機(jī)械臂的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種機(jī)械臂，尤其涉及一種具備防止由設(shè)置于內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)部產(chǎn)生的微粒(part i c 1 e )向外部流出的防塵機(jī)構(gòu)的機(jī)械臂。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知有搬送基板的基板搬送機(jī)械臂裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
[0003]該基板搬送機(jī)械臂裝置具有:具有沿著垂直方向延伸的開(kāi)口的中空的垂直殼體；容納于垂直殼體的內(nèi)部的垂直軸移動(dòng)機(jī)構(gòu);藉由垂直軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)于垂直方向上往返移動(dòng)的水平殼體;水平殼體的上方的密封膜;以及垂直殼體的下方的密封膜。水平殼體與垂直軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，且具有貫通開(kāi)口的中空支柱。而且，上方的密封膜的固定端固定于支持體并利用游動(dòng)滑車折返，且經(jīng)由固定滑輪結(jié)合于中空支柱的上端面。又，下方的密封膜的固定端固定于支持體并利用游動(dòng)滑車折返，且經(jīng)由固定滑輪結(jié)合于中空支柱的下端面。另外，上方的密封膜的游動(dòng)滑車與下方的密封膜的游動(dòng)滑車，以對(duì)上方的密封膜與下方的密封膜施加一定張力的形式連接。藉此，無(wú)論水平殼體因垂直軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)受到驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)至垂直行程內(nèi)的哪一個(gè)位置，垂直殼體的開(kāi)口均能夠保持總是由中空支柱、上方的密封膜及下方的密封膜覆蓋的狀態(tài)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平10-157847號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]發(fā)明要解決的問(wèn)題:
專利文獻(xiàn)1所記載的基板搬送機(jī)械臂裝置中由密封膜覆蓋垂直殼體的開(kāi)口，因此具有一定的防塵效果。然而，該防塵效果尚不充分。又，殼體的外部空間的氣體中含有腐蝕性氣體時(shí)，有時(shí)垂直軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)會(huì)因腐蝕性氣體流入至垂直殼體內(nèi)而受到腐蝕，導(dǎo)致基板搬送機(jī)械臂裝置的壽命縮短；
上述問(wèn)題不限于基板搬送機(jī)械臂，是需要具有防塵功能的機(jī)械臂共同的問(wèn)題。
[0006]本發(fā)明是鑒于如上所述的問(wèn)題而成的發(fā)明，其第一目的在于提供一種比現(xiàn)有技術(shù)相更能提高對(duì)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的微粒的防塵效果的機(jī)械臂。
[0007]又，第二目的在于提供一種能夠防止因腐蝕性氣體自外部流入至內(nèi)部而腐蝕驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的機(jī)械臂。
[0008]解決問(wèn)題的手段:
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的某個(gè)形態(tài)的機(jī)械臂具備:形成有沿著某個(gè)方向延伸且于該延伸方向上具有第一端及第二端的開(kāi)口的框體;經(jīng)由所述開(kāi)口而向所述框體的內(nèi)部及外部延伸，在向該框體的外部延伸的部分設(shè)置有機(jī)械手的移動(dòng)體;容納于所述框體，且作用于所述移動(dòng)體的向所述框體內(nèi)部延伸的內(nèi)在部而使所述移動(dòng)體沿著所述開(kāi)口的延伸方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及容納于所述框體內(nèi)部的密封帶;所述密封帶包含內(nèi)側(cè)帶區(qū)間及外側(cè)帶區(qū)間，自所述開(kāi)口的法線方向觀察，所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間及外側(cè)帶區(qū)間以兩側(cè)緣位于所述開(kāi)口的兩側(cè)緣外側(cè)的形式分別沿著該開(kāi)口的延伸方向延伸；于所述框體的內(nèi)部，所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的一端保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，其他部分自所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，沿著所述開(kāi)口而延伸至較所述移動(dòng)體的內(nèi)在部更靠所述第一端的一側(cè)的第一空間位置，自所述第一空間位置起，于中途反轉(zhuǎn)而延伸至較所述移動(dòng)體的內(nèi)在部更靠所述第二端的一側(cè)的第二空間位置為止，且自所述第二空間位置沿著所述開(kāi)口延伸，所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的另一端保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分，并且隨著所述移動(dòng)體的移動(dòng)而旋轉(zhuǎn);所述外側(cè)帶區(qū)間包含:在所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間與所述開(kāi)口之間的第一部分，該第一部分的一端保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，其他部分自所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，沿著所述開(kāi)口而延伸至超越所述第一端的第三空間位置為止，且保持于該第三空間位置；以及在所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間與所述開(kāi)口之間的第二部分，該第二部分的一端保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分，其他部分自所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分，沿著所述開(kāi)口而延伸至超越所述第二端的第四空間位置為止，且保持于該第四空間位置;并且所述外側(cè)帶區(qū)間隨著所述移動(dòng)體的移動(dòng)，所述第一部分的長(zhǎng)度及所述第二部分的長(zhǎng)度以一方增加另一方的減少量的形式發(fā)生變化;所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)位于由所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間包圍的空間。
[0009]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，對(duì)于位于由內(nèi)側(cè)帶區(qū)間包圍的空間中的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，由外側(cè)帶區(qū)間與內(nèi)側(cè)帶區(qū)間雙重地覆蓋形成于框體的開(kāi)口，因此，防止該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的微粒流出至框體的外部空間的效果(防塵效果)與現(xiàn)有技術(shù)相比有所提高。
[0010]所述機(jī)械臂亦可具備:于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式安裝于所述移動(dòng)體的第一移動(dòng)輥;于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分，以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式安裝于所述移動(dòng)體的第二移動(dòng)輥;位于所述第一空間位置，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第一固定棍;以及位于所述第二空間位置，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第二固定輥;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述一端與所述外側(cè)帶區(qū)間的第一部分的所述一端相連，該相連部分卷繞于所述第一移動(dòng)輥，從而保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分；
所述外側(cè)帶區(qū)間的第一部分的所述其他部分自所述第一移動(dòng)輥延伸至所述第三空間位置為止，在該第三空間位置處固定于所述框體;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述另一端與所述外側(cè)帶區(qū)間的第二部分的所述一端相連，該相連部分卷繞于所述第二移動(dòng)輥，從而保持于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分;所述外側(cè)帶區(qū)間的第二部分的所述其他部分自所述第二移動(dòng)輥延伸至所述第四空間位置為止，在該第四空間位置處固定于所述框體;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述一端與所述另一端之間的部分卷繞于所述第一固定輥與所述第二固定輥，并且卷繞于使所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間在所述第一固定輥與所述第二固定輥之間中途反轉(zhuǎn)的輥上。
[0011]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠防止因密封帶的外側(cè)帶區(qū)間與框體隨著移動(dòng)體的移動(dòng)而相互摩擦所產(chǎn)生的微粒。
[0012]所述機(jī)械臂亦可具備:位于所述第一空間位置，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第三固定輥;位于所述第二空間位置，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第四固定輥;位于所述框體內(nèi)部的所述第一端及所述第三固定輥的外側(cè)，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第五固定輥；以及位于所述框體內(nèi)部的所述第二端及所述第四固定輥的外側(cè)，且以圍繞沿所述開(kāi)口的寬度方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的形式固定于所述框體的第六固定輥;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述一端固定于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，并且所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述另一端固定于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述一端與所述另一端之間的部分卷繞于所述第三固定輥與所述第四固定輥，并且卷繞于使所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間在所述第三固定輥與所述第四固定輥之間中途反轉(zhuǎn)的輥上;所述外側(cè)帶區(qū)間的所述第一部分的一端固定于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第一端的一側(cè)的部分，并且所述外側(cè)帶區(qū)間的所述第二部分的一端固定于所述移動(dòng)體的內(nèi)在部的所述第二端的一側(cè)的部分;于所述外側(cè)帶區(qū)間，所述第一部分的所述其他部分延伸至所述被保持的部分的前端為止，并且所述第二部分的其他部分延伸至所述被保持的部分的前端為止，所述第一部分的另一端與所述第二部分的另一端相連，所述第一部分的一端與所述第二部分的一端之間的部分位于所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間與所述框體之間，卷繞于所述第五固定輥與所述第六固定輥，并且卷繞于使所述外側(cè)帶區(qū)間在所述第五固定輥與所述第六固定輥之間中途反轉(zhuǎn)的輥上;所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間及所述外側(cè)帶區(qū)間分別單獨(dú)地構(gòu)成內(nèi)側(cè)帶及外側(cè)帶。
[0013]所述機(jī)械臂還可具備間隔壁，所述間隔壁沿著自所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述一端向第一空間位置延伸的部分的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)、與自所述內(nèi)側(cè)帶區(qū)間的所述另一端向第二空間位置延伸的部分的所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)延伸。
[0014]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，藉由存在于內(nèi)側(cè)帶區(qū)間與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)之間的間隔壁，能夠更有效果地防止由位于內(nèi)側(cè)帶區(qū)間包圍的空間內(nèi)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的微粒流出至框體的外部空間。
[0015]所述機(jī)械臂還可具備抽吸所述外側(cè)帶區(qū)間與