1.一種碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,該碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法包括以下步驟:
步驟1、將石蠟填充到碳化硅方鏡素坯的減重腔的中空部分;
步驟2、使用數(shù)控加工中心進(jìn)行凹槽的加工;
步驟3、對加工后的碳化硅方鏡素坯進(jìn)行烘烤,直至石蠟全部脫除。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟1中,填充用石蠟由復(fù)合石蠟與松香按質(zhì)量比10:1-5:1配置而成,填充體積大于所述減重腔體積的一半。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述復(fù)合石蠟的原料為每1kg精煉石蠟加入:棕櫚酸10g-20g、硬脂酸60g-80g、花生酸10g-20g、聚丙烯2g-5g、聚乙烯8g-15g、蜂蠟30g-60g;
所述精煉石蠟為58#精煉石蠟、60#精煉石蠟按任意質(zhì)量比混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述復(fù)合石蠟的原料為每1kg精煉石蠟加入:棕櫚酸16.6g、硬脂酸62.5g、花生酸14.9g、聚丙烯3.3g、聚乙烯9.2g、蜂蠟49.5g;
所述精煉石蠟為58#精煉石蠟、60#精煉石蠟按質(zhì)量比1:3混合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟2中,所述數(shù)控加工中心使用Φ10-Φ12mm的聚晶金剛石銑刀,且采用螺旋方式進(jìn)刀。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟2中,初始的進(jìn)給量為1200mm/min,進(jìn)刀量為0.1mm,進(jìn)給量及進(jìn)刀量隨著加工的進(jìn)行逐漸減小,且均與凹槽底部的厚度成正比,最終進(jìn)給量減小至600mm/min,進(jìn)刀量減小至0.05mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟3中,烘烤的溫度為100-120℃,石蠟脫除過程中溫度需緩慢升高至烘烤溫度,且升溫速率應(yīng)保持3-5℃/min。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法,其特征在于,所述步驟3中,回收脫除的石蠟,并重復(fù)利用。
9.使用權(quán)利要求1至8任一所述的碳化硅方鏡素坯凹槽加工方法加工成形的碳化硅方鏡,其特征在于,該碳化硅方鏡底部具有復(fù)雜的減重結(jié)構(gòu),正面設(shè)有凹槽,凹槽直徑大于Φ378mm,深度大于5mm,底部厚度小于等于6mm,底部距離減重腔上表面中空距離大于60mm,要求加工精度±0.2mm。