一種板條式激光器裝置的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種板條式激光器裝置，屬于CO 2激光器技術(shù)領域。
【背景技術(shù)】
[0002]所謂激光切割就是將激光束照射到工件表面時釋放的能量來使工件融化并蒸發(fā)，以達到切割和雕刻的目的，具有精度高，切割快速，不局限于切割圖案限制，自動排版節(jié)省材料，切口平滑，加工成本低等特點，將逐漸改進或取代于傳統(tǒng)的金屬切割工藝設備。目前在電子產(chǎn)品成型加工上，也普遍使用激光切割，現(xiàn)有的CO 2激光器由于通過熱傳導方式進行冷卻，因此無法制造出緊湊、高能的激光器結(jié)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種板條式激光器裝置。
[0004]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導電板、后腔鏡、射頻激勵，所述波導電板包括上電板、下電板，均設置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設置有冷卻水進口，冷卻水出口 ；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設置在波導電板前端；所述后腔鏡設置在波導電板后端。
[0005]還包括光束整形單元，所述光束整形單元設置在波導電板前端，用于將矩形光束整形為一個圓形對稱的激光束。
[0006]作為優(yōu)選方案，所述光束整形單元設置為水冷式反射光束整形器。
[0007]作為優(yōu)選方案，所述輸出鏡長度小于后腔鏡長度。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述波導電板采用銅材質(zhì)。
[0009]有益效果:本發(fā)明提供的一種板條式激光器裝置，具有結(jié)構(gòu)緊湊、堅固的特點，便于一體化集成設計，高的光束質(zhì)量可以帶來小的聚集光斑，從而可獲得精密切割。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作更進一步的說明。
[0012]如圖1所示，一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡1、波導電板2、后腔鏡3、射頻激勵4，所述波導電板2包括上電板21、下電板22，均設置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板21與射頻激勵4輸出端相連接，下電板22接地；所述上電板21設置為中空結(jié)構(gòu)，上電板21頂部設置有冷卻水進口 23，冷卻水出口 24 ;所述上電板21、下電板22之間形成矩形諧振腔25 ;所述輸出鏡I設置在波導電板2前端；所述后腔鏡3設置在波導電板2后端。
[0013]還包括光束整形單元5，所述光束整形單元5設置在波導電板2前端，用于將矩形光束整形為一個圓形對稱的激光束6。
[0014]作為優(yōu)選方案，所述光束整形單元5設置為水冷式反射光束整形器。
[0015]作為優(yōu)選方案，所述輸出鏡I長度小于后腔鏡3長度。
[0016]作為優(yōu)選方案，所述波導電板2采用銅材質(zhì)。
[0017]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出:對于本技術(shù)領域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導電板、后腔鏡，其特征在于:還包括射頻激勵，所述波導電板包括上電板、下電板，均設置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設置有冷卻水進口，冷卻水出口 ；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設置在波導電板前端；所述后腔鏡設置在波導電板后端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:還包括光束整形單元，所述光束整形單元設置在波導電板前端，用于將矩形光束整形為一個圓形對稱的激光束。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述光束整形單元設置為水冷式反射光束整形器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述輸出鏡長度小于后腔鏡長度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述波導電板采用銅材質(zhì)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導電板、后腔鏡、射頻激勵，所述波導電板包括上電板、下電板，均設置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設置有冷卻水進口，冷卻水出口；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設置在波導電板前端；所述后腔鏡設置在波導電板后端。本發(fā)明提供的一種板條式激光器裝置，具有結(jié)構(gòu)緊湊、堅固的特點，便于一體化集成設計，高的光束質(zhì)量可以帶來小的聚集光斑，從而可獲得精密切割。
【IPC分類】H01S3-041, H01S3-02
【公開號】CN104577649
【申請?zhí)枴緾N201410829733
【發(fā)明人】劉思佳
【申請人】蘇州凱锝微電子有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年12月29日