專(zhuān)利名稱(chēng)：一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種稿臺(tái)玻璃表面氧化鋁保護(hù)膜的制備方法。
背景技術(shù)：
稿臺(tái)玻璃廣泛用于影印機(jī)、投影儀、掃描器等設(shè)備的掃描窗口，要求透光性高，耐 磨性好。藍(lán)寶石(透明a-氧化鋁單晶)是具有高透光性、高耐磨性的典型材料，然而，用 純粹的藍(lán)寶石制備稿臺(tái)玻璃成本過(guò)高，難以接受?，F(xiàn)在廣泛應(yīng)用的稿臺(tái)玻璃的主要成分為 二氧化硅，它的透光性好，但是硬度低，耐磨性差。由于影印機(jī)、投影儀、掃描器等設(shè)備的掃 描窗口與稿件、商品等頻繁接觸摩擦，容易產(chǎn)生劃痕，造成掃描窗口模糊不清，信號(hào)透過(guò)率 下降，使得掃描儀器的工作效率下降，甚至無(wú)法使用，若頻繁更換稿臺(tái)玻璃或使設(shè)備僅僅因 為掃描窗口單一部件的報(bào)廢而造成整機(jī)報(bào)廢，使用成本高，而且浪費(fèi)資源。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有稿臺(tái)玻璃硬度低、耐磨性差，導(dǎo)致使用壽命短、使用 成本高的問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法。
本發(fā)明一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法是通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的一、 將稿臺(tái)玻璃用超聲波清洗50 80min，然后將稿臺(tái)玻璃置于過(guò)濾陰極電弧沉積設(shè)備真空倉(cāng) 內(nèi)的樣品臺(tái)上；二、將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至1. OX 10—6 9. 9X 10—6Torr后通入氬氣，控制氬氣 流量為18 24cmVmin，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到8. 0X10—5 1. 0X10—4Torr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn) 至離子清洗位置，對(duì)稿臺(tái)玻璃表面進(jìn)行離子清洗10 20min，然后關(guān)閉氬氣，再將樣品臺(tái)轉(zhuǎn) 至沉積位置；三、繼續(xù)對(duì)真空倉(cāng)進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到1. OX 10—6 9. 9X 10—6Torr時(shí)， 再將樣品臺(tái)加熱至400 IOO(TC，然后通入氧氣，氧氣流量控制在50 70cmVmin，然后調(diào) 入掃描波形，設(shè)置沉積參數(shù)為弧電流為100 130A，基底偏壓為-300V，掃描時(shí)長(zhǎng)為2 8min ;四、當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為4.0X10—4 7.0X10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置，開(kāi)始對(duì)鋁靶施加 電壓起弧，向稿臺(tái)玻璃表面沉積鍍膜；本次鍍膜結(jié)束后將氧氣流量調(diào)至3 4cmVmin ;五、 將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，然后通入氬氣，氬氣流量控制在15 20cmVmin，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi) 壓強(qiáng)為8. OX 10—5 1. OX 10—4Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-500V -800V的電壓，進(jìn)行反濺，反 濺時(shí)間控制在1 4min ;六、重復(fù)操作步驟四和步驟五10 30次，即在稿臺(tái)玻璃表面得到 藍(lán)寶石保護(hù)膜。 本發(fā)明在稿臺(tái)玻璃表面得到藍(lán)寶石保護(hù)膜的納米顯微硬度為14.89
16. 03GPa(維氏硬度1489 1603kg/mm2)，硬度高，藍(lán)寶石保護(hù)膜經(jīng)受壓力為9. 8N的橡皮
摩擦頭摩擦40次(20個(gè)來(lái)回)后，無(wú)擦痕等損傷跡象，耐磨性好。在使用過(guò)程中不會(huì)因與
稿件或商品的接觸而出現(xiàn)劃痕，使稿臺(tái)玻璃的信號(hào)透過(guò)率下降，工作效率降低。 本發(fā)明的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的厚度為4 9iim，透光性好，對(duì)670
690nm波段的掃描信號(hào)的光學(xué)透過(guò)率在80 %以上。 本發(fā)明的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜在提高稿臺(tái)玻璃耐磨性的同時(shí)，能夠保證稿
3臺(tái)玻璃的掃描信號(hào)通過(guò)率，延長(zhǎng)了稿臺(tái)玻璃的使用壽命，降低了使用成本。


圖1是具體實(shí)施方式
一的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的傅立葉變換紅外光譜測(cè) 試曲線圖；圖2是具體實(shí)施方式
二十一的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的光學(xué)透過(guò)率曲線 圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明技術(shù)方案不局限于以下所列舉具體實(shí)施方式
，還包括各具體實(shí)施方式
間的 任意組合。
具體實(shí)施方式
一 本實(shí)施方式稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法是通過(guò)以下 步驟實(shí)現(xiàn)的一、將稿臺(tái)玻璃用超聲波清洗50 80min，然后將稿臺(tái)玻璃置于過(guò)濾陰極電弧 沉積設(shè)備真空倉(cāng)內(nèi)的樣品臺(tái)上；二、將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至1. 0X10—6 9. 9X10—6Torr后通 入氬氣，控制氬氣流量為18 24cmVmin，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到8. OX 10—5 1. OX 10—4Torr 時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，對(duì)稿臺(tái)玻璃表面進(jìn)行離子清洗10 20min，然后關(guān)閉氬 氣，再將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至沉積位置；三、繼續(xù)對(duì)真空倉(cāng)進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到1.0X10—6 9. 9X 10—6Torr時(shí)，再將樣品臺(tái)加熱至400 IOO(TC ，然后通入氧氣，氧氣流量控制在50 70cmVmin，然后調(diào)入掃描波形，設(shè)置沉積參數(shù)為弧電流為100 130A，基底偏壓為-300V, 掃描時(shí)長(zhǎng)為2 8min ;四、當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為4. 0 X 10—4 7. 0 X 10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置，開(kāi) 始對(duì)鋁靶施加電壓起弧，向稿臺(tái)玻璃表面沉積鍍膜；本次鍍膜結(jié)束后將氧氣流量調(diào)至3 4cmVmin ;五、將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，然后通入氬氣，氬氣流量控制在15 20cm3/ min，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)為8. OX 10—5 1. OX 10—4Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-500V -800V的電 壓，進(jìn)行反濺，反濺時(shí)間控制在1 4min ;六、重復(fù)操作步驟四和步驟五10 30次，即在稿 臺(tái)玻璃表面得到藍(lán)寶石保護(hù)膜。 本實(shí)施方式步驟一中超聲波清洗的目的是去除稿臺(tái)玻璃表面的污染物，如油漬、 灰塵等。 本實(shí)施方式在稿臺(tái)玻璃表面得到的藍(lán)寶石保護(hù)膜的納米顯微硬度為14.89 16. 03GPa(維氏硬度1489 1603kg/mm2)，硬度高，耐磨性好。本實(shí)施方式的稿臺(tái)玻璃表面 藍(lán)寶石保護(hù)膜的厚度為4 9 ii m，透光性好，對(duì)670 690nm的掃描信號(hào)波段的光學(xué)透過(guò)率 在80%以上。 本實(shí)施方式采用Spectrum One B型FT-IR光譜儀對(duì)稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜 進(jìn)行傅立葉變換紅外光譜(FT-IR)測(cè)試，測(cè)試結(jié)果如圖l所示，圖中可見(jiàn)，本實(shí)施方式在稿 臺(tái)玻璃表面的保護(hù)膜的只要成分為a-氧化鋁，屬三方晶系，得到了藍(lán)寶石保護(hù)膜。
具體實(shí)施方式
二 本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一不同的是步驟一中將稿臺(tái)玻璃用 超聲波清洗的具體方法為首先將稿臺(tái)玻璃用丙酮超聲波清洗20min，再用無(wú)水酒精超聲 波清洗20min，最后用去離子水超聲波清洗20min。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一相 同。 本實(shí)施方式中丙酮與無(wú)水酒精均為分析純的市售產(chǎn)品。
具體實(shí)施方式
三本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一或二不同的是步驟二中將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至2. OX 10—6 6X 10—6Torr后通入氬氣。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一或二 相同。
具體實(shí)施方式
四本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一或二不同的是步驟二中將真空倉(cāng) 內(nèi)抽真空至4. OX 10—6Torr后通入氬氣。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一或二相同。
具體實(shí)施方式
五本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至四不同的是步驟二中當(dāng)真空倉(cāng) 內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到8. 5X10—5 9. 5X10—5Torr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置。其它步驟及參數(shù) 與具體實(shí)施方式
一至四相同。
具體實(shí)施方式
六本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至四不同的是步驟二中當(dāng)真空倉(cāng) 內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到9X 10—5T0rr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至四相同。
具體實(shí)施方式
七本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至六不同的是步驟三中當(dāng)真空度 達(dá)到2. OX 10—6 6. OX 10—6Torr時(shí)，再將樣品臺(tái)加熱至500 800°C 。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至六相同。
具體實(shí)施方式
八本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至六不同的是步驟三中當(dāng)真空度 達(dá)到4. OX 10—6Torr時(shí)，再將樣品臺(tái)加熱至600°C 。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至六 相同。
具體實(shí)施方式
九本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至八不同的是步驟三中氧氣流量 控制在55 65cmVmin。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至八相同。
具體實(shí)施方式
十本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至八不同的是步驟三中氧氣流量 控制在60cmVmin。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至八相同。
具體實(shí)施方式
十一 本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十不同的是步驟三中設(shè)置沉 積參數(shù)為弧電流為110 125A，基底偏壓為_(kāi)30(^，掃描時(shí)長(zhǎng)為3 6min。其它步驟及參 數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十相同。
具體實(shí)施方式
十二 本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十不同的是步驟三中設(shè)置沉 積參數(shù)為弧電流為120A，基底偏壓為-300V，掃描時(shí)長(zhǎng)為4min。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí) 施方式一至十相同。
具體實(shí)施方式
十三本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十二不同的是步驟四中當(dāng)真 空倉(cāng)內(nèi)真空度為5. OX 10—4 6. 8X 10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方 式一至十二相同。
具體實(shí)施方式
十四本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十二不同的是步驟四中當(dāng)真 空倉(cāng)內(nèi)真空度為6. 5X 10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十二相 同。
具體實(shí)施方式
十五本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十四不同的是步驟五中氬氣
流量控制在16 19cmVmin。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十四相同。
具體實(shí)施方式
十六本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十四不同的是步驟五中氬氣
流量控制在18cmVmin。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十四相同。
具體實(shí)施方式
十七本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十六不同的是步驟五中當(dāng)真
空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)為8. 5X10—5 9. 5X10—5Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-550V -700V的電壓。其它
步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十六相同。
具體實(shí)施方式
十八本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十六不同的是步驟五中當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)為9. OX 10—5Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-600V的電壓。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十六相同。
具體實(shí)施方式
十九本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十八不同的是步驟六中重復(fù)
操作步驟四和步驟五12 25次。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十八相同。
具體實(shí)施方式
二十本實(shí)施方式與具體實(shí)施方式
一至十八不同的是步驟六中重復(fù)
操作步驟四和步驟五18次。其它步驟及參數(shù)與具體實(shí)施方式
一至十八相同。
具體實(shí)施方式
二i^一 本實(shí)施方式稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法是
通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的一、將稿臺(tái)玻璃首先將稿臺(tái)玻璃用丙酮超聲波清洗20min，再用
無(wú)水酒精超聲波清洗20min，最后用去離子水超聲波清洗20min，將稿臺(tái)玻璃表面清洗
干凈，然后將稿臺(tái)玻璃置于過(guò)濾陰極電弧沉積設(shè)備真空倉(cāng)內(nèi)的樣品臺(tái)上；二、將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至4.0X10—STorr后通入氬氣，控制氬氣流量為21cmVmin，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到9. 0X10—5T0rr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，對(duì)稿臺(tái)玻璃表面進(jìn)行離子清洗15min，然后關(guān)閉氬氣，再將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至沉積位置；三、繼續(xù)對(duì)真空倉(cāng)進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到4. 0 X 10—6Torr時(shí)，再將樣品臺(tái)加熱至600°C ，然后通入氧氣，氧氣流量控制在60cm3/min，然后調(diào)入掃描波形，設(shè)置沉積參數(shù)為弧電流為120A，基底偏壓為300V，掃描時(shí)長(zhǎng)為4min;四、當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為6. 5X10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置，開(kāi)始對(duì)鋁靶施加電壓起弧，向稿臺(tái)玻璃表面沉積鍍膜；本次鍍膜結(jié)束后將氧氣流量調(diào)至3cmVmin ;五、將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，然后通入氬氣，氬氣流量控制在18cmVmin，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)為9. OX 10—5Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-600V的電壓，進(jìn)行反濺，反濺時(shí)間控制在3 4min ;六、重復(fù)操作步驟四和步驟五12次，在稿臺(tái)玻璃表面得到藍(lán)寶石保護(hù)膜。 本實(shí)施方式得到的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的厚度為4ii m，用630 730nm波段的掃描信號(hào)以45°角度入射本實(shí)施方式得到的表面有藍(lán)寶石保護(hù)膜的稿臺(tái)玻璃，進(jìn)行光學(xué)透過(guò)率的測(cè)試，測(cè)試結(jié)果如圖2所示。由圖2可見(jiàn)，本實(shí)施方式的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的光學(xué)透過(guò)率在83% 89%之間，具有很好的透光性，滿足稿臺(tái)玻璃高透光率的要求。 本實(shí)施方式采用Nano-Indenter XP型納米壓痕儀對(duì)稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜進(jìn)行顯微硬度測(cè)定，結(jié)果顯示本實(shí)施方式的稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的納米顯微硬度為15. 3GPa，硬度高；本實(shí)施方式的藍(lán)寶石保護(hù)膜經(jīng)受壓力為9. 8N的橡皮摩擦頭摩擦40次(20個(gè)來(lái)回)后，無(wú)擦痕等損傷跡象，耐磨性好。
權(quán)利要求
一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在于稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法是通過(guò)以下步驟實(shí)現(xiàn)的一、將稿臺(tái)玻璃用超聲波清洗50～80min，然后將稿臺(tái)玻璃置于過(guò)濾陰極電弧沉積設(shè)備真空倉(cāng)內(nèi)的樣品臺(tái)上；二、將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至1.0×10-6～9.9×10-6Torr后通入氬氣，控制氬氣流量為18～24cm3/min，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到8.0×10-5～1.0×10-4Torr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，對(duì)稿臺(tái)玻璃表面進(jìn)行離子清洗10～20min，然后關(guān)閉氬氣，再將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至沉積位置；三、繼續(xù)對(duì)真空倉(cāng)進(jìn)行抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到1.0×10-6～9.9×10-6Torr時(shí)，再將樣品臺(tái)加熱至400～1000℃，然后通入氧氣，氧氣流量控制在50～70cm3/min，然后調(diào)入掃描波形，設(shè)置沉積參數(shù)為弧電流為100～130A，基底偏壓為-300V，掃描時(shí)長(zhǎng)為2～8min；四、當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為4.0×10-4～7.0×10-4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置，開(kāi)始對(duì)鋁靶施加電壓起弧，向稿臺(tái)玻璃表面沉積鍍膜；本次鍍膜結(jié)束后將氧氣流量調(diào)至3～4cm3/min；五、將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置，然后通入氬氣，氬氣流量控制在15～20cm3/min，當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)為8.0×10-5～1.0×10-4Torr時(shí)，對(duì)樣品臺(tái)施加-500V～-800V的電壓，進(jìn)行反濺，反濺時(shí)間控制在1～4min；六、重復(fù)操作步驟四和步驟五10～30次，即在稿臺(tái)玻璃表面得到藍(lán)寶石保護(hù)膜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在 于步驟一中將稿臺(tái)玻璃用超聲波清洗的具體方法為首先將稿臺(tái)玻璃用丙酮超聲波清洗 20min，再用無(wú)水酒精超聲波清洗20min，最后用去離子水超聲波清洗20min。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在 于步驟二中將真空倉(cāng)內(nèi)抽真空至2. 0X 10—6 6X 10—6Torr后通入氬氣。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在于步 驟二中當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)壓強(qiáng)達(dá)到8. 5X 10—5 9. 5X 10—5Torr時(shí)，將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至離子清洗位置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征 在于步驟三中氧氣流量控制在55 65cm3/min。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1、2或4所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征 在于步驟三中氧氣流量控制在60cm3/min。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在于步 驟三中設(shè)置沉積參數(shù)為弧電流為110 125A，基底偏壓為_(kāi)30(^，掃描時(shí)長(zhǎng)為3 6min。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1、2、4或7所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特 征在于步驟四中當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為5. 0X 10—4 6. 8X 10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1、2、4或7所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特 征在于步驟四中當(dāng)真空倉(cāng)內(nèi)真空度為6. 5X 10—4Torr時(shí)，開(kāi)啟裝置
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，其特征在于 步驟五中將步驟四得到稿臺(tái)玻璃重復(fù)操作步驟三和步驟四12 25次。
全文摘要
一種稿臺(tái)玻璃表面藍(lán)寶石保護(hù)膜的制備方法，它涉及一種稿臺(tái)玻璃表面氧化鋁保護(hù)膜的制備方法。本發(fā)明解決了現(xiàn)有稿臺(tái)玻璃硬度低、耐磨性差，導(dǎo)致使用壽命短、使用成本高的問(wèn)題。本發(fā)明方法超聲清洗稿臺(tái)玻璃，然后置于樣品臺(tái)上；然后抽真空后通氬氣，再對(duì)稿臺(tái)玻璃進(jìn)行離子清洗，再將樣品臺(tái)轉(zhuǎn)至沉積位置；繼續(xù)抽真空，再通入氧氣，設(shè)置沉積參數(shù)，開(kāi)啟裝置，進(jìn)行鍍膜；然后再反濺即得。本發(fā)明的藍(lán)寶石保護(hù)膜的納米顯微硬度為14.89～16.03GPa，670～690nm波段的掃描信號(hào)的光學(xué)透過(guò)率在80％以上。本發(fā)明藍(lán)寶石保護(hù)膜在提高稿臺(tái)玻璃硬度、耐磨性的同時(shí)，保證掃描信號(hào)透過(guò)率，延長(zhǎng)了稿臺(tái)玻璃的使用壽命，降低了使用成本。
文檔編號(hào)C03C17/22GK101734864SQ20091031139
公開(kāi)日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月14日
發(fā)明者左洪波, 張小朋, 朱嘉琦, 王冬峣, 韓杰才 申請(qǐng)人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)