本發(fā)明涉及晶圓加工，具體為一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)：

1、為了得到半導(dǎo)體產(chǎn)物，如芯片，需要使晶圓在不同的處理單元內(nèi)進(jìn)行相應(yīng)的處理。在涂膠顯影設(shè)備的處理中，晶圓主要在晶圓盒、中轉(zhuǎn)單元、旋轉(zhuǎn)單元、熱板單元間進(jìn)行傳輸。目前為了提高生產(chǎn)效率，涂膠顯影設(shè)備一直在增加每小時(shí)的吞吐量，通常通過增加機(jī)械臂的速度的方式來提高處理效率。采用現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)械臂，通過提高機(jī)械臂的運(yùn)行速度提高晶圓傳遞效率。而機(jī)械臂的機(jī)械結(jié)構(gòu)在機(jī)械臂的內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓，防止機(jī)械臂產(chǎn)生的顆粒溢出機(jī)械臂，而在高速運(yùn)動(dòng)中，機(jī)械臂的負(fù)壓系統(tǒng)可能出現(xiàn)問題，使機(jī)械臂溢出的顆粒雜質(zhì)變多，顆粒雜質(zhì)附著在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致晶圓出現(xiàn)質(zhì)量問題；并且機(jī)械臂在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，其自身發(fā)生故障的可能性增加，也會(huì)造成相關(guān)零部件的壽命縮短，故機(jī)械臂的速度有上限，其能提高的產(chǎn)量也有上限。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)解決的技術(shù)問題

2、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)及方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中通過提升機(jī)械臂移動(dòng)速度從而提高晶圓傳遞效率的措施，容易導(dǎo)致機(jī)械臂溢出顆粒雜質(zhì)變多，影響晶圓生產(chǎn)質(zhì)量，同時(shí)機(jī)械臂高速運(yùn)行，零部件使用壽命大幅縮短，整體晶圓提高產(chǎn)量有限的問題。

3、(二)技術(shù)方案

4、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)，包括晶圓盒站、盒站機(jī)械臂以及中轉(zhuǎn)單元，所述盒站機(jī)械臂在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳遞晶圓，所述盒站機(jī)械臂上設(shè)置有n個(gè)叉手(n≥2，且為整數(shù))，所述盒站機(jī)械臂通過n個(gè)叉手可至多搬運(yùn)n個(gè)晶圓。

5、優(yōu)選的，通過上述方案所述的晶圓傳送系統(tǒng)對(duì)晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送，具體包括以下步驟：

6、取出晶圓：盒站機(jī)械臂從晶圓盒內(nèi)至多取出n片晶圓；

7、晶圓存放至中轉(zhuǎn)單元：盒站機(jī)械臂將至多n片晶圓送入至中轉(zhuǎn)單元；

8、獲取中轉(zhuǎn)單元加工后的晶圓：盒站機(jī)械臂獲取中轉(zhuǎn)單元上的至多n片加工后的晶圓；

9、放回晶圓：盒站機(jī)械臂將至多n片加工后的晶圓放回晶圓盒。

10、優(yōu)選的，所述晶圓盒內(nèi)兩兩晶圓碼放間距與兩兩所述晶圓放置單元的間距相同，所述盒站機(jī)械臂的n個(gè)叉手能夠順利的在所述中轉(zhuǎn)單元與晶圓盒內(nèi)進(jìn)行晶圓交接。

11、優(yōu)選的，在晶圓存放至中轉(zhuǎn)單元步驟中，所述盒站機(jī)械臂能夠獨(dú)立將單個(gè)晶圓一一放置在所述中轉(zhuǎn)單元中空閑的單個(gè)所述晶圓放置單元內(nèi)。

12、優(yōu)選的，所述盒站機(jī)械臂在將晶圓傳送至中轉(zhuǎn)單元時(shí)，帶動(dòng)叉手上下移動(dòng)，將晶圓傳送至空閑的所述晶圓放置單元內(nèi)。

13、優(yōu)選的，所述盒站機(jī)械臂通過以下步驟對(duì)晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送：

14、取出晶圓：盒站機(jī)械臂從晶圓盒內(nèi)取出n片晶圓；

15、晶圓存放至中轉(zhuǎn)單元：盒站機(jī)械臂通過n個(gè)叉手將n片晶圓中的一片傳送至中轉(zhuǎn)單元上空閑的晶圓放置單元內(nèi)；

16、盒站機(jī)械臂帶動(dòng)叉手移動(dòng)：盒站機(jī)械臂帶動(dòng)裝載有晶圓的n-1個(gè)叉手依次移動(dòng)至空閑的晶圓放置單元處，n-1個(gè)叉手分別將裝載的晶圓傳送至空閑晶圓放置單元內(nèi)；

17、獲取中轉(zhuǎn)單元加工后的晶圓：盒站機(jī)械臂帶動(dòng)n個(gè)叉手一一獲取中轉(zhuǎn)單元中晶圓放置單元上的n片加工后的晶圓，期間，盒站機(jī)械臂帶動(dòng)叉手上下移動(dòng)以獲取不同位置處晶圓放置單元內(nèi)加工后的晶圓；

18、放回晶圓：盒站機(jī)械臂將n片加工后的晶圓一一放回晶圓盒。

19、優(yōu)選的，所述盒站機(jī)械臂通過以下步驟對(duì)n片晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送：

20、取出晶圓：盒站機(jī)械臂從晶圓盒內(nèi)取出n片晶圓，所述n為偶數(shù)；

21、晶圓存放至中轉(zhuǎn)單元：盒站機(jī)械臂通過n個(gè)叉手將n片晶圓中的2片同步送入至中轉(zhuǎn)單元上空閑的晶圓放置單元內(nèi)；

22、盒站機(jī)械臂帶動(dòng)叉手移動(dòng)：盒站機(jī)械臂帶動(dòng)裝載有晶圓的n-2個(gè)叉手依次移動(dòng)至空閑的2個(gè)晶圓放置單元處，n-2個(gè)叉手分別將裝載的2個(gè)晶圓同步傳送至晶圓放置單元內(nèi)；

23、獲取中轉(zhuǎn)單元加工后的晶圓：盒站機(jī)械臂帶動(dòng)n個(gè)叉手兩兩獲取中轉(zhuǎn)單元中晶圓放置單元上的n片加工后的晶圓，期間，盒站機(jī)械臂帶動(dòng)叉手上下移動(dòng)以獲取不同位置處晶圓放置單元內(nèi)加工后的晶圓；

24、放回晶圓：盒站機(jī)械臂將n片加工后的晶圓通過叉手兩兩放回晶圓盒。

25、(三)有益效果

26、本發(fā)明具備以下有益效果：

27、該多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)及方法，盒站機(jī)械臂可以單獨(dú)運(yùn)輸晶圓，能夠針對(duì)不同高度的晶圓進(jìn)行搬運(yùn)；同時(shí)，可以一次搬運(yùn)多個(gè)晶圓，也可以一次搬運(yùn)單個(gè)晶圓；整個(gè)盒站機(jī)械臂系統(tǒng)，可逐個(gè)更換多個(gè)晶圓。通過縮減盒站機(jī)械臂的移動(dòng)路程，達(dá)到與現(xiàn)有技術(shù)相同的搬運(yùn)量，從而提高設(shè)備的整體效率。

技術(shù)特征：

1.一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)，其特征在于，包括晶圓盒站、盒站機(jī)械臂以及中轉(zhuǎn)單元，所述盒站機(jī)械臂在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳遞晶圓，所述盒站機(jī)械臂上設(shè)置有n個(gè)叉手(n≥2，且為整數(shù))，所述盒站機(jī)械臂通過n個(gè)叉手可至多搬運(yùn)n個(gè)晶圓。

2.一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：通過如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送系統(tǒng)對(duì)晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送，具體包括以下步驟：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：所述晶圓盒內(nèi)兩兩晶圓碼放間距與兩兩所述晶圓放置單元的間距相同，所述盒站機(jī)械臂的n個(gè)叉手能夠順利的在所述中轉(zhuǎn)單元與晶圓盒內(nèi)進(jìn)行晶圓交接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：在晶圓存放至中轉(zhuǎn)單元步驟中，所述盒站機(jī)械臂能夠獨(dú)立將單個(gè)晶圓一一放置在所述中轉(zhuǎn)單元中空閑的單個(gè)所述晶圓放置單元內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：所述盒站機(jī)械臂在將晶圓傳送至中轉(zhuǎn)單元時(shí)，帶動(dòng)叉手上下移動(dòng)，將晶圓傳送至空閑的所述晶圓放置單元內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：所述盒站機(jī)械臂通過以下步驟對(duì)晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送：

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送方法，其特征在于：所述盒站機(jī)械臂通過以下步驟對(duì)n片晶圓在所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳送：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種多手盒站機(jī)械臂的晶圓傳送系統(tǒng)及方法，包括晶圓盒站、盒站機(jī)械臂以及中轉(zhuǎn)單元，所述晶圓盒站包括順序排列的若干個(gè)晶圓盒，所述晶圓盒內(nèi)的晶圓上下排列布置，所述中轉(zhuǎn)單元為層疊設(shè)置的若干個(gè)晶圓放置單元組成的塔型，所述盒站機(jī)械臂可以從所述晶圓盒與所述中轉(zhuǎn)單元間傳遞晶圓，所述盒站機(jī)械臂上設(shè)置有N個(gè)叉手(N≥2，且為整數(shù))，所述盒站機(jī)械臂通過N個(gè)叉手可一次性搬運(yùn)N個(gè)晶圓。本發(fā)明，通過縮減盒站機(jī)械臂的移動(dòng)路程，達(dá)到與現(xiàn)有技術(shù)相同的搬運(yùn)量，從而提高設(shè)備的整體晶圓傳遞效率。

技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名,魏祥紅,苗偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥開悅半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6