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一種壓電雙極型晶體管的制作方法

文檔序號:12614405閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種壓電雙極型晶體管,其特征在于:包括依次設置在半導體基板上的為n型的發(fā)射區(qū)、為p型的基區(qū)和為n型的集電區(qū);所述基區(qū)為壓電半導體,所述發(fā)射區(qū)的摻雜濃度高于所述基區(qū)的摻雜濃度;所述基區(qū)與集電區(qū)之間的形成有一npn結或pnp結。

2.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述發(fā)射區(qū)的為非壓電半導體或壓電系數(shù)與所述基區(qū)壓電系數(shù)不同的壓電半導體。

3.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述集電區(qū)包括壓電半導體和非壓電半導體。

4.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:由所述發(fā)射區(qū)注入所述基區(qū)中的電子數(shù)目大于所述基區(qū)中平衡電子的數(shù)目。

5.根據(jù)權利要求1~4任一項所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述發(fā)射區(qū)和基區(qū)之間的發(fā)射結上位于基區(qū)一側邊界處設有非平衡少子累積區(qū)。

6.根據(jù)權利要求5所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述基區(qū)的寬度小于所述非平衡少子的擴散長度。

7.根據(jù)權利要求1或6所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述基區(qū)與所述發(fā)射區(qū)之間形成有耗盡層。

8.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述壓電半導體的材質為ZnO,GaN,InN,GaAs,MoS2或CdS。

9.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述發(fā)射區(qū)與所述基區(qū)相接觸,所述基區(qū)與所述集電區(qū)相隔。

10.根據(jù)權利要求1所述的壓電雙極型晶體管,其特征在于:所述半導體基板包括背面層、設置在所述背面層表面的埋入絕緣膜、設置在所述埋入絕緣膜表面的半導體層;所述發(fā)射區(qū)、基區(qū)和集電區(qū)位于所述半導體層上。

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