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圖像傳感器制造裝置、制造方法及圖像傳感器技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40574912

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造,尤其涉及一種圖像傳感器制造裝置、制造方法及圖像傳感器。背景技術(shù)、晶圓作為半導(dǎo)體襯底,加工工藝主要分為前端工藝和后端工藝,前端工藝負(fù)責(zé)制造芯片上的晶體管等有源器件,后端工藝則主要分為切片、研磨、拋光和清洗等步驟,對(duì)晶圓實(shí)施后端工藝的過(guò)程中能夠去除晶圓受到化學(xué)污染的部分并能夠同步減小芯片的厚度、降低電阻、減少功耗以及提高熱導(dǎo)率。其中,切片作為晶圓后端加工的第一道工序,切片的質(zhì)量對(duì)加工過(guò)程中導(dǎo)致的晶圓損傷程度及最終晶圓的成品質(zhì)量具有至關(guān)重要的影響。目前,半導(dǎo)體晶圓切片通常采用線...
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