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一種壓電雙極型晶體管的制作方法

文檔序號(hào):12614405閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種壓電雙極型晶體管,其包括依次設(shè)置在半導(dǎo)體基板上的為n型的發(fā)射區(qū)、為p型的基區(qū)和為n型的集電區(qū);基區(qū)為壓電半導(dǎo)體,發(fā)射區(qū)的摻雜濃度高于基區(qū)的摻雜濃度;基區(qū)與集電區(qū)之間的形成有一npn結(jié)或pnp結(jié);該壓電雙極型晶體管采用npn結(jié)或pnp結(jié)的結(jié)構(gòu),與現(xiàn)有技術(shù)中壓電半導(dǎo)體pn結(jié)相比,能夠在相同的應(yīng)變下產(chǎn)生更大的電流增益,進(jìn)而增大其信號(hào)的輸出,從而大幅度提高應(yīng)變傳感靈敏度,可提高3到4個(gè)量級(jí),或在同比靈敏度下大幅降低器件功耗,降低3?4個(gè)量級(jí);其基區(qū)為壓電半導(dǎo)體,可通過向壓電半導(dǎo)體施加外界應(yīng)變力,在基區(qū)產(chǎn)生壓電電荷,調(diào)控基區(qū)集電結(jié)多子空穴的濃度,增大晶體管的輸出電流的變化,進(jìn)而提高可控電流的靈敏度。

技術(shù)研發(fā)人員:張巖;趙子銘
受保護(hù)的技術(shù)使用者:電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼:201610853624
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.27
技術(shù)公布日:2017.01.11

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