專(zhuān)利名稱(chēng)：基板搬送裝置及基板搬送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬送例如平板顯示器(FPD)等的基板的基板搬送裝置 及基板搬送方法，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及在多個(gè)基板搬送部之間交接搬送基 板的技術(shù)。
10
背景技術(shù)：
以往，在平板顯示器等的基板的制造及檢查等工序中，采用了這樣 的手法從下方噴出空氣使基板浮起，保持該非接觸狀態(tài)的基板來(lái)進(jìn)行 搬送(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1 3)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的基板搬送裝置構(gòu)成為夾著浮起臺(tái)而設(shè)置的一對(duì)
15導(dǎo)軌在基板搬送方向(從搬入側(cè)向搬送側(cè))并列地配置有3組，保持基 板的前端的搬送端部(基板保持部)在各導(dǎo)軌上移動(dòng)。
另外，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的基板搬送裝置中，當(dāng)上游側(cè)(搬入 偵IJ)的一對(duì)搬送端部將基板搬入至交接位置時(shí)，在該交接位置待機(jī)的下 游側(cè)(搬出側(cè))的一對(duì)搬送端部移動(dòng)至基板的下方并從背面吸附基板，
20由此，在導(dǎo)軌之間交接并搬送基板。
專(zhuān)利文獻(xiàn)2所述的基板處理裝置中，第一導(dǎo)軌與基板搬送方向平行 地配置在浮起臺(tái)的一側(cè)，第二導(dǎo)軌與基板搬送方向平行地配置在對(duì)置的 另一側(cè)。此外，在第一導(dǎo)軌上以能夠移動(dòng)的方式設(shè)置有第一基板搬送部， 在第二導(dǎo)軌上以能夠移動(dòng)的方式設(shè)置有第二基板搬送部。
25 另外，關(guān)于上述專(zhuān)利文獻(xiàn)2所述的基板處理裝置，在從搬入位置到
涂布開(kāi)始位置為止的第一區(qū)間內(nèi)，通過(guò)第一基板搬送部?jī)H保持基板的單 偵IJ;在從涂布開(kāi)始位置到涂布結(jié)束位置為止的第二區(qū)間內(nèi)，通過(guò)第一及 第二基板搬送部保持基板的兩側(cè)；在從涂布結(jié)束位置到搬出位置為止的 第三區(qū)間內(nèi)，通過(guò)第二基板搬送部?jī)H保持基板的單側(cè)，從而將基板從上
6游側(cè)搬送至下游側(cè)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)3所述的基板搬送裝置中，沿著浮起臺(tái)的一個(gè)側(cè)緣配置有 導(dǎo)軌，在該導(dǎo)軌上以能夠從基板的搬入側(cè)向搬出側(cè)移動(dòng)的方式設(shè)置有單 一的基板搬送部，從而吸附保持基板的單側(cè)，并將基板從上游側(cè)(搬入 5側(cè))搬送至下游側(cè)(搬出側(cè))。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:國(guó)際公開(kāi)第03/086917號(hào)小冊(cè)子 專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)平2006—237482號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)2007—112626號(hào)公報(bào)
但是，在像上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的基板搬送裝置那樣吸附保持基板 io的前端兩側(cè)地進(jìn)行搬送的情況下，由于必須在基板前端的狹窄區(qū)域內(nèi)吸 附保持基板，因此會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題在從基板的搬入側(cè)(以下稱(chēng)為"上 游側(cè)")向搬出側(cè)(以下稱(chēng)為"下游側(cè)")交接基板時(shí)，由于吸附保持力 小，對(duì)基板的定位會(huì)偏移。搬送距離越長(zhǎng)，該定位的偏移越顯著。
此外，在像上述專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的基板搬送裝置以及上述專(zhuān)利文獻(xiàn) 15 2所述的基板處理裝置那樣在浮起臺(tái)的兩側(cè)配置導(dǎo)軌、吸附保持基板的兩 側(cè)緣部地進(jìn)行搬送的情況下，如果兩側(cè)導(dǎo)軌的平行度的精度不高，則基 板會(huì)因?qū)к壠叫卸鹊钠疃诎崴蜁r(shí)產(chǎn)生變形。如果基板這樣變形的話(huà)， 則在基板搬送過(guò)程中進(jìn)行基板檢査等的情況下，會(huì)給檢查精度帶來(lái)不良 影響。
20 此外，如果在浮起臺(tái)的兩側(cè)配置導(dǎo)軌，還會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題裝置整
體變大，無(wú)法減小設(shè)置面積。
另外，如果像上述專(zhuān)利文獻(xiàn)3所述的基板搬送裝置那樣沿著浮起臺(tái)
的單側(cè)設(shè)置導(dǎo)軌、通過(guò)單一的基板搬送部保持基板的一側(cè)緣部地進(jìn)行搬 送，則在將一枚基板從上游側(cè)搬送到了下游側(cè)之后再次搬送新的基板的
25情況下，基板搬送部必須返回至搬入位置。該情況下，在完成當(dāng)前搬送 的基板的搬送之前，無(wú)法接收新的基板并實(shí)施定位等前處理，從而產(chǎn)生 了無(wú)法縮短搬送及檢査的節(jié)拍時(shí)間的問(wèn)題
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述以往的實(shí)際情況，本發(fā)明的課題在于，提供一種能夠在短 時(shí)間內(nèi)高效率且高精度地進(jìn)行基板的搬送和檢查、并且能夠減小基板搬 送裝置的設(shè)置面積的基板搬送裝置及基板搬送方法。
為了解決上述課題，本發(fā)明的基板搬送裝置構(gòu)成為包括浮起臺(tái)， 5其使基板浮起；導(dǎo)軌，其在上述基板的搬送方向上呈一條直線(xiàn)狀地延伸； 以及多個(gè)基板搬送部，它們能夠沿著上述導(dǎo)軌彼此獨(dú)立地移動(dòng)，上述多 個(gè)基板搬送部包括第一基板搬送部，其接收搬送至上述搬送方向的上 游側(cè)的上述基板，并且將該接收的基板向上述搬送方向的下游側(cè)搬送； 和第二基板搬送部，其從上述第一基板搬送部接收上述基板，并且將該 10接收的基板向上述搬送方向的下游側(cè)搬送。
為了解決上述課題，本發(fā)明的基板搬送方法是將浮起的基板通過(guò) 第一基板搬送部向該基板的搬送方向的下游側(cè)搬送，然后將上述基板從 上述第一基板搬送部交接給第二基板搬送部，并且利用上述第二基板搬 送部將該交接后的基板向上述搬送方向的下游側(cè)搬送，上述第一基板搬 15送部沿著在上述搬送方向上呈一條直線(xiàn)狀地延伸的導(dǎo)軌移動(dòng)，上述第二 基板搬送部能夠沿著上述導(dǎo)軌與上述第一基板搬送部獨(dú)立地移動(dòng)。
在本發(fā)明中，由于多個(gè)基板搬送部在呈一條直線(xiàn)狀地延伸的導(dǎo)軌上 移動(dòng)，所以能夠防止因?qū)к壍钠叫卸鹊钠疃鸬幕宓淖冃危⑶遥?由于僅在浮起臺(tái)的單側(cè)配置導(dǎo)軌，所以能夠使基板搬送裝置整體變小。 20 此外，由于多個(gè)基板搬送部彼此獨(dú)立地移動(dòng)，因此，將基板交接給
其它基板搬送部的基板搬送部能夠在其它基板搬送部完成基板搬送之前 移動(dòng)至接收新的基板的位置，從而能夠縮短搬送和檢查的節(jié)拍時(shí)間。
因此，根據(jù)本發(fā)明，能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率且高精度地進(jìn)行基板的 搬送和檢查，并且能夠減小基板搬送裝置的設(shè)置面積。
2

圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板搬送裝置的概略結(jié)構(gòu)的立 體圖。
圖2是圖1中的A部的放大圖。圖3是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的基板搬送裝置的第一基板搬送部的 立體圖。
圖4是圖3中的B部的放大圖。
圖5是從基板搬送方向觀察到的上述一個(gè)實(shí)施方式的第一基板搬送 5部的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的基板搬送裝置的第二基板搬送部的 立體圖。
圖7是圖6中的C部的放大圖。
圖8是用于說(shuō)明上述一個(gè)實(shí)施方式的被檢查基板的交接的表示基板 10搬送裝置的概略俯視圖。
圖9是上述一個(gè)實(shí)施方式的第一基板搬送部和第二基板搬送部的主 要部分放大圖。
圖10是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板搬送裝置的概略結(jié)構(gòu)的 立體圖。
15 圖11是表示上述另一實(shí)施方式的基板搬送裝置的第一基板搬送部和
第二基板搬送部的立體圖。
圖12是圖11中的E部的放大圖。
圖13是上述一個(gè)實(shí)施方式的變形例的、圖1中的A部的放大圖。 圖14是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第二變形例的基板保持部的概略 20俯視圖。
圖15是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第三變形例的第一基板搬送部的 立體圖。
圖16是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第三變形例的第二基板搬送部的 立體圖。 25 標(biāo)號(hào)說(shuō)明
1:基板搬送裝置；2:被檢查基板；3:浮起臺(tái)；3a:浮起板；4: 導(dǎo)軌；5:第一基板搬送部；6:第二基板搬送部；5a、 6a:基板保持部； 5b、 6b:支撐部；5C、 6c:滑動(dòng)體；5d、 6d:上下機(jī)構(gòu)；5e、 6e:連接部； 5h:支撐部側(cè)連接部；5i:滑動(dòng)體側(cè)連接部；6f:臂部；6g:支撐板；6h:支撐板側(cè)連接部；6i:可動(dòng)板側(cè)連接部；6j:水平機(jī)構(gòu)；6k:可動(dòng)板；61: 軌道；6m:固定板；6n:驅(qū)動(dòng)部；6p:端部保持部；7:搬送軸框架；8: 門(mén)架；9、 10:攝像部；11、 12:鏡；13:門(mén)架支撐部；15:第一基板搬 送部；16:第二基板搬送部；15a、 16a:基板保持部；15b、 16b:支撐 5部；16f:臂部；16g:支撐板；16p:端部保持部；D:基板搬送方向；G: 間隙；Pl:基板搬入位置；P2:檢查開(kāi)始位置；P3:第一檢査位置；P4: 第二檢查位置；P5:檢查結(jié)束位置；P6:基板搬出位置；21:基板搬送 裝置；22:被檢查基板；23:浮起臺(tái)；23a:浮起板；24:導(dǎo)軌；25:第
一基板搬送部；26:第二基板搬送部；25a、 26a:基板保持部；25b、 26b: 10支撐部；25c、 26c:滑動(dòng)體；25d、 26d:上下機(jī)構(gòu)；25e、 26e:連接部； 25h、 26h:支撐部側(cè)連接部；25i、 26i:滑動(dòng)體側(cè)連接部；27:搬送軸框 架；28:門(mén)架；29、 30:攝像部；31、 32:鏡；33:門(mén)架支撐部。
具體實(shí)施方式
15 下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
<一個(gè)實(shí)施方式>
圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的基板搬送裝置1的概略結(jié)構(gòu)的 立體圖，圖2是圖1中的A部的放大圖。
圖3是表示上述基板搬送裝置1的第一基板搬送部5的立體圖，圖 20 4是圖3中的B部的放大圖。圖5是從基板搬送方向觀察到的上述第一 基板搬送部5的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示上述基板搬送裝置1的第二基板搬送部6的立體圖，圖 7是圖6中的C部的放大圖。
在圖1中，基板搬送裝置1包括以下等部分浮起臺(tái)3，其使制造 25 FPD的作為基板的玻璃基板2浮起；2根1組的導(dǎo)軌4，其在玻璃基板2 的搬送方向(箭頭D)上呈一條直線(xiàn)狀地延伸；作為多個(gè)基板搬送部的 第一基板搬送部5 (參照?qǐng)D3 圖5)和第二基板搬送部6 (參照?qǐng)D6和 圖7)，它們能夠彼此獨(dú)立地沿著該導(dǎo)軌4移動(dòng)。另外，導(dǎo)軌4是將兩根 直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)軌道接近地構(gòu)成為一體而得到的導(dǎo)軌，其中所述直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)軌道是將多塊磁板以預(yù)定間隔排列起來(lái)而構(gòu)成的。該導(dǎo)軌4也可以在一
根直線(xiàn)引導(dǎo)軌道上一體地構(gòu)成直線(xiàn)引導(dǎo)平行地接近的基板搬送部5、 6的 直線(xiàn)引導(dǎo)件。
浮起臺(tái)3由通過(guò)例如空氣使玻璃基板2浮起的多個(gè)浮起板3a鋪設(shè)而 5成。位于后述基板搬入?yún)^(qū)域P1 (上游側(cè))和基板搬出區(qū)域P6 (下游側(cè)) 的浮起板3a形成為細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，并且以其長(zhǎng)度方向與基板搬送方向 D平行的方式鋪設(shè)。此外，關(guān)于這些浮起板3a，在浮起臺(tái)3的寬度方向 上以預(yù)定的間隙G鋪設(shè)每個(gè)浮起板3a。
另外，檢査區(qū)域(處理區(qū)域)P5內(nèi)的浮起板3a形成為細(xì)長(zhǎng)的矩形 io形狀，并且以其長(zhǎng)度方向與基板搬送方向D正交、且無(wú)間隙地的方式鋪 設(shè)有多列。
導(dǎo)軌4配置在搬送軸框架7上，搬送軸框架7僅設(shè)置于與基板搬送 方向(箭頭D)平行的浮起臺(tái)3的單側(cè)。
第一基板搬送部5在將搬送至位于搬送方向(箭頭D)上游側(cè)的基 15板搬入?yún)^(qū)域(Pl)的玻璃基板2通過(guò)未圖示的定位機(jī)構(gòu)定位于基準(zhǔn)位置 的狀態(tài)下接收該玻璃基板2，并且將該接收的玻璃基板2向搬送方向(箭 頭D)的下游側(cè)搬送。此外，第二基板搬送部6從第一基板搬送部5接 收已定位的玻璃基板2，并且將該接收的玻璃基板2向搬送方向(箭頭D) 的下游側(cè)搬送。
20 第一基板搬送部5和第二基板搬送部6分別具有基板保持部5a、
6a;支撐部5b、 6b;滑動(dòng)體5c、 6c;作為上下方向移動(dòng)單元的上下機(jī)構(gòu) 5d、 6d;以及連接部5e、 6e。在各滑動(dòng)體5c、 6c的下表面上安裝有在導(dǎo) 軌4的直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)軌道上行走的直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)。
基板保持部5a、 6a通過(guò)經(jīng)由未圖示的空氣管的真空吸附來(lái)吸附保持
25玻璃基板2的背面。另外，在利用基板保持部5a、 6a保持玻璃基板2時(shí)， 不限定于對(duì)玻璃基板2的背面的真空吸附，例如也可以?shī)A住玻璃基板2 進(jìn)行保持，或者也可以真空吸附玻璃基板2的正面。
如圖3和圖6所示，在各基板搬送部5、 6上，以能夠位于沿著矩形 玻璃基板2的一個(gè)邊的前端部分、中央部分以及后端部分這3個(gè)部位的方式，彼此隔開(kāi)間隔地配置有3個(gè)支撐部5b、 6b。各支撐部5b、 6b上配 置有在玻璃基板2的交接時(shí)保持玻璃基板2的一個(gè)邊的邊緣部的基板保 持部5a、 6a，并且這些基板保持部5a、 6a以交替地排列在一條直線(xiàn)上的 方式隔開(kāi)預(yù)定間隔地配置有多個(gè)或者多組，這將在后面進(jìn)行詳述。 5 如圖5所示，第一基板搬送部5的支撐部5b的截面呈L字形狀，該
支撐部5b彎折成沿鉛直方向延伸的鉛直部分5b—l和沿水平方向延伸的 水平部分5b—2。水平部分5b—2從鉛直部分5b—l的下端向遠(yuǎn)離浮起臺(tái) 3的方向延伸。在鉛直部分5b—l的側(cè)面的上部固定有8個(gè)基板保持部 5a。關(guān)于這8個(gè)基板保持部5a，如圖3和圖4所示，以相鄰的2個(gè)為1
io組的基板保持部5a、 5a隔開(kāi)間隔地配置在4個(gè)部位。
如圖6和圖7所示，第二基板搬送部6的各支撐部6b由固定各基板 保持部6a的8個(gè)臂部6f、和支撐板6g構(gòu)成，其中，支撐板6g的截面呈 L字形狀，該支撐板6g彎折成沿鉛直方向延伸的鉛直部分6g—l和沿水 平方向延伸的水平部分6g—2。
15 另外，支撐板6g的水平部分6g—2與第一基板搬送部5的支撐部
5b相反地，從鉛直部分6g—l的下端向浮起板3側(cè)延伸。
臂部6f在與搬送方向(箭頭D)正交的水平方向上延伸，在臂部6f 的前端側(cè)固定有基板保持部6a，臂部6f的基端側(cè)固定于支撐板6g的水 平部分6g—2的上表面。臂部6f只要沿與搬送方向(箭頭D)交叉的方
20向延伸即可，其也可以不沿與搬送方向(箭頭D)正交的水平方向延伸， 這將在后面進(jìn)行詳述。
關(guān)于支撐于上述8個(gè)臂部6f的8個(gè)基板保持部6a，與第一基板搬送 部5的基板保持部5a —樣，以相鄰的2個(gè)為1組的基板保持部6a、 6a 隔開(kāi)間隔地配置在4個(gè)部位。
25 在此，關(guān)于配置在第一基板搬送部5的各支撐部5b上的4組(8個(gè))
基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6的各支撐部6b (臂部6f)上 的4組(8個(gè))基板保持部6a配置成在玻璃基板2的交接位置處，一 組一組交替地、與基板搬送方向平行地排列在一條直線(xiàn)上。
第一基板搬送部5的滑動(dòng)體5c和第二基板搬送部6的滑動(dòng)體6c俯視分別呈大致L字狀，并且以能夠獨(dú)立地移動(dòng)的方式配置在2根1組的 導(dǎo)軌4的上方。各滑動(dòng)體5c、 6c是將細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀的板切割成兩部分 而成的形狀，即，第一基板搬送部5的滑動(dòng)體5c具有從搬送方向(箭頭 D)側(cè)的后端向第二基板搬送部6側(cè)凸出的凸出部，第二基板搬送部6的 5滑動(dòng)體6c具有從搬送方向(箭頭D)側(cè)的前端向第一基板搬送部5側(cè)凸 出的凸出部。
另外，第一基板搬送部5的滑動(dòng)體5c和第二基板搬送部6的滑動(dòng)體 6c在玻璃基板2的交接位置處位于這樣的位置至少是配置有基板保持 部的部分(至少一部分)在導(dǎo)軌4的寬度方向上相互并列。這樣，第一
io基板搬送部5和第二基板搬送部6在玻璃基板2的交接位置處以至少是 配置有基板保持部的部分在導(dǎo)軌4的寬度方向上相互并列的方式對(duì)置。 在該情況下，配置于第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的各基板保 持部5a、 6a以互不干涉的方式錯(cuò)開(kāi)地對(duì)置，并且在基板交接時(shí)嵌在彼此 之間地排列成一條直線(xiàn)。
15 此外，滑動(dòng)體5c、 6c通過(guò)直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)而沿著導(dǎo)軌4直線(xiàn)移動(dòng)。
另外，作為滑動(dòng)體5c、 6c的驅(qū)動(dòng)方法，并不限定于直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，例 如，也可以利用為其它驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)等，使用帶式驅(qū)動(dòng)、滾珠絲杠驅(qū) 動(dòng)等。
上下機(jī)構(gòu)5d、 6d經(jīng)支撐部5b、 6b使基板保持部5a、 6a在上下方向 20上相對(duì)移動(dòng)，由此，能夠使基板保持部5a、 6a在保持浮起的玻璃基板2
的位置和從該位置向下方退開(kāi)了的位置之間移動(dòng)。
另外，第一基板搬送部5的上下機(jī)構(gòu)5d如圖4所示設(shè)置在滑動(dòng)體
5c上，第二基板搬送部6的上下機(jī)構(gòu)6d如圖7所示設(shè)置在后述的水平機(jī)
構(gòu)6j的可動(dòng)板6k上。 25 如圖4所示，第一基板搬送部5的連接部5e由固定于支撐部5b的
支撐部側(cè)連接部5h、和固定于滑動(dòng)體5c的滑動(dòng)體側(cè)連接部5i構(gòu)成，所
述第一基板搬送部5的連接部5e夾著上下機(jī)構(gòu)5d配置有一對(duì)。支撐部
側(cè)連接部5h以能夠配合由上下機(jī)構(gòu)5d驅(qū)動(dòng)的支撐部5b的上下運(yùn)動(dòng)地滑
動(dòng)的方式連接于滑動(dòng)體側(cè)連接部5i。
13如圖7所示，第二基板搬送部6的連接部6e由固定于支撐板6g的 支撐板側(cè)連接部6h、和固定于后述可動(dòng)板6k的可動(dòng)板側(cè)連接部6i構(gòu)成， 所述第二基板搬送部6的連接部6e夾著上下機(jī)構(gòu)6d地配置有一對(duì)。支 撐板側(cè)連接部6h以能夠配合由上下機(jī)構(gòu)6d驅(qū)動(dòng)的支撐部6b的上下運(yùn)動(dòng) 5地滑動(dòng)的方式連接于可動(dòng)板側(cè)連接部6i。
在第二基板搬送部6上，具有使各支撐部6b向玻璃基板2側(cè)移動(dòng)的 作為寬度方向移動(dòng)單元的水平機(jī)構(gòu)6j。該水平機(jī)構(gòu)6j由可動(dòng)板6k、 2根 軌道61、固定板6m以及驅(qū)動(dòng)部6n構(gòu)成。
如上所述，在可動(dòng)板6k上固定有上下機(jī)構(gòu)6d和連接部6e?？蓜?dòng)板 io 6k通過(guò)驅(qū)動(dòng)部6n的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，能夠在固定于固定板6m上的2根軌 道61上滑動(dòng)。
驅(qū)動(dòng)部6n配置在固定板6m上，并且所述驅(qū)動(dòng)部6n通過(guò)經(jīng)可動(dòng)板 6k使基板保持部6a在水平方向上移動(dòng)，來(lái)使基板保持部6a在玻璃基板 2的下方的吸附位置、和從該位置向不與基板保持部5a干涉的玻璃基板 15 2外側(cè)退開(kāi)的位置(參照?qǐng)D9)之間移動(dòng)。在該向外側(cè)的退避動(dòng)作之前， 驅(qū)動(dòng)上下機(jī)構(gòu)6d使基板保持部6a下降到與玻璃基板2的背面不發(fā)生干 涉的位置。
另外，在本實(shí)施方式中，利用水平機(jī)構(gòu)(寬度方向移動(dòng)單元)6j使 基板保持部6a在相對(duì)于搬送方向(箭頭D)正交的方向移動(dòng)，但是只要 20能夠使基板保持部6a在相對(duì)于搬送方向(箭頭D)正交的方向錯(cuò)開(kāi)，則 也可以采用其它的機(jī)構(gòu)。
此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)僅在第二基板搬送部6上設(shè)置水平機(jī)構(gòu) 6j的示例進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以?xún)H在第一基板搬送部5上設(shè)置水平機(jī) 構(gòu)，或者在第一基板搬送部5和第二基板搬送部6兩者上都設(shè)置水平機(jī) 25構(gòu)。
如圖1所示，基板搬送裝置1具有門(mén)架8，其以橫跨浮起臺(tái)3和 搬送軸框架7的方式配置；以及基板處理部，其配置在該門(mén)架8上。作 為基板處理部，有這樣的基板檢査裝置具有用來(lái)檢査通過(guò)例如FPD的 制造工序制造出的玻璃基板2的攝像部9、 10、鏡ll、 12以及未圖示的
14照明部的基板檢查裝置；或者彩色濾光片等的基板檢査裝置。此外，關(guān) 于基板處理部，除了基板檢查裝置以外，也可以是制造TFT玻璃基板的 抗蝕涂布裝置或曝光裝置、顯影裝置、制造彩色濾光片基板的各種制造 裝置。
5 門(mén)架8由夾著浮起臺(tái)3和搬送軸框架7地對(duì)置的一對(duì)門(mén)架支撐部13
(僅圖示一側(cè))支撐。
下面，對(duì)玻璃基板2的搬送方法進(jìn)行說(shuō)明。
圖8是用于說(shuō)明上述被檢查基板2的交接的表示基板搬送裝置1的
概略俯視圖。另外，在圖8中，為了易于說(shuō)明，對(duì)第一基板搬送部5和 io第二基板搬送部6在分別移動(dòng)的兩個(gè)位置進(jìn)行了圖示，但在本實(shí)施方式
中第一基板搬送部5和第二基板搬送部6各配置有一個(gè)。
圖9是上述第一基板搬送部5和第二基板搬送部6的主要部分放大
圖，除了第二基板搬送部6的基板保持部6a從保持玻璃基板2的位置退
開(kāi)這一點(diǎn)以外，其余與圖1的A部(圖2)相同。 5 首先，將玻璃基板2從其它裝置搬入圖8所示的基板搬送裝置1的
基板搬入?yún)^(qū)域P1中。在基板搬入?yún)^(qū)域P1中，通過(guò)未圖示的對(duì)齊單元將
玻璃基板2定位于基準(zhǔn)位置。
接著，通過(guò)在基板搬入?yún)^(qū)域P1的位置待機(jī)的第一基板搬送部5 (基
板保持部5a)來(lái)保持玻璃基板2。具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)第一基板搬送部5的 20上下機(jī)構(gòu)5d，使下降了的基板保持部5a上升至保持玻璃基板2的位置。
此后，利用經(jīng)由未圖示的空氣管的真空吸附，幵始進(jìn)行玻璃基板2的保持。
然后，通過(guò)第一基板搬送部5 (基板保持部5a)保持玻璃基板2同 時(shí)搬送至檢査開(kāi)始區(qū)域P2，然后使玻璃基板2通過(guò)第一檢查位置P3和第 25 二檢查位置P4，并利用上述攝像部9、 10等對(duì)玻璃基板2進(jìn)行攝像。
在將玻璃基板2搬送至通過(guò)了第二檢查位置P4的檢查結(jié)束區(qū)域P5 之后，在由第一基板搬送部5的基板保持部5a保持玻璃基板2的狀態(tài)下， 利用在檢查結(jié)束區(qū)域P5待機(jī)的第二基板搬送部6的基板保持部6a保持 玻璃基板2。然后，在第二基板搬送部6的基板保持部6a完成了玻璃基板2的保持交接之后，解除第一基板搬送部5的基板保持部5a的保持。 具體來(lái)說(shuō)，如圖9所示，第二基板搬送部6的基板保持部6a當(dāng)在檢
查結(jié)束區(qū)域P5待機(jī)時(shí)，位于不妨礙第一基板搬送部5對(duì)玻璃基板2的搬
送的位置(從玻璃基板2下方的位置退開(kāi)了的位置)。另外，當(dāng)?shù)谝换?5搬送部5到達(dá)檢査結(jié)束區(qū)域P5 (玻璃基板2的交接位置)時(shí)，如圖2所
示，通過(guò)水平機(jī)構(gòu)6j使第二基板搬送部6的基板保持部6a移動(dòng)至玻璃基
板2的下方。此后，通過(guò)上下機(jī)構(gòu)6d使基板保持部6a上升至保持玻璃
基板2的位置，并開(kāi)始進(jìn)行真空吸附。
當(dāng)?shù)诙灏崴筒?的基板保持部6a這樣完成了玻璃基板2的保持 io時(shí)，解除第一基板搬送部5的基板保持部5a的真空吸附，并通過(guò)上下機(jī)
構(gòu)5d使第一基板搬送部5的基板保持部5a從保持玻璃基板2的位置退
開(kāi)(下降)。
另外，也可以將從下方支撐玻璃基板2并使其靜止的基板靜止部配 置在浮起臺(tái)3上，在玻璃基板2的交接位置處，經(jīng)上述基板靜止部將玻 15璃基板2從第一基板搬送部5 (基板保持部5a)交接給第二基板搬送部6 (基板保持部6a)。
接著，利用第二基板搬送部6將玻璃基板2搬送至基板搬出區(qū)域P6， 然后將玻璃基板2搬出到其它的裝置等上。第一基板搬送部5在檢查結(jié) 束區(qū)域P5解除了對(duì)玻璃基板2的保持之后(即，在將玻璃基板2交接給 20第二基板搬送部6之后)，移動(dòng)至基板搬入?yún)^(qū)域位置P1，以接收新的玻璃 基板2。同樣，在基板搬出區(qū)域P6完成了玻璃基板2的搬送的第二基板 搬送部6也移動(dòng)至檢査結(jié)束區(qū)域P5待機(jī)。
另外，根據(jù)檢查方式不同，也可以考慮使玻璃基板2向第一檢查位 置P3和第二檢查位置P4的一方或者雙方往返移動(dòng)從而多次通過(guò)。此外， 25也可以考慮使第二基板搬送部6不是在檢查結(jié)束區(qū)域P5待機(jī)，而是如圖 1所示使其在檢査開(kāi)始區(qū)域P2待機(jī)，在利用第二基板搬送部6搬送玻璃 基板2的同時(shí)進(jìn)行檢査處理。
另外，也可以這樣構(gòu)成在第一基板搬送部5或第二基板搬送部的 任一方產(chǎn)生了吸附錯(cuò)誤的情況下，使第一基板搬送部5和第二基板搬送部6以成為一體的狀態(tài)在導(dǎo)軌4上移動(dòng)，從而在基板搬送區(qū)域P1、檢査 區(qū)域(處理區(qū)域)P2 P5以及基板搬出區(qū)域P6的全部區(qū)域內(nèi)搬送玻璃 基板2。此外，也可以這樣構(gòu)成在第一基板搬送部5產(chǎn)生了吸附錯(cuò)誤的 情況下，使該第一基板搬送部5避讓至不會(huì)妨礙第二基板搬送部6的移 5動(dòng)的基板搬入?yún)^(qū)域Pl，并且使基板保持部5a向下方避讓以使其不與基板 保持部6a干涉，然后在該狀態(tài)下使第二基板搬送部6在導(dǎo)軌4上移動(dòng)。 同樣，還可以構(gòu)成為在第二基板搬送部6產(chǎn)生了吸附錯(cuò)誤的情況下， 使該第二基板搬送部6避讓至不會(huì)妨礙第一基板搬送部5的移動(dòng)的基板 搬出區(qū)域P6，并且使基板保持部6a向下方避讓以使其不與基板保持部 io 5a干涉，然后在該狀態(tài)下使第一基板搬送部5在導(dǎo)軌4上移動(dòng)。
此外，在本實(shí)施方式中，對(duì)基板搬送部形成為第一基板搬送部5和 第二基板搬送部6兩部分的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以使用3個(gè)以上 的基板搬送部來(lái)交接玻璃基板2。
此外，在本實(shí)施方式中，說(shuō)明了將基板搬送裝置1使用于對(duì)玻璃基 15板2進(jìn)行攝像的檢査裝置的示例，但是基板搬送裝置1也可以應(yīng)用于以 下方面使用顯微鏡等的通過(guò)放大目視觀察指定的檢査位置來(lái)進(jìn)行玻璃 基板2的缺陷檢查的微觀檢査或復(fù)查；對(duì)由檢査裝置檢測(cè)出的缺陷進(jìn)行 修正的缺陷修正裝置或制造用于制作FPD的各種基板的基板制造裝置的 基板搬送。
20 此外，作為處理對(duì)象的基板除了矩形的玻璃基板以外，也可以是構(gòu)
成FPD的彩色濾光片等其他基板或者樹(shù)脂性的透明基板。
在以上說(shuō)明的本實(shí)施方式中，由于多個(gè)基板搬送部5、 6在沿著基板 搬送路徑的單側(cè)呈一條直線(xiàn)狀地延伸的共用的導(dǎo)軌4上移動(dòng)，所以，與 以往那樣在基板搬送路徑的兩側(cè)配置一對(duì)導(dǎo)軌的情況相比，能夠防止因
25導(dǎo)軌的平行度的偏差而引起的被檢查基板2的變形，并且，由于僅在浮 起臺(tái)3的單側(cè)配置導(dǎo)軌4，所以能夠使基板搬送裝置1整體變小。
此外，由于第一基板搬送部5和第二基板搬送部6彼此獨(dú)立地移動(dòng)， 因此，將作為處理對(duì)象的基板2交接給第二基板搬送部6的第一基板搬 送部5能夠在第二基板搬送部6完成搬送之前移動(dòng)至接收新的基板2的
17位置，從而能夠縮短搬送和處理(檢查)的節(jié)拍時(shí)間。
因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率且高精度地進(jìn)行作 為處理對(duì)象的基板2的搬送和處理(檢查)，并且能夠減小基板搬送裝置 1的設(shè)置面積。
5 此外，在本實(shí)施方式中，第一基板搬送部5和上述第二基板搬送部
6具有保持基板2的基板保持部5a、 6a，在基板2的交接位置處，在由 第一基板搬送部5的基板保持部5a保持基板2的狀態(tài)下，開(kāi)始進(jìn)行第二 基板搬送部6的基板保持部6a對(duì)基板2的保持，在通過(guò)第二基板搬送部 6的基板保持部6a完成了基板2的保持之后，解除第一基板搬送部5的
io基板保持部5a對(duì)基板2的保持。
因此，由于能夠?qū)⒍ㄎ缓蟮幕?在由第一基板搬送部5吸附保持 的狀態(tài)下交接給第二基板搬送部6，所以能夠使基板2的位置不產(chǎn)生偏移 地交接基板2，能夠在以高的定位精度交接基板2的同時(shí)進(jìn)行搬送。
另外，通過(guò)在浮起臺(tái)3上配置從下方支撐被檢查基板2并使被檢查
15基板2靜止的多個(gè)基板靜止部、在利用上述多個(gè)基板靜止部從下表面支 撐浮起的玻璃基板2并使該玻璃基板2靜止的狀態(tài)下從第一基板搬送部5 將被檢查基板2交接給第二基板搬送部6，也能夠穩(wěn)定地進(jìn)行浮起的玻璃 基板2的交接。
此外，在本實(shí)施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6具 20有上下機(jī)構(gòu)(上下方向移動(dòng)單元)5d、 6d，該上下機(jī)構(gòu)5d、 6d通過(guò)使基 板保持部5a、 6a在上下方向上移動(dòng)，來(lái)使該基板保持部5a、 6a在保持被 檢查基板2的位置和從該位置退開(kāi)了的位置之間移動(dòng)。
因此，能夠防止第一基板搬送部5與第二基板搬送部6的干涉，從 而能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率地進(jìn)行基板2的交接和搬送。 25 此外，在本實(shí)施方式中，第二基板搬送部6 (第一基板搬送部5和
第二基板搬送部6的至少一方)具有水平機(jī)構(gòu)部(寬度方向移動(dòng)單元) 6j，該水平機(jī)構(gòu)部6j使基板保持部6a在導(dǎo)軌4的寬度方向上移動(dòng)。因此， 能夠有效地防止第一基板搬送部5與第二基板搬送部6的干涉，并且能 夠使第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在基板2的交接位置處在導(dǎo)
18軌4的寬度方向上并列，從而第一基板搬送部5與第二基板搬送部6分 別能夠在搬送方向(箭頭D)的大范圍內(nèi)保持基板2。因此，能夠更加高 精度地搬送基板2。
此外，在本實(shí)施方式中，第二基板搬送部6 (第一基板搬送部5和 5第二基板搬送部6的至少一方)具有臂部6f，該臂部6f支撐基板保持部 6a并且該臂部6f沿與搬送方向(箭頭D)交叉的方向延伸。
此外，在本實(shí)施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6在 基板2的交接位置處位于這樣的位置第一基板搬送部5和第二基板搬 送部6的至少一部分在導(dǎo)軌4的寬度方向上相互并列。 io 此外，在本實(shí)施方式中，關(guān)于配置在第一基板搬送部5的各支撐部
5b上的4組(8個(gè))基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6的各支 撐部6b (臂部6f)上的4組(8個(gè))基板保持部6a，配置成在基板2的 交接位置處一組一組交替地排列。
此外，在本實(shí)施方式中，第一基板搬送部5的滑動(dòng)體5c和第二基板 15搬送部6的滑動(dòng)體6c在基板2的交接位置處位于這樣的位置除了凸出 部以外的部分(至少是配置有基板保持部5a、 6a的一部分)在導(dǎo)軌4的 寬度方向上并列。
由此，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6分別能夠在搬送方向 (箭頭D)的大范圍內(nèi)保持被檢查基板2而不互相干涉。因此，能夠更 20加高精度地搬送基板2。
此外，在本實(shí)施方式中，第二基板搬送部6從第一基板搬送部5接 收利用攝像部9、 10 (基板處理部)進(jìn)行了攝像(處理)的基板2。因此， 在將基板2從檢查結(jié)束區(qū)域P5搬送至基板搬出區(qū)域P6時(shí)，能夠使第一 基板搬送部5返回基板搬入?yún)^(qū)域Pl ，從而能夠以更短的時(shí)間搬送基板2。 25 此外，在本實(shí)施方式中，第一基板搬送部5和第二基板搬送部6沿
著共用的導(dǎo)軌4移動(dòng)。因此，與現(xiàn)有技術(shù)那樣使用了多根導(dǎo)軌的技術(shù)相 比，能夠有效地防止基板2的位置產(chǎn)生偏移，能夠高精度地搬送基板2。 另外，通過(guò)將配置有一個(gè)第一基板搬送部5和一個(gè)第二基板搬送部 6的兩根(多根)導(dǎo)軌排列成一條直線(xiàn)狀地來(lái)構(gòu)成導(dǎo)軌4，并在上述兩根導(dǎo)軌間的連接位置處將被檢査基板2從第一基板搬送部5交接給第二基 板搬送部6，也可以獲得能夠在短時(shí)間內(nèi)高精度地搬送被檢査基板2、并 且能夠減小基板搬送裝置1的占地面積(7 ^卜7' 9 >卜)的上述的效 果。
5 <—個(gè)實(shí)施方式的第一變形例>
圖13是上述一個(gè)實(shí)施方式的變形例的、圖1中的A部的放大圖。 關(guān)于第一基板搬送部5'的、位于作為基板搬送方向(箭頭D)上的 端部的后端的、兩個(gè)(l組)基板保持部5a—l、 5a—2，在圖13所示的 玻璃基板2的交接位置處，該兩個(gè)基板保持部5a—l、 5a—2位于第二基 io板搬送部6'的作為基板保持部的端部保持部6p和基板保持部6a—l之 間，其中端部保持部6p位于第二基板搬送部6'的基板搬送方向(箭頭 D)的后端。
第二基板搬送部6'的端部保持部6p在基板搬送方向(箭頭D)上 的寬度L1比第一基板搬送部5'的位于基板搬送方向(箭頭D)的后端 15的兩個(gè)基板保持部5a—l、 5a—2在基板搬送方向(箭頭D)上的寬度L2 要小。而且，優(yōu)選的是，端部保持部6p的寬度Ll比兩個(gè)基板保持部5a —1、 5a—2的寬度L2的一半還要小。
支撐部6b'的支撐板6g'與上述一個(gè)實(shí)施方式相比，向基板搬送方 向(箭頭D)的后方伸出，端部保持部6p設(shè)置在支撐板6g'的后端，并 20且端部保持部6p保持玻璃基板2在基板搬送方向(箭頭D)上的后端的 角部。端部保持部6p形成為具有在與搬送方向正交的方向上細(xì)長(zhǎng)的平坦 面的扁平墊，并且端部保持部6p由與基板保持部相同的樹(shù)脂材質(zhì)形成， 以便不會(huì)使玻璃基板受傷。
此外，第一基板搬送部5的基板保持部5a和第二基板搬送部6的基 25板保持部6a通過(guò)吸附來(lái)保持玻璃基板2，與此相對(duì)，端部保持部6p只要 能夠支撐玻璃基板2在基板搬送方向(箭頭D)上的后端的角部，除了 利用吸附墊進(jìn)行的吸附保持以外，該端部保持部6p也可以利用扁平墊或 輥?zhàn)拥容o助支撐部件來(lái)進(jìn)行支撐。
另外，在本變形例中，關(guān)于配置在第一基板搬送部5'的各支撐部5b上的4組(8個(gè))基板保持部5a、和配置在第二基板搬送部6'的各 支撐部6b，(臂部6f)上的4組(8個(gè))基板保持部6a，也配置成在基 板2的交接位置處一組一組交替地排列。
此外，在上述一個(gè)實(shí)施方式中，位于玻璃基板2上游側(cè)的第二基板 5搬送部6的固定板6m以其一部分載置于滑動(dòng)體6c的狀態(tài)固定在滑動(dòng)體 6c上。與此相對(duì)，在本變形例中，通過(guò)將滑動(dòng)體6c'向基板搬送方向(箭 頭D)后方延長(zhǎng)，位于玻璃基板2上游側(cè)的第二基板搬送部6'的固定板 6m以完全載置于滑動(dòng)體6c，上的狀態(tài)固定在滑動(dòng)體6c，上。
另外，由于位于玻璃基板2下游側(cè)的基板搬送部6'也具有相同的
io結(jié)構(gòu)，所以此處省略說(shuō)明。
在以上說(shuō)明的本變形例中，關(guān)于第一基板搬送部5'(第一基板搬 送部5'和第二基板搬送部6'中的一個(gè)基板搬送部)的、配置在與基板 搬送方向(箭頭D)上的玻璃基板2的后端側(cè)(或前端側(cè))相當(dāng)?shù)淖疃?部的、 一組基板保持部5a—l、 5a—2，在玻璃基板2的交接位置處，該
15基板保持部5a—l、 5a—2位于第二基板搬送部6'(另一基板搬送部) 的端部保持部6p (輔助保持部、保持支撐部)和基板保持部6a—l之間， 其中端部保持部6p位于第二基板搬送部6'的基板搬送方向(箭頭D) 的后端(或前端)。另外，端部保持部6p (輔助保持部、保持支撐部)在 基板搬送方向(箭頭D)上的寬度L1，比第一基板搬送部5'的位于基
20板搬送方向(箭頭D)的端部(前端或后端)的一組基板保持部5a—l、 5a—2在基板搬送方向(箭頭D)上的寬度L2要小。此外，在本變形例 中，端部保持部6p保持玻璃基板2的位置比另一基板搬送部6'靠外側(cè)
的前端和后端的角部部分。
此處，在不設(shè)置本變形例的端部保持部6p的情況下，玻璃基板2從 25位于第二基板搬送部6的后端(或前端)的基板保持部6a—l探出，對(duì) 于與位于第一基板搬送部5，的基板搬送方向(箭頭D)的后端的上述兩 個(gè)基板保持部5a—l、 5a—2的寬度L2的長(zhǎng)度(嚴(yán)格地說(shuō)，還包括基板 保持部5a、 6a之間的間隙、和玻璃基板2的后端與保持部5a—l之間的 長(zhǎng)度)相當(dāng)?shù)?、玻璃基?的角部部分無(wú)法進(jìn)行保持，從而無(wú)法抑制玻璃基板2的后端的翹起和撓曲。
與此相對(duì)，在本變形例中，通過(guò)配置寬度L1比上述兩個(gè)基板保持部 5a—l、 5a—2的寬度L2要短的的端部保持部6p，能夠可靠地支撐無(wú)法 通過(guò)基板保持部5a、 6a保持的玻璃基板2的角部部分，從而能夠抑制玻 5璃基板2的角部部分的翹起和撓曲。而且，通過(guò)利用各個(gè)基板搬送部5'、 6'吸附保持玻璃基板2的一個(gè)邊的兩端部，能夠有效地防止玻璃基板2 的位置產(chǎn)生偏移，因此，能夠進(jìn)一步高精度地搬送玻璃基板2。
另外，在本變形例中，以玻璃基板2、第一基板搬送部5'以及第二 基板搬送部6'的端部為后端進(jìn)行了說(shuō)明，而關(guān)于配置在下游側(cè)的第一基 io板搬送部，則是作為前端來(lái)理解。在該情況下，可以通過(guò)配置在下游側(cè) 的第二基板搬送部6'的端部保持部6p來(lái)矯正玻璃基板2的前端的翹起 和撓曲。
此外，在本變形例中，以第一基板搬送部5'作為第一基板搬送部 和第二基板搬送部中的一個(gè)基板搬送部，而以第二基板搬送部6'作為另 15 —基板搬送部為例進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以反過(guò)來(lái)，將第二基板搬送部 用作一個(gè)基板搬送部，而將第一基板搬送部用作另一基板搬送部。
此外，在本變形例中，由于端部保持部6p以非吸附的方式保持被檢 查基板2，所以能夠在端部保持部6p上省略吸附機(jī)構(gòu)，但是端部保持部 6p也可以通過(guò)吸附來(lái)保持被檢查基板2。而且，端部保持部6p只要能夠 20在玻璃基板2的交接后支撐玻璃基板2的抽掉了對(duì)方側(cè)的基板保持部的 區(qū)域的角部，則也可以用大約幾個(gè)毫米到20毫米寬度的桿部件或者大約 幾個(gè)毫米到20毫米直徑的銷(xiāo)來(lái)進(jìn)行支撐。 <一個(gè)實(shí)施方式的第二變形例>
圖14是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第二變形例的基板保持部15a、 16a
25的概略俯視圖。
在本變形例中，關(guān)于配置在第一基板搬送部15'的各支撐部15b上 的基板保持部15a、和配置于在第二基板搬送部16的各支撐部16b (支 撐板16g)上固定的臂部16f的基板保持部16a，在玻璃基板2的交接位 置處，不是以每2個(gè)為1組地交替排列，而是配置成1個(gè)1個(gè)地交替排
22基板保持部15a、 16a俯視呈在基板搬送方向(箭 頭D)上較長(zhǎng)的矩形狀。本變形例的其它結(jié)構(gòu)與上述第一變形例大致相 同。關(guān)于在與位于玻璃基板2上游側(cè)的第一基板搬送部15的基板搬送方 5向(箭頭D)后端相當(dāng)?shù)淖疃瞬吭O(shè)置的一個(gè)基板保持部15a—l，在圖14 所示的玻璃基板2的交接位置處，所述基板保持部15a—l位于端部保持 部16p和位于后端側(cè)的基板保持部16a—l之間，其中所述端部保持部16p 處于與位于玻璃基板2上游側(cè)的第二基板搬送部16的基板搬送方向(箭 頭D)后端相當(dāng)?shù)淖疃瞬俊?io 第二基板搬送部16的端部保持部16p在基板搬送方向(箭頭D)上的寬度Lll，比位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a—l在基板 搬送方向(箭頭D)上的寬度L12要小。而且，玻璃基板2的基板搬送方向(箭頭D)后端與位于第一基板 搬送部15后端的基板保持部15a—l之間的間隔L13，比位于第一基板搬 15送部15后端的基板保持部15a—l的寬度L12要窄。此處，在位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a—l的寬度 L12例如大約為50毫米到150毫米的情況下，端部保持部16p的寬度Lll 可以是例如大約幾個(gè)毫米到20毫米，優(yōu)選為10毫米左右，玻璃基板2 的后端與位于第一基板搬送部15后端的基板保持部15a—l之間的間隔 20 L13可以是例如大約20毫米毫米30毫米，但各寬度Lll、 L12以及間隔 L13并不限定于上述值。在以上說(shuō)明的本變形例中，也與上述第一變形例相同，位于第一基 板搬送部15后端的基板保持部15a—l在玻璃基板2的交接位置處位于 第二基板搬送部16的端部保持部16p和基板保持部16a—1之間。此外， 25端部保持部16p在基板搬送方向(箭頭D)上的寬度Lll，比位于第一基 板搬送部15后端的基板保持部15a—l在基板搬送方向(箭頭D)上的 寬度L12要窄。此外，端部保持部16p保持玻璃基板2在基板搬送方向 (箭頭D)上的后端的角部部分。因此，根據(jù)本變形例，與上述第一變形例相同，能夠矯正玻璃基板2的角部部分的翹起和撓曲。而且，通過(guò)各個(gè)基板搬送部15、 16吸附保 持玻璃基板2的一個(gè)邊的兩端部，能夠有效地防止被檢查基板2的位置 產(chǎn)生偏移，因此，能夠進(jìn)一步高精度地搬送被檢查基板2。另外，在本變形例中，以玻璃基板2、第一基板搬送部15以及第二 5基板搬送部16的端部為后端進(jìn)行了說(shuō)明，而關(guān)于配置在下游側(cè)的第一基 板搬送部，則是作為前端來(lái)理解。在該情況下，可以通過(guò)配置在下游側(cè) 的第二基板搬送部16的端部保持部16p來(lái)矯正玻璃基板2的前端的翹起 和撓曲。而且，端部保持部6p只要能夠在玻璃基板2的交接后支撐玻璃 基板2的抽掉了對(duì)方側(cè)的基板保持部的區(qū)域的角部，則也可以用大約幾 io個(gè)毫米到20毫米寬度的桿部件或者大約幾個(gè)毫米到20毫米直徑的銷(xiāo)來(lái) 進(jìn)行支撐。<一個(gè)實(shí)施方式的第三變形例>圖15是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第三變形例的第一基板搬送部 5'，的立體圖，圖16是表示上述一個(gè)實(shí)施方式的第三變形例的第二基15板搬送部6'，的立體圖。關(guān)于支撐圖15所示的第一基板搬送部5''的基板保持部5a的三個(gè) 支撐部5b、和支撐圖16所示的第二基板搬送部6''的基板保持部6a 的三個(gè)支撐部6b，與上述一個(gè)實(shí)施方式相同，以能夠位于玻璃基板2在 基板搬送方向(箭頭D)上的前端部分、中央部分以及后端部分這3個(gè)20部位的方式，彼此隔開(kāi)間隙地配置。被各基板搬送部5， ' 、 6''的三個(gè)支撐部中位于中央的支撐部 5b' ， 、 6b'，所支撐的基板保持部5a' ， 、 6a'，成為以非吸附的方 式保持被檢査基板2的非吸附保持部。與此相對(duì)，被位于玻璃基板2的 基板搬送方向(箭頭D)上游側(cè)和下游側(cè)的支撐部5b、 6b所支撐的基板25保持部5a、 6a成為通過(guò)吸附來(lái)保持玻璃基板2的吸附保持部。這樣，非 吸附保持部5a''處在位于玻璃基板2的基板搬送方向(箭頭D)上游 側(cè)的支撐部5b和下游側(cè)的支撐部5b之間，非吸附保持部6a''處在位 于玻璃基板2的基板搬送方向(箭頭D)上游側(cè)的支撐部6b和下游側(cè)的 支撐部6b之間。另外，支撐吸附保持部5a、 6a的兩個(gè)支撐部5b、 5b、 6b、 6b在交 接位置處不一定要位于被檢查基板2的基板搬送方向(箭頭D)上的前 端部分和后端部分，但是通過(guò)配置成位于前端部分和后端部分，能夠穩(wěn) 定地保持玻璃基板2。 5 在以上說(shuō)明的本變形例中，第一基板搬送部5''和第二基板搬送部6''具有以非吸附的方式保持玻璃基板2的非吸附保持部5a''、 6a'，，并通過(guò)非吸附保持部5a， ， 、 6a'，來(lái)支撐沿著玻璃基板2的 一個(gè)邊的中央部分。通過(guò)這樣將支撐玻璃基板2的中央部的保持部更換 成非吸附保持部5a' ' 、 6a，'，與上述一個(gè)實(shí)施方式以及變形例相比，io減少了結(jié)構(gòu)復(fù)雜且價(jià)格高的吸附保持部5a、 6a的數(shù)量，實(shí)現(xiàn)了成本的降 低，并且，通過(guò)利用非吸附保持部5a' ， 、 6a''來(lái)支撐位于上游側(cè)和 下游側(cè)的玻璃基板2的中央部分，能夠穩(wěn)定地搬送玻璃基板2。此外，在本變形例中，也可以在第一基板搬送部5''和第二基板 搬送部6'，的至少一方上設(shè)置非吸附保持部5a， ， 、 6a'，。而且，15通過(guò)使支撐部5b' ' 、 6b'，位于支撐多個(gè)吸附保持部5a、 6a的多個(gè)支 撐部5b、 6b之間，能夠使支撐吸附保持部5a、 6a的支撐部5b、 6b的間 隔變寬。通過(guò)這樣在吸附保持部之間配置非吸附保持部，能夠使吸附機(jī) 構(gòu)進(jìn)一步簡(jiǎn)化，并且能夠?qū)⒏魑奖３植?a、 6a之間的玻璃基板2支撐 成水平從而提高吸附效果，并且能夠穩(wěn)定地搬送玻璃基板。20 此外，在本變形例中，支撐吸附保持部5a、 6a的兩個(gè)(多個(gè))支撐部5b、 6b在被檢査基板2的交接位置處位于玻璃基板2的基板搬送方向 (箭頭D)上的前端部分(上游側(cè))和后端部分(下游側(cè))。因此，通過(guò) 在玻璃基板2的一個(gè)邊的前端部分和后端部分利用吸附保持部5a、 6a來(lái) 吸附保持該玻璃基板2，能夠有效地防止被檢查基板2的位置產(chǎn)生偏移，25因此，能夠進(jìn)一步高精度地搬送被檢查基板2。另外，在本變形例中，對(duì)各支撐部5b、 6b僅支撐吸附保持部5a、 6a 和非吸附保持部5a' ， 、 6a''的其中一方的示例進(jìn)行了說(shuō)明，但各支 撐部5b、6b也可以支撐吸附保持部5a、6a和非吸附保持部5a' ' 、6a'， 兩者。在該情況下，在保持被檢査基板2的中央側(cè)的基板保持部，相對(duì)25于保持被檢査基板2的端部側(cè)的基板保持部增加非吸附保持部5a''、 6a'，的數(shù)量即可。 <另一實(shí)施方式>圖10是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的基板搬送裝置21的概略結(jié)構(gòu) 5的立體圖。圖11是表示上述基板搬送裝置21的第一基板搬送部25和第二基板 搬送部26的立體圖，圖12是圖11中的E部的放大圖。在圖10中，基板搬送裝置21包括使制造FPD的作為基板的玻璃 基板22浮起的浮起臺(tái)23;在玻璃基板22的搬送方向(箭頭D)上呈一 io條直線(xiàn)狀地延伸的2根1組的導(dǎo)軌24;以及能夠沿著該導(dǎo)軌24彼此獨(dú)立 地移動(dòng)的第一基板搬送部25和第二基板搬送部26(多個(gè)基板搬送部)等。浮起臺(tái)23由通過(guò)例如空氣使玻璃基板22浮起的多個(gè)浮起板23a鋪 設(shè)而成。本實(shí)施方式的浮起板23a形成為細(xì)長(zhǎng)的矩形形狀，并且以其長(zhǎng) 度方向與玻璃基板22的搬送方向(箭頭D)平行的方式鋪設(shè)。此外，關(guān) 15于浮起板23a，在浮起臺(tái)23的寬度方向上隔開(kāi)預(yù)定的間隙G地鋪設(shè)每個(gè) 浮起板23a。導(dǎo)軌24配置于在浮起臺(tái)23的中央處設(shè)置在浮起板23a的下方的搬 送軸框架27上。另外，如果導(dǎo)軌24 (搬送軸框架27)的位置在浮起臺(tái) 23內(nèi)(寬度方向的內(nèi)側(cè))，則在什么位置都可以，但是優(yōu)選處于中央位置。 20通過(guò)將導(dǎo)軌24 (搬送軸框架27)設(shè)置在浮起臺(tái)23的搬送路徑內(nèi)，能夠 減小基板搬送裝置1的寬度使其與玻璃基板2的寬度同等。第一基板搬送部25接收搬送至搬送方向(箭頭D)的上游側(cè)的玻璃 基板22，并且將該接收的玻璃基板22向搬送方向(箭頭D)的下游側(cè)搬 送。第二基板搬送部26從第一基板搬送部25接收玻璃基板22，并且將 25該接收的玻璃基板22向搬送方向(箭頭D)的下游側(cè)搬送。第一基板搬送部25和第二基板搬送部26分別具有:基板保持部25a、 26a;支撐部25b、 26b;滑動(dòng)體25c、 26c;作為上下方向移動(dòng)單元的上下 機(jī)構(gòu)25d、 26d;以及連接部25e、 26e?；灞３植?5a、 26a通過(guò)經(jīng)由未圖示的空氣管的真空吸附來(lái)吸附保持玻璃基板22的背面。為了吸附保持玻璃基板22背面，本實(shí)施方式的 基板保持部25a、 26a從浮起板23a的間隙G向玻璃基板22的浮起高度 方向凸出。另外，與上述一個(gè)實(shí)施方式相同，在利用基板保持部25a、 26a 保持玻璃基板22時(shí)，并不限定于對(duì)玻璃基板22的背面的真空吸附，例 5如，也可以?shī)A住玻璃基板22的前后端部來(lái)進(jìn)行保持。
如圖11和圖12所示，將支撐部25b、 26b配置在滑動(dòng)體25c、 26c 的前端和后端兩個(gè)部位，以使該支撐部25b、 26b位于玻璃基板22的前 端和后端。各支撐部25b、 26b支撐4個(gè)基板保持部25a、 26a。
如圖12所示，第一基板搬送部25和第二基板搬送部26的支撐部 io 25b、 26b截面呈L字形狀，該支撐部25b、 26b彎折成沿鉛直方向延伸的 鉛直部分25b—l、26b—l和沿水平方向延伸的水平部分25b—2、26b—2。 配置在滑動(dòng)體25c、 26c的前端的水平部分25b—2、 26b—2和配置 在滑動(dòng)體25c、 26c的后端的水平部分從鉛直部分25b—l、 26b—l的下 端向彼此相向的方向延伸。 15 鉛直部分25b—1、 26b—l的側(cè)面的上部分別固定有兩個(gè)基板保持部
25a、 26a。關(guān)于這些基板保持部25a、 26a，在2個(gè)部位隔開(kāi)間隔地配置 有2個(gè)為1組的基板保持部25a、 26a。
彼此呈大致相同形狀的第一基板搬送部25的滑動(dòng)體25c和第二基板 搬送部26的滑動(dòng)體26c相互對(duì)置，并分開(kāi)在2根1組的導(dǎo)軌24的每1 20根上沿搬送方向(箭頭D)延伸。另外，第一基板搬送部25的滑動(dòng)體25c 具有從搬送方向(箭頭D)側(cè)的后端向第二基板搬送部26側(cè)凸出的凸出 部25c—l，第二基板搬送部26的滑動(dòng)體26c具有從搬送方向(箭頭D) 側(cè)的前端向第一基板搬送部25側(cè)凸出的凸出部26c—1。此外，在第一基 板搬送部25和第二基板搬送部26上，形成有與凸出部25c—l、 26c—l 25相對(duì)應(yīng)的凹部25c—2、 26c—2。
另外，第一基板搬送部25的滑動(dòng)體25c和第二基板搬送部26的滑 動(dòng)體26c在玻璃基板22的交接位置處位于在導(dǎo)軌24的寬度方向上彼此 并列的位置。
另外，如果第一基板搬送部25和第二基板搬送部26像上述一個(gè)實(shí)施方式那樣至少一部分在導(dǎo)軌24的寬度方向上并列，則能夠有效地交接
玻璃基板22。
滑動(dòng)體25c、 26c通過(guò)直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)而沿導(dǎo)軌24移動(dòng)。作為滑 動(dòng)體25c、 26c的驅(qū)動(dòng)方法，如上述一個(gè)實(shí)施方式中所敘述的那樣，并不 5限定于直線(xiàn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，例如，也可以利用為其它驅(qū)動(dòng)源的電動(dòng)機(jī)等， 使用帶式驅(qū)動(dòng)、滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)等。
上下機(jī)構(gòu)25d、 26d經(jīng)支撐部25b、 26b使基板保持部25a、 26a在上 下方向上移動(dòng)，由此，能夠使基板保持部25a、 26a在保持玻璃基板22 的上升位置和從該位置下降了的退避位置之間移動(dòng)。另外，上下機(jī)構(gòu)25d、 io 26d設(shè)置在滑動(dòng)體25c、 26c上。
雖然連接部25e、 26e在圖12中沒(méi)有明確地進(jìn)行圖示，但是與上述 一個(gè)實(shí)施方式一樣，其由固定在支撐部25b、 26b上的支撐部側(cè)連接部、 和固定在滑動(dòng)體25c、 26c上的滑動(dòng)體側(cè)連接部構(gòu)成，并且?jiàn)A著上下機(jī)構(gòu) 25d、 26d地配置有1對(duì)所述連接部25e、 26e。支撐部側(cè)連接部和滑動(dòng)體 15側(cè)連接部以能夠配合由上下機(jī)構(gòu)25d、 26d驅(qū)動(dòng)的支撐部25b、 26b的上 下運(yùn)動(dòng)而相互滑動(dòng)的方式連接。
基板搬送裝置21具有以跨越浮起臺(tái)23的方式配置的2個(gè)門(mén)架28; 以及配置在這些門(mén)架28、 28上的不同的基板處理部。作為基板處理部， 安裝有如下裝置具有檢查通過(guò)例如FPD制造工序制造出的玻璃基板22 20的攝像部29、 30、鏡31、 32、以及未圖示的照明部的自動(dòng)宏觀檢查裝置； 和配置有多個(gè)線(xiàn)傳感照相機(jī)(line sensor camera)的自動(dòng)圖案檢查裝置。 門(mén)架28、 28由夾著浮起臺(tái)23對(duì)置的一對(duì)門(mén)架支撐部33 (僅圖示出 一側(cè))支撐。
由于本實(shí)施方式的玻璃基板22的交接與上述一個(gè)實(shí)施方式相同，所 25以省略詳細(xì)的說(shuō)明。
首先，通過(guò)未圖示的對(duì)齊單元，將從其它裝置搬送至基板搬送裝置 21的玻璃基板22定位在基準(zhǔn)位置。
接著，通過(guò)在基板搬入?yún)^(qū)域待機(jī)的第一基板搬送部25 (基板保持部 25a)保持玻璃基板22。具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)第一基板搬送部25的上下機(jī)構(gòu)
225d，使下降了的基板保持部25a上升至保持玻璃基板22的位置。此后， 通過(guò)經(jīng)由未圖示的空氣管的真空吸附，來(lái)吸附保持玻璃基板22的背面。 然后，通過(guò)第一基板搬送部25使玻璃基板22以恒定速度向下游側(cè) 移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)上述自動(dòng)宏觀檢査裝置和自動(dòng)圖案檢查裝置對(duì)玻璃基板 5 22進(jìn)行檢査。
在使玻璃基板22通過(guò)門(mén)架28、 28的下方而進(jìn)行了檢査以后，在由 第一基板搬送部25的基板保持部25a保持玻璃基板22的狀態(tài)下，通過(guò) 在檢查結(jié)束位置待機(jī)的第二基板搬送部26的基板保持部26a保持玻璃基 板22。然后，在第二基板搬送部26的基板保持部26a吸附保持了玻璃基
10板22的背面后，解除第一基板搬送部25的基板保持部25a的吸附保持。 具體來(lái)說(shuō)，第二基板搬送部26的基板保持部26a在待機(jī)時(shí)位于不妨 礙第一基板搬送部25對(duì)玻璃基板22的搬送的位置(從保持玻璃基板22 的位置退開(kāi)了的位置、即下降后的位置)。另外，當(dāng)?shù)谝换灏崴筒?5 到達(dá)檢査結(jié)束區(qū)域(玻璃基板22的交接位置)時(shí)，通過(guò)上下機(jī)構(gòu)26d使
15基板保持部26a上升至保持玻璃基板22的位置，并開(kāi)始進(jìn)行真空吸附。 當(dāng)?shù)诙灏崴筒?6的基板保持部26a這樣完成了玻璃基板22的 保持時(shí)，解除第一基板搬送部25的基板保持部25a的真空吸附，通過(guò)利 用上下機(jī)構(gòu)25d使第一基板搬送部25的基板保持部25a退開(kāi)(下降)， 來(lái)進(jìn)行玻璃基板的交接。
20 接著，利用第二基板搬送部26將玻璃基板22搬送至基板搬出位置，
并通過(guò)其它裝置等將玻璃基板2搬出。解除了對(duì)玻璃基板2的保持的第 一基板搬送部25移動(dòng)至基板搬入位置待機(jī)，以接收新的玻璃基板22。同 樣，在基板搬出位置交接了玻璃基板22的第二基板搬送部26移動(dòng)至檢 查區(qū)域待機(jī)。
25 另外，在本實(shí)施方式中，也對(duì)基板搬送部形成為第一基板搬送部25
和第二基板搬送部26兩個(gè)基板搬送部的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以使 用3個(gè)以上的基板搬送部來(lái)交接被檢査基板22。例如，在導(dǎo)軌24上以能
夠行走的方式設(shè)置細(xì)長(zhǎng)的矩形的滑動(dòng)體，以?shī)A著該矩形滑動(dòng)體的方式分 別構(gòu)成L字形狀的滑動(dòng)體和倒L字形狀的滑動(dòng)體。在該情況下，L字形狀的滑動(dòng)體和倒L字形狀的滑動(dòng)體相對(duì)于矩形滑動(dòng)體分開(kāi)在搬送方向的下游側(cè)區(qū)域和上游側(cè)區(qū)域移動(dòng)。
在以上說(shuō)明的本實(shí)施方式中，由于多個(gè)基板搬送部25、 26在呈一條直線(xiàn)狀地延伸的導(dǎo)軌24上移動(dòng)，所以與如以往那樣在基板搬送路徑的兩5側(cè)配置一對(duì)導(dǎo)軌的情況相比，能夠防止因?qū)к壍钠叫卸鹊钠疃鸬幕宓淖冃危⑶?，由于無(wú)需在浮起臺(tái)23的外側(cè)配置導(dǎo)軌24，所以能夠使基板搬送裝置21整體(寬度方向)變小。
此外，由于第一基板搬送部25和第二基板搬送部26彼此獨(dú)立地移動(dòng)，因此，將玻璃基板22交接給另一基板搬送部的基板搬送部能夠在另io —基板搬送部完成搬送之前移動(dòng)至接收新的玻璃基板22的位置，從而能夠縮短搬送和檢查的節(jié)拍時(shí)間。
因此，與上述一個(gè)實(shí)施方式相同，根據(jù)本實(shí)施方式，也能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率且高精度地進(jìn)行玻璃基板22的搬送和檢査，并且能夠減小基板搬送裝置21的設(shè)置面積。15 此外，在本實(shí)施方式中，導(dǎo)軌24配置在浮起臺(tái)23內(nèi)(寬度方向的
內(nèi)側(cè))。因此，無(wú)需將導(dǎo)軌24 (搬送軸框架27)配置在浮起臺(tái)23的外側(cè)，從而能夠進(jìn)一步減小基板搬送裝置21的設(shè)置面積。
30
權(quán)利要求
1. 一種基板搬送裝置，其特征在于，上述基板搬送裝置包括浮起臺(tái)，其使基板浮起；導(dǎo)軌，其在上述基板的搬送方向上呈一條直線(xiàn)狀地延伸；以及多個(gè)基板搬送部，它們能夠沿著上述導(dǎo)軌彼此獨(dú)立地移動(dòng)，上述多個(gè)基板搬送部包括第一基板搬送部，其接收搬送至上述搬送方向的上游側(cè)的上述基板，并且將該接收的基板向上述搬送方向的下游側(cè)搬送；和第二基板搬送部，其從上述第一基板搬送部接收上述基板，并且將該接收的基板向上述搬送方向的下游側(cè)搬送。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述導(dǎo)軌配置在上述浮起臺(tái)的單側(cè)。
3. 如權(quán)利要求l所述的基板搬送裝置，其特征在于， 15 上述導(dǎo)軌配置在上述浮起臺(tái)內(nèi)。
4. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部具有保持上述基板的基 板保持部，在上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn) 行交接的交接位置處，在由上述第一基板搬送部的基板保持部保持上述 基板的狀態(tài)下，開(kāi)始進(jìn)行上述第二基板搬送部的基板保持部對(duì)上述基板 的保持，在通過(guò)上述第二基板搬送部的基板保持部開(kāi)始了上述基板的保 持之后，解除上述第一基板搬送部的基板保持部對(duì)上述基板的保持。
5. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述浮起臺(tái)具有基板靜止部，該基板靜止部從下方支撐上述基板并 使上述基板靜止，上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部具有保持上述基板的基 板保持部，在上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn) 行交接的交接位置處，在通過(guò)上述基板靜止部支撐上述基板并使上述基 板靜止的狀態(tài)下，解除上述第一基板搬送部的基板保持部對(duì)上述基板的保持，在解除了上述第一基板搬送部的基板保持部對(duì)上述基板的保持之 后，開(kāi)始進(jìn)行上述第二基板搬送部的基板保持部對(duì)上述基板的保持。
6. 如權(quán)利要求4或5所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部具有上下方向移動(dòng)單 元，該上下方向移動(dòng)單元通過(guò)使上述基板保持部在上下方向上移動(dòng)，來(lái)使 該基板保持部在保持上述基板的位置和從該位置退開(kāi)了的位置之間移動(dòng)。
7. 如權(quán)利要求4或5所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部的至少一方具有寬度方向移動(dòng)單元，該寬度方向移動(dòng)單元使上述基板保持部在上述導(dǎo)軌的寬度 io 方向上移動(dòng)。
8. 如權(quán)利要求4或5所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部的至少一方具有臂部，該臂部在與上述搬送方向交叉的方向上延伸，并且支撐上述基板保持部。
9. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部在上述基板的交接位置 處位于這樣的位置上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部的至少 一部分在上述導(dǎo)軌的寬度方向上相互并列。
10. 如權(quán)利要求9所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部具有多個(gè)上述基板保持 部，在上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn)行交接 的交接位置處，上述第一基板搬送部的多個(gè)基板保持部中的至少一個(gè)在 上述第二基板搬送部的多個(gè)基板保持部之間保持上述基板。
11，如權(quán)利要求9所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部具有沿上述導(dǎo)軌移動(dòng)的滑動(dòng)體，上述第一基板搬送部的滑動(dòng)體和上述第二基板搬送部的滑動(dòng)體在上 述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn)行交接的交接位置處位于這樣的位置上述第一基板搬送部的滑動(dòng)體和上述第二基板搬送部的滑動(dòng)體的至少一部分在上述導(dǎo)軌的寬度方向上相互并列。
12. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述基板搬送裝置還包括對(duì)上述基板進(jìn)行處理的基板處理部， 上述第二基板搬送部從上述第一基板搬送部接收由上述基板處理部 處理過(guò)的基板。
13. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部沿著共用的上述導(dǎo)軌移動(dòng)。
14. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于， 上述導(dǎo)軌通過(guò)將多根導(dǎo)軌排列成一條直線(xiàn)狀而構(gòu)成， 上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部沿著彼此不同的上述導(dǎo) 軌移動(dòng)，上述第二基板搬送部在上述多根導(dǎo)軌之間的連接位置處從上述第一 基板搬送部接收上述基板。
15. 如權(quán)利要求10所述的基板搬送裝置，其特征在于， 關(guān)于位于上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部中的一方基板 搬送部的上述搬送方向的端部的1個(gè)或2個(gè)以上的基板保持部，在上述 第一基板搬送部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn)行交接的交接位置 處，上述1個(gè)或2個(gè)以上的基板保持部處在位于另一基板搬送部的上述 搬送方向的端部的基板保持部和與其相鄰的基板保持部之間， 位于上述另一基板搬送部的上述端部的基板保持部在上述搬送方向 上的寬度，比位于上述一方基板搬送部的上述端部的1個(gè)或2個(gè)以上的 基板保持部在上述搬送方向上的寬度要窄。
16. 如權(quán)利要求15所述的基板搬送裝置，其特征在于，位于上述另一基板搬送部的上述端部的基板保持部保持上述基板的 25上述搬送方向上的端部。
17. 如權(quán)利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部中的至少一方具有通過(guò)吸附來(lái)保持上述基板的多個(gè)吸附保持部；和以非吸附的方式保持上述 基板的非吸附保持部，上述非吸附保持部位于上述多個(gè)吸附保持部之間。
18. 如權(quán)利要求17所述的基板搬送裝置，其特征在于，上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部中的至少一方具有支 撐多個(gè)上述吸附保持部的多個(gè)支撐部；和支撐多個(gè)上述非吸附保持部的 5支撐部，支撐上述多個(gè)非吸附保持部的支撐部位于支撐上述多個(gè)吸附保持部 的多個(gè)支撐部之間。
19. 如權(quán)利要求18所述的基板搬送裝置，其特征在于，支撐上述多個(gè)吸附保持部的多個(gè)支撐部包括在上述第一基板搬送 10部和上述第二基板搬送部對(duì)上述基板進(jìn)行交接的交接位置處位于上述基板的搬送方向上的前端的支撐部、和位于后端的支撐部。
20. —種基板搬送方法，其特征在于，將浮起的基板通過(guò)第一基板搬送部向該基板的搬送方向的下游側(cè)搬送， 然后從第一基板搬送部將上述基板交接給第二基板搬送部， 然后將該交接后的基板通過(guò)第二基板搬送部向上述搬送方向的下游側(cè)搬送，其中，上述第一基板搬送部沿著在上述搬送方向上呈一條直線(xiàn)狀地 延伸的導(dǎo)軌移動(dòng)，上述第二基板搬送部能夠沿著上述導(dǎo)軌與上述第一基板搬送部獨(dú)立地移動(dòng)。
21. 如權(quán)利要求20所述的基板搬送方法，其特征在于，在由上述第一基板搬送部保持上述基板的狀態(tài)下，開(kāi)始進(jìn)行上述第 二基板搬送部對(duì)上述基板的保持，在通過(guò)上述第二基板搬送部開(kāi)始了上 述基板的保持之后，解除上述第一基板搬送部對(duì)上述基板的保持，由此將上述基板從上述第一基板搬送部交接給上述第二基板搬送部。
22. 如權(quán)利要求20所述的基板搬送方法，其特征在于， 在上述第一基板搬送部和上述第二基板搬送部位于它們的至少一部分在上述導(dǎo)軌的寬度方向上并列的位置的狀態(tài)下，將上述基板從上述第 一基板搬送部交接給上述第二基板搬送部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬送裝置及基板搬送方法，其能夠在短時(shí)間內(nèi)高效率且高精度地搬送和檢查基板并且減小基板搬送裝置的設(shè)置面積。上述基板搬送裝置包括浮起臺(tái)(3)，其使基板(2)浮起；導(dǎo)軌(4)，其在基板(2)的搬送方向(箭頭D)上呈一條直線(xiàn)狀地延伸；以及多個(gè)基板搬送部(5、6)，它們能夠沿著該導(dǎo)軌(4)彼此獨(dú)立地移動(dòng)，多個(gè)基板搬送部構(gòu)成為包括第一基板搬送部(5)，其接收搬送至搬送方向(箭頭D)的上游側(cè)的基板(2)，并且將該接收的基板(2)向搬送方向(箭頭D)的下游側(cè)搬送；和第二基板搬送部(6)，其從該第一基板搬送部(5)接收基板(2)，并且將該接收的基板(2)向搬送方向(箭頭D)的下游側(cè)搬送。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101504926SQ20091000616
公開(kāi)日2009年8月12日 申請(qǐng)日期2009年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月5日
發(fā)明者小沢津登務(wù), 木內(nèi)智一 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社