半導(dǎo)體封裝設(shè)備的割膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體封裝設(shè)備的割膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體封裝工藝過程中，晶圓在經(jīng)過磨片后，需要在晶圓上貼膜，并使晶圓通過膜與擴(kuò)芯環(huán)連在一起，再將多余殘膜割去，將完成貼膜的晶圓送至劃片切割。
[0003]目前的全自動割膜設(shè)備，割膜使用的旋轉(zhuǎn)切割手臂，如圖1所示，同步齒輪4帶動旋轉(zhuǎn)手臂自轉(zhuǎn)，使割膜刀3在擴(kuò)芯環(huán)5上旋轉(zhuǎn)一周，將殘膜割去?，F(xiàn)有的全自動貼膜設(shè)備可以貼8寸和12寸兩種規(guī)格的晶圓，不同的尺寸的圓片需要使用不同尺寸的擴(kuò)芯環(huán)，這樣就需要調(diào)整割膜刀固定座2的位置來改變割膜刀3旋轉(zhuǎn)半徑。改變割膜刀3的位置，是將緊固手柄I松開后，移動固定座2，如果是貼的是8寸晶圓的膜，就將固定座2移動到8寸的第一限位螺絲6處，12寸晶圓就移動固定座2到12寸的第二限位螺絲7處。
[0004]由于8寸、12寸的晶圓貼膜會經(jīng)常切換，現(xiàn)有裝置帶來了兩個方面的風(fēng)險，第一，如果緊固手柄I松脫，也會導(dǎo)致固定座2在第一限位螺絲6與第二限位螺絲7之間自由移動，會造成切不到膜，或者切到晶圓上，造成產(chǎn)品報廢；第二，如果緊固手柄I沒鎖緊，作業(yè)時容易導(dǎo)致螺絲松脫，使緊固手柄I砸在晶圓上，造成產(chǎn)品報廢。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]在下文中給出關(guān)于本實(shí)用新型的簡要概述，以便提供關(guān)于本實(shí)用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個概述并不是關(guān)于本實(shí)用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實(shí)用新型的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本實(shí)用新型的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的安全可靠性差，造成產(chǎn)品報廢的問題，本實(shí)用新型提供一種安全可靠，提高作業(yè)過程中產(chǎn)品安全性的半導(dǎo)體封裝設(shè)備的割膜裝置。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是:
[0008]一種半導(dǎo)體封裝設(shè)備的割膜裝置，包括齒輪和固定座，所述齒輪連接支架，所述齒輪能夠帶動支架旋轉(zhuǎn)，所述固定座一端固定連接割膜刀，所述固定座通過螺桿與所述支架固定連接，所述支架上設(shè)有凹槽，當(dāng)所述螺桿將所述固定座與所述支架固定時，所述螺桿的一端位于所述凹槽內(nèi)。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0010]本實(shí)用新型通過在支架上設(shè)置凹槽，螺桿一端位于凹槽內(nèi)，即使出現(xiàn)螺桿未鎖緊，也不會導(dǎo)致固定座的移動，避免了割膜刀切不到膜，或者切到晶圓上，造成產(chǎn)品報廢的問題。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、成本經(jīng)濟(jì)、安全可靠的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的提供的半導(dǎo)體封裝設(shè)備割膜裝置示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的半導(dǎo)體封裝設(shè)備割膜裝置示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的半導(dǎo)體封裝設(shè)備割膜裝置的平面示意圖；
[0015]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中提供的割膜裝置緊固手柄與割膜刀固定塊及割膜支架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記:
[0017]1-緊固手柄；
[0018]2-固定座，20-本體，21-連接板，210-螺紋孔；
[0019]3-割膜刀；
[0020]4-齒輪；
[0021]5-擴(kuò)芯環(huán)；
[0022]6-第一限位螺絲；
[0023]7-第二限位螺絲；
[0024]8-第一凹槽；
[0025]9-第二凹槽；
[0026]10-螺桿；
[0027]11-墊片；
[0028]12-支架，120-側(cè)板；
[0029]13-凹槽；
[0030]14-螺絲。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。在本實(shí)用新型的一個附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個或更多個其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本實(shí)用新型無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0032]參見圖2、圖3和圖4，一種半導(dǎo)體封裝設(shè)備的割膜裝置，包括齒輪4和固定座2，齒輪4連接支架12，齒輪4能夠帶動支架12旋轉(zhuǎn)，固定座2—端固定連接割膜刀3，固定座2通過螺桿10與支架12固定連接，支架12上設(shè)有凹槽13，當(dāng)螺桿10將固定座2與支架12固定時，螺桿10的一端位于凹槽13內(nèi)。
[0033]本實(shí)用新型的螺桿一端位于支架的凹槽里，使得固定座牢固鎖緊，不會導(dǎo)致割膜刀的滑移，使得割膜刀能夠精確的切到所要切割的膜，本實(shí)用新型提高了作業(yè)過程中產(chǎn)品的安全性，具有結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠、成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。
[0034]本實(shí)施例中，固定座2包括本體20和連接板21，本體20固定連接割膜刀3，本體20和連接板21之間通過螺絲14連接，支架12的側(cè)板120位于本體20和連接板21之間，本體20和連接板21能夠沿著側(cè)板120移動，連接板21上設(shè)有螺紋孔210，螺桿10 —端穿過螺紋孔210位于凹槽14內(nèi)。
[0035]本實(shí)用新型的固定座易于在支架上移動，從而使割膜刀移動后可以切割8寸晶圓的膜和12寸晶圓的膜。
[0036]本實(shí)施例中，支架12上間隔距離設(shè)有第一限位螺絲6和第二限位螺絲7，固定座2位于第一限位螺絲6和第二限位螺絲7之間，第一限位螺絲6的一側(cè)設(shè)有第一凹槽8，第二限位螺絲7的一側(cè)設(shè)有第二凹槽9，當(dāng)連接板21的一端抵制到第一限位螺絲6時，螺桿10的一端能夠位于相應(yīng)的第一凹槽8內(nèi)，當(dāng)連接板21的另一端抵制到第二限位螺絲7