專利名稱：透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法及透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法和透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，尤其涉及用于制造顯示元件保護基板的玻璃板層疊體的制造方法和在顯示元件的保護玻璃的制造工序中使用的玻璃板貼合裝置。
背景技術(shù)：
在電視、筆記本個人電腦、汽車導(dǎo)航、計算器、移動電話、電子記事本、以及PDA (個人數(shù)字助理，Personal Digital Assistant)這些各種電子設(shè)備的顯示裝置中使用液晶顯示器(LCD)、有機EL顯示器(OELD)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、場發(fā)射顯示器(FED)、以及等離子體顯示器(PDP)等顯示元件。于是，為了保護顯示元件，一般與顯示元件相對地設(shè)置保護用的玻璃板制品。該玻璃板制品是將玻璃板加工成適于各顯示裝置的大小和形狀的制品，但為了應(yīng)對市場要求的價格水平，需要高生產(chǎn)效率地加工大量玻璃板制品。于是，在日本特開2009-256125號公報(專利文獻I)中提出了提高玻璃板制品生產(chǎn)效率的方法。具體而言提出了 “一種玻璃板的加工方法，其特征在于，層疊多個素材玻璃板(I),并且利用介于各素材玻璃板(I)間的能夠剝離的固定材料(2 )將各素材玻璃板(I)一體地固定，形成素材玻璃塊(A);將該素材玻璃塊(A)在面方向分割形成小面積的分割玻璃塊(B );至少加工該分割玻璃塊(B )的外周形成俯視制品形狀的制品玻璃塊(C);對該制品玻璃塊(C)端面加工后，將該制品玻璃塊(C)各自分離開”(權(quán)利要求I)。由此記載了“在層疊了多個素材玻璃板狀態(tài)下進行分割、外形加工、以及端面加工，因此能夠以少的工序獲得多個玻璃板制品，生產(chǎn)率高”(段落0007)。另外，在專利文獻I中記載了“介于各素材玻璃板(I)間的固定材料(2)是照射紫外線時固化且升溫時固化狀態(tài)軟化的光固化性液狀固定材料”(權(quán)利要求4)。由此記載了“如果使光固化性液狀固定劑介于上下素材玻璃板間并在上下方向加壓，則該液狀固定劑在上下素材玻璃板間整面且均等厚度地擴展成膜狀，如果在該狀態(tài)下照射紅外線，則擴展成上述膜狀的液狀固定劑固化并將上下各玻璃板一體地固定。因此，能夠迅速且高精度地層疊多個素材玻璃板并將其一體地固定。另外，在最終加工(端面加工)后，如果將制品玻璃塊收納在熱水等中升溫，則各玻璃板間固化的固定劑軟化，成為膜狀而分離。因此，可不發(fā)生環(huán)境污染地容易地回收和處理固定劑?！?段落0007)。在專利文獻I的“具體實施方式

”欄中記載了，一邊使光固化性的液狀固定劑夾設(shè)在各素材玻璃板間，一邊層疊20塊素材玻璃板，接著，從層疊好的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)使固定劑固化，形成一體地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃塊(段落0010 0011)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻
專利文獻I :日本特開2009-256125號公報

發(fā)明內(nèi)容
利用專利文獻I中記載的玻璃板的加工方法，能夠以高生產(chǎn)效率制造規(guī)定形狀的玻璃板制品。但是，電子設(shè)備有時要求在玻璃板上形成需要的印刷圖案(例如，移動電話顯示畫面的設(shè)計)，在這樣的情況下對于印刷的圖案要求高位置精度(例如，容許誤差為10 3011111左右)。在專利文獻I中記載的方法中，一邊使光固化性的液狀固定劑夾設(shè)在各素材玻璃板間，一邊層疊20塊素材玻璃板，接著，從層疊好的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)使固定劑固化，形成一體地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃塊。但是，按這樣的步驟層疊素材玻璃板時固定劑沒有固化，玻璃面彼此容易產(chǎn)生微妙的位置偏離，因此，不適合高精度的位置對合。即，采用專利文獻I中記載的方法難以獲得高位置精度。
另外，在專利文獻I中雖然公開了貼合玻璃的方法的發(fā)明，但對于實現(xiàn)其的裝置沒有記載。為了工業(yè)上批量生產(chǎn)，期望提供能夠貼合玻璃的裝置。于是，本發(fā)明的課題在于提供能夠?qū)崿F(xiàn)提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法。另外，本發(fā)明的另一課題在于提供利用了該透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的板狀制品制造方法。另外，本發(fā)明的另一課題還在于提供既提高板狀制品的生產(chǎn)效率又有助于提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置。為了解決上述課題本發(fā)明人進行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在以規(guī)定的位置關(guān)系夾設(shè)光固化性固定劑來貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時，有效的是每次貼合透光性硬質(zhì)基板時使夾在兩透光性硬質(zhì)基板間擴展的固定劑整體固化。通過每次貼合透光性硬質(zhì)基板時將固定劑固化，透光性硬質(zhì)基板彼此被牢固地粘接，因此，即使增加層疊塊數(shù)也無需擔心引發(fā)位置偏離。另外發(fā)現(xiàn)，通過采用以下構(gòu)成，能夠使透光性硬質(zhì)基板層疊體的構(gòu)成塊數(shù)高效地增加。所述構(gòu)成是使完成了貼合的透光性硬質(zhì)基板層疊體在上方待用，從下方提供接著層疊的透光性硬質(zhì)基板，從下方向下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板照射光。將以上看法作為基礎(chǔ)完成的本發(fā)明在一方面是一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括I)準備第一透光性硬質(zhì)基板的工序，2)準備第二透光性硬質(zhì)基板的工序，3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的工序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的工序，5) —邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓力來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的工序，6)—邊施加規(guī)定的壓力一邊照射用于將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑整體固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，7)將上述透光性硬質(zhì)基板層疊體當作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次工序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的一個實施方式中，工序6)是通過向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光來進行的。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的一個實施方式中，可以在工序5)與工序6)之間進一步包括5’ )對被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的整體或者一部分照射低于工序
6)能量的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個實施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于位置對合的標記，工序4)包括邊利用攝像裝置對其拍攝邊進行位
置調(diào)整。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個實施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的一個功能的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另一個實施方式中，上述固定劑含有粒狀物質(zhì)。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另一個實施方式中，通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定,光的照射量為30mJ/cm2 4000mJ/cm2的范圍。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另一個實施方式中，透光性硬質(zhì)基板為玻璃板。本發(fā)明在另一方面是一種板狀制品的制造方法，包括8)將采用上述透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向分割，形成分割成所需數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，9)分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行需要的形狀加工的工序，10)通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行加熱來剝離被貼合的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個板狀制品的工序。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的一個實施方式中，在工序8)和工序9)之間進一步包括以下工序，即在為了使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的另一個實施方式中，剝離劑含有選自溶劑、氧化劑、以及表面活性劑中的一種或者二種以上。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的一種或者二種以上。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性劑。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑含有芐醇。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑含有陰離子系表面活性劑。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑含有磺酸型表面活性劑。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另一個實施方式中，剝離劑的液溫為20°C 40°C，與剝離劑接觸的時間為I 20分鐘。本發(fā)明在再另一方面是一種透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，具備具有用于真空吸附上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的吸引孔、用于保持上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的上側(cè)載物臺，能夠使上側(cè)載物臺沿Z軸方向移動的加壓單元，對上述吸弓丨孔提供吸引力的吸引單元，用于保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下側(cè)載物臺，使下側(cè)載物臺沿X軸方向、Y軸方向以及0軸方向移動的機構(gòu)，
用于在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下表面和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的上表面中的任一表面或者兩表面上涂布光固化性固定劑的機構(gòu)，以及用于從下方向下側(cè)透光性硬質(zhì)基板整面照射光的光照射部。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的一個實施方式中，進一步具備對設(shè)在上偵_下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板表面的對準標記進行拍攝的攝像單元，基于拍攝結(jié)果檢測設(shè)在上側(cè)和下側(cè)表面的對準標記的位置偏離程度的圖像處理單元，和基于檢測到的位置偏離程度控制上述下側(cè)載物臺移動機構(gòu)的控制單元。利用攝像單元對透光性硬質(zhì)基板彼此的位置關(guān)系進行微調(diào)整，由此能夠以更高的位置精度層疊基板。因此，在對透光性硬質(zhì)基板表面附有印刷圖案、鍍覆圖案等需要高位置精度的情況下，也能夠應(yīng)對。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的另一實施方式中，保持在上側(cè)載物臺和/或下側(cè)載物臺的透光性硬質(zhì)基板是2塊以上透光性硬質(zhì)基板的層疊體。將本發(fā)明中貼合的上側(cè)和/或下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板設(shè)為由2塊以上透光性硬質(zhì)基板形成的層疊體，由此能夠制造3塊以上的基板層疊體。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另一實施方式中，用于涂布固定劑的機構(gòu)涂布含有粒狀物質(zhì)的固定劑。固定劑含有粒狀物質(zhì)，由此能夠使固定劑的厚度一定，因此加工精度提高。另外，利用固定劑成分與粒狀物質(zhì)線膨脹系數(shù)的不同，以后剝離時的剝離性也提高。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另一實施方式中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。根據(jù)本發(fā)明，能夠以高位置精度制造透光性硬質(zhì)基板層疊體。由此，能夠以高尺寸精度在工業(yè)上制造板狀制品。本發(fā)明能夠很好地用于例如批量生產(chǎn)顯示元件的保護玻璃的方法。


圖I是表示能夠用于實施本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第一例的模式圖。圖2是表示上側(cè)載物臺下表面的例子的模式圖。圖3是表示在下側(cè)載物臺上載置第一塊基板的狀態(tài)的圖。圖4是表示將載置在下側(cè)載物臺上的第一塊基板運送到上側(cè)載物臺的正下方的狀態(tài)的圖。圖5是表示使上側(cè)載物臺下降真空吸附第一塊基板的狀態(tài)的圖。
圖6是表示一邊保持吸附的第一塊基板一邊使上側(cè)載物臺上升的狀態(tài)的圖。圖7是表示在下側(cè)載物臺載置第二塊基板的狀態(tài)的圖。圖8是表示在第二塊基板的上表面涂布固定劑的狀態(tài)的圖。圖9是表示將載置在下側(cè)載物臺的第二塊基板運送到上側(cè)載物臺的正下方、利用照相機拍攝兩基板的表面附有的對準標記的狀態(tài)的圖。圖10是表示在保持在上側(cè)載物臺的第一塊基板的下表面涂布固定劑的狀態(tài)的圖。
圖11是表示使上側(cè)載物臺下降來貼合二塊基板，從下方進行UV照射的狀態(tài)的圖。圖12是顯示在UV照射后使上側(cè)載物臺上升的狀態(tài)的圖。圖13是表示利用下側(cè)載物臺運送被貼合的基板并返回到原始位置的狀態(tài)的圖。圖14是表示在端面加工基板層疊體時固定劑成為障礙而使基板沒有受到磨邊的狀態(tài)的模式圖。圖15是表示在端面加工基板層疊體時通過使固定劑外緣的露出部分的粘合力降低來使各基板接受磨邊的狀態(tài)的模式圖。
具體實施例方式<第一的實施方式>在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的第一實施方式中，實行I)準備第一透光性硬質(zhì)基板的工序，2)準備第二透光性硬質(zhì)基板的工序，3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的工序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的工序，5) —邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓力來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的工序，6)—邊維持上述壓力，一邊照射用于將夾在兩透光性硬質(zhì)基板間擴展的固定劑整體固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，7)將上述透光性硬質(zhì)基板層疊體當作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次工序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。在工序(I)和工序(2)中，準備作為加工對象的透光性硬質(zhì)基板。作為透光性硬質(zhì)基板，沒有特別限制，可以舉出玻璃板(素材玻璃板、帶透明導(dǎo)電膜的玻璃基板、形成有電極或電路的玻璃基板等)、藍寶石基板、石英基板、塑料基板、氟化鎂基板等。作為玻璃，也可以舉出強化玻璃。對透光性硬質(zhì)基板的大小沒有特別限制，但典型而言，具有10000 250000mm2左右的面積，具有0. I 2_左右的厚度。一般各透光性硬質(zhì)基板是相同的尺寸。沒有限定，但可以在各透光性硬質(zhì)基板的表面賦予用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定印刷圖案、鍍覆圖案。作為印刷圖案的例子，可以舉出移動電話顯示畫面的設(shè)計，作為鍍覆圖案的例子，可以舉出實施了鍍鉻圖案的旋轉(zhuǎn)編碼器。在工序(3)中，在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑。光固化性固定劑是通過照射紫外線等光而固化且在高溫加熱則軟化的固定劑，已知各種固定劑。作為在本發(fā)明中使用的光固化性固定劑，能夠使用公知的任意光固化性固定劑，沒有特別限制。光固化性固定劑可以涂布在任一個透光性硬質(zhì)基板的貼合面上，但從提高粘接性的觀點考慮，優(yōu)選在兩個透光性硬質(zhì)基板的貼合面上涂布。作為優(yōu)選在本發(fā)明中使用的光固化性固定劑，例如可以舉出在W02008/018252中記載的含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯、以及(C)光聚合引發(fā)劑的粘接性組合物。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，能夠使用低聚物/聚合物末端或者側(cè)鏈被(甲基)丙烯?；?個以上的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物、具有2個以上(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯單體。例如，作為多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可以舉出1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本曹達公司制的“TE-2000”、“TEA-1000”)、其氫化物(例如，日本曹達公司制的“TEAI-1000”)、1，4-聚丁二烯末端氨基 甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有機化學(xué)公司制的“BAC-45”)、聚異戊二烯末端(甲基)丙烯酸酯、聚酯系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化學(xué)公司制的“UV-2000B”、“UV-3000B”、“UV-7000B”、根上工業(yè)公司制的“KHP-11”、“KHP-17”)、聚醚系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化學(xué)公司制的“UV-3700B”、“UV-6100B”)、或者雙酚A型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。作為2官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以舉出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4- 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二環(huán)戊基二(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2- 丁基-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、或者2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基四乙氧基苯基)丙烷等。作為3官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]異氰脲酸酯等。作為4官能以上的(甲基)丙烯酸酯單體，可以舉出二羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、或者二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、甲氧基化環(huán)癸三烯(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、己內(nèi)酯改性四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸N，N- 二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N- 二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧羰基甲酯、苯酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、苯酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、苯酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、對枯基苯酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧乙烷8摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧丙烷2. 5摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性鄰苯二甲酸(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、羧基-聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸單羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚物、^ -(甲基)丙烯酰氧基乙基氫琥珀酸酯、n-(甲基)丙烯酰 氧基烷基六氫鄰苯二甲酰亞胺、2- (1，2-環(huán)己二甲酰亞胺)乙基(甲基)丙烯酸酯、乙氧 基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸芐酯等。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯與(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的配合比，優(yōu)選為
(A): (B) = 5:95 95:5 (質(zhì)量份)。如果5質(zhì)量份以上，則也沒有初期粘接性降低的可能，如果95質(zhì)量份以下，則能夠確保剝離性。已固化的固定劑通過在溫水中浸潰而剝離成膜狀。(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的含量進一步優(yōu)選在(A)和(B)的合計量100質(zhì)量份中為40 80質(zhì)量份。(C)光聚合引發(fā)劑是為了利用可見光線、紫外線的活性光線使其敏化來促進樹脂組合物的光固化而配合的，可以使用公知的各種光聚合引發(fā)劑。具體地可以舉出二苯甲酮或者其衍生物；苯偶?；蛘咂溲苌?；蒽醌或者其衍生物；苯偶姻；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻異丁基醚、安息香二甲醚等苯偶姻衍生物；二乙氧基苯乙酮、4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物；2_ 二甲基氨基乙基苯甲酸酯；對二甲基氨基乙基苯甲酸酯；二苯基二硫化物；噻噸酮或者其衍生物；樟腦醌；7，7- 二甲基-2，3- 二氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-羧酸、7，7- 二甲基-2，3- 二氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-羧基-2-溴乙基酯、7，7- 二甲基-2，3- 二氧代雙環(huán)[2. 2. I ]庚燒-I-羧基-2-甲基酯、7，7- 二甲基-2，3- 二氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-酰氯等樟腦醌衍生物；2-甲基-I- [4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-I-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-I- (4-嗎啉基苯基)-丁酮-I等a-氨基烷基苯酮衍生物；苯甲?；交趸?、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、苯甲?；已趸趸?、2，4，6-三甲基苯甲?；籽趸交趸?、2，4，6-三甲基苯甲酰基二乙氧基苯基氧化勝等酸基氧化勝衍生物、輕基_苯基_乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸氧基_乙氧基]_乙酯和/或輕基_苯基_乙酸2- [2-輕基-乙氧基]-乙酯等。光聚合引發(fā)劑能夠使用I種或者將2種以上組合使用。在它們之中，從效果大的方面考慮，優(yōu)選選自I安息香二甲醚、羥基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酰氧基-乙氧基]-乙酯以及羥基-苯基-乙酸2- [2-羥基-乙氧基]-乙酯中的I種或者2種以上。(C)光聚合引發(fā)劑的含量優(yōu)選相對于(A)和(B)的合計100質(zhì)量份為0. I 20質(zhì)量份，更優(yōu)選為0. 5 10質(zhì)量份。如果為0. I質(zhì)量份以上，則可靠地獲得固化促進效果，如果20質(zhì)量份以下，則能夠獲得充分的固化速度。添加I質(zhì)量份以上(C)成分可以不依賴于光照射量地固化，進而組合物固化體的交聯(lián)度變高，從在切削加工時不產(chǎn)生位置偏離等方面、從剝離性提高方面考慮，進一步優(yōu)選添加I質(zhì)量份以上(C)成分。光固化性固定劑優(yōu)選含有在固定劑的成分(A)、(B)以及(C)中不溶解的粒狀物質(zhì)(D)0由此，固化后的組合物能夠保持一定的厚度，因此加工精度提高。進而，由于粘接性組合物的固化體與粒狀物質(zhì)(D)的線膨脹系數(shù)不同，所以在利用上述粘接劑組合物貼合透光性硬質(zhì)基板后剝離時剝離性提高。
作為粒狀物質(zhì)(D)的材質(zhì)，一般使用的有機粒子、或者無機粒子均可。具體而言，作為有機粒子，可以舉出聚乙烯粒子、聚丙烯粒子、交聯(lián)聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯(lián)聚苯乙烯粒子等。作為無機粒子，可以舉出玻璃、二氧化硅、氧化鋁、鈦等陶瓷粒子。從加工精度提高、即控制粘接劑的膜厚的觀點考慮，粒狀物質(zhì)(D)優(yōu)選為球狀。粒狀物質(zhì)(D)基于激光法的平均粒徑優(yōu)選在20 200iim的范圍。如果上述粒狀物質(zhì)的平均粒徑低于20 iim，則剝離性較差，如果為200 iim以上，則在加工預(yù)固定的部件時容易產(chǎn)生偏離，在尺寸精度面較差。從剝離性和尺寸精度的觀點考慮，更優(yōu)選的平均粒徑(D50)為35 ii m 150 u m,進一步優(yōu)選為50 y m 120 u m。粒徑分布利用激光衍射式粒度分布測定裝置進行測定。從粘接性、加工精度、剝離性的觀點考慮，粒狀物質(zhì)(D)的用量優(yōu)選相對于(A)和 (B)的合計量100質(zhì)量份為0. I 20質(zhì)量份，更優(yōu)選為0. 2 10質(zhì)量份，最優(yōu)選為0. 2 6質(zhì)量份。在光固化性固定劑中能夠添加用于提高貯藏穩(wěn)定性的阻聚劑(E)。作為阻聚劑，可以舉出甲基氫醌、氫醌、2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、鄰苯二酚、氫醌單甲基醚、單叔丁基氫醌、2，5-二叔丁基氫醌、對苯醌、2，5-二苯基-對苯醌、2，5-二叔丁基-對苯醌、苦味酸、檸檬酸、吩噻嗪、叔丁基鄰苯二酚、2-丁基-4-羥基苯甲醚以及2，6-二叔丁基對甲酚等。阻聚劑(E)的用量優(yōu)選相對于(A)和(B)的合計量100質(zhì)量份為0. 001 3質(zhì)量份，更優(yōu)選為0. 01 2質(zhì)量份。如果為0. 001質(zhì)量份以上，則可確保貯藏穩(wěn)定性，如果為3質(zhì)量份以下，則獲得良好的粘接性，也不會未固化。

在工序(4)中，利用預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置。一般地在面方向使兩透光性硬質(zhì)基板以嚴密重疊的方式對置。作為實施其的機構(gòu)，考慮使用用于約束透光性硬質(zhì)基板的移動方向而使其移動到一定位置的導(dǎo)軌、框架。在要求更高精度的定位時，優(yōu)選利用具有定位機構(gòu)的貼合裝置進行。為了高精度的定位，更優(yōu)選在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對合的標記，使用可以一邊利用攝像裝置將其拍攝一邊進行位置調(diào)整的貼合裝置。如果在貼合兩透光性硬質(zhì)基板后進行位置偏離的修正，則有可能固定劑從貼合面漏出、或在基板表面有傷痕，因此，位置偏離修正優(yōu)選在貼合前實行。在工序(5)中，一邊維持工序(4)中規(guī)定的位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓力，以固定劑在貼合面上擴展的方式貼合。從層疊精度的觀點考慮，優(yōu)選固定劑在貼合面上以一定的厚度擴展到整體。如果涂布的固定劑的量過少，則固定劑不擴展到貼合面整體而成為在貼合面上產(chǎn) 生氣泡的原因。如果產(chǎn)生氣泡，則位置精度降低。如果涂布的固定劑的量過多，則固定劑從貼合面的間隙漏出。即使固定劑稍微漏出，也可以拭去，沒有大的問題，但它的量多則浪費固定劑。貼合時的壓力也與固定劑的擴展有關(guān)系。因此，除固定劑的量以外，還優(yōu)選適當?shù)卣{(diào)整貼合壓力。作為實現(xiàn)其的機構(gòu)，考慮使用具備控制貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時的壓力的功能的貼合裝置的方法。貼合時的壓力可以考慮上述進行適當設(shè)定，例如可以為5g/cm2 50g/cm2、典型地可以為 10g/cm2 30g/cm2。
進而，也考慮控制固定劑的厚度本身。作為厚度的控制方法，可以舉出先前所述的在固定劑中混合粒狀物質(zhì)的方法，除此之外考慮使用具備控制貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時的透光性硬質(zhì)基板高度的功能的貼合裝置的方法?？烧J為對于從工序(5 )過渡到工序(6 )存在等待時間的情況、工序(6 )在離開工序
(5)實施位置的位置進行的情況而言，將透光性硬質(zhì)基板在規(guī)定的保管場所保管，或運送到照射裝置。這種情況下，希望防止運送中基板的位置偏離、保管中固定劑的漏出。于是，可以在工序(5)與工序(6)之間實施對夾在兩透光性硬質(zhì)基板間擴展的固定劑的整體或者一部分照射低于工序6)能量的光來形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序5’)。在工序(5’)中，只要控制固定劑的厚度，則壓力可以施加，也可以不施加。為了預(yù)固定所必須的光的能量，與工序(6)所必須的光相比特別地小即可，因此，黑光燈、LED燈等簡便的照明裝置就足夠。由此既能夠照顧到操作者的安全又能提高層疊精度。不僅達到被貼合的透光性硬質(zhì)基板不易弓I起位置偏離這個目的，而且通過在工序(6 )之 前對固定劑的整體或者一部分照射低于工序(6)能量的光從而可抑制固定劑的固化變形。其結(jié)果，也能夠抑制該固定部分的基板變形。預(yù)固定用所照射的光的波長可以根據(jù)使用的固定劑的特性進行適當變更，例如可以照射微波、紅外線、可見光、紫外線、X線、Y線、電子束等。由于使用簡便，具有比較高的能量，所以一般地照射光為紫外線。這樣，在本發(fā)明中，所謂光不僅指可見光也指包含廣泛波長區(qū)域的電磁波(能量線)。預(yù)固定用所照射的光可以為預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板所必須的程度的照射量，利用使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定，一般可以為I 500mJ/cm2，典型地可以為3 300mJ/cm2，更典型地可以為5 200mJ/cm2。作為照射時間，一般為I 120秒，典型而言為2 60秒左右，優(yōu)選為2. 5秒 20秒左右。在工序(6)中，一邊施加規(guī)定的壓力一邊照射用于將夾在兩透光性硬質(zhì)基板間擴展的固定劑整體固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體。能夠通過對固定劑整體照射光來強力地貼合兩透光性硬質(zhì)基板，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)層疊透光性硬質(zhì)基板時防止位置偏離的功能，而且也能夠抑制該部分的基板變形。工序(6)中的壓力可以邊考慮上述邊適宜設(shè)定,例如可以為5g/cm2 50g/cm2,典型而言可以為10g/cm2 30g/cm2。照射光的波長可以根據(jù)使用的固定劑的特性進行適當變更，例如可以照射微波、紅外線、可見光、紫外線、X線、Y線、電子束等。由于使用簡便，具有比較高的能量，所以一般地照射光為紫外線。這樣，在本發(fā)明中，所謂光不僅指可見光也指包含廣泛波長區(qū)域的電磁波(能量線)。照射的光的照射量可利用使用了 365nm光接收器的積算照度計來測定，一般為30 4000mJ/cm2，典型地為100 3000mJ/cm2，更典型地可以為300 2500mJ/cm2，優(yōu)選為1000 2000mJ/cm2。作為照射時間，一般為0. I 120秒，典型而言為I 30秒，更典型為10秒 20秒左右。通過維持著貼合的壓力地實行光照射，可抑制固化變形控制固定劑的厚度，能夠提高透光性硬質(zhì)基板的層疊精度。在工序(7)中，將工序(6)中得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體當作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次工序I) 6)。由此形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層置體。從提聞板狀制品的生廣效率的觀點考慮，優(yōu)選制造層置有10塊以上的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體，典型而言優(yōu)選層疊有10 30塊的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體。由于照射的光被固定劑吸收，因此，如果層疊塊數(shù)變多，則位于離開照射源的層的固定劑變得難以固化。另外，如果無序地決定照射光的方向，則透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的固定劑受到的光的照射經(jīng)歷不均，層間或者同一層內(nèi)的固定劑的固化程度產(chǎn)生變化。這是因為固定劑因光的照射而固化，但隨著光的照射量增加下次逐漸地軟化。這種情況下，有可能由于固化變形的不同，透光性硬質(zhì)基板不以均勻的厚度層疊而以變形的狀態(tài)層疊。于是，優(yōu)選使光對存在于透光性硬質(zhì)基板層疊體層間的固定劑的照射經(jīng)歷均勻化。作為用于減少不均的方法，有經(jīng)常從新貼合的透光性硬質(zhì)基板側(cè)照射光的方法。換言之，在工序(6)中，向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光。在工序(6)中包括通過工序(7)重復(fù)的工序(6)。 通過調(diào)整照射的光的強度，能夠進一步減少不均。例如考慮將照射的光的強度與固定劑厚度的關(guān)系設(shè)定成不透射過存在未固化固定劑的新貼合面的程度。作為具體的條件，可以舉出通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定，光的強度為lOOmW/cm2以下，考慮生產(chǎn)率則為10 100mW/cm2，優(yōu)選為50 100mW/cm2，固定劑的厚度為75 y m以上，從防止透光性硬質(zhì)基板層疊體加工時的尺寸偏離的方面考慮，為75 120 u m,優(yōu)選為75 IlOum0這樣的話，幾乎沒有存在于現(xiàn)有貼合面的固定劑受到進一步照射的情況，存在于全部貼合面的固定劑實質(zhì)上具有相同的照射經(jīng)歷。<板狀制品的制造>能夠由上述采用透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體制造板狀制品。首先，在工序(8)中，在厚度方向分割透光性硬質(zhì)基板層疊體，形成分割為需要數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體。對于分割方法沒有特別限制，可以舉出各自單獨地或者組合地使用圓板切割器(鉆石盤、超硬合金盤)、固定磨粒式或者游離磨粒式鋼絲鋸、激光束、蝕亥IJ (例如利用氫氟酸、硫酸等的化學(xué)蝕刻，電解蝕刻)、以及紅熱帶(鎳鉻合金線)來分割成相同大小的長方體形狀的方法。蝕刻也能夠用于被分割的切斷面的表面處理。接著，在工序(9)中，分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行需要的形狀加工。在該工序中，由于能夠?qū)γ總€被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體一體地加工成目標板狀制品的形狀，因此，具有格外地提高板狀制品的生產(chǎn)速度的優(yōu)點。形狀加工可以利用公知的任意機構(gòu)進行，例如可以舉出利用旋轉(zhuǎn)磨刀石的磨削、利用超聲波震動鉆的開孔、利用旋轉(zhuǎn)刷子的端面加工、利用蝕刻的開孔、利用蝕刻的端面加工、利用蝕刻的外形加工、利用燃燒器的火焰加工等。加工方法能夠各自單獨或者組合地使用。蝕刻也能夠用于形狀加工后的表面處理。在工序(10)中，通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行加熱從而剝離貼合著的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個板狀制品。作為加熱方法，沒有特別限制，但為了使固定劑軟化成膜狀而很好地分離為各板狀制品，優(yōu)選在溫水中浸潰形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體的方法。優(yōu)選的溫水溫度根據(jù)采用的固定劑而不同，但通常為60 95°C左右，優(yōu)選為80 90°C。
在此，工序(8)所分割成的透光性硬質(zhì)基板層疊體的端面通過透光性硬質(zhì)基板31和固定劑32形成平坦的面。如果利用旋轉(zhuǎn)刷子33等加工該端面，則固定劑成為障礙地各透光性硬質(zhì)基板的角部不被磨邊，相反地中心部被削掉很多(圖14)，因此，透光性硬質(zhì)基板的耐沖擊強度不充分。于是，優(yōu)選預(yù)先減弱露出在被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體端面的固定劑外緣的粘合力以使得在端面加工時各透光性硬質(zhì)基板可被磨邊。作為具體的方法，可以舉出以下方法在工序(8)與工序(9)之間，在使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸(例如浸潰、噴霧、涂布等)(圖15)。有必要使粘合力降低的是從外緣向內(nèi)側(cè)Imm以下左右的極其微小的區(qū)域，需要將溫度和時間調(diào)節(jié)到貼合面整體的粘合力不降低的程度。雖然也依賴于使用的剝離劑，但液溫一般為50°C以下，典型而言為20°C 40°C。接觸的時間通常是一般為30分鐘以下，典型而言為I 20分鐘。如果使剝離劑的液溫過高、或使接觸時間過長，則甚至貼合面內(nèi)部變得容易粘合力降低，因此應(yīng)注意。 剝離劑只要是能夠使固定劑的粘合力降低的液體，則沒有特別限制，可以根據(jù)使用的固定劑的特性適當?shù)剡M行選擇，一般含有選自溶劑、氧化劑、以及表面活性劑中的一種或者二種以上。使用溶劑和/或表面活性劑作為剝離劑時，與剝離劑接觸的固定劑由于溶脹而在與基板界面產(chǎn)生變形，因此，粘合力降低。優(yōu)選利用切割器等物理機構(gòu)將溶脹的固定劑切斷(送入切割部)，之后進行干燥。由此，溶脹的固定劑收縮，因此，利用刷子等進行的端面加工變得更加容易。使用氧化劑作為剝離劑時，將固定劑碳化使其脆化，由此粘合力降低。因此，通過在溶劑和/或表面活性劑中進一步并用氧化劑，能夠協(xié)同地使粘合力降低。作為溶劑，無機溶劑、有機溶劑均可，例如可以舉出水、氫氟酸、鹽酸、醇類(例如甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、丁醇、芐醇)、酯類(例如乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸正丙酯、乳酸乙酯、鄰苯二甲酸二甲酯、己二酸二甲酯)、酮類(例如甲基乙基酮(MEK)、甲基異丁基酮(MIBK)、丙酮)、氯系溶劑(例如二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯)、氟系溶劑(例如氫氯氟烴(HCFC)、氫氟碳(HFC))、二元醇醚類(例如乙二醇單甲醚(甲基溶纖劑)、乙二醇單乙醚(乙基溶纖劑)、乙二醇單丁醚(丁基溶纖劑)、丁基卡必醇(butyl carbitol)、乙二醇單叔丁基醚(ETB)、丙二醇單甲醚(PGME)、丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)、3-甲氧基-3-甲基-I-丁醇(MMB)),胺系溶劑(例如N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、二甲基甲酰胺(DMF)、N，N- 二甲基乙酰胺(DMAC))、醚類(例如乙基乙氧基丙酸酯(EEP)、四氫呋喃(THF))、二甲基亞砜(DMS0)。在溶劑中，典型而言，可以使用醇，可以優(yōu)選使用芐醇。作為氧化劑，可以舉出硫酸、硝酸、過氧化氫、過硫酸銨、酰基過氧化物、苯甲?；^氧化物、叔丁基過氧化物、氫過氧化物、臭氧水、高氯酸、次氯酸等。表面活性劑也能夠使用陰離子性表面活性劑、陽離子性表面活性劑、兩性表面活性劑、以及非離子性表面活性劑中的任一個。作為陰離子性表面活性劑，可以舉出羧酸型(例如脂肪酸鹽、聚氧乙烯烷基醚羧酸鹽、N-脂環(huán)基肌氨酸鹽、N-?；劝彼猁})、硫酸酯型(例如烷基硫酸酯鹽、聚氧乙烯烷基醚硫酸鹽、醇乙氧基硫酸酯、油脂硫酸酯鹽)、磺酸型(例如烷基苯磺酸鹽、烷磺酸鹽、a -烯烴磺酸鹽、二烷基磺基琥珀酸、萘磺酸鹽-甲醛縮合物、烷基萘磺酸鹽、N-甲基-N-?；；撬猁})、磷酸酯型(例如烷基磷酸鹽、聚氧乙烯烷基醚磷酸鹽、聚氧乙烯烷基苯基醚磷酸鹽)等。作為陽離子性表面活性劑，可以舉出胺鹽型(例如烷基胺乙酸鹽)、季銨鹽型(例如單烷基銨鹽、二烷基銨鹽、乙氧基化銨鹽)。作為兩性表面活性劑，可以舉出甜菜堿型(例如烷基二甲基氨基乙酸甜菜堿、烷基酸胺丙基甜菜喊、燒基輕基橫基甜菜喊、燒基輕基橫基甜菜喊)、燒基二甲基胺氧化物等。作為非離子性表面活性劑，可以舉出酯型(例如甘油脂肪酸酯、丙二醇脂肪酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、蔗糖脂肪酸酯)、醚型(例如聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚)、醚酯型(例如聚氧乙烯脫水山梨糖醇脂肪酸酯、烷基甘油醚)、烷基鏈烷醇酰胺型(脂肪酸鏈烷醇酰胺、脂肪酸酰胺環(huán)氧烷加成物)、烷基多糖苷。在表面活性劑中，典型而言能夠使用陰離子性表面活性劑，優(yōu)選能夠使用磺酸型的陰離子性表面活性劑。從安全方面、環(huán)境方面的觀點考慮，剝離劑優(yōu)選含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的一種或者二種以上，由于安全方面的理由，更優(yōu)選含有水、醇類、以及表面活性劑三種。這種情況下，優(yōu)選剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性劑，例如以30 40:40 50:10 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性劑。剝離劑也可僅由這三種構(gòu)成。作為一例，以水芐醇磺酸型陰離子性表面活性劑=35:50:15的質(zhì)量比混合制備剝離劑。另外，作為固定劑，使用在后述的實施例中敘述的固定劑(I)，使用本發(fā)明的方法制造由20塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。將該玻璃板層疊體浸潰在35°C的該剝離劑中5分鐘，之后，利用旋轉(zhuǎn)刷子加工端面。通過顯微鏡觀察加工后的端面，結(jié)果各玻璃板的角部被磨邊成圓形。另一方面，不在剝離劑中浸潰地進行端面加工時，各玻璃板的角部沒有被磨邊。同樣地使用本發(fā)明的方法制造由12塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。將該玻璃板層疊體浸潰在35°C的該剝離劑中5分鐘，之后，利用旋轉(zhuǎn)刷子加工端面。通過顯微鏡觀察加工后的端面，結(jié)果各玻璃板的角部被磨邊成圓形。另一方面，不在剝離劑中浸潰地進行端面加工時，各玻璃板的角部沒有被磨邊。<裝置構(gòu)成例>對于本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的例子進行說明。本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置被用于同時實施基板的貼合與粘接。通過將基板進一步貼合在使用本發(fā)明得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體上，能夠制造由多個透光性硬質(zhì)基板構(gòu)成的透光性硬質(zhì)基板層疊體。該透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向分割，能夠形成分割成所需數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體。分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行需要的形狀加工，通過加熱(例溫水浸潰)形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體來將貼合著的透光性硬質(zhì)基板彼此剝離，能夠形成多個板狀制品。貼合的透光性硬質(zhì)基板彼此可以各自是I塊的透光性硬質(zhì)基板，也可以是由2塊以上透光性硬質(zhì)基板形成的層疊體。透光性硬質(zhì)基板的層疊體可以是利用本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置制造的透光性硬質(zhì)基板層疊體。典型而言，希望通過使用本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置來制造層疊有10 30塊左右的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體。
圖I是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第一例的模式圖。透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10具備架臺11、上側(cè)載物臺12、加壓單元13、吸引単元14、吸引孔15、紫外線照射単元16、下側(cè)載物臺17、下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18、側(cè)邊夾19、下側(cè)基板用涂布單元20、上側(cè)基板用涂布單元21、攝像單元22、以及電氣單元23。架臺11是搭載透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的各構(gòu)成設(shè)備的基座部分，在內(nèi)部配置有電氣單兀23。電氣單兀23通過PLC (Programmable Logic Controller)進行各構(gòu)成設(shè)備的程序控制。上側(cè)載物臺12通過真空吸附而保持上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板25。因此，在上側(cè)載物臺12的下表面開有多個吸引孔15，吸引孔15通過配管與吸引単元14連接。圖2是上側(cè)載物臺12下表面的模式圖，示出了吸引孔15的排列例。作為吸引単元14，可使用真空泵、真空噴射器等。 在上側(cè)載物臺12的上部連接有用于對下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24邊擠壓邊貼合上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的加壓單元13。加壓單元13具有能夠使上側(cè)載物臺12沿Z方向移動(垂直方向)的升降活塞(未圖示)，可通過伺服電機控制加壓力、移動速度、加壓時間、高度。下側(cè)載物臺17保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24，并且在加壓時承受來自上側(cè)載物臺12的壓力。下側(cè)載物臺17由紫外線透射性的素材制作，作為素材，例如可以舉出石英玻璃、氟化鎂、氟化鈣、甲基丙烯酸樹脂等透明塑料。下側(cè)載物臺17可以通過下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18沿X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向移動。下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18由可以水平方向旋轉(zhuǎn)的Θ工作臺、可以水平移動的X工作臺以及Y工作臺構(gòu)成。這些工作臺通過電機驅(qū)動。在下側(cè)載物臺17的上表面設(shè)有可以沿X軸方向和Y軸方向移動的電機驅(qū)動的側(cè)邊夾19用于將載置的透光性硬質(zhì)基板定位。下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18配置在不妨礙從下方照射的紫外線的光路的位置。作為側(cè)邊夾19的代替，也可以在下側(cè)載物臺17的上表面設(shè)置用于將透光性硬質(zhì)基板載置到規(guī)定位置的定位制動器。這種情況下，利用制動器以手動方式將透光性硬質(zhì)基板載置在固定透光性硬質(zhì)基板的位置。另外，為了防止透光性硬質(zhì)基板位置偏離，也可以與上側(cè)載物臺12同樣地通過真空吸附來保持下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板24。在下側(cè)載物臺17的下方設(shè)置用于向下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的下表面照射用于固定劑固化的紫外線的紫外線照射単元16。紫外線照射単元16為了均勻地照射被保持在下側(cè)載物臺17的下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24整體而設(shè)置反射板16a。紫外線照射単元16可具備用于抑制固化變形的冷卻機構(gòu)。作為冷卻機構(gòu)，可以舉出冷光鏡、冷濾器(cold filter)、以及冷卻用風扇。紫外線對透光性硬質(zhì)基板的照射時間的控制通過快門的開關(guān)進行。照射的光為使固定劑固化所必須的照射量，通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定，一般為30 4000mJ/cm2,典型而言為100 3000mJ/cm2,更典型地為300 2500mJ/cm2，優(yōu)選為1000 2000mJ/cm2。作為照射時間，一般地為0. I 120秒，典型而言為I 30秒，更典型地為10 20秒左右。下側(cè)基板用涂布單元20具備光固化性固定劑的分配器20a和與其連接的可以在X軸、Y軸以及Z軸方向移動的電機驅(qū)動的自動裝置20b，能夠以任意的圖案在下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的上表面涂布固定劑。固定劑被裝入注射器并自動地定量排出。涂布量通過數(shù)字壓カ計和涂布速度來控制。在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25被保持在上側(cè)載物臺12的狀態(tài)下，上側(cè)基板用涂布單元21向上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的下表面自動地涂布光固化性固定劑。涂布量由壓カ計和涂布時間控制。上側(cè)基板用涂布單元21在上側(cè)和下側(cè)載物臺的側(cè)面具備帶有可以在水平方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的電機驅(qū)動的自動裝置21b，在涂布時前端的旋轉(zhuǎn)噴嘴21a被配置在上側(cè)載物臺12中央附近的下方，從噴嘴21a前端涂布固定劑。涂布完成時，被收納在上側(cè)和下側(cè)載物臺的側(cè)面以使得不成為透光性硬質(zhì)基板貼合的障礙。攝像單元22利用安裝在臂前端部分上下2處的數(shù)碼照相機22a對設(shè)在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24各表面的位置對合用的對準標記進行拍攝。電氣単元23基于拍攝到的圖像信息來檢測上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24相対的位置偏離狀態(tài)?；跈z測結(jié)果，利用下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18將下側(cè)載物臺17的位置在X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向微調(diào)整，實行修正位置偏離的動作。位置偏離修正后進行兩透光性硬質(zhì)基板的貼合。作為照相機，除了將CCD、CM0S用于攝像元件的數(shù)碼照相機以外，也能夠使用模擬相機，但從高分辨率的觀點考慮，優(yōu)選數(shù)碼照相機。 攝像單元22具備利用X軸、Y軸方向的電機驅(qū)動的移動機構(gòu)22b，在攝像時數(shù)碼照相機22a移動到對準標記進入視野的規(guī)定位置。攝像完成時，數(shù)碼照相機22a移動以使得不成為透光性硬質(zhì)基板貼合的障礙。對于使用第一例的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的透光性硬質(zhì)基板的貼合步驟，邊參照圖3 13邊進行說明。首先，將第一塊透光性硬質(zhì)基板26載置在下側(cè)載物臺17上，利用側(cè)邊夾19 (未圖示)固定在規(guī)定位置(圖3)。透光性硬質(zhì)基板26對下側(cè)載物臺17的載置能夠通過手動進行，但也可以將多個透光性硬質(zhì)基板26收納到專用的盒體中并自動地載置在下側(cè)載物臺17上。載置的透光性硬質(zhì)基板26介由下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18 (未圖示)移動到上側(cè)載物臺12的正下方(圖4)。接著，通過加壓單元13使上側(cè)載物臺12下降。由來自吸引孔15(未圖示)的吸引力真空吸附透光性硬質(zhì)基板26 (圖5)。吸附好的透光性硬質(zhì)基板26—邊被保持一邊與上側(cè)載物臺12 —起上升，等待第二塊基板(圖6)。接著，將第二塊透光性硬質(zhì)基板27載置到下側(cè)載物臺17上，利用側(cè)邊夾19(未圖示)固定在規(guī)定位置上(圖7)。以規(guī)定的圖案從下側(cè)基板用涂布單元20在第二塊透光性硬質(zhì)基板27的上表面涂布固定劑28 (圖8)。如果涂布完成后載置在下側(cè)載物臺17的第二塊透光性硬質(zhì)基板27移動到上側(cè)載物臺12的正下方，則利用安裝在攝像單元22臂前端的照相機拍攝對準標記，根據(jù)拍攝結(jié)果微調(diào)整下側(cè)載物臺17的位置，從而進行兩透光性硬質(zhì)基板(26、27)的位置調(diào)整(圖9)。位置調(diào)整后，安裝于上側(cè)基板用涂布單元21臂前端的噴嘴21a移動到被保持在上側(cè)載物臺12的第一塊基板26的中央附近，固定劑29由噴嘴21a涂布在第一塊透光性硬質(zhì)基板26的下表面(圖10)。如果在上側(cè)和下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板(26，27)上涂布固定劑(28，29)后，通過加壓單元13使上側(cè)載物臺12降下來對ニ塊透光性硬質(zhì)基板(26，27)加壓并貼合，則被夾在上側(cè)和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的固定劑(28，29)由于加壓而擴展到透光性硬質(zhì)基板整面。一邊維持加壓狀態(tài)，ー邊由紫外線照射単元16對固定劑照射紫外線(圖11)。由此，固定劑固化來粘接ニ塊透光性硬質(zhì)基板(26，27 )。紫外線照射后解除對上側(cè)基板26的吸附，僅上側(cè)載物臺12上升(圖12)。貼合的透光性硬質(zhì)基板由下側(cè)載物臺17運送，返回到初始的位置(圖13)。通過以上エ序完成透光性硬質(zhì)基板的貼合。實施例作為一例，依照本發(fā)明，利用后述的圖I中記載的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置在下述條件下實施工序(I) (10)(包括エ序(5’))，剝離透光性硬質(zhì)基板層疊體，結(jié)果固定劑軟化成膜狀而很好地分離成各板狀制品。使用下述玻璃板作為透光性硬質(zhì)基板。玻璃板使用I塊尺寸為橫530mmX縱420mmX厚O. 7mm的附有鍍覆圖案的玻璃板。對于光固化性固定劑(I)，混合下述的(A) (E)成分制成光固化性固定劑(I)。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酷，日本合成公司制“UV-3000B”(氨基甲酸酯丙烯酸酷，以下簡稱為“UV-3000B”)20質(zhì)量份、ニ環(huán)戊基ニ丙烯酸酯(日本化藥公司制的“KAYARAD R-684”，以下簡稱為“R-684”)15質(zhì)量份，作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酷，2- (1，2-環(huán)己ニ甲酰亞胺)こ基丙烯酸酯(東亞合成公司制的“ARONIX M-140”，以下簡稱為“M-140”)50質(zhì)量份、苯酚環(huán)氧こ烷2摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司制的“ARONIX M-101A”)15質(zhì)量份，作為(C)光聚合引發(fā)劑，安息香ニ甲醚(BASF公司制的“IRGA⑶RE651”，以下簡稱為“BDK”)8質(zhì)量份，作為(D)粒狀物質(zhì)，平均粒徑為100 μ m的球狀交聯(lián)聚苯こ烯粒子(GANZ化成公司制的“GS-100S”) I質(zhì)量份，作為(E)阻聚劑，2，2_亞甲基-雙(4-甲基-6_叔丁基苯酚)(住友化學(xué)公司制“SUMILIZER MDP-S”，以下簡稱為 “MDP”)O. I 質(zhì)量份在エ序(3)中，在玻璃板的兩貼合面各涂布40g固定劑(I)。在エ序(5)中，貼合時的壓カ為20g/cm2。在エ序(5’)中，利用紫外線照射単元16，使上述光固化性粘接劑固化吋，UV照射量為160mJ/cm2 (通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定)，一邊施加20g/cm2的壓力，ー邊使UV照射時間為2秒，進行預(yù)固定。在エ序(6)中，邊施加20g/cm2的壓カ邊使上述光固化性粘接劑固化吋，UV照射量為2000mJ/cm2 (通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定)，UV照射時間為20秒鐘。在エ序(7)中，使用固定劑(I)作為固定劑使用本發(fā)明的方法制造由12塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。在エ序(8)中，使用圓板切割器(鉆石盤),分割成長方體形狀(橫IOOmmX縱55mmX厚9. 6mm)0在エ序(9)中，依次進行利用旋轉(zhuǎn)磨刀石的磨削、利用超聲波震動鉆的開孔、利用旋轉(zhuǎn)刷子的端面加工，進行形狀加工。在エ序(10)中，將該玻璃板層疊體浸潰在85°C的溫水中剝離。以上，邊參照附圖邊對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但本發(fā)明不限定于這些實施方式，可以進行各種變更。符號說明10透光性硬質(zhì)基板貼合裝置11 架臺12上側(cè)載物臺13加壓單元14吸引單元
15吸引孔16紫外線照射単元17下側(cè)載物臺18下側(cè)載物臺移動機構(gòu)19側(cè)邊夾20下側(cè)基板用涂布單元21上側(cè)基板用涂布單元22攝像單元 23電氣單元24下側(cè)基板25上側(cè)基板31透光性硬質(zhì)基板32固定劑33旋轉(zhuǎn)刷子
權(quán)利要求
1.一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括 1)準備第一透光性硬質(zhì)基板的工序， 2)準備第二透光性硬質(zhì)基板的工序， 3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的工序， 4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的工序， 5)一邊維持所述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓力來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的工序， 6)—邊施加規(guī)定的壓力一邊照射用于將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑整體固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序， 7)將所述透光性硬質(zhì)基板層疊體當作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次工序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，工序6)是通過向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光來進行的。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在工序5)與工序6)之間實施以下工序5’)，即對被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的整體或者一部分照射低于工序6)能量的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于位置對合的標記，工序4)包括邊利用攝像裝置對該標記拍攝邊進行位置調(diào)整。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮透光性硬質(zhì)基板制品的一個功能的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，所述固定劑含有粒狀物質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，工序6)中的光照射量通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進行測定，為30mJ/cm2 4000mJ/cm2 的范圍。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。
9.一種板狀制品的制造方法，包括 8)將采用權(quán)利要求I 8中任一項所述的方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向進行分割，形成分割成所需數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序， 9)分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行所需的形狀加工的工序， 10)通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進行加熱來剝離被貼合的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個板狀制品的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的板狀制品的制造方法，其中，在工序8)和工序9)之間進一步包括以下工序，即在為了使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有選自溶劑、氧化齊U、以及表面活性劑中的一種或者二種以上。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的一種或者二種以上。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性劑。
14.根據(jù)權(quán)利要求10 13中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有芐醇。
15.根據(jù)權(quán)利要求10 14中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有陰離子系表面活性劑。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有磺酸型表面活性劑。
17.根據(jù)權(quán)利要求10 16中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑的液溫為20°C 40°C，與剝離劑接觸的時間為I 20分鐘。
18.—種透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，具備 上側(cè)載物臺，用于保持上側(cè)透光性硬質(zhì)基板，具有用于真空吸附上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的吸引孔， 加壓單元，能夠使上側(cè)載物臺沿Z軸方向移動， 吸引單元，對所述吸引孔提供吸引力， 下側(cè)載物臺，用于保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板， 使下側(cè)載物臺沿X軸方向、Y軸方向以及0軸方向移動的機構(gòu)， 用于在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下表面和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的上表面中的任一表面或者兩表面涂布光固化性固定劑的機構(gòu)，以及 光照射部，用于從下方向下側(cè)透光性硬質(zhì)基板整面照射光。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，進一步具備對設(shè)在上側(cè)和下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板表面的對準標記進行拍攝的攝像單元，基于拍攝結(jié)果檢測設(shè)在上側(cè)和下側(cè)表面的對準標記的位置偏離程度的圖像處理單元，和基于檢測到的位置偏離程度控制所述下側(cè)載物臺移動機構(gòu)的控制單元。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，保持在上側(cè)載物臺和/或下側(cè)載物臺的透光性硬質(zhì)基板是2塊以上透光性硬質(zhì)基板的層疊體。
21.根據(jù)權(quán)利要求18 20中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，用于涂布固定劑的機構(gòu)涂布含有粒狀物質(zhì)的固定劑。
22.根據(jù)權(quán)利要求18 21中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠?qū)崿F(xiàn)提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法。另外，還提供既提高板狀制品的生產(chǎn)效率又有助于提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置。對于本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法和透光性硬質(zhì)基板貼合裝置而言，在以規(guī)定的位置關(guān)系介由光固化性固定劑來貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時，每次貼合透光性硬質(zhì)基板使夾在兩透光性硬質(zhì)基板間擴展的固定劑整體固化。
文檔編號B32B17/10GK102725142SQ2011800066
公開日2012年10月10日 申請日期2011年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月21日
發(fā)明者中島剛介, 宮崎隼人, 栗村啟之 申請人:電氣化學(xué)工業(yè)株式會社