專利名稱：一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于石油化工技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種通過(guò)高溫?cái)U(kuò)散摻雜技術(shù)形成晶體硅太陽(yáng)能電池PN結(jié)的管式生產(chǎn)裝置，具體地說(shuō)，涉及一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管。
背景技術(shù)：
目前，公知的擴(kuò)散爐管在爐管尾部設(shè)置有一個(gè)進(jìn)氣端和一個(gè)出氣端。工作氣體通過(guò)進(jìn)氣端從爐管尾部直接通入爐管；出氣端處插入長(zhǎng)導(dǎo)管至爐管頭部，起到把廢氣從爐管頭部導(dǎo)出的作用。所要擴(kuò)散摻雜的晶體硅片密集排列放置于爐管內(nèi)，以便工作氣體由爐管尾部流動(dòng)到頭部的過(guò)程中和晶體硅片進(jìn)行反應(yīng)。但是，在工作氣體從尾部到頭部的過(guò)程中， 由于和晶體硅片進(jìn)行反應(yīng)，濃度會(huì)不斷降低，組份比例會(huì)不斷變化，這樣就造成了爐管尾部和頭部的晶體硅片反應(yīng)條件不一致，導(dǎo)致了擴(kuò)散摻雜后的硅片品質(zhì)存在差異。另外，由于晶體硅片在爐管內(nèi)呈密集排列，并且排列間隙與氣體流動(dòng)方向幾乎垂直，這就導(dǎo)致了工作氣體在晶體硅片間隙內(nèi)流動(dòng)、分散不均勻，使晶體硅片排列間隙深處沒(méi)有間隙邊緣部分?jǐn)U散摻雜充分。再者，多種工作氣體在通入爐管前沒(méi)有進(jìn)行混合，而是借由進(jìn)入爐管內(nèi)進(jìn)行混合，但擴(kuò)散爐內(nèi)溫度往往較高，化學(xué)反應(yīng)比較劇烈，各種工作氣體容易在混合完全前發(fā)生不必要的化學(xué)反應(yīng)，生成其他副產(chǎn)物，影響擴(kuò)散效果。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管，該多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管可以控制爐管內(nèi)氣流情況，有效調(diào)控爐管內(nèi)各處工作氣體的濃度，使工作氣體在晶體硅片的間隙內(nèi)充分流動(dòng)、分散，并在通入爐管前進(jìn)行充分混口 ο本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下在擴(kuò)散爐管尾部設(shè)置多個(gè)進(jìn)氣端，每個(gè)進(jìn)氣端可以插入進(jìn)氣導(dǎo)管，每個(gè)進(jìn)氣導(dǎo)管都連有單獨(dú)控制氣體流量的電磁閥，進(jìn)氣導(dǎo)管的進(jìn)氣端設(shè)置有混氣腔室，進(jìn)氣導(dǎo)管可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)技術(shù)要求設(shè)定不同長(zhǎng)度伸入到爐管的不同位置，當(dāng)需要調(diào)整進(jìn)氣導(dǎo)管的出氣端區(qū)域工作氣體濃度時(shí)，對(duì)控制此導(dǎo)管氣流量的電磁閥進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整；在擴(kuò)散爐管尾部設(shè)置多個(gè)出氣端，每個(gè)出氣端可以插入出氣導(dǎo)管，每個(gè)出氣導(dǎo)管的出氣端都有單獨(dú)的閥門控制出氣流量，出氣導(dǎo)管可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)技術(shù)要求設(shè)定不同長(zhǎng)度伸入到爐管的不同位置， 當(dāng)要對(duì)爐管內(nèi)氣流流向進(jìn)行調(diào)整時(shí)，對(duì)控制此導(dǎo)管氣流量的閥門進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整。進(jìn)氣導(dǎo)管組位于爐管內(nèi)的上(下)側(cè)或左(右)側(cè)，出氣導(dǎo)管組位于爐管內(nèi)的下(上)側(cè)或右(左側(cè))，進(jìn)氣導(dǎo)管組和出氣導(dǎo)管組始終處于相對(duì)側(cè)。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比其有益效果本實(shí)用新型多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管可以在工作氣體進(jìn)入爐管前進(jìn)行充分混合，調(diào)控?cái)U(kuò)散爐管內(nèi)各處工作氣體的濃度和流向， 使氣流流動(dòng)方向平行于晶體硅片間隙，充分流過(guò)晶體硅片間隙。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。圖I是本實(shí)用新型的構(gòu)造圖；圖2、圖3是本實(shí)用新型的內(nèi)部構(gòu)造圖；圖4是本實(shí)用新型的擴(kuò)散爐管構(gòu)造圖。
具體實(shí)施方式
參照

圖1-4，一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管，由擴(kuò)散爐管、出氣導(dǎo)管、爐管蓋構(gòu)成，所述擴(kuò)散爐管I尾部設(shè)置有I個(gè)以上進(jìn)氣端11和出氣端12，每個(gè)進(jìn)氣端11、出氣端12 可插入長(zhǎng)短不一的進(jìn)氣導(dǎo)管、出氣導(dǎo)管，每個(gè)進(jìn)氣導(dǎo)管的進(jìn)氣端設(shè)有混氣腔室3，每個(gè)出氣導(dǎo)管的出氣端設(shè)有出氣調(diào)節(jié)閥4，前端出氣導(dǎo)管5、中端出氣導(dǎo)管6、尾端出氣導(dǎo)管7、前端進(jìn)氣導(dǎo)管8、中端進(jìn)氣導(dǎo)管9、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管10通過(guò)擴(kuò)散爐管I尾部的出氣端12和進(jìn)氣端11 組裝在一起，前端出氣導(dǎo)管5、中端出氣導(dǎo)管6、尾端出氣導(dǎo)管7的開(kāi)端處是出氣調(diào)節(jié)閥4，前端進(jìn)氣導(dǎo)管8、中端進(jìn)氣導(dǎo)管9、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管10的開(kāi)端處是混氣腔室3，爐管蓋2位于擴(kuò)散爐管I的前端起到開(kāi)閉爐管的作用。為確保氣流的充分流動(dòng)、分散以及氣流的穩(wěn)定和可控，所述出氣端12和進(jìn)氣端11 分別位于爐管的相對(duì)側(cè)，中端出氣導(dǎo)管6、尾端出氣導(dǎo)管7對(duì)稱分布在前端出氣導(dǎo)管5兩側(cè)， 中端進(jìn)氣導(dǎo)管9、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管10對(duì)稱分布在前端進(jìn)氣導(dǎo)管8兩側(cè)。以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可顯而易見(jiàn)地得到的技術(shù)方案的簡(jiǎn)單變化或等效替換均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管，由擴(kuò)散爐管、出氣導(dǎo)管、爐管蓋構(gòu)成，其特征在于， 所述擴(kuò)散爐管(I)尾部設(shè)置有I個(gè)以上進(jìn)氣端(11)和出氣端(12)，每個(gè)進(jìn)氣端(11)、出氣端(12)可插入長(zhǎng)短不一的進(jìn)氣導(dǎo)管、出氣導(dǎo)管，每個(gè)進(jìn)氣導(dǎo)管的進(jìn)氣端設(shè)有混氣腔室(3)， 每個(gè)出氣導(dǎo)管的出氣端設(shè)有出氣調(diào)節(jié)閥(4)，前端出氣導(dǎo)管(5)、中端出氣導(dǎo)管(6)、尾端出氣導(dǎo)管(7)、前端進(jìn)氣導(dǎo)管(8)、中端進(jìn)氣導(dǎo)管(9)、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管(10)通過(guò)擴(kuò)散爐管(I)尾部的出氣端(12)和進(jìn)氣端(11)組裝在一起，前端出氣導(dǎo)管(5)、中端出氣導(dǎo)管￠)、尾端出氣導(dǎo)管(7)的開(kāi)端處是出氣調(diào)節(jié)閥(4)，前端進(jìn)氣導(dǎo)管(8)、中端進(jìn)氣導(dǎo)管(9)、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管(10)的開(kāi)端處是混氣腔室(3)，爐管蓋(2)位于擴(kuò)散爐管(I)的前端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管，其特征在于，所述出氣端(12) 和進(jìn)氣端(11)分別位于爐管的相對(duì)側(cè)，中端出氣導(dǎo)管(6)、尾端出氣導(dǎo)管(7)對(duì)稱分布在前端出氣導(dǎo)管(5)兩側(cè)，中端進(jìn)氣導(dǎo)管(9)、尾端進(jìn)氣導(dǎo)管(10)對(duì)稱分布在前端進(jìn)氣導(dǎo)管(8) 兩側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多端進(jìn)排氣可控型擴(kuò)散爐管，在擴(kuò)散爐管尾部設(shè)置多個(gè)進(jìn)氣端和出氣端，每個(gè)進(jìn)、出氣端插入長(zhǎng)短不一的進(jìn)、出氣導(dǎo)管，每個(gè)進(jìn)氣導(dǎo)管的進(jìn)氣端有混氣腔室，每個(gè)出氣導(dǎo)管的出氣端有出氣調(diào)節(jié)閥。工作氣體在進(jìn)氣端的混氣腔室進(jìn)氣充分混合后由進(jìn)氣導(dǎo)管導(dǎo)入爐管相應(yīng)部位，廢氣由相對(duì)側(cè)的出氣導(dǎo)管導(dǎo)出爐管，每根出氣導(dǎo)管的出氣端有出氣調(diào)節(jié)閥可以調(diào)節(jié)出氣流量，由此調(diào)控爐管內(nèi)工作氣體的整體流動(dòng)和局部濃度情況。本實(shí)用新型適用于石油化工技術(shù)領(lǐng)域。
文檔編號(hào)C30B31/16GK202347128SQ201120508638
公開(kāi)日2012年7月25日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者周建成, 周曉鋒, 孔黎暉, 張小松 申請(qǐng)人:東南大學(xué)