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圖像傳感器制造裝置、制造方法及圖像傳感器

文檔序號:40574912發(fā)布日期:2025-01-03 11:39閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:所述水平切割段和傾斜切割段兩者在直線方向上呈等間距交錯(cuò)排布,所述傾斜切割段相對于所述水平切割段形成有夾角θ。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:所述轉(zhuǎn)向部件包括第一轉(zhuǎn)向柱和第二轉(zhuǎn)向柱,所述第一轉(zhuǎn)向柱和第二轉(zhuǎn)向柱分別為長度不小于所述切割線直徑長度的圓柱桿。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:切割線經(jīng)過第一轉(zhuǎn)向柱和第二轉(zhuǎn)向柱處形成“z”字形走線部,第一轉(zhuǎn)向柱和第二轉(zhuǎn)向柱在豎直平面的投影輪廓的最小間隔距離不小于切割線的直徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:張緊結(jié)構(gòu)包括第一張緊軸和第二張緊軸,所述第一張緊軸和第二張緊軸互相關(guān)于所述驅(qū)動(dòng)軸的縱向二等分面對稱;

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:所述制造裝置還包括:

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:切割線包括線芯,線芯的表面依次電鍍有鍍膜層和加厚層,線芯表面固定有貫穿所述鍍膜層與加厚層的金剛石。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圖像傳感器制造裝置,其特征在于:所述電機(jī)箱包括多個(gè)電機(jī),多個(gè)所述電機(jī)的輸出端分別與放線軸、收線軸、驅(qū)動(dòng)軸和輔助軸的一端連接,電機(jī)箱內(nèi)安裝的多個(gè)電機(jī)的輸入端分別與外部電源電性連接,外部電源能夠?qū)﹄姍C(jī)箱的內(nèi)部電機(jī)供電。

9.一種圖像傳感器制造方法,所述制造方法具有以下工序:

10.一種圖像傳感器,其特征在于:所述圖像傳感器采用如權(quán)利要求9所述的制造方法制造而成。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種圖像傳感器制造裝置、制造方法及圖像傳感器,涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,包括底座、線軸組件和切割線,底座的頂部固定有電機(jī)箱;線軸組件包括分別與電機(jī)箱輸出端連接的放線軸、驅(qū)動(dòng)軸、張緊結(jié)構(gòu)、輔助軸和收線軸;線軸組件還包括導(dǎo)向軸,導(dǎo)向軸的底部焊接有能夠使切割線的纏繞方向發(fā)生變化的轉(zhuǎn)向部件;切割線繞經(jīng)導(dǎo)向軸與輔助軸之間時(shí)形成水平切割段和傾斜切割段。本發(fā)明能夠同時(shí)得到多個(gè)厚度連續(xù)增加的晶柱塊,并能減少晶圓受到外力的影響程度,防止晶圓進(jìn)行后端工藝的加工過程中晶圓發(fā)生折斷或邊緣翹曲的現(xiàn)象,有利于減小晶圓后端工藝的處理難度,保證晶圓出廠的良品率。

技術(shù)研發(fā)人員:尹睿,梅健,鄧?yán)?閆娜,張衛(wèi)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:復(fù)旦大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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