校正治具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種校正治具，該校正治具包括：校正架，所述校正架包括：校正基臺、支撐架和校正頂針，所述校正基臺水平放置，所述校正基臺上設(shè)置有限位槽，所述支撐架設(shè)置于所述校正基臺上，所述校正頂針豎直穿過所述支撐架，所述校正頂針位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撐基座或中間連桿，所述校正頂針豎直向下運動至所述靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以對所述凹槽的異常處進行校正，本發(fā)明提供校正治具，其操作簡單、校正精確度高，同時校正過程中所耗費的時間短、校正工作量小。
【專利說明】校正治具【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種校正治具。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)生產(chǎn)制造過程中，需要使用磁控濺射設(shè)備(PVD)對玻璃基板進行鍍膜。在6代及以上立式磁控濺射設(shè)備中，該設(shè)備包括一靶材支撐部件，該祀材支撐部件用于支撐祀材和固定防著板(Ground Shield,簡稱GS),其中防著板用于防止靶材原子濺射到被鍍物以外的其它位置。
[0003]圖1為靶材支撐部件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中靶材支撐基座與中間連桿裝配后的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1和圖2所示:該靶材支撐部件包括:靶材支撐基座I和中間連桿2，靶材支撐基座2上設(shè)置有凹槽101，中間連桿2可緊密固定于置于凹槽101內(nèi)，進一步地，在凹槽101內(nèi)設(shè)置有第一螺孔102，中間連桿上對應(yīng)第一螺孔102處射有第二螺孔，通過不銹鋼螺釘穿過第一螺孔102和第二螺孔可使得靶材支撐基座I與中間連桿2裝配。
[0004]其中，防著板使用的材料為304不銹鋼(0Crl8Ni9)，該不銹鋼的化學(xué)成分為，碳(C): ≤0.07%、硅(Si): ≤ 1.0%、錳(Mn):≤ 2.0%、鉻(Cr):17.0% ~19.0%、鎳(Ni):8.0%~11.0%、硫(S):≤0.03%、磷(P)：≤ 0.035% ;物理特性:拉強度≤620Mpa,屈服強度≤310Mpa，伸長率≤30%，面積縮減< 40%，密度為7.93g/cm3,304不銹鋼耐高溫方面比較好，能達到750~800度，有較高的塑性、韌性和機械強度，且耐腐蝕。
[0005]在利用磁控濺射設(shè)備在進行鍍膜過程中，加工腔室內(nèi)為高溫、真空環(huán)境，在持續(xù)高溫的作用下，靶材支撐基座容易產(chǎn)生延展變形，進而帶動凹槽一起發(fā)生形變。具體地，靶材支撐部件的兩個端部分別通過定位螺釘固定在加工腔室中，靶材支撐部件的中間部位用來支撐靶材和承接防著板，由于靶材支撐部件的中間部位在加工腔室中沒有支撐點，因此該部件在固定受力不均的情況下容易發(fā)生整體形變。
[0006]當靶材支撐部件發(fā)生形變后，加工腔室內(nèi)的部分等離子體可繞過防著板濺射到中間連桿和凹槽兩側(cè)，對靶材支撐部件局部產(chǎn)生應(yīng)力，且隨著中間連桿和凹槽兩側(cè)的膜厚的增加，受濺射部位的局部應(yīng)力隨之增加，進而使得靶材支撐基座和中間連桿均產(chǎn)生“S”形變。
[0007]而靶材支撐基座和中間連桿均產(chǎn)生“S”形變后，會致使靶材與防著板的間距會發(fā)生改變，從而使得防著板的局部會受到等離子體的異常轟擊，經(jīng)過一段時間后，防著板上被異常轟擊的位置產(chǎn)生脫落，導(dǎo)致靶材與防著板導(dǎo)通，容易造成加工腔室內(nèi)的異常放電，最終造成產(chǎn)品不良或者電源短路無法放電，更嚴重地，則會燒毀電源、擊穿靶材支撐部件。
[0008]為了提高靶材支撐部件使用壽命，穩(wěn)定產(chǎn)品品質(zhì)并降低企業(yè)生產(chǎn)成本，則對靶材支撐部件需定期進行清洗，在清洗過程中需要將靶材支撐基座和中間連桿分離清洗。在分離后，靶材支撐基座和中間連桿上的局部應(yīng)力會得到釋放，引起靶材支撐基座和中間連桿發(fā)生形變，進而使得靶材支撐基座和中間連桿配合失效。因此，需要對靶材支撐基座和中間連桿進行校正。[0009]傳統(tǒng)矯正方法是使用水平臺進行形變量的測量，利用專用夾具和液壓平臺對其形狀進行保持，然后邊測量邊做出適當調(diào)整，最后加熱6?8小時進行去除應(yīng)力，傳統(tǒng)方式只可矯正靶材支撐基座的外形尺寸，但不能對凹槽形變進行矯正，而且傳統(tǒng)的校正方法的矯正時間持續(xù)較長，工作量大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明提供一種校正治具，該校正治具可對靶材支撐基座的凹槽、外形尺寸以及中間連桿的外形尺寸進行校正，且校正時間較短、工作量小、精確度高。
[0011]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種校正治具，該校正治具包括:校正架，所述校正架包括:校正基臺、支撐架和校正頂針，所述校正基臺水平放置，所述校正基臺上設(shè)置有限位槽，所述支撐架設(shè)置于所述校正基臺上，所述校正頂針豎直穿過所述支撐架，所述校正頂針位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撐基座或中間連桿，所述校正頂針豎直向下運動至所述靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以對所述凹槽進行校正。
[0012]可選地，所述限位槽的一個側(cè)壁上還設(shè)置有調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母配合所述限位槽的另一個側(cè)壁用于固定所述靶材支撐基座。
[0013]可選地，所述支撐架上設(shè)置有通孔，所述通孔的內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述校正頂針的柱身設(shè)置有與所述內(nèi)螺紋對應(yīng)的外螺紋，所述校正頂針置于所述通孔內(nèi)。
[0014]可選地，所述校正基臺和所述支撐架一體成型。
[0015]可選地，所述校正架的數(shù)量為至少兩個，至少一個所述校正架在水平方向上移動以對所述中間連桿的外形尺寸或所述靶材支撐基座的外形尺寸進行校正。
[0016]可選地，所述校正治具還包括:第一底座、第二底座和第一移動導(dǎo)軌，所述第一底座和所述第二底座均水平放置，所述第一底座位于所述第二底座的上方且與所述第二底座垂直，所述第一移動導(dǎo)軌與所述第一底座平行且固定于所述第一底座上，所述校正架位于所述第一移動導(dǎo)軌上方，所述第一移動導(dǎo)軌用于帶動所述校正架沿所述第一移動導(dǎo)軌移動。
[0017]可選地，所述第一移動導(dǎo)軌包括:第一絲杠和手動轉(zhuǎn)輪，所述手動轉(zhuǎn)輪帶動所述第一絲杠轉(zhuǎn)動以使所述校正架移動。
[0018]可選地，至少一個所述第一底座的下方還設(shè)置有第二移動導(dǎo)軌，所述第二移動導(dǎo)軌與所述第二底座平行且固定于所述第二底座上，所述第二移動導(dǎo)軌用于帶動所述第一底座沿所述第二移動導(dǎo)軌移動。
[0019]可選地，所述第二移動導(dǎo)軌包括:電動馬達和第二絲杠，所述電動馬達帶動所述第二絲杠轉(zhuǎn)動以使所述第一底座移動。
[0020]可選地，還包括:定型模具，所述定型模具包括:第三底座和位于所述第三底座上的凸起，當所述校正治具對所述靶材支撐基座的外形尺寸進行校正時，所述凸起置于所述靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以防止所述靶材支撐基座的凹槽變形。
[0021]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0022]本發(fā)明提供了一種校正治具，該校正治具包括校正架，該校正架包括:校正基臺、支撐架和校正頂針，通過校正頂針的移動可對支撐基座的凹槽進行校正，通過校正架的移動可對支撐基座的外形尺寸或中間連桿的外形尺寸進行校正，本發(fā)明提供校正治具，其操作簡單、校正精確度高，同時校正過程中所耗費的時間短、校正工作量小。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1為靶材支撐部件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為圖1中靶材支撐基座與中間連桿裝配后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為本發(fā)明實施例一提供的校正治具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4為本發(fā)明實施例二提供的校正治具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5為圖4中A結(jié)構(gòu)的局部放大圖；
[0028]圖6為定型模具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖7為定型模具與靶材支撐基座對位時的示意圖。
【具體實施方式】
[0030]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的校正治具進行詳細描述。
[0031]圖3為本發(fā)明實施例一提供的校正治具的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，該校正治具包括:校正架，校正架包括:校正基臺3、支撐架4和校正頂針5，其中，校正基臺3水平放置，校正基臺3上設(shè)置有限位槽301 ，支撐架4設(shè)置于校正基臺3上，校正頂針5豎直穿過支撐架4，校正頂針5位于限位槽301的正上方，限位槽301用于固定靶材支撐基座或中間連桿，校正頂針5豎直向下運動至靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以對凹槽的異常處進行校正。
[0032]在實際生產(chǎn)過程中，當靶材支撐基座和中間連桿均產(chǎn)生“S”形變時，需要對靶材支撐基座的凹槽、外形尺寸以及中間連桿的外形尺寸均進行校正。
[0033]本實施例中，凹槽的校正可分為兩種，一是點校正，二是線校正。具體地，點校正是指對凹槽中某一異常點進行校正，線校正是指對凹槽中某一彎曲段進行校正。
[0034]在利用本實施例提供的校正治具對靶材支撐基座的凹槽進行點校正時，具體過程如下:首先，查找清洗干凈的靶材支撐基座的凹槽上的異常點，并進行標記；然后，將靶材支撐基座固定于限位槽301內(nèi)，其中，靶材支撐基座帶有的凹槽的一面朝上，且校正頂針5位于凹槽的異常點的正上方；接下來，調(diào)節(jié)校正頂針5的高度，使得校正頂針5緊緊的壓入凹槽的異常處且持續(xù)一段時間；最后，將校正頂針5移出凹槽，完成對凹槽的點校正。
[0035]在利用本實施例提供的校正治具對靶材支撐基座的凹槽進行線校正時，具體過程如下:首先，查找清洗干凈的靶材支撐基座的凹槽上的彎曲段，并進行標記；然后，將靶材支撐基座分別固定于三個校正基臺3的限位槽301內(nèi)，其中，為保證校正的精確性，可使得任意兩個校正基臺3的之間的距離均較??；再然后，調(diào)節(jié)校正頂針5的高度，使得校正頂針5緊緊的壓入凹槽內(nèi)；接下來，調(diào)整三個校正基臺3的位置，使得三個校正頂針5位于同于一直線上，并使用超聲波消除靶材支撐基座上的應(yīng)力，從而完成對于異常處的局部校正?’最后，重復(fù)上面的步驟，對彎曲段中的其他彎曲部位進行校正，直到凹槽的彎曲段與正常段處于同一直線。需要說明的是，在進行線校正時，還可利用四個或多個校正基臺3進行校正，此處不再一一舉例。
[0036]在本實施例中，涉及到的外形尺寸的校正是指，靶材支撐基座或中間連桿變?yōu)椤?S”形后需要進行校正，以使靶材支撐基座或中間連桿的外形為直線形。[0037]在利用本實施例提供的校正治具對中間連桿的外形尺寸進行校正時，具體過程如下:首先，查找清洗干凈的中間連桿彎曲段，并進行標記；然后，將中間連桿分別固定于三個校正基臺3的限位槽301內(nèi)，其中，為保證校正的精確性，可使得任意兩個校正基臺3的之間的距離均較?。辉偃缓?，調(diào)整三個校正基臺3的位置，使得三個校正基臺3的限位槽301位于同于一直線上；接下來，使用超聲波消除靶材支撐基座上的應(yīng)力，從而完成對于彎曲處的局部校正；最后，重復(fù)上面的步驟，對彎曲段中的其他彎曲部位進行校正，直到中間連桿的彎曲段與正常段處于同一直線。
[0038]在利用本實施例提供的校正治具對靶材支撐基座的外形尺寸進行校正的過程與對中間連桿的外形尺寸進行校正時過程類似，具體可參照上述的描述，此處不再贅述。
[0039]在利用本實施例提供的校正治具對凹槽進行校正時與對外形尺寸校正進行校正時的區(qū)別在于，在進行凹槽校正時，校正頂針5需要壓入至凹槽內(nèi)，而在進行外形尺寸校正時，校正頂針5不用壓入至凹槽內(nèi)。
[0040]此外，在對凹槽進行點校正時只需用一個校正架便可完成，而對凹槽進行線校正以及對中間連桿、靶材支撐基座進行外形尺寸校正時需用到至少兩個校正架。
[0041]需要說明的是，在本實施例中，可預(yù)先制備好多個校正頂針5，且不同校正頂針5的頂部的尺寸不同，通過更換不同的校正頂針5來應(yīng)對不同尺寸的凹槽的校正。同時，由于校正頂針5與凹槽之間會產(chǎn)生較大的力，因此對校正頂針5的材質(zhì)的硬度要求較高，可選地，校正頂針5的材料為鈦合金材料，如鈦合金TC4材料，鈦合金TC4材料的組成為T1-6A1-4V，屬于(a+b)型鈦合金，具有良好的綜合力學(xué)機械性能；TC4鈦合金化學(xué)成分:TC4含鈦(Ti)余量，鐵(Fe) ≤0.30%，碳(C) ：≤0.10%，氮(N)≤ 0.05%，氫(H) ≤0.015%，氧
(O):≤ 0.20%,鋁(Al):5.5% ~6.8%,釩(V):3.5% ~4.5%,泊松比 0.34，密度為 4.5g/cm3,抗拉強度≥895 ob/MPa，規(guī)定殘余伸長應(yīng)力σ r0.2≥825MPa，伸長率δ5≥10%，斷面收縮率Ψ≥25%，比強度為23.5sb/g。
[0042]在實際校正過程中，由于待校正的靶材支撐基座的尺寸大小不一致，尺寸較大的靶材支撐基座難以置入限位槽301內(nèi)，尺寸較小的靶材支撐基座無法固定在限位槽301內(nèi)。為解決上述問題，可選地，在限位槽301的一個側(cè)壁上還設(shè)置調(diào)節(jié)螺母302，通過調(diào)節(jié)螺母302配合限位槽301的另一個側(cè)壁將靶材支撐基座固定。本實施例中，可將限位槽301預(yù)先設(shè)置的較大些，通過調(diào)整調(diào)節(jié)螺母302的伸出量來控制限位槽301的限位尺寸，進而使得限位槽301的限位尺寸與靶材支撐基座的尺寸相匹配。
[0043]在本實施中，為便于校正頂針5壓入凹槽內(nèi)，可選地，在支撐架4上設(shè)置通孔，通孔的內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，校正頂針5的柱身設(shè)置有與內(nèi)螺紋對應(yīng)的外螺紋，校正頂針5置于通孔內(nèi)，通過旋轉(zhuǎn)校正頂針5可使得校正頂針5的高度的改變，進而使校正頂針5的頂部緊緊的壓入凹槽中。通過將校正頂針5旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)化豎直運動，不僅可起到省力作用，而且還能實現(xiàn)對校正頂針5的豎直運動的精確控制。
[0044]可選地，校正基臺3和支撐架4 一體成型。本實施中的校正基臺3和支撐架4可以為分散結(jié)構(gòu)或一體結(jié)構(gòu)，較優(yōu)地，校正基臺3和支撐架4為一體結(jié)構(gòu)，因為支撐架4在本實施例中僅僅起到豎直支撐校正頂針5的作用，支撐架4越牢固越好。需要說明是，附圖中支撐架4的形狀和結(jié)構(gòu)并不對本發(fā)明的技術(shù)方案產(chǎn)生限制，本發(fā)明中支撐架4還可為其他形狀和結(jié)構(gòu)。[0045]本發(fā)明實施例一提供了一種校正治具,該校正治具包括校正架,該校正架包括:校正基臺、支撐架和校正頂針，通過校正頂針的移動可對支撐基座的凹槽進行校正，通過校正架的移動可對支撐基座的外形尺寸或中間連桿的外形尺寸進行校正，本發(fā)明提供校正治具，其操作簡單、校正精確度高，同時校正過程中所耗費的時間短、校正工作量小。
[0046]實施例二
[0047]圖4為本發(fā)明實施例二提供的校正治具的結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為圖4中A結(jié)構(gòu)的局部放大圖，如圖4和圖5所示，該校正治具包括:第一底座8、第二底座10、第一移動導(dǎo)軌7和至少兩個校正架6，其中，第一底座8和第二底座10均水平放置,第一底座8位于第二底座10的上方且與第二底座10垂直,第一移動導(dǎo)軌7與第一底座8平行且固定于第一底座8上，校正架6位于第一移動導(dǎo)軌7上方,第一移動導(dǎo)軌7用于帶動校正架6沿第一移動導(dǎo)軌7移動，該校正架6包括:校正基臺、支撐架和校正頂針5，其中，校正基臺水平放置，校正基臺上設(shè)置有限位槽301，支撐架設(shè)置于校正基臺上，校正頂針5豎直穿過支撐架，校正頂針5位于限位槽301的正上方，限位槽301用于固定靶材支撐基座或中間連桿。
[0048]校正頂針5豎直向下運動至靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以對凹槽的異常處進行校正，至少一個校正架6在水平方向上移動以對中間連桿的外形尺寸或靶材支撐基座的外形尺寸進行校正。
[0049]其中，第一移動導(dǎo)軌7包括:第一絲杠701和手動轉(zhuǎn)輪702，手動轉(zhuǎn)輪702帶動第一絲杠701轉(zhuǎn)動以使校正架6移動。
[0050]需要說明的是，在圖4中，校正架6的數(shù)量為三個，第一底座8和第一移動導(dǎo)軌7的數(shù)量對應(yīng)為三個，且本實施例中的水平方向包括:x方向和Y方向，具體地，定義沿第一移動導(dǎo)軌7的移動方向為X方向，第一底座8的長度方向為Y方向。
[0051]在利用本實施例提供的校正治具對凹槽進行點校正時，其具體過程與上述實施例一中相同，具體可參見上述實施例一，此處不再贅述。
[0052]在利用本實施例提供的校正治具對凹槽進行線校正時，其具體過程如下:首先，查找清洗干凈的靶材支撐基座的凹槽上的彎曲段，并進行標記；然后，將靶材支撐基座固定于三個校正基臺的限位槽301內(nèi)；再然后，調(diào)節(jié)校正頂針5的高度，使得校正頂針5緊緊的壓入凹槽內(nèi)；接下來，調(diào)節(jié)至少一個第一移動導(dǎo)軌7中的手動轉(zhuǎn)輪702以使校正基臺沿X方向移動，直至三個限位槽301位于同一直線上，并使用超聲波消除靶材支撐基座上的應(yīng)力，從而完成對于異常處的局部校正；最后，重復(fù)上面的步驟，對彎曲段中的其他彎曲部位進行校正，直到凹槽的彎曲段與正常段處于同一直線。
[0053]在利用本實施例提供的校正治具對中間連桿的外形尺寸進行校正時，其具體過程如下:首先，查找清洗干凈的中間連桿的彎曲段；然后，通過調(diào)節(jié)三個校正基臺上的調(diào)節(jié)螺母以使中間連桿固定于三個校正基臺的限位槽301內(nèi)；再然后，調(diào)節(jié)至少一個第一移動導(dǎo)軌7中的手動轉(zhuǎn)輪702以使校正基臺沿X方向移動，直至三個限位槽301位于同一直線上且使用超聲波消除中間連桿上的應(yīng)力；最后，重復(fù)上述過程，以對彎曲段中的其他彎曲部位進行校正，直到中間連桿的彎曲段與正常段處于同一直線。
[0054]較優(yōu)地，為保證校正過程中的精確性，在每個手動轉(zhuǎn)輪702上還設(shè)置有刻度尺，該刻度用于描述校正基臺在第一絲杠701上的位置，在本實施例中，當三個手動轉(zhuǎn)輪702上的刻度尺顯不同一刻度時，貝1J表不三個限位槽301位于同一直線上。[0055]需要說明的是，校正架6的數(shù)量為三個的情況并不對本發(fā)明的技術(shù)方案產(chǎn)生限制，在本實施例中，當校正架6的數(shù)量為兩個、四個或多個時，只要使得全部校正架6所對應(yīng)的手動轉(zhuǎn)輪702上刻度尺的刻度都相同，則也可實現(xiàn)校正。
[0056]可選地，至少一個第一底座8的下方還設(shè)置有第二移動導(dǎo)軌9，第二移動導(dǎo)軌9與第二底座10平行且固定于第二底座10上，第二移動導(dǎo)軌9用于帶動第一底座8沿第二移動導(dǎo)軌9移動，其中，第二移動導(dǎo)軌9包括:電動馬達902和第二絲杠901，電動馬達902帶動第二絲杠901轉(zhuǎn)動以使第一底座8移動。在圖4中，兩側(cè)的第一底座8的下方設(shè)置有第二移動導(dǎo)軌9，而中間的第一底座8的下方?jīng)]有設(shè)置第二移動導(dǎo)軌9。兩側(cè)的校正基臺可沿Y方向移動，使得相鄰的校正基臺的距離可以進行隨意的控制，從而可實現(xiàn)對中間連桿以及靶材支撐基座的彎曲部位的拉伸取值作用。 [0057]需要說明的是，由于校正基臺在X方向上移動的精度要高于在Y方向上的移動精度，因此，本實施例中的校正基臺在X方向上的移動是采用手動轉(zhuǎn)輪702驅(qū)動，而校正基臺在Y方向上的移動是采用電電動馬達902驅(qū)動。
[0058]在利用本實施例提供的校正治具對靶材支撐基座的外形尺寸進行校正時，其過程與對中間連桿的外形尺寸進行校正的過程類似。然而，在對靶材支撐基座的外形尺寸進行校正進行過程中，可能會對靶材支撐基座的凹槽產(chǎn)生二次破壞，因此需要對靶材支撐基座的凹槽進行保護。
[0059]圖6為定型模具的結(jié)構(gòu)示意圖，圖7為定型模具與靶材支撐基座對位時的示意圖，如圖6和圖7所示，可選地，該校正治具還包括:定型模具，定型模具包括:第三底座12和位于第三底座上的凸起11，在對靶材支撐基座I的外形尺寸進行校正時，凸起11是置于靶材支撐基座I的凹槽101內(nèi)的，從而防止靶材支撐基座I的凹槽101變形。
[0060]在對靶材支撐基座I的外形尺寸進行校正之前，將定型模具與靶材支撐基座I進行對位和固定，以使定型模具中的凸起11置于靶材支撐基座I的凹槽101內(nèi)?？蛇x地，在第三底座12上設(shè)置有第三螺孔13，且第三螺孔13與靶材支撐基座I上的第一螺孔102對應(yīng)，通過螺栓可使得定型模具與靶材支撐基座I固定，從而有效避免凹槽101的二次破壞。由于定型模具起到防止凹槽101變形的作用，因此定型模具需要有較高的硬度，可選地，定型模具的材料為鈦合金材料。
[0061]需要說明的是，在利用實施例提供的校正治具完成對靶材支撐基座和中間連桿的校正后，可利用標準件進行驗證，從而確定校正效果。
[0062]本實施例與上述實施例一的區(qū)別在于,本實施例中設(shè)置有第一底座8、第二底座
10、第一移動導(dǎo)軌7和第二移動導(dǎo)軌9,其中第一移動導(dǎo)軌7用于控制校正架6在X方向上的移動，第二移動導(dǎo)軌9用于控制校正架6在Y方向上的位置，從而使得本實施例中的校正治具的靈活性較高、校正區(qū)域廣泛，進而有效避免校正死區(qū)的出現(xiàn)；同時，通過多軸聯(lián)動的方式可精確的控制校正架6的位置，進一步提升了該校正治具的校正精確性。
[0063]本實施例中，對第一絲杠701和第二絲杠901的硬度要求不用太高，因此第一絲杠701和第二絲杠901的材質(zhì)可選用一般有機鋼材，如:45號鋼,其化學(xué)成分,碳(C):0.42%~
0.50%，硅(Si):0.17% ~0.37%，磷(P)..( 0.04%，硫(S)..( 0.045%，鉻(Cr)..( 0.25%，鎳(Ni):≤0.25%，銅(Cu):≤0.25%，其物理特性:抗拉強度為600Mpa，屈服強度為355Mpa，伸長率為16%，斷面收縮率為40%，沖擊功為39J。[0064]本發(fā)明實施例二提供了一種校正治具，該校正治具包括:第一底座、第二底座、第一移動導(dǎo)軌和至少兩個校正架，其中，第一底座和第二底座均水平放置，第一底座位于第二底座的上方且與第二底座垂直，第一移動導(dǎo)軌與第一底座平行且固定于第一底座上，校正架位于第一移動導(dǎo)軌上方，第一移動導(dǎo)軌用于帶動校正架沿第一移動導(dǎo)軌移動。本發(fā)明提供校正治具通過對校正架的位置的精確控制，從而提升了該校正治具的校正精確性，同時，該校正治具的操作簡單，校正過程耗費時間短、校正工作量小。
[0065]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種校正治具，其特征在于，包括:校正架，所述校正架包括:校正基臺、支撐架和校正頂針，所述校正基臺水平放置，所述校正基臺上設(shè)置有限位槽，所述支撐架設(shè)置于所述校正基臺上，所述校正頂針豎直穿過所述支撐架，所述校正頂針位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撐基座或中間連桿，所述校正頂針豎直向下運動至所述靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以對所述凹槽的異常處進行校正。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述限位槽的一個側(cè)壁上還設(shè)置有調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母配合所述限位槽的另一個側(cè)壁用于固定所述靶材支撐基座。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述支撐架上設(shè)置有通孔，所述通孔的內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述校正頂針的柱身設(shè)置有與所述內(nèi)螺紋對應(yīng)的外螺紋，所述校正頂針置于所述通孔內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述校正基臺和所述支撐架一體成型。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述校正架的數(shù)量為至少兩個，至少一個所述校正架在水平方向上移動以對所述中間連桿的外形尺寸或所述靶材支撐基座的外形尺寸進行校正。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的校正治具，其特征在于，所述校正治具還包括:第一底座、第二底座和第一移動導(dǎo)軌，所述第一底座和所述第二底座均水平放置，所述第一底座位于所述第二底座的上方且與所述第二底座垂直，所述第一移動導(dǎo)軌與所述第一底座平行且固定于所述第一底座上，所述校正架位于所述第一移動導(dǎo)軌上方，所述第一移動導(dǎo)軌用于帶動所述校正架沿所述第一移動導(dǎo)軌移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的校正治具，其特征在于，所述第一移動導(dǎo)軌包括:第一絲杠和手動轉(zhuǎn)輪，所述手動轉(zhuǎn)輪帶動所述第一絲杠轉(zhuǎn)動以使所述校正架移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的校正治具，其特征在于，至少一個所述第一底座的下方還設(shè)置有第二移動導(dǎo)軌，所述第二移動導(dǎo)軌與所述第二底座平行且固定于所述第二底座上，所述第二移動導(dǎo)軌用于帶動所述第一底座沿所述第二移動導(dǎo)軌移動。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的校正治具，其特征在于，所述第二移動導(dǎo)軌包括:電動馬達和第二絲杠，所述電動馬達帶動所述第二絲杠轉(zhuǎn)動以使所述第一底座移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求5-9中任一所述的校正治具，其特征在于，還包括:定型模具，所述定型模具包括:第三底座和位于所述第三底座上的凸起，當所述校正治具對所述靶材支撐基座的外形尺寸進行校正時，所述凸起置于所述靶材支撐基座的凹槽內(nèi)以防止所述靶材支撐基座的凹槽變形。
【文檔編號】H01L21/66GK103700599SQ201310652050
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月5日
【發(fā)明者】王召波, 樸祥秀, 張勛澤, 朱昊, 張卓然, 劉飛, 張文俊 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司