰胺類、內(nèi)酯類等)等結(jié)合使用。所述顯影液可以是將水或堿水溶液和有機(jī)溶劑混合的水系顯影液，也可以是單獨(dú)的有機(jī)溶劑。[固化處理工序]所述固化處理工序是在進(jìn)行所述顯影工序后，對(duì)所形成的圖案中的感光層進(jìn)行固化處理的工序。對(duì)所述固化處理工序沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以優(yōu)選列舉如整面曝光處理、整面加熱處理等。作為所述整面曝光處理的方法，可以列舉如在所述顯影后將所述形成有永久圖案的所述層疊體上的整面曝光的方法等。通過(guò)該整面曝光，可以將形成所述感光層的感光性組合物中的樹(shù)脂的固化得到促進(jìn)，所述永久圖案的表面被固化。對(duì)進(jìn)行所述整面曝光的裝置沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇，可以優(yōu)選列舉如超高壓水銀燈等UV曝光機(jī)。作為所述整面加熱處理的方法，可以列舉出在所述顯影后將所述形成有永久圖案的所述層疊體上的整面加熱的方法等。通過(guò)該整面加熱，所述永久圖案的表面的膜強(qiáng)度得以提高。所述整面加熱的加熱溫度優(yōu)選120~250°C，更優(yōu)選120~200°C。若該加熱溫度不到120°C，則有時(shí)無(wú)法得到加熱處理所引起的膜強(qiáng)度的提高；若超過(guò)250'C，則有時(shí)所述感光性組合物中的樹(shù)脂發(fā)生分解，膜質(zhì)變?nèi)?、變脆。所述整面加熱的加熱時(shí)間優(yōu)選10~120分鐘，更優(yōu)選15~60分鐘。對(duì)進(jìn)行所述整面加熱的裝置沒(méi)有特別限定，可以根據(jù)目的從公知的裝置中適當(dāng)選擇，可以列舉如干式烘箱、熱板、IR加熱器等。一保護(hù)膜、層間絕緣膜、阻焊劑圖案形成方法一當(dāng)所述圖案的形成方法為形成保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案中的至少任一種的永久圖案形成方法時(shí)，可以利用所述永久圖案形成方法在印刷線路板上形成永久圖案，再如下進(jìn)行錫焊。艮口，利用所述顯影形成作為所述永久圖案的固化層，使金屬層露出所述印刷線路板的表面。對(duì)露出該印刷線路板表面的金屬層部位鍍金，之后進(jìn)行錫焊。然后在進(jìn)行錫焊的部位安裝半導(dǎo)體或零件等。此時(shí)，由所述固化層形成的永久圖案發(fā)揮保護(hù)膜或絕緣膜(層間絕緣膜)、阻焊劑的功能，防止來(lái)自外部的沖擊或相鄰電極的導(dǎo)通。在所述圖案形成裝置和永久圖案形成方法中，當(dāng)利用所述永久圖案形成方法形成的永久圖案作為所述保護(hù)膜或所述層間絕緣膜時(shí)，可以保護(hù)布線免受來(lái)自外部的沖擊或彎曲。特別是作為所述層間絕緣膜時(shí)，例如對(duì)向多層布線基板或組合布線基板等上高密度安裝半導(dǎo)體或零件有用。實(shí)施例以下，利用實(shí)施例來(lái)進(jìn)一步具體說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受限于此。(粘合劑的合成例1)一粘合劑1的合成一向1,000mL的三頸燒瓶中裝入159g的l-甲氧基-2-丙醇，在氮?dú)饬飨录訜嶂?5。C?；?小時(shí)向其中滴加63.4g甲基丙烯酸芐酯、72.3g甲基丙烯酸、3.0gV-601(和光純藥制)的159gl-甲氧基-2-丙醇溶液。滴加結(jié)束后，再加熱5小時(shí)使之反應(yīng)。然后停止加熱，得到甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸(30/70moin/。比)的共聚物。接下來(lái)，將所述共聚物溶液中的120.0g移入300mL的三頸燒瓶中，加入16.6g甲基丙烯酸縮水甘油酯、0.16g對(duì)甲氧基苯酚，攪拌溶解。溶解后，一邊進(jìn)行空氣吹泡，一邊加入3.0g三苯膦，加熱至IO(TC，經(jīng)過(guò)20分鐘后，加入甲基丙烯酸縮水甘油酯進(jìn)行加成反應(yīng)。通過(guò)氣相色譜法確認(rèn)甲基丙烯酸縮水甘油酯消失，停止加熱。加入l-甲氧基-2-丙醇，制備固體成分為45質(zhì)量％的下述結(jié)構(gòu)式所表示的粘合劑1的溶液。利用以聚苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的凝膠滲透層析法(GPC)測(cè)定所得粘合劑的重均分子量(Mm)，結(jié)果為30,000。另外，用氫氧化鈉進(jìn)行滴定，求得每固體成分的酸值為2.2111叫&。并且，利用碘值滴定求得的每固體成分的烯屬性不飽和鍵的含量(CK:價(jià))為2.1meq/g。并且，相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為711ppm。37*133其中，所述粘合劑1中，*1表示下述結(jié)構(gòu)式(a)表示的結(jié)構(gòu)和下述結(jié)構(gòu)式(b)表示的結(jié)構(gòu)的混合(混合比不明確)。o結(jié)構(gòu)式(b)<催化劑的殘留量>將上述制備的高分子化合物溶液稀釋至10倍，利用GC-Mass(SIM:m/z-262)進(jìn)行測(cè)定，對(duì)TPP進(jìn)行定量。<<測(cè)定條件〉>柱DB-5(1:30m、O:0.53mm、d:1.5—Injection溫度270°C檢測(cè)溫度300°C升溫條件270°C、保持2分鐘；之后以l(TC/分鐘的升溫速度升溫至30(TC后保持5分鐘(粘合劑的合成例2)一粘合劑2的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為25分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為600ppm。(粘合劑的合成例3)一粘合劑3的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為27分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為500ppm。(粘合劑的合成例4)一粘合劑4的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為30分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為470ppm。(粘合劑的合成例5)一粘合劑5的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為35分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為450ppm。(粘合劑的合成例6)一粘合劑6的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為40分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為350ppm。(粘合劑的合成例7)一粘合劑7的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為45分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為300ppm。(粘合劑的合成例8)一粘合劑8的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為50分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為220ppm。(粘合劑的合成例9)一粘合劑9的合成一除了使加入三苯膦后的經(jīng)過(guò)時(shí)間為60分鐘之外，按照與合成例1相同的方法進(jìn)行合成。相對(duì)于粘合劑的固體成分量，殘留TPP量的值以固體成分換算計(jì)為100ppm。(實(shí)施例1)一感光性組合物的制備一將各成分按下述量進(jìn)行混合，制備感光性組合物溶液。[感光性組合物溶液的各成分量]-所述粘合劑3(在所述l-甲氧基-2-丙醇溶液中固體成分質(zhì)量為45質(zhì)量%)…49.64質(zhì)量份-季戊四醇四丙烯酸酯(聚合性化合物)…9.15質(zhì)量份-下式1表示的光聚合起始劑…0.55質(zhì)量份-增感劑(二乙基噻噸酮)…0.40質(zhì)量份EPOTOHTO(工求卜一卜)ZX-1059(環(huán)氧當(dāng)量為180g/叫.的雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂與環(huán)氧當(dāng)量為170g/叫.雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂的混合物)…4.99質(zhì)量份-熱固化劑(雙氰胺)…0.12質(zhì)量份-氟系表面活性劑(乂力'77、;/夕&176，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制，30質(zhì)量％的2-丁酮溶液)…0.13質(zhì)量份-二氧化硅SO-C2…7.75質(zhì)量份-著色顏料-0.13質(zhì)量份T酮…11.88質(zhì)量份'乙酸正丙酯…15.23質(zhì)量份<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>式(l)—感光性薄膜的制造一將所得感光性組合物溶液涂布在作為所述支撐體的厚度為16pm的PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)薄膜上并使之干燥，形成膜厚為30,的感光層。然后，使用層壓機(jī)在該感光層上層疊20pm厚的異丙烯薄膜作為所述保護(hù)薄膜，制造所述感光性薄膜?！谰脠D案的形成一一一感光性層疊體的制備一一接下來(lái)，作為所述基材，對(duì)作為印刷基板的已形成布線的貼銅層疊板(無(wú)通孔，銅厚12^m)的表面施行化學(xué)研磨處理來(lái)進(jìn)行制備。在該貼銅層疊板上進(jìn)行操作使所述感光性薄膜的感光層接合在所述貼銅層疊板上，一邊剝離所述感光性薄膜中的保護(hù)薄膜，一邊使用真空層壓機(jī)(日合摩頓株式會(huì)社Nichigo-mortonco丄td制VP130)進(jìn)行層疊，制備所述貼銅層疊板、所述感光層、所述聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)按此順序被層疊的感光性層疊體。壓合條件如下抽真空的時(shí)間為40秒、壓合溫度為7(TC、壓合壓力為0.2MPa、加壓時(shí)間為10秒。<最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)>從所述感光性層疊體上剝?nèi)【蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)，以0.15MPa的壓力向貼銅層疊板上的所述感光層的整面噴灑30°C的1質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液，測(cè)定從開(kāi)始噴灑碳酸鈉水溶液到貼銅層疊板上的感光層被溶解除去所需的時(shí)間，將其作為最短顯影時(shí)間。<靈敏度的評(píng)價(jià)>使用以下說(shuō)明的圖案形成裝置，從所述支撐體側(cè)對(duì)上述制備的感光性層疊體的感光性薄膜的感光層照射自0.1mJ/ci^起按2^倍間隔遞增至50mJ/cm2的光能量不同的光進(jìn)行雙重曝光，使所述感光層的一部分區(qū)域固化。在室溫下靜置IO分鐘，之后自所述層疊體上剝?nèi)∷鲋误w，以0.15MPa的噴霧壓力向貼銅層疊板上的感光層的整面噴灑所述最短顯影時(shí)間的兩倍時(shí)間的3(TC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，溶解除去未固化的區(qū)域，測(cè)定殘留的固化區(qū)域的厚度。然后，將光的照射量和固化層厚度的關(guān)系作成圖，得到靈敏度曲線。根據(jù)該靈敏度曲線，以固化區(qū)域的厚度達(dá)到與曝光前的感光層相同的30iim時(shí)的光能量作為用于使感光層固化所必需的光能量(靈敏度)。結(jié)果見(jiàn)表l。<析像度的評(píng)價(jià)>利用與所述最短顯影時(shí)間的評(píng)價(jià)方法相同的方法和條件制作所述感光性層疊體，在室溫(23匸、55%RH)下靜置IO分鐘。使用所述圖案形成裝置，從所得層疊體的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)上開(kāi)始以5pm刻紋進(jìn)行各線寬的曝光，直至線/間隔=1/1、線寬為10~50pm。此時(shí)的曝光量為用于使所述感光性薄膜的感光層固化所必需的光能量(靈敏度)。在室溫下靜置10分鐘，之后自所述感光性層疊體上剝?nèi)【蹖?duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(支撐體)。以0.15MPa的噴霧壓力向貼銅層疊板上的感光層的整面噴灑所述最短顯影時(shí)間的兩倍時(shí)間的3CTC的1質(zhì)量％碳酸鈉水溶液，溶解除去未固化區(qū)域。用光學(xué)顯微鏡觀察如此操作而得到的帶有固化樹(shù)脂圖案的貼銅層疊板的表面，在固化樹(shù)脂圖案的線上未見(jiàn)堵塞、巻曲等異常，并且，測(cè)定可形成間隔的最小線寬，將其作為析像度。數(shù)值越小該析像度越良好。結(jié)果見(jiàn)表l。<保存穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)>將所述感光性層疊體在4CTC、干燥的促進(jìn)條件下保管3天。測(cè)定該感光性層疊體的最短顯影時(shí)間，測(cè)定從Fresh起的最短顯影時(shí)間的延長(zhǎng)。結(jié)果見(jiàn)表1。[評(píng)價(jià)基準(zhǔn)]最短顯影時(shí)間的延長(zhǎng)為1.5倍以下o:最短顯影時(shí)間的延長(zhǎng)不足2.0倍最短顯影時(shí)間的延長(zhǎng)為2.0倍以上、不足4.0倍x:不能顯影^<冷熱沖擊耐性的評(píng)價(jià)>對(duì)永久圖案施行熱循環(huán)處理(以在-65'C下冷卻30分鐘、在125'C下加熱30分鐘作為1個(gè)循環(huán)，進(jìn)行500次所述循環(huán)的加熱處理)，觀察邊長(zhǎng)為2mm的孔圖案(格子狀)中的裂紋出現(xiàn)方式，進(jìn)行熱循環(huán)試驗(yàn)(27個(gè)格子狀圖案中有多少個(gè)圖案出現(xiàn)裂紋)。結(jié)果見(jiàn)表l。<層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)>將所述感光性層疊體放置1天，顯影后測(cè)定圓孔析像。表1顯示可析像的最小圓孔徑。(實(shí)施例2)除了將粘合劑3替換成粘合劑4以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表1。(比較例1)除了將粘合劑3替換成粘合劑1以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表l。(比較例2)除了將粘合劑3替換成粘合劑2以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表1。(實(shí)施例3)除了將粘合劑3替換成粘合劑5以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表l。(實(shí)施例4)、除了將粘合劑3替換成粘合劑6以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同fc]操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表1。(實(shí)施例5)除了將粘合劑3替換成粘合劑7以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表1。(實(shí)施例6)除了將粘合劑3替換成粘合劑8以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，針對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表1。(實(shí)施例7)除了將粘合劑3替換成粘合劑9以外，進(jìn)行與實(shí)施例1相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表l。(實(shí)施例8)除了將粘合劑3變更為粘合劑9、并將二氧化硅替換成15.85質(zhì)量份的硫酸鋇以外，進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，制造感光性層疊體和永久圖案。進(jìn)行與實(shí)施例l相同的操作，對(duì)所述感光性層疊體進(jìn)行靈敏度、析像度、保存穩(wěn)定性、冷熱沖擊試驗(yàn)?zāi)托缘脑u(píng)價(jià)和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)。結(jié)果見(jiàn)表l。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>特別是使用二氧化硅作為無(wú)機(jī)填充劑時(shí)，裂紋發(fā)生率低。產(chǎn)業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的感光性組合物和感光性薄膜通過(guò)規(guī)定催化劑的殘留量，能夠高效率地形成保存穩(wěn)定性和層壓后的析像度(圓孔)經(jīng)時(shí)穩(wěn)定性優(yōu)異，并且高精細(xì)的永久圖案(保護(hù)膜、層間絕緣膜和阻焊劑圖案等)，因此可廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域中的高精細(xì)的永久圖案(層間絕緣膜、保護(hù)膜、阻焊劑圖案等)的形成，特別是可適用于印刷基板的永久圖案形成。本發(fā)明的永久圖案形成方法，由于使用本發(fā)明的所述感光性薄膜，因此可適用于必需高精細(xì)的曝光的各種圖案的形成等，特別是可適用于印刷基板的永久圖案形成。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其包括由下述的改性共聚物形成的粘合劑、聚合性化合物、光聚合起始劑、熱交聯(lián)劑以及催化劑，所述改性共聚物是在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少具有1個(gè)酸根的化合物(B)所得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯而成的改性共聚物，其特征在于，相對(duì)于所述粘合劑固體成分量，所述催化劑的殘留量為500質(zhì)量ppm以下。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，相對(duì)于粘合劑固體成分量，催化劑的殘留量為300質(zhì)量ppm以下。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，催化劑為三苯膦。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，光聚合起始劑為肟衍生物。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑為從環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、聚異氰酸酯化合物、封端聚異氰酸酯化合物以及蜜胺衍生物中選擇的至少一種。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑為環(huán)氧化合物，該環(huán)氧化合物選自酚醛清漆型環(huán)氧化合物、雙酚型環(huán)氧化合物、含雜環(huán)的環(huán)氧化合物以及脂環(huán)式環(huán)氧化合物。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性組合物，其中，熱交聯(lián)劑含有環(huán)氧當(dāng)量為90g/叫400g/叫的環(huán)氧化合物和環(huán)氧當(dāng)量為150g/eq.~9,000g/eq.的環(huán)氧化合物。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，還含有熱固化促進(jìn)劑。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性組合物，其中，還含有無(wú)機(jī)填充劑。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的感光性組合物，其中，無(wú)機(jī)填充劑為二氧化娃o11.一種感光性薄膜，其特征在于，通過(guò)在支撐體上具有由權(quán)利要求l所述的感光性組合物所形成的感光層而形成。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的感光性薄膜，其為長(zhǎng)尺狀，并通過(guò)被巻成輥狀而形成。13.—種感光性層疊體，其特征在于，在基體上具有由權(quán)利要求1所述的感光性組合物所形成的感光層。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的感光性層疊體，其中，感光層由權(quán)利要求ll所述的感光性薄膜形成。15.—種永久圖案的形成方法，其特征在于，至少包括對(duì)由權(quán)利要求l所述的感光性組合物所形成的感光層進(jìn)行曝光的步驟。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的永久圖案的形成方法，其中，使用350~415nm波長(zhǎng)的激光來(lái)進(jìn)行曝光。17.—種印刷基板，其特征在于，利用權(quán)利要求15所述的永久圖案的形成方法來(lái)形成永久圖案。全文摘要本發(fā)明的感光性組合物，其包括由下述的改性共聚物形成的粘合劑、聚合性化合物、光聚合起始劑、熱交聯(lián)劑以及催化劑，所述改性共聚物是在由(甲基)丙烯酸酯(A)和含有不飽和基團(tuán)且至少具有1個(gè)酸根的化合物(B)所得到的共聚物的一部分酸根上加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯而成的改性共聚物，其特征在于，相對(duì)于所述粘合劑固體成分量，所述催化劑的殘留量為500質(zhì)量ppm以下。文檔編號(hào)G03F7/20GK101398623SQ20081016107公開(kāi)日2009年4月1日申請(qǐng)日期2008年9月26日優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日發(fā)明者有岡大輔,林利明申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社