半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體倒裝焊工藝中需要用到回流焊工藝，傳統(tǒng)工藝中，基板在倒裝上芯片后，在回流焊的傳送帶上通過回流爐，通過回流爐加熱完成芯片凸點和基板焊點的焊接。在回流過程中，基板受熱后，因為熱脹冷縮效應(yīng)，會產(chǎn)生形變翹曲，導(dǎo)致部分芯片凸點和基板焊點無法接觸，產(chǎn)生焊接不良。如圖1所示，傳統(tǒng)做法是使用一種基板夾具，載具和蓋板通過永磁鐵將基板固定，以防止基板在回流焊時產(chǎn)生形變翹曲，避免由此導(dǎo)致的焊接不良問題?；亓骱笸ㄟ^專用設(shè)備或人工將蓋板和載具分離，再將基板從載具上移走。
[0003]這種做法是磁性固定，對于不同的產(chǎn)品需要使用不同數(shù)量磁鐵的載具；磁性很強(qiáng)時，蓋板跟載具分離困難，拿取不當(dāng)會導(dǎo)致產(chǎn)品受損。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]在下文中給出關(guān)于本實用新型的簡要概述，以便提供關(guān)于本實用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個概述并不是關(guān)于本實用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實用新型的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本實用新型的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0005]針對目前半導(dǎo)體倒裝回流焊接后基板產(chǎn)生形變翹曲，通過永磁鐵固定后分離困難，拿取不當(dāng)會導(dǎo)致產(chǎn)品受損等的技術(shù)問題，本實用新型提供一種半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具，包括:用于承載基板的載具和鐵磁蓋板，
[0006]所述鐵磁蓋板用于與所述載具配合，將基板夾持于所述鐵磁蓋板與所述載具之間；
[0007]所述載具包括用于吸附固定基板的多個電磁鐵、直流電源以及連接在每個所述電磁鐵和所述直流電源之間的導(dǎo)線；
[0008]所述多個電磁鐵固定在所述載具上表面與所述載具下表面之間的夾層中，所述直流電源固定在所述載具的側(cè)面。
[0009]本實用新型提供的半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具中載具的磁性通過內(nèi)置線圈形成電磁鐵產(chǎn)生，通過控制流過線圈的電流的強(qiáng)弱來控制磁性的強(qiáng)弱，在實際需要的時候，通過關(guān)閉電流去除電磁鐵的磁性，輕易達(dá)到蓋板與載具的分離，并且不損傷產(chǎn)品；同時能夠有效的防止基板在回流焊接時產(chǎn)生形變翹曲，避免由此導(dǎo)致的焊接不良問題；同時，上述的半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具能夠有效保護(hù)基板，避免因操作或者機(jī)械力產(chǎn)生的基板形變或者損傷。
【附圖說明】
[0010]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1為現(xiàn)有工藝中載具裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實用新型中載具裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為本實用新型中蓋板裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖4為本實用新型中半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具在回流焊時的工作示意圖。
[0015]附圖標(biāo)記:
[0016]1-載具；2_蓋板；3_真空孔；
[0017]4-通孔；5-基板抓取槽；6-料盒導(dǎo)向槽；
[0018]7-電磁鐵；8-定位針；9-定位孔；
[0019]10-直流電源。
【具體實施方式】
[0020]為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。在本實用新型的一個附圖或一種實施方式中描述的元素和特征可以與一個或更多個其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本實用新型無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。
[0021]如圖2所示，本實用新型提供一種半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具，包括:用于承載基板的載具I和鐵磁蓋板2，
[0022]所述鐵磁蓋板2用于與所述載具I配合，將基板夾持于所述鐵磁蓋板2與所述載具I之間；
[0023]所述載具I包括用于吸附固定基板的多個電磁鐵7、直流電源10以及連接在每個所述電磁鐵7和所述直流電源10之間的導(dǎo)線；
[0024]所述多個電磁鐵7固定在所述載具上表面與所述載具下表面之間的夾層中，所述直流電源10固定在所述載具I的側(cè)面。
[0025]本實用新型提供的半導(dǎo)體倒裝回流焊夾具一方面包括了載具I和蓋板2，為鐵磁材料的蓋板2與載具I配合使用，在載具上放置基板，基板上再放置有蓋板，通過載具上的電磁鐵與蓋板吸合將基板固定，防止基板在回流焊接時產(chǎn)生形變翹曲，避免了因此導(dǎo)致的焊接不良問題；
[0026]另一方面，本實用新型中采用了電磁鐵，電磁鐵通過導(dǎo)線與電源相連，電流通過所述電磁鐵使得其具有磁性，能夠與蓋板吸合以固定住基板，電磁鐵磁性強(qiáng)弱與通過所述電磁鐵的電流，以及所述電磁鐵的線圈匝數(shù)以及電磁鐵直徑的大小相關(guān)，本實用新型提供的半導(dǎo)體回流焊夾具中根據(jù)實際生產(chǎn)的需要，電磁鐵的線圈匝數(shù)以及直徑大小是固定的；通過控制電流的強(qiáng)弱來控制磁性的強(qiáng)弱，在實際的生產(chǎn)過程中，增加電流的強(qiáng)度能夠增加電磁鐵的磁性，使得蓋板與載具能夠牢固的吸合在一起，更加可靠的保證了基板在回流焊接時不變形，并且通過關(guān)閉電流去除電磁鐵的磁性，使得蓋板能夠輕易的與載具分離，不會對產(chǎn)品造成損傷。
[0027]可選的，所述載具I上分布有真空孔3，用于吸附所述基板；所述蓋板2上設(shè)置有用于容納待與所述基板焊接的芯片的通孔4。載具I上設(shè)置真空孔3，在實際操作過程中，通過對所述真空孔抽真空將基板吸附在載具上并通過所述電磁鐵進(jìn)行固定，在通孔4中放置芯片，通過回流焊將芯片焊接至基板上。
[0028]可選的，所述導(dǎo)線設(shè)置于所述載具的邊緣與中部。
[0029]可選的，所述直流電源的電壓為5?30V。
[0030]如圖2中所示，電磁鐵通過導(dǎo)線相連接，導(dǎo)線沿著載具I的邊緣鋪開并且連接至中部的電磁鐵，且所述直流電源位于載具I的側(cè)面，并且可設(shè)置在