專利名稱：遠紅外線干燥裝置、干燥裝置構成體及干燥方法
技術領域：
本發(fā)明關于一種遠紅外線干燥裝置、干燥裝置構成體及干燥方法，利用遠紅外線，對涂布在印刷基板上的光阻油墨(resist ink)或涂料，進行干燥。
本發(fā)明提供的第1種遠紅外線干燥裝置，包括遠紅外線放射體、放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調節(jié)裝置、和加壓媒體噴出裝置。遠紅外線放射體從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線，放射時間可變裝置使遠紅外線在所定時間放射，距離可變裝置使上述遠紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調節(jié)裝置系調節(jié)干燥處理室內溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下。
本發(fā)明提供的第2種遠紅外線干燥裝置，包括遠紅外線放射體、放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調節(jié)裝置、加壓媒體噴出裝置、和搬送裝置、遠紅外線放射體從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線，放射時間可變裝置控制在所定時間放射遠紅外線，距離可變裝置使上述遠紅外線和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調節(jié)裝置調節(jié)干燥處理室內溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，搬送裝置夾持上述被干燥物體基板的兩端，以便搬送該基板。
本發(fā)明提供的第3種遠紅外線干燥裝置，包括遠紅外線放射體、加壓媒體噴出裝置、溫風循環(huán)路、排氣路、搬送裝置、和該搬送裝置具備的網(wǎng)帶(mesh belt)與媒體吸入用箱體。遠紅外線放射體從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，溫風循環(huán)路使干燥處理室內的溫風再度循環(huán)至處理室，排出路使干燥處理室內的溫風向大氣排出，搬送裝置搬送上述被干燥物體基板，網(wǎng)帶(mesh belt)載置在該搬送裝置，能吸入遠紅外線向被干燥物放射時所排出的溶劑等，媒體吸入用箱體，在上面具有多數(shù)的細孔，上述箱體具備配置在干燥處理室外的大氣吸入用箱體和，配置在干燥處理室內的溫風吸入用箱體。
本發(fā)明提供的第4種遠紅外線干燥裝置，其特征是在前述第1、第2或第3種所述的遠紅外線干燥裝置的上述加壓媒體噴出裝置具有多個的細縫(slit)孔噴嘴(nozzle)。
本發(fā)明提供的第5種遠紅外線干燥裝置，其特征是在前述第4種遠紅外線干燥裝置的上述加壓媒體噴出裝置，是從多個的細縫(slit)孔噴嘴噴出與上述被干燥物體基板的表面溫度大略相等的溫風。
本發(fā)明提供的第1種干燥裝置構成體，包括遠紅外線干燥裝置與紫外線照射裝置。遠紅外線干燥裝置，包括遠紅外線放射體，放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調節(jié)裝置，和加壓媒體噴出裝置。遠紅外線放射體從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線，放射時間可變裝置使遠紅外線在所定時間放射，距離可變裝置使上述遠紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調節(jié)裝置調節(jié)干燥處理室內溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下。紫外線照射裝置在上述遠紅外線放射上述被干燥物體基板后，以紫外線照射涂布在該被干燥物體基板的材料。
本發(fā)明提供的第2種干燥裝置構成體包括遠紅外線干燥裝置、紫外線照射裝置和、搬送裝置。遠紅外線裝置包括遠紅外線放射體、放射時間可變裝置、距離可變裝置、溫度調節(jié)裝置、和加壓媒體噴出裝置。遠紅外線放射體從具有金屬表面的遠紅外線放層放射出相當于涂布在干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線，放射時間可變裝置使遠紅外線在所定的時間放射，距離可變裝置使上述遠紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變，溫度調節(jié)裝置調節(jié)干燥處理室內溫度，加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使上述被干燥物體溫度在約180℃以下。紫外線照射裝置在上述遠紅外線放射上述被干燥物體基體后，以紫外線照射涂布在該被干燥物體基板的材料。搬送裝置夾持上述被干燥物體的兩端以搬送該基板。
本發(fā)明提供的第3種干燥裝置構成體，其特征是在前述第1項或2項所述的干燥裝置構成體的上述紫外線照射裝置對從上述紅外線干燥裝置搬送的約180℃～約250℃的被干燥物體照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線。
本發(fā)明提供的第1種干燥方法，包括遠紅外線放射工藝及加壓媒體噴出工藝。遠紅外線放射工藝從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝，加壓媒體噴出工藝為使上述被干燥物體溫度約在180℃以下，向上述被干燥物體噴出加壓媒體的工藝。
本發(fā)明提供的第2種干燥方法，包括遠紅外線放射工藝、加壓媒體噴出工藝、和紫外線照射工藝。遠紅外線放射工藝，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝，加壓媒體噴出工藝為使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，向上述被干燥物體噴出加壓媒體的工藝，紫外線照射工藝，在上述遠紅外線向該被干燥物體基板放射后，向涂布在該被干燥物體的材料照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線的工藝。
本發(fā)明提供的第3種干燥方法，包括遠紅外線放射工藝、加壓媒體噴出工藝、和紫外線照射工藝。遠紅外線放射工藝從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝，加壓媒體噴出工藝為使上述被干燥物體溫度在約180℃以下，噴出與上述被干燥物體基板的表面溫度大略相等溫度的加壓媒體的工藝，紫外線照射工藝是在上述遠紅外線放射上述被干燥物體基板后向約180℃～約250℃的涂布在該被干燥物體的材料，照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線的工藝。


圖1為表示關于本發(fā)明的遠紅外線干燥裝置的正面圖；圖2為表示關于本發(fā)明的紅外線干燥裝置、連續(xù)設置二小室(booth)狀態(tài)的側面圖；圖3為表示印刷基板表面的長軸方向的溫度分布圖；圖4為表示其它通風室(plenum)的概略圖；圖5為表示其它加壓媒體噴出裝置的概略圖；圖6為表示其它溫風循環(huán)路的概略圖；圖7為表示關于本發(fā)明包含遠紅外線干燥裝置及紫外線照射裝置的干燥裝置構成體的構成圖；圖8為表示關于本發(fā)明的遠紅外線放射體的斷面圖。
10遠紅外線干燥裝置12通風室(plenum)14加壓媒體噴出裝置16遠紅外線放射體18干燥處理室20位置可變裝置22溫風循環(huán)路24搬送裝置26溫風保溫室28溫風再供給路29溫風再供給用開口
30大氣空氣供給路32溫風排出路33溫風排出用開口34排氣送風機(blower)35風道加熱器(duct heater)40吸氣瓣42排氣瓣44穿孔鋼板45溫風吸入風道(duct)46遠紅外線裝設框體52網(wǎng)帶(mesh belt)54、56、58、60排氣用箱體64大氣空氣吸入口66第一排氣用吸入口68第一循環(huán)用吸入口70第二排氣用吸入口72第二循環(huán)用吸入口80干燥裝置構成體90紫外線照射裝置被干燥物體使用涂布光阻油墨(resist ink)的印刷基板，印刷基板以外，涂布涂料的基板等種種的制品均可適用。
一般，波長與遠外線放射體的表面溫度是有關連，又被干燥物體的表面溫度是由遠紅外線放射體和被干燥物體的距離而變。然而，波長越短遠紅外線放射體的表面溫度越高。例如，波長在3.58～6.46μ的范圍，遠紅外線放射體的表面溫度為約540℃～約170℃。
使用遠紅外放射體的輸出功率為340W，遠紅外線放射體的表面溫度為540℃，波長；3.58μm的遠紅外線放射體，使遠紅外線放射體和被干燥物體的距離為可變，被干燥物體的基板使用0.5mm厚的鋁板時，上述距離在50～150mm時，被干燥物體的表面溫度為約150℃～約70℃。
如此，使放射遠紅外線的金屬板表面的溫度成為可變，以設定能對被干燥物體的干燥放射最合適遠紅外線的遠紅外線波長帶領域，控制上述遠紅外線放射體和被干燥物體的距離，使被干燥物體的表面溫度設在所定溫度，此后從上述遠紅外線放射體向被干燥物體放射上述設定波長的遠紅外線。
在此所使用的上述遠紅外線放射體，具有所定曲率半徑R的凸面形狀略圓形狀的鋁或不透鋼等的金屬板具備遠紅外線放射層的構成。然而遠紅外線放射體，放射相當于涂布在被干燥物體的基板的樹脂材料所具有最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線。
圖8表示關于本發(fā)明的遠紅外線放射體的斷面圖。在圖8，遠紅外線放射體1外框是由不銹鋼板等金屬板所形成平面狀箱型框架(housing)2。
此遠紅外線放射體系包括發(fā)熱體3、絕緣板4、5、均熱板6、和壓板7，發(fā)熱體是在上述框架(housing)內，絕緣板4、5配設作夾該發(fā)熱體的云母(mica)等，均熱板6使該發(fā)熱體放射的熱成為均一，壓板7防止上述發(fā)熱體的變形。
發(fā)熱體3可使用種種發(fā)熱體。在此實施例，使用配合框架(housing)2的形狀制作云母板，在此云母板的外周回卷鎳鉻所成的通電發(fā)熱體。(材質NCHRI或HCHWI，電阻值；61.03Ω/m)。
然而，在此發(fā)熱體3的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)扰渲门浜峡蚣?housing)2的形狀的絕緣板4、5。此絕緣板4、5使用厚約0.1～0.3mm的聚四氟乙烯(teflon)是聚 亞胺(polyimide)樹脂薄板(sheet)。該樹脂薄板(sheet)具良好的熱傳導性，無折曲性，并且重量輕，易于加工的關系，為合適的材料。并且，絕緣板4、5也可使用約0.35mm的黑色云母(mica)薄板。
發(fā)熱體3的下面?zhèn)龋床讳P鋼制框架(housing)板2和絕緣板5之間，配合框架(housing)2的形狀配置均熱板6，以使從該發(fā)熱體的熱放射能成為均一。均熱板以銅板等的金屬板制作。
標號8為遠紅外線放射層，此遠紅外線放射層8涂布在上述框架(housing)的表面?zhèn)?。此遠紅外線放射層8，隨發(fā)熱3的加熱由微弱電流通電，放射2.5～12μ波帶領域的遠紅外線。
此遠紅外線放射層8的具體一例表示如下。即，此遠紅外線放射層由完全無機質的硅鋁土(silica alumina)的液體陶瓷(ceramic)涂布在不銹鋼板而成。該液體陶瓷(ceramic)是以最大200μ的厚度涂布在不銹鋼制板。該液體陶瓷(ceramic)的耐熱溫度約1500℃，與金屬板的接粘性優(yōu)，且具有優(yōu)良的熱放射性和能量(energy)轉換作用。
并且，替代涂布上述液體陶瓷(ceramic)的不銹鋼制板，也可使用具有以スカイアルミ(公司名)制造；商品名“ス一パ一レイ”等所知，使過氧化鋁氧化分散溶附的遠紅外線放射層的不銹鋼制板。此遠紅外線放射層形成在不銹鋼制框架(housing)的表面?zhèn)取?br> 此遠紅外線放射體是在其內部配設熱電偶(thermocouple)，熱電偶裝設于上述均熱板的略中央處。用此熱電偶測定均熱板的溫度，以控制溫度。
在圖1，遠紅外線干燥裝置10具有二個干燥處理室18，各該干燥處理室18具備通風室(plenum)12。各通風室(plenum)12裝設向印刷基板噴出加壓媒體的加壓媒體噴出裝置14和遠紅外線放射體16。遠紅外線放射裝置10，包括干燥處理室18，位置可變裝置20、溫風循環(huán)路22、和搬送裝置24，其中，位置可變裝置20使在高度方向的遠紅外線放射體和上述基板的距離成為可變，搬送裝置24搬送干燥室內的印刷基板。并且，上述遠紅外線放射體16、通風室(plenum)12和加壓媒體出裝置14配置在上述搬送路的上方。搬送路的下側，具有以絕熱材圍繞周圍所構成的溫風保溫室26。
并且，替代配置在上述搬送路的下側的遠紅外線放射體也可配設不銹鋼制的反射板。更且，該反射板以在其表面設放射遠紅外線的遠紅外線放射體為宜。又，替代配置在上述搬送裝置的上側的遠紅外線放射體，配設不銹鋼制的反射板，然在下側也可設遠紅外線放射體。
上述加壓媒體噴出裝置14，具有為使印刷基板的溫度在約180℃以下，而可向印刷基板噴出加壓媒體的加壓溫風的功能。該噴出裝置配設在使紅外線放射體配列成交錯狀的600mm×1000mm的裝設體間。該噴出裝置為徑約1至2mm的噴嘴(nozzle)。如此，滯留在上述通風室(plenum)的溫風，在此被整流，然后，通風室(plenum)內的溫風通過上述噴嘴(nozzle)時，溫風被加壓，以加壓溫風噴向基板。
溫風循環(huán)路22包括溫風再供給路28、大氣空氣供給路30、和溫風排出路32。搬送路在各干燥處理室，具有溫風再供給用開口29和溫風排出用開口33，溫風再供給用開口29吸入溫風以使溫風循環(huán)，溫風排出用開口33吸入溫風以便使溫風排出大氣。然而，干燥處理室的溫度超出所定溫度以上時，干燥處理室的溫風從溫風排出路32由排氣送風機(blower)34向大氣排出的同時，大氣的空氣從大氣供給路30經(jīng)過濾用介質(filter)去除埃塵等，在風道加熱器(ductheater)36調節(jié)至所定溫度，以溫風循環(huán)用送風機(blower)38再次導入溫風供給路28內。在此，在風道加熱器(duct heater)被加熱的空氣由設在溫風供給路28的吸氣瓣40吸引導入溫風供給路28內。
在該圖，各干燥室具有一溫風再供給開口29，為使溫風循環(huán)而吸入溫風，與兩個溫風排出用開口33。然而，從各干燥室所設的兩個溫風循環(huán)路用開口33吸入的溫風經(jīng)各干燥室所設的溫風排出路32向大氣排出。一方面，從各干燥處理室所設的一個溫風循環(huán)路用開口29吸入的溫風經(jīng)共設于鄰接干燥處理室的溫風循環(huán)路28導入上述通風室(plenum)12。一方面，干燥室內的溫風的溫度，達到所定溫度以上時，啟開設在溫風排出路32的排出口的開關瓣42，使干燥室內的溫風向大氣排出。
在此，圖3為表示印刷基板表面的長軸方向的溫度分布。在該圖，印刷基板表面的溫度分布，除入口側和出口側的兩側外，爐內的長軸方向內部的溫度分布大概在80～90℃。在該圖，溫度分布的測定在爐的寬度方向以所定間隔的左側，中央和右側設置三支溫度感應器(sensor)加以測定。為使印刷基板表面的溫度分布大概設定在均一的80～90℃起見，從上述噴嘴(nozzle)噴出大概與印刷基板的表面溫度相等的溫風；約80～90℃的溫風。
獲得該圖的溫度分布的遠紅外線干燥裝置內的條件如下。使用在聚碳酸酯(polycarbonate)制基板涂布銀糊漿(paste)的印刷基板。遠紅外線放射爐使用連續(xù)配置的兩個小室(booth)，第一小室(booth)及第二小室(booth)的各遠紅外線放射體的干面溫度350℃、各爐內溫度55℃、65℃、各放射距離90mm、放射時間40秒。噴出溫風瓦斯溫度約80℃。
上述的條件因被干燥物體而異，但，要使被干燥物體的光阻油墨(resist ink)、涂料、糊漿(paste)中的溶劑在其表面硬化前向大氣中去除，必要使被干燥物體的溫度在約180℃以下。因此，如上所述，噴出大概等于印刷基板表面溫度的溫風，噴出的溫度由溫度感應器(sensor)檢知。檢出的結果，比所定溫度低時，以上述加熱器(heater)使供給溫度升溫，一方面噴出溫度比所定溫度高時，上述加熱器(heater)的加熱溫度被控制成低溫。
圖4和圖5，各表示通風室(plenum)和加壓媒體噴出裝置的其它的構成圖。在該圖，通風室(plenum)12是一直方體室(chamber)，在底面的內側鋪設有多數(shù)微細孔的鋼板加以構成。通風室(plenum)12的側面設置吸入循環(huán)溫風的溫風吸入風道(duct)45。然而，遠紅外線放射體16設置在底面所裝設的框體46。裝設框體46為吊裝遠紅外線放射體16，在其內部配設吊裝用板48。裝設框體46呈臺形形狀，以所定間隔設置在上述底面。鄰接的裝設框體的間隔約為2mm，由此，噴嘴(nozzle)以約2mm開口，加以形成。然而在鄰接的裝設框體之間，配設加壓媒體噴出裝置14的噴嘴，固定在上述裝設框體。噴嘴(nozzle)的上面與上述鋼板的微細孔連通，通風室(plenum)的溫風經(jīng)該噴嘴(nozzle)的開口，向干燥處理室18噴出。
上述搬送裝置24由設在搬送路兩側的一對鏈鎖(chain)所構成。鏈鎖(chain)的寬度對應印刷基板的寬度，由寬度可變機構(未圖標)可加以變化，然而，印刷基板由配設成上下一對的鏈鎖(chain)夾持搬送往上述爐的長軸方向。據(jù)由使用此搬送裝置，可防止熱對印刷基板引起的曲折等，又上述搬送裝置如以下記載的圖6所示，據(jù)由配設在網(wǎng)帶(mesh belt)52兩端的轉筒(roller)回轉驅動，成為向長軸方向回轉的構成。被干燥物載置于上述網(wǎng)帶(mesh belt)之上，載置成當遠紅外線放射時，其所排出的溶劑等，能經(jīng)網(wǎng)孔(mesh)吸入排氣用箱體54內。
圖6為表示溫風循環(huán)路的其它構成的概略圖，在該圖，上述的通風室(plenum)12以獨立配設兩個。然而排氣用箱體54配置于網(wǎng)帶(mesh belt)52的直下方。排氣用箱體，在干燥物出入該干燥裝置的搬運路的入口前方和出口后方，及二個在該干燥裝置內，配設各獨立的箱體54、56、58、60，且箱體上面具有多數(shù)的細孔62。在入口前方的該箱體54和出口后方的該箱體60的下面各具有前方及后方吸入口64。又，配設于干燥裝置內的二個該箱體，在其下面具有第一排氣用吸入口66和第一循環(huán)用吸入口68，以及第二排氣用吸入口70和第二循環(huán)用吸入口72。即從搬送路的前方順序配置前方空氣吸入口64、第一排氣用吸入口66、第一循環(huán)用吸入口68、第二排氣用吸入口70、第二循環(huán)用吸入口72、后方空氣用吸入口64。
依照上述的構成，印刷基板等的被干燥物載置于搬送裝置的網(wǎng)帶(mesh belt)上時，載置于前方空氣吸入口64上的印刷板被吸引而固定于網(wǎng)帶(mesh belt)上。一方面，在未載置印刷基板的前方空氣吸入口64上處的大氣空氣和上述從第一排氣用吸入口66取進的干燥處理室內的溫風由各個的排出路32所設置的排氣送風機(blower)34，經(jīng)裝設于該干燥裝置的外部的排氣通路向大氣排出。同樣，在未載置印刷基板的前方空氣吸入口64上處的大氣空氣和從第二排氣用吸入口70取進的干燥處理室內的溫風是由各個的排出路所設置的循環(huán)送風機(blower)34，經(jīng)裝設于該干燥裝置的外部的排氣通路向大氣排出。又，從第一循環(huán)用吸入口68及由第二循環(huán)用吸入口72取進的溫風經(jīng)各個的溫風供給路28導入該干燥裝置的各個通風室(plenum)12。在此，溫風供給路具有大氣空氣吸入口30，配設風道加熱器(duct heater)36，在干燥處理室的溫度上升到所定溫度以上時，從大氣導入空氣，然后經(jīng)加溫導入通風室(plenum)。
再者，圖7為干燥裝置構成體的構成圖，在該圖，干燥裝置構成體80具有遠紅外線干燥裝置10、10和紫外線照射裝置90。然而，遠紅外線干燥裝置10、在10處理的印刷基板，進入紫外線照射裝置90。進入紫外線照射裝置90以前的印刷基板的溫度以約180℃～約250℃為宜。遠紅外線放射裝可由一小室(booth)構成也可由多的小室(booth)構成，最好的構成連續(xù)配置二至三小室(booth)。在此，從紫外線照射裝置的紫外線照射量為200mJ/cm2以上，以300mJ/cm2～800mJ/cm2為宜。
依照關于本明的遠紅外線干燥裝置、干燥裝置構成體及干燥方法，可據(jù)由使遠紅外線對涂布在印刷基板的光阻油墨(resist ink)放射的狀態(tài)，從其表面，使光阻油墨(resist ink)中的溶劑迅速向大氣排出，而能在印刷基板的后續(xù)工藝進行的微影(lighography)工藝，防止發(fā)生微細配線圖案(pattern)的斷線。
權利要求
1.一種遠紅外線干燥裝置，其特征是，該裝置包括一遠紅外線放射體，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線；一放射時間可變裝置使遠紅外線在所定的時間放射；一距離可變裝置使該遠紅外線放射體和被干燥物體的距離成為可變；一溫度調節(jié)裝置調節(jié)干燥處理室內溫度；以及一加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使該被干燥物體溫度在約180℃以下。
2.一種遠紅外線干燥裝置，其特征是，該裝置包括一遠紅外線放射體是從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線一放射時間可變裝置，使遠紅外線在所定的時間放射；一距離可變裝置，使該遠紅外線放射體和被干燥物體的距離成為可變；一溫度調節(jié)裝置調節(jié)干燥處理室內溫度；一加壓媒體噴出裝置向該基板噴出加壓媒體，以使該被干燥物體溫度在約180℃以下；以及一搬送裝置夾持該被干燥物體基板的兩端，以便搬送該基板。
3.一種遠紅外線干燥裝置，其特征是，該裝置包括一遠紅外線放射體，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線；一加壓媒體噴出裝置，向該基體噴出加壓媒體，以使該被干燥物體溫度在約180℃以下；一溫風循環(huán)路，使干燥處理室內的溫風再度循環(huán)至處理室；一排氣路，使干燥處理室內的溫風向大氣排出；一搬送裝置，搬送該被干燥物體基板，該搬送裝置具有一網(wǎng)帶(mesh belt)，其載置于該搬運裝置能吸入遠紅外線向被干燥物體放射時所排出的溶劑等；多個的媒體吸入箱體，在上面具有多數(shù)的細孔，該等箱體具備一大氣吸入用箱體配設在干燥處理室外和，一溫風吸入用箱體配設在干燥處理室內。
4.如權利要求1、2或3所述的遠紅外線干燥裝置，其特征是，該加壓媒體噴出置系具有多個個的細縫(slit)孔噴嘴(nozzle)者。
5.如權利要求4所述的遠紅外線干燥裝置，其特征是，該加壓媒體噴出裝置從多個的細縫(slit)孔噴嘴噴出與該被干燥物體基板的表面溫度大略相等的溫風。
6.一種干燥裝置構成體，其特征是，該構成體包括一遠紅外線干燥裝置，包含一遠紅外線放射體，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線；一放射時間可變裝置，使遠紅外線在所定的時間放射；一距離可變裝置，使該遠紅外線放射體和被干燥物的距離成為可變；一溫度調節(jié)裝置，調節(jié)干燥處理室內溫度；一加壓媒體噴出裝置，向該基板噴出加壓媒體，以使該干燥物體溫度在約180℃以下；以及一紫外線照射裝置，在該遠紅外線對該被干燥物體基板放射后，以紫外線照射涂布在該被干燥物體基板的材料。
7.一種干燥裝置構成體，其特征是，該構成體包括一遠紅外線干燥裝置，包括一遠紅外線放射體，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線；一放射時間可變裝置，使遠紅外線在所定時間放射；一距離可變裝置，使該遠紅外線放射體和被干燥物體基板的距離成為可變；一溫度調節(jié)裝置，調節(jié)干燥處理室內溫度；一加壓媒體噴出裝置，向該基板噴出加壓媒體，以使該干燥干燥物體溫度在約180℃以下；一紫外線照射裝置，在該遠紅外線向該被干燥物體基板放射后，以紫外線照射涂布在該被干燥物體基板的材料；以及一搬送裝置，夾持該被干燥物體的兩端，以搬送該基板。
8.如權利要求6或7所述的干燥裝置構成體，其特征是，該紫外線照射裝置對從該遠紅外線干燥裝置搬送的約180℃～約250℃的被干燥物體照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線。
9.一種干燥方法，其特征是，該方法包括一遠紅外線放射工藝，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝；以及一加壓媒體噴出工藝，為使該被干燥物體溫度在約180℃以下，向該被干燥物體噴出加壓媒體的工藝。
10.一種干燥方法，其特征是，該方法包括一遠紅外線放射工藝，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝；一加壓媒體噴出工藝，為使該被干燥物體溫度在約180℃以下，向該被干燥物體噴出加壓媒體的工藝；以及一紫外線照射工藝，在該遠紅外線對該被干燥物體基板放射后，向涂布在該被干燥物體的材料照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線的工藝。
11.一種干燥方法，其特征是，該方法包括一遠紅外線放射工藝，從具有金屬表面的遠紅外線放射層放射出相當于涂布在被干燥物體基板的材料具有的最大吸光度的波長約3～約6μ的遠紅外線的工藝；一加壓媒體噴出工藝，為使該被干燥物體溫度在約180℃以下，向該被干燥物體噴出與該被干燥物體基板的表面溫度大略相等溫度的加壓媒體的工藝；以及一紫外線照射工藝，在該遠紅外線對該被干燥物體基板放射后，向約180℃～約250℃的涂布在該被干燥物體的材料，照射200mJ/cm2以上，最好在300mJ/cm2～800mJ/cm2的紫外線的工藝。
12.一種遠紅外線放射體，其特征是，該放射體包括一框架(housing)由金屬板加以形成；一發(fā)熱體，內藏于該框架(housing)內；一絕緣板，配置于該發(fā)熱體的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)?，且使該發(fā)熱體與框架(housing)絕緣；一壓板，防止該發(fā)熱體的變形；一均熱板，使從發(fā)熱體的熱以均一的傳給該框架(housing)的金屬板；以及一遠紅外線放射層，涂布在該金屬板表面所設的放射遠紅外線。
全文摘要
據(jù)由使遠紅外線對涂布在印刷基板的光阻油墨(resist ink)放射的狀態(tài),可從其表面使光阻油墨(resist ink)中的溶劑迅速向大氣排出,而在印刷基板的后續(xù)工藝進行的微影(lithography)工藝,能防止發(fā)生微細配線圖案(pattern)的斷線。其解決的手段從具有金屬表面的遠紅外線放射層,對印刷基板放射波長約3～約6μ的遠紅外線。并向該基板噴出加壓媒體,以使此被干燥物體的溫度在約180℃以下。
文檔編號G03F7/20GK1374494SQ02106500
公開日2002年10月16日 申請日期2002年3月1日 優(yōu)先權日2001年3月12日
發(fā)明者鈴木昇 申請人:大東制機株式會社