專利名稱：焊線機(jī)機(jī)座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種焊線機(jī)機(jī)座。
背景技術(shù)：
芯片從硅片上分離出來(lái)后需要通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)以測(cè)試工藝的可靠性，驗(yàn)證其產(chǎn)品的 性能。實(shí)驗(yàn)前，需要先對(duì)芯片進(jìn)行側(cè)面硬焊封裝(Side braze Assembly, SBA)，即將切割好 的芯片于高溫下與管殼上鍍金的銅片摩擦，使芯片與銅片緊密結(jié)合，形成簡(jiǎn)易的樣品，再用 金線將芯片表面的金屬壓點(diǎn)與管殼上的引腳鍵合起來(lái)，繼而插入測(cè)試板進(jìn)行測(cè)試。 在側(cè)面硬焊封裝中，將芯片表面的金屬壓點(diǎn)與管殼上的引腳鍵合的步驟是在金線 焊線機(jī)上完成的。AB339 Eagle金線焊線機(jī)是常用的金線焊線機(jī)，其機(jī)座結(jié)構(gòu)如圖l所示， 在機(jī)座1上設(shè)有卡槽ll，該卡槽11的寬度與某一規(guī)格的樣品2(指芯片與管殼上鍍金的銅 片緊密結(jié)合后形成的簡(jiǎn)易樣品)相匹配，使得樣品2的兩排引腳正好跨設(shè)在卡槽11的兩 側(cè)，上述卡槽11的兩端均位于機(jī)座1內(nèi)，該卡槽11的長(zhǎng)度LI約為10cm。 AB339 Eagle金 線焊線機(jī)需在175攝氏度的高溫下使用，為防止?fàn)C傷，進(jìn)行焊接時(shí)，取放樣品2必須使用防 熱鑷子夾住樣品2，一顆一顆進(jìn)行?，F(xiàn)有技術(shù)的金線焊線機(jī)的缺點(diǎn)是，將多個(gè)樣品放入卡槽 時(shí)，需要用防熱鑷子先將一顆樣品放好后，再放第二顆樣品， 一顆一顆進(jìn)行，非常浪費(fèi)人力 和時(shí)間，而且工作效率低；經(jīng)常取放樣品，容易產(chǎn)生靜電釋放，造成對(duì)樣品的傷害。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種焊線機(jī)機(jī)座，可同時(shí)將多顆樣品放入卡槽，提高 了工作效率，節(jié)省人力和時(shí)間，且能減少靜電釋放的產(chǎn)生。 為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種焊線機(jī)機(jī)座，用于固定樣品并對(duì)樣品 進(jìn)行焊接，包括座臺(tái)、設(shè)置在座臺(tái)上的卡槽以及槽條，所述槽條插入卡槽并能沿卡槽移動(dòng)， 上述槽條能同時(shí)放置多顆樣品。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述卡槽的兩端延伸至座臺(tái)的兩端或卡槽的一端延伸出 座臺(tái)。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述卡槽上設(shè)有一真空口 ，形成一固定區(qū)。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述槽條由防靜電材料制成。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述槽條的下表面與卡槽的上表面相匹配，上述槽條插入 卡槽，恰好與卡槽相吻合。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述槽條上設(shè)有數(shù)個(gè)放置樣品的區(qū)間，每個(gè)區(qū)間均設(shè)有一
真空口。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述區(qū)間的大小與某一規(guī)格樣品的大小相匹配，使得樣品 的兩排引腳正好跨設(shè)在區(qū)間的兩側(cè)。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，上述數(shù)個(gè)區(qū)間依次排列在槽條上，相鄰兩區(qū)間之間設(shè)有區(qū) 間隔條。[0013] 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，還包括推桿，所述推桿與槽條連接，并能推動(dòng)槽條沿卡槽 移動(dòng)。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述推桿包括連接部分和設(shè)置在連接部分上的推柄，所述 連接部分的下端設(shè)有一卡口 ，所述卡口能緊卡在槽條上，推動(dòng)槽條沿卡槽移動(dòng)。 上述焊線機(jī)機(jī)座，其中，所述推桿由防靜電材料制成。 本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座的槽條可同時(shí)放置多顆樣品，而且是在進(jìn)入金線焊接機(jī) 前將樣品放置好，不再需要用鑷子一顆一顆夾樣品，大大節(jié)省了人力和時(shí)間，提高了工作效 率；用推桿推動(dòng)槽條移動(dòng)，使用起來(lái)非常方便；推桿和槽條均采用防靜電材料制成，而且不 需要經(jīng)常取放樣品，能有效減少靜電釋放的產(chǎn)生，保護(hù)樣品；樣品放置在一個(gè)一個(gè)隔開(kāi)的區(qū) 間內(nèi)，避免了相鄰兩樣品之間的接觸，有效防止相鄰兩樣品間管腳的纏繞及相鄰兩樣品間 的摩擦，降低了焊接過(guò)程中樣品損壞風(fēng)險(xiǎn)；卡槽上設(shè)有固定區(qū)，能通過(guò)真空吸附固定將要
焊接的樣品，使得機(jī)臺(tái)非常容易找到正確的焊線位置，從而更有效、更快速地完成焊接線工 作，提高了工作質(zhì)量。

本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座由以下的實(shí)施例及附圖給出, 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的金線焊線機(jī)的機(jī)座。 圖2是本實(shí)用新型焊線機(jī)機(jī)座實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖, 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一中卡槽的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例一中槽條的左視圖。 圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例一中槽條的俯視圖。 圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例一中槽條的主視圖。 圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例一中推桿的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖8是本實(shí)用新型焊線機(jī)機(jī)座實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖,
具體實(shí)施方式以下將結(jié)合圖2 圖8對(duì)本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
實(shí)施例一 參見(jiàn)圖2，焊線機(jī)機(jī)座3包括座臺(tái)31、設(shè)置在座臺(tái)31上的卡槽32以及能插入卡槽 32并能相對(duì)卡槽32移動(dòng)的槽條33，多個(gè)樣品可同時(shí)放置在槽條33上。 參見(jiàn)圖3，所述卡槽32的兩端延伸至座臺(tái)31的兩端，即卡槽32的長(zhǎng)度L2與座臺(tái) 31的長(zhǎng)度相同。上述卡槽32的中央設(shè)有一真空口 34，在卡槽32的中央形成一固定區(qū)。 參見(jiàn)圖4，所述槽條33的下表面輪廓與卡槽32的上表面輪廓相匹配，使該槽條33 可插入卡槽32且能沿卡槽32移動(dòng)。上述槽條33插入卡槽32，恰好與卡槽32相吻合。 參見(jiàn)圖5，所述槽條33上設(shè)有數(shù)個(gè)放置樣品的區(qū)間35，每個(gè)區(qū)間35的大小與某一 規(guī)格樣品2的大小相匹配，使得樣品2的兩排引腳正好跨設(shè)在區(qū)間35的兩側(cè)。 每個(gè)區(qū)間35的中央設(shè)有一真空口 36。 參見(jiàn)圖6，上述數(shù)個(gè)區(qū)間35依次排列在槽條33的兩端部37和38之間，相鄰兩區(qū) 間35之間設(shè)有區(qū)間隔條39。所述區(qū)間35略向下凹，形成一放置樣品2的平臺(tái)。[0034] 上述槽條33由防靜電材料制成，該槽條33的長(zhǎng)度L3設(shè)計(jì)成等于卡槽32的長(zhǎng)度。 參見(jiàn)圖7，本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座還包括一推桿4，所述推桿4包括連接部分41 和設(shè)置在連接部分41上的推柄42，所述連接部分41的下端設(shè)有一卡口 43，所述卡口 43可 緊卡在槽條33上，推動(dòng)槽條33沿卡槽32移動(dòng)。 上述推桿4由防靜電材料制成。 本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座的工作原理是先將多顆樣品2放入槽條33的區(qū)間35 上，再將槽條33插入卡槽32，通過(guò)位于槽條33 —端部37的推桿4推動(dòng)槽條33沿卡槽32 移動(dòng)，進(jìn)入焊接區(qū)(即卡槽32中央的固定區(qū))的樣品2在真空泵抽氣作用下(此時(shí)該區(qū)間 35上的真空口 36與卡槽中央的真空口 34對(duì)準(zhǔn))被固定，繼而進(jìn)行金線焊接，完成焊接后， 推動(dòng)推桿4，完成下一顆樣品2的焊接，直至焊接完槽條33上所有的樣品2，最后拔出推桿 4，取出槽條33，將樣品2取出放入防靜電管?？梢允孪仍诙鄠€(gè)槽條33上放置好樣品，在焊 接過(guò)程中，保持一個(gè)槽條33接一個(gè)槽條33的連貫性，有效節(jié)省時(shí)間。 實(shí)施例二 實(shí)施例二與實(shí)施例一的區(qū)別在于，如圖8所示，在實(shí)施例二中，設(shè)置在座臺(tái)31上的 卡槽32—的一端延伸出座臺(tái)31，相應(yīng)地，與該卡槽32—配套使用的槽條33—也拉伸了長(zhǎng)度， 槽條33—的長(zhǎng)度等于卡槽32—的長(zhǎng)度。 拉伸了長(zhǎng)度的槽條33—能夠一次放置更多的樣品。 —個(gè)槽條一次能放置多顆樣品，同時(shí)準(zhǔn)備多個(gè)槽條，焊接的過(guò)程中，一個(gè)槽條接一 個(gè)槽條插入卡槽，可大大節(jié)省人力和時(shí)間，提高了工作效率。 槽條和推桿均采用防靜電材料制成，用槽條運(yùn)輸樣品減少了人與樣品的接觸，有 效減少了靜電釋放的產(chǎn)生，保護(hù)了樣品。 樣品放置在區(qū)間內(nèi)，各個(gè)區(qū)間用區(qū)間隔條隔開(kāi)，減少了樣品之間的接觸，能有效避 免樣品之間相互纏腳、摩擦。 卡槽中央的固定區(qū)，能通過(guò)真空吸附固定將要焊接的樣品，使得機(jī)臺(tái)非常容易找 到正確的焊線位置，從而更有效、更快速地完成焊接線工作，提高了工作質(zhì)量。
權(quán)利要求一種焊線機(jī)機(jī)座，用于固定樣品并對(duì)樣品進(jìn)行焊接，包括座臺(tái)，其特征在于，還包括設(shè)置在座臺(tái)上的卡槽以及槽條，所述槽條插入卡槽并能沿卡槽移動(dòng)，上述槽條能同時(shí)放置多顆樣品。
2. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述卡槽的兩端延伸至座臺(tái)的兩端 或卡槽的一端延伸出座臺(tái)。
3. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述卡槽上設(shè)有一真空口，形成一固 定區(qū)。
4. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述槽條由防靜電材料制成。
5. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述槽條的下表面與卡槽的上表面 相匹配，上述槽條插入卡槽，恰好與卡槽相吻合。
6. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述槽條上設(shè)有數(shù)個(gè)放置樣品的區(qū) 間，每個(gè)區(qū)間均設(shè)有一真空口 。
7. 如權(quán)利要求6所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述區(qū)間的大小與某一規(guī)格樣品的 大小相匹配，使得樣品的兩排引腳正好跨設(shè)在區(qū)間的兩側(cè)。
8. 如權(quán)利要求7所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，上述數(shù)個(gè)區(qū)間依次排列在槽條上，相 鄰兩區(qū)間之間設(shè)有區(qū)間隔條。
9. 如權(quán)利要求1所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，還包括推桿，所述推桿與槽條連接， 并能推動(dòng)槽條沿卡槽移動(dòng)。
10. 如權(quán)利要求9所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述推桿包括連接部分和設(shè)置在連 接部分上的推柄，所述連接部分的下端設(shè)有一卡口 ，所述卡口能緊卡在槽條上，推動(dòng)槽條沿 卡槽移動(dòng)。
11. 如權(quán)利要求9所述的焊線機(jī)機(jī)座，其特征在于，所述推桿由防靜電材料制成。
專利摘要本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座包括座臺(tái)、設(shè)置在座臺(tái)上的卡槽以及槽條，所述槽條插入卡槽并能沿卡槽移動(dòng)，上述槽條能同時(shí)放置多顆樣品。本實(shí)用新型的焊線機(jī)機(jī)座工作效率高、工作質(zhì)量高、能大大減少焊接過(guò)程中靜電釋放現(xiàn)象的產(chǎn)生。
文檔編號(hào)H01L21/60GK201438452SQ20092007674
公開(kāi)日2010年4月14日 申請(qǐng)日期2009年6月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月19日
發(fā)明者李剛, 潘軍花, 鄭鵬飛 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司