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太陽能電池的制造方法及太陽能電池與流程

文檔序號:11236645閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及太陽能電池的制造方法及太陽能電池。所述制造方法包括:第1工序:在第1導(dǎo)電型的半導(dǎo)體基板的一面形成將第2導(dǎo)電型的雜質(zhì)以第1濃度擴散的第1摻雜層及將第2導(dǎo)電型的雜質(zhì)以比第1濃度低的第2濃度擴散且表面粗糙度與第1摻雜層不同的第2摻雜層;及在第1摻雜層形成與第1摻雜層電連接的金屬電極第2工序。在第2工序中,基于由于第1摻雜層與第2摻雜層的表面粗糙度的差而產(chǎn)生的第1摻雜層與第2摻雜層中的光反射率的差來檢測第1摻雜層的位置,依據(jù)檢測的第1摻雜層的位置來形成金屬電極。

技術(shù)研發(fā)人員:山林弘也;森岡孝之;古畑武夫
受保護的技術(shù)使用者:三菱電機株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2015.11.16
技術(shù)公布日:2017.09.08
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