加熱盤安裝或取出工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種加熱盤安裝或取出工裝，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備反應(yīng)腔中加熱盤的安裝或取出工裝，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備對反應(yīng)源的利用效率要求越來越高，這就要求反應(yīng)腔內(nèi)的容積要盡可能的減小，以實(shí)現(xiàn)高效的利用率，為實(shí)現(xiàn)腔體容積的減小同時又最小限度的更改設(shè)備，減小直徑是最優(yōu)化的方案，但是減小腔內(nèi)直徑的同時加熱盤的尺寸又不能變化，因此就產(chǎn)生了加熱盤無法徒手取出或取出過程中與側(cè)壁摩擦的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明以解決上述問題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)中加熱盤沒有專用工裝進(jìn)行安裝和取出的技術(shù)問題，而提供一種結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，能不損傷加熱盤及腔體側(cè)壁的工裝。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:加熱盤安裝或取出工裝，包括把手，它還包括立柱。所述的立柱通過下端所制的螺紋與把手上的凸臺內(nèi)螺紋連接；所述的立柱下部制有扳手口，通過工具擰動扳手口將立柱與凸臺固緊。上述立柱分別固定在把手的凸臺上。
[0005]上述立柱的頂部制有端頭，端頭的直徑與加熱盤底部的固定孔相匹配；
[0006]上述立柱的數(shù)量與加熱盤底部的固定孔數(shù)量相匹配。
[0007]操作時，將組裝好的工裝立柱的端頭與加熱盤下表面的孔對齊，雙手向上推出或托住加熱盤，實(shí)現(xiàn)取出或安裝。
[0008]本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0009]本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，使用此工裝，單人即可完成加熱盤的取出和安裝。通過工裝可以方便、安全地實(shí)現(xiàn)加熱盤安裝和取出，不會損傷各個部件。該工裝適用于多種規(guī)格的加熱盤，操作簡單，拆卸方便，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]實(shí)施例
[0012]參照圖1，加熱盤安裝或取出工裝，包括把手4，它還包括立柱2。所述的立柱2通過下端所制的螺紋5與把手4上的凸臺6內(nèi)螺紋連接；所述的立柱2下部制有扳手口 3，通過工具擰動扳手口 3將立柱2與凸臺6固緊。上述立柱2分別固定在把手4的凸臺6上。
[0013]所述立柱2的頂部制有端頭1，端頭I的直徑與加熱盤底部的固定孔相匹配。
[0014]所述立柱2的數(shù)量與加熱盤底部的固定孔數(shù)量相匹配。
[0015]所述立柱2的數(shù)量選擇6個。
[0016]取出加熱盤的操作過程:
[0017]將組裝后的本發(fā)明的六個立柱2的位置與加熱盤底部的固定孔位置對齊，通過將立柱2的端頭I與加熱盤固定孔對接，雙手握住工裝把手4用力向上托起即可將加熱盤取出。
[0018]安裝加熱盤的操作過程:
[0019]當(dāng)安裝加熱盤時，同樣利用立柱2的端頭I與加熱盤固定孔對接，雙手握住工裝把手4緩慢落下，當(dāng)加熱盤落到安裝位置后繼續(xù)向下移動工裝直至脫離即可實(shí)現(xiàn)加熱盤的安裝。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種加熱盤安裝或取出工裝，包括把手，其特征在于:它還包括立柱，所述的立柱通過下端所制的螺紋與把手上的凸臺內(nèi)螺紋連接；所述的立柱下部制有扳手口，通過工具擰動扳手口將立柱與凸臺固緊；所述的立柱分別固定在把手的凸臺上；所述立柱的頂部制有立而頭O2.如權(quán)利要求1所述的加熱盤安裝或取出工裝，其特征在于:所述立柱頂部端頭的直徑與加熱盤底部的固定孔相匹配。3.如權(quán)利要求1所述的加熱盤安裝或取出工裝，其特征在于:所述立柱的數(shù)量與加熱盤底部的固定孔數(shù)量相匹配。4.如權(quán)利要求1所述的加熱盤安裝或取出工裝，其特征在于:所述立柱的數(shù)量選擇6個。
【專利摘要】加熱盤安裝或取出工裝，主要解決現(xiàn)有技術(shù)中加熱盤沒有專用工裝進(jìn)行安裝和取出的技術(shù)問題。它包括把手與立柱。所述的立柱上制有扳手口；所述的立柱通過下端所制的螺紋與把手上的凸臺內(nèi)螺紋連接；所述的立柱下部制有扳手口，通過工具擰動扳手口將立柱與凸臺固緊。上述立柱分別固定在把手的凸臺上。上述立柱的頂部制有端頭，端頭的直徑與加熱盤底部的固定孔相匹配；上述立柱的數(shù)量與加熱盤底部的固定孔數(shù)量相匹配。操作時，將工裝立柱的端頭與加熱盤下表面的孔對齊，雙手向上推出或托住加熱盤，實(shí)現(xiàn)取出或安裝。該工裝單人即可完成加熱盤的取出和安裝。通過工裝可以方便、安全地實(shí)現(xiàn)加熱盤安裝和取出，不會損傷各個部件。適用于多種規(guī)格的加熱盤，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號】CN104979253
【申請?zhí)枴緾N201510318992
【發(fā)明人】鄭旭東, 蘇欣
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年10月14日
【申請日】2015年6月10日