專利名稱：一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于壓電式傳感器技術領域，尤其涉及一種壓電薄膜超聲波傳感器的電 極。
背景技術：
目前采用壓電薄膜作為壓電 材料的超聲波傳感器廣泛引用于工業(yè)、國防等領域。 在超聲波傳感器的設計制作中，電極的設計尤為重要，其直接影響并決定了傳感器的性能。傳統(tǒng)的超聲波傳感器電極通常是在壓電材料表面絲印導電材料而形成的，具體是 通過絲網(wǎng)印刷的方式在壓電材料表面絲印高導電率的導電材料(如銀粉、碳粉或銀碳粉 等)而形成電極。這種電極的優(yōu)點是電極可以被印刷制成任意形狀，電極電阻小，可靠穩(wěn) 定，工藝簡單，但由于采用絲網(wǎng)印刷，使得電極的厚度很難做得很薄，典型的厚度為8-12微 米。而對于壓電薄膜超聲波傳感器而言，為了在相同的驅動條件下得到更高的聲壓靈敏度， 需要減輕壓電材料上的負載重量，因此對于絲網(wǎng)印刷形成的電極，其厚重的電極制約了傳 感器的聲壓靈敏度。為此，現(xiàn)有技術提出的另一種超聲波傳感器電極是在壓電材料表面通過真空濺射 電鍍而形成的，具體是將壓電材料兩面進行大面積電鍍，形成電鍍層，電鍍層的材料一般為 鋁、銅、鎳、金等高導電率材料，該電鍍層即為超聲波傳感器的電極。這種電極很輕薄，整個 電鍍層的典型厚度約為400埃到1000埃，相對于絲網(wǎng)印刷而形成的電極，可以提高聲壓靈敏度。由于超聲波傳感器使用在高壓高頻的驅動條件下，這就要求超聲波傳感器的電極 能夠承受傳感器工作時的高頻大電流，而由于通過真空濺射電鍍形成的電極很輕薄，同時 電極表面電阻不均勻，使得在高壓高頻驅動下，高頻瞬間大電流容易導致電鍍層的揮發(fā)、脫 落，電極容易失效，進而使得超聲波傳感器不能長時間工作，縮短了超聲波傳感器的使用壽 命。

發(fā)明內容
本發(fā)明實施例的目的在于提供一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，旨在解決現(xiàn)有 技術中在壓電材料表面通過真空濺射電鍍形成的作為電極的電鍍層極輕薄，表面電阻不均 勻，使得在高壓高頻驅動下，高頻瞬間大電流容易導致電鍍層的揮發(fā)、脫落，縮短了超聲波 傳感器使用壽命的問題。本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電薄膜 包括工作部以及與所述工作部一體成型的引出部，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極包 括電鍍于所述壓電薄膜的工作部和引出部同一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于所述第一基礎電鍍電極層另一表面的第一導電層；電鍍于所述工作部和引出部另一表面的第二基礎電鍍電極層；
其中，電鍍于所述引出部區(qū)域的第一基礎電鍍電極層和第二基礎電鍍電極層用于 分別連接包含有壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路印刷線路板的電極，電鍍于所述引出部區(qū) 域的第一基礎電鍍電極層向電鍍于所述工作部區(qū)域的第一基礎電鍍電極層導入或導出電 流；電鍍于所述引出部區(qū)域的第二基礎電鍍電極層用于向電鍍于所述工作部區(qū)域的第二基 礎電鍍電極層導入或導出電流；所述第一基礎電鍍電極層與第二基礎電鍍電極層的極性相 反。本發(fā)明實施例的另一目的在于提供一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電 薄膜包括工作部以及與所述工作部一體成型的引出部，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極 包括電鍍于所述壓電薄膜的工作部一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于所述引出部的與所述工作部一表面相同的一表面的第一導電層；電鍍于所述工作部另一表面的第二基礎電鍍電極層；涂覆于所述引出部另一表面的第二導電層；所述第一導電層和第二導電層用于分別連接包含所述壓電薄膜超聲波傳感器驅 動電路的印刷線路板的電極，所述第一導電層向所述第一基礎電鍍電極層導入或導出電 流，所述第二導電層向所述第二基礎電鍍電極層導入或導出電流；所述第一基礎電鍍電極 層與第二基礎電鍍電極層的極性相反。本發(fā)明實施例的另一目的在于提供一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電 薄膜包括工作部以及與所述工作部一體成型的引出部，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極 包括電鍍于所述壓電薄膜的工作部一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于所述引出部的與所述工作部一表面相同的一表面的第一導電層；
電鍍于所述工作部以及引出部另一表面的第二基礎電鍍電極層。所述第一導電層和所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述引出部的區(qū)域用于分 別連接包含所述壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電極，所述第一導電層向 所述第一基礎電鍍電極層導入或導出電流，所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述引出部 的區(qū)域向所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述工作部的區(qū)域導入或導出電流；所述第一 基礎電鍍電極層與第二基礎電鍍電極層的極性相反。本發(fā)明實施例中，由于在壓電薄膜引出部和工作部的表面電鍍基礎電極層后，在 該電極層的另一表面涂覆導電層，當該導電層涂覆于電極層的位于引出部區(qū)域時，改善了 引出部表面電極與印刷電路板的電極連接的可靠性。


圖1是本發(fā)明第一實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜的側 面結構示意圖；圖2是本發(fā)明第一實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜的一 個表面結構示意圖；圖3是本發(fā)明第四實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜在拆 分狀態(tài)下的結構示意圖4是本發(fā)明第四實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜的表 面結構示意圖；圖5是圖4中正電極的表面結構示意圖；圖6是圖4中負電極的表面結構示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對 本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
由于現(xiàn)有技術中，壓電薄膜超聲波傳感器在制作過程中，是將壓電薄膜按一定比 例進行拉伸來得到一定厚度的壓電薄膜，之后在壓電薄膜表面通過真空濺射形成作為壓電 薄膜超聲波傳感器的電極的電鍍層。而在壓電薄膜拉伸過程中，形成的壓電薄膜表面不平 整，沿著拉伸方向，壓電薄膜表面會形成波浪、鋸齒狀等，則在后續(xù)的真空濺射和制作電極 后，壓電薄膜表面的電鍍層的厚度會相應出現(xiàn)不均勻分布，繼而壓電薄膜上電極表面電阻 出現(xiàn)不均勻。這樣制作出來的壓電薄膜超聲波傳感器如果使用在高壓驅動下，壓電薄膜上 電極表面電阻的不均勻性會導致其表面出現(xiàn)的高頻電流的不均勻流動，特別是在壓電薄膜 的將電流引入或引出的引出部，長時間的瞬間大電流會導致壓電薄膜的作為電極的電鍍層 的發(fā)熱，繼而脫落揮發(fā)。另外，由于在實際應用中，引出部通常與包含有其驅動電路的印刷 線路板的銅電極采用壓接方式實現(xiàn)導通，該印刷線路板的銅電極表面由于化學蝕刻、銅皮 壓制工藝等原因而產(chǎn)生表面不光滑，這就使得引出部在與印刷線路板連接時，在引出部與 銅電極表面出現(xiàn)多個點連接而非面連接，這些點連接在高壓驅動而流過的高頻大電流下， 點連接附近的電鍍層在長時間驅動下尤為容易揮發(fā)，降低了傳感器的使用壽命。針對上述 技術問題，本發(fā)明在壓電薄膜引出部的表面涂覆導電層或在壓電薄膜引出部的表面電鍍基 礎電極層后，在該電極層的另一表面涂覆導電層。當該導電層涂覆于電極層的位于引出部 區(qū)域時，改善了引出部表面電極與印刷電路板的電極連接的可靠性。圖1是本發(fā)明第一實 施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜的側面結構示意圖，圖2是本發(fā)明第 一實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極及壓電薄膜的一個表面結構示意圖，為了便 于說明，僅示出了與本發(fā)明實施例相關的部分。結合圖1和圖2所示，壓電薄膜1具體包括工作部11以及與工作部11 一體成型 的引出部12，則本發(fā)明第一實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于壓電薄 膜1的工作部11和引出部12同一表面的第一基礎電鍍電極層2，涂覆于第一基礎電鍍電極 層2另一表面的第一導電層4，電鍍于壓電薄膜1的工作部11和引出部12另一表面的第二 基礎電鍍電極層3，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極還可以進一步包括涂覆于第二基礎電 鍍電極層3另一表面的第二導電層5。其中，第一基礎電鍍電極層2和第二基礎電鍍電極層3的電鍍于引出部12的區(qū)域 用于分別連接包含壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電極，第一基礎電鍍電 極層2的電鍍于引出部12的區(qū)域用于向第一基礎電鍍電極層2的電鍍于工作部11的區(qū)域 導入或導出電流，第二基礎電鍍電極層3的電鍍于引出部12的區(qū)域用于向第二基礎電鍍電 極層3的電鍍于工作部11的區(qū)域導入或導出電流；第一導電層4既可以以預設形狀涂覆于第一基礎電鍍電極層2位于工作部11的區(qū)域，也可以以預設形狀涂覆于第一基礎電鍍電極 層2位于引出部12的區(qū)域，同樣地，第二導電層5既可以以預設的形狀涂覆于第二基礎電 鍍電極層3位于工作部11的區(qū)域，也可以以預設形狀涂覆于第二基礎電鍍電極層3位于引 出部12的區(qū)域；第一基礎電鍍電極層2與第二基礎電鍍電極層3的極性相反，如當?shù)谝换?礎電鍍電極層2為正極時，第二基礎電鍍電極層3為負極。

由于在第一基礎電鍍電極層2的另一表面和/或第二基礎電鍍電極層3的另一表 面涂覆了導電層，當導電層具體涂覆于第一基礎電鍍電極層2和/或第二基礎電鍍電極層3 的位于引出部12的區(qū)域時，可以改善引出部12表面電極與印刷電路板的電極連接的可靠 性，同時，當導電層具體涂覆于第一基礎電鍍電極層2和/或第二基礎電鍍電極層3的位于 工作部11的區(qū)域時，可以提高工作部11表面電極的電流承載能力，進而提高電極工作的可 靠性。

更具體地，第一基礎電鍍電極層2和/或第二基礎電鍍電極層3可以為在壓電薄 膜1表面通過真空濺射或化學電鍍而形成的電鍍層，之后通過激光或化學腐蝕方式將該電 鍍層形成預設形狀。當?shù)谝换A電鍍電極層2和第二基礎電鍍電極層3均為在壓電薄膜1 表面通過真空濺射或化學電鍍而形成的預設形狀的電鍍層時，作為第一基礎電鍍電極層2 的電鍍層與作為第二基礎電鍍電極層3的電鍍層可以相對于壓電薄膜1呈對稱或非對稱 分布；第一導電層4可以為在第一基礎電鍍電極層2的另一表面沿壓電薄膜1的拉伸方向 或垂直于壓電薄膜1的拉伸方向通過絲網(wǎng)印刷或噴涂等方式涂覆的導電物質，第二導電層 5可以為在第二基礎電鍍電極層3的另一表面沿壓電薄膜1的拉伸方向或垂直于壓電薄膜 1的拉伸方向通過絲網(wǎng)印刷或噴涂等方式涂覆的導電物質，該導電物質應具有一定的柔性， 材質結構較為疏松且顆粒較大，如銀粉、碳粉、銀碳混合粉、導電橡膠、導電膠水、導電膠帶、 金屬箔帶或柔性PCB板上的金屬箔帶等松軟的導電物質。更進一步地，壓電薄膜1是由聚偏氟乙稀(Polyvinylidene Fluoride,PVDF)高分 子材料制成，當然，具體實現(xiàn)時，也可以采用其它具有壓電效應的晶體材料。另外，如圖2所示，其以第一導電層4所在一面為例示出了第一導電層4在第一基 礎電鍍電極層2上的涂覆位置。具體地，第一基礎電鍍電極層2包括涂覆于壓電薄膜1工 作部11 一表面的長方形以及涂覆于壓電薄膜1引出部12 —表面的帶狀區(qū)域，該帶狀區(qū)域 從該長方形一長邊延伸而出，第一基礎電鍍電極層4可以涂覆于沿該長方形一長邊向該長 方形區(qū)域內延伸的第一條狀區(qū)域41、和/或涂覆于沿該長方形另一長邊向該長方形區(qū)域內 延伸的第二條狀區(qū)域44，和/或涂覆于該長方形的第一條狀區(qū)域41與第二條狀區(qū)域44之 間區(qū)域、且靠近該長方形一短邊的第三條狀區(qū)域42，和/或涂覆于該長方形的第一條狀區(qū) 域41與第二條狀區(qū)域44之間區(qū)域、且靠近該長方形另一短邊的第四條狀區(qū)域43，和/或涂 覆于該帶狀區(qū)域一側的沿該長方形相應的長邊延伸而成的第五條狀區(qū)域45，和/或涂覆于 該帶狀區(qū)域另一側的沿該長方形相應的長邊延伸而成的第六條狀區(qū)域46。其中，第一條狀 區(qū)域41和第二條狀區(qū)域44互不接觸，第三條狀區(qū)域42和第四條狀區(qū)域43互不接觸，第五 條狀區(qū)域45和第六條狀區(qū)域46互不接觸。第二導電層5在第二基礎電鍍電極層3上的涂 覆位置與第一導電層4在第一基礎電鍍電極層2上的上述涂覆位置相同或相似，在此不再 贅述。本發(fā)明實施例還提供了 一種壓電薄膜超聲波傳感器，包括一壓電薄膜以及涂覆于壓電薄膜表面的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。其中，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極與 包含壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板相連，且該壓電薄膜超聲波傳感器的電 極采用如上所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。本發(fā)明第二實施例還提供了一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，與上述第一實施 例不同的是，本發(fā)明第二實施例中，壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于壓電薄膜1 的工作部11 一表面的第一基礎電鍍電極層2，涂覆于引出部12與工作部11 一表面相同的 一表面的第一導電層4，電鍍于壓電薄膜1的工作部11另一表面的第二基礎電鍍電極層3， 以及涂覆于引出部12另一表面的第二導電層5。其中，第一導電層4和第二導電層5用于 分別連接包含壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電極，第一導電層4向第一 基礎電鍍電極層2導入或導出電流；第二導電層5向第二基礎電鍍電極層3導入或導出電 流；第一基礎電鍍電極層2與第二基礎電鍍電極層3的極性相反。同樣地，由于在引出部12涂覆了導電層，改善了引出部12表面電極與印刷電路板 的電極連接的可靠性。此外，本發(fā)明實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極還可以包括涂覆于第一 基礎電鍍電極層2另一表面和/或第二基礎電鍍電極層3另一表面的導電層，以進一步提 高工作部11表面電極的電流承載能力，進而提高電極工作的可靠性。本發(fā)明第二實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極的其它結構、各部分的選 材及相互之間的連接關系與本發(fā)明第一實施例所述相同或相似，在此不再贅述。本發(fā)明第三實施例還提供了一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，與上述第二實施 例不同的是，本發(fā)明第三實施例中，壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于壓電薄膜1 的工作部11 一表面的第一基礎電鍍電極層2，涂覆于引出部12與工作部11 一表面相同的 一表面的第一導電層4，電鍍于壓電薄膜1的工作部11以及引出部12另一表面的第二基 礎電鍍電極層3，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極還可以進一步包括涂覆于第二基礎電鍍 電極層3另一表面的第二導電層5。其中，第一導電層4和第二基礎電鍍電極層3的涂覆 于引出部12的區(qū)域用于分別連接包含壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電 極，第一導電層4向第一基礎電鍍電極層2導入或導出電流；第二基礎電鍍電極層3的電鍍 于引出部12的區(qū)域向第二基礎電鍍電極層3的電鍍于工作部11的區(qū)域導入或導出電流； 第一基礎電鍍電極層2與第二基礎電鍍電極層3的極性相反。同樣地，由于在引出部12 —表面涂覆了導電層，改善了引出部12表面電極與印刷 電路板的電極連接的可靠性。另外，當?shù)诙щ妼?位于第二基礎電鍍電極層3的位于引 出部12的區(qū)域時，可以進一步改善引出部12表面電極與印刷電路板的電極連接的可靠性， 當?shù)诙щ妼?位于第二基礎電鍍電極層3的位于工作部11的區(qū)域時，可以進一步提高工 作部11表面電極的電流承載能力，進而提高電極工作的可靠性。本發(fā)明第三實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極的其它結構、各部分的選 材及相互之間的連接關系與本發(fā)明第二實施例所述相同或相似，在此不再贅述。本發(fā)明實施例還提供了一種壓電薄膜傳感器，包括一壓電薄膜以及涂覆于壓電薄 膜表面的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。其中，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極與包含壓 電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板相連，且該壓電薄膜超聲波傳感器的電極采用 如上所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。
圖3是本發(fā)明第四實施例提供的壓電薄膜及其電極在拆分狀態(tài)下的結構示意圖； 圖4是本發(fā)明第四實施例提供的壓電薄膜及其電極的表面結構示意圖；圖5是圖4中正電 極的表面結構示意圖；圖6是圖4中負電極的表面結構示意圖；為了便于說明，僅示出了于 本發(fā)明實施例相關的部分。本發(fā)明第四實施例提供的壓電薄膜超聲波傳感器的電極具體為本發(fā)明第一實施例的一個典型示例。如圖3所示，其中，10為壓電薄膜，9為負極電鍍層，8為負極導電層，7 為麥拉片，6為保護層，11為正極電鍍層，12為正極導電層。實驗證明，在長時間的高壓驅動 下連續(xù)工作時，采用上述結構的壓電薄膜超聲波傳感器的電極可避免電極揮發(fā)脫離失效的 問題。本發(fā)明實施例還提供了 一種壓電薄膜超聲波傳感器，包括一壓電薄膜以及涂覆于 壓電薄膜表面的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。其中，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極與 包含壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板相連，且該壓電薄膜超聲波傳感器的電 極采用如上所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極。由于在壓電薄膜引出部和工作部的表面電鍍基礎電極層后，在該電極層的另一表 面涂覆導電層，當該導電層涂覆于電極層的位于引出部區(qū)域時，改善了引出部表面電極與 印刷電路板的電極連接的可靠性。另外，在壓電薄膜工作部電鍍基礎電極層后，在電極層的 另一表面涂覆導電層，提高了工作部表面電極的電流承載能力，進而提高電極工作的可靠 性。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電薄膜包括工作部以及與所述工作部一 體成型的引出部，其特征在于，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于所述壓電薄膜的工作部和引出部同一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于所述第一基礎電鍍電極層另一表面的第一導電層；電鍍于所述工作部和弓I出部另一表面的第二基礎電鍍電極層；其中，電鍍于所述引出部區(qū)域的第一基礎電鍍電極層和第二基礎電鍍電極層用于分別 連接包含有壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路印刷線路板的電極，電鍍于所述引出部區(qū)域的 第一基礎電鍍電極層向電鍍于所述工作部區(qū)域的第一基礎電鍍電極層導入或導出電流；電 鍍于所述引出部區(qū)域的第二基礎電鍍電極層用于向電鍍于所述工作部區(qū)域的第二基礎電 鍍電極層導入或導出電流；所述第一基礎電鍍電極層與第二基礎電鍍電極層的極性相反。
2.如權利要求1所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述壓電薄膜超 聲波傳感器的電極還包括涂覆于所述第二基礎電鍍電極層另一表面的第二導電層。
3.如權利要求2所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述第一基礎電 鍍電極層和/或第二基礎電鍍電極層具體為在所述壓電薄膜表面通過真空濺射或化學電 鍍而形成的電鍍層，之后通過激光或化學腐蝕方式將所述電鍍層形成預設形狀。
4.如權利要求3所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，當所述第一基礎 電鍍電極層和第二基礎電鍍電極層均為在所述壓電薄膜表面通過真空濺射或化學電鍍而 形成的電鍍層時，作為所述第一基礎電鍍電極層的電鍍層與作為所述第二基礎電鍍電極層 的電鍍層相對于所述壓電薄膜呈對稱或非對稱分布。
5.如權利要求2所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述第一導電層 為在所述第一基礎電鍍電極層的另一表面沿所述壓電薄膜的拉伸方向或垂直于所述壓電 薄膜的拉伸方向涂覆的導電物質；所述第二導電層為在所述第二基礎電鍍電極層的另一表 面沿所述壓電薄膜的拉伸方向或垂直于所述壓電薄膜的拉伸方向涂覆的導電物質。
6.如權利要求2所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述第一導電層 和/或第二導電層采用銀粉、碳粉、銀碳混合粉或導電膠水涂覆，或者采用導電橡膠、導電 膠帶或金屬箔帶壓接，或者采用導電橡膠、導電膠帶或金屬箔帶粘接，或者通過柔性PCB板 上的金屬箔帶壓接或粘接。
7.如權利要求2所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述第一導電層 通過絲網(wǎng)印刷或噴涂的方式涂覆于所述第一基礎電鍍電極層的另一表面；所述第二導電層 通過絲網(wǎng)印刷或噴涂的方式涂覆于所述第二基礎電鍍電極層的另一表面。
8.如權利要求1至7所述的壓電薄膜超聲波傳感器的電極，其特征在于，所述壓電薄膜 是由聚偏氟乙稀高分子材料制成。
9.一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電薄膜包括工作部以及與所述工作部一 體成型的引出部，其特征在于，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于所述壓電薄膜的工作部一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于所述弓I出部的與所述工作部一表面相同的一表面的第一導電層；電鍍于所述工作部另一表面的第二基礎電鍍電極層；涂覆于所述引出部另一表面的第二導電層；所述第一導電層和第二導電層用于分別連接包含所述壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電極，所述第一導電層向所述第一基礎電鍍電極層導入或導出電流，所 述第二導電層向所述第二基礎電鍍電極層導入或導出電流；所述第一基礎電鍍電極層與第 二基礎電鍍電極層的極性相反。
10. 一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，所述壓電薄膜包括工作部以及與所述工作部 一體成型的引出部，其特征在于，所述壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括 電鍍于所述壓電薄膜的工作部一表面的第一基礎電鍍電極層； 涂覆于所述弓I出部的與所述工作部一表面相同的一表面的第一導電層； 電鍍于所述工作部以及引出部另一表面的第二基礎電鍍電極層。 所述第一導電層和所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述引出部的區(qū)域用于分別連 接包含所述壓電薄膜超聲波傳感器驅動電路的印刷線路板的電極，所述第一導電層向所述 第一基礎電鍍電極層導入或導出電流，所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述引出部的區(qū) 域向所述第二基礎電鍍電極層的電鍍于所述工作部的區(qū)域導入或導出電流；所述第一基礎 電鍍電極層與第二基礎電鍍電極層的極性相反。
全文摘要
本發(fā)明適用于壓電式傳感器技術領域，提供了一種壓電薄膜超聲波傳感器的電極，該壓電薄膜包括工作部以及引出部，該壓電薄膜超聲波傳感器的電極包括電鍍于壓電薄膜的工作部和引出部同一表面的第一基礎電鍍電極層；涂覆于第一基礎電鍍電極層另一表面的第一導電層；電鍍于工作部和引出部另一表面的第二基礎電鍍電極層。由于在壓電薄膜引出部和工作部的表面電鍍基礎電極層后，在該電極層的另一表面涂覆導電層，當該導電層涂覆于電極層的位于引出部區(qū)域時，改善了引出部表面電極與印刷電路板的電極連接的可靠性。
文檔編號H01L41/047GK102044625SQ20091019078
公開日2011年5月4日 申請日期2009年10月10日 優(yōu)先權日2009年10月10日
發(fā)明者王萬杰 申請人:精量電子(深圳)有限公司