專利名稱：太陽能電池擴散設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種太陽能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池擴散設(shè)備。

背景技術(shù)：
抽氣排風(fēng)壓力是太陽能電池擴散工藝中一個很重要的參數(shù)，進入擴散反應(yīng)腔的氣體和化學(xué)品由氣體流量控制器控制，因此是穩(wěn)定的。但是排風(fēng)是由廠務(wù)直接控制的，抽氣排風(fēng)壓力就是廠務(wù)排風(fēng)的壓強，由于廠務(wù)排風(fēng)連接多個機臺，所以排風(fēng)壓力不是穩(wěn)定的。一般控制的壓強范圍是1.5-5mbar。由于抽氣排風(fēng)壓力波動導(dǎo)致磷在硅片注入的濃度發(fā)生變化，因為方塊電阻跟磷的攙雜濃度有關(guān)。方塊電阻就會在49.5-54ohm的區(qū)間里相應(yīng)變化。在后道燒結(jié)工序中每一個特定的方塊電阻都有一個最佳的溫度曲線與之匹配使之達(dá)到最大的電池效率。方塊電阻的波動導(dǎo)致效率下降大約5％。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有設(shè)備生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻會產(chǎn)生波動的缺陷，本實用新型提供一種通過提供穩(wěn)定抽氣排風(fēng)壓力來穩(wěn)定生產(chǎn)出來的硅片的方塊電阻的太陽能電池擴散設(shè)備。
本實用新型所采用的技術(shù)方案是一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐和機臺排風(fēng)端，擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端排出，機臺排風(fēng)端安裝排風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器。
本實用新型的有益效果是抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升最終太陽能電池的效率5％。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。


圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1.擴散爐，2.機臺排風(fēng)端，3.排風(fēng)壓力控制閥，4.排風(fēng)壓力控制器，5.擴充管，6.濃縮瓶。
具體實施方式
如圖1所示的一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐1和機臺排風(fēng)端2，從擴散爐1中排除的氣體經(jīng)過擴充管5(expansion essel)和濃縮瓶6(congdensation bottle)后從機臺排風(fēng)端2排除，機臺排風(fēng)端2安裝排風(fēng)壓力控制閥3和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器4，通過排風(fēng)壓力控制器4控制排風(fēng)壓力控制閥3使抽氣排風(fēng)壓力這個參數(shù)保持穩(wěn)定。進入擴散爐1的氣體由氣體流量控制器控制，流量穩(wěn)定。氣體和POCL3在擴散爐1中和硅片發(fā)生反應(yīng)，抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度也會穩(wěn)定，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升太陽能電池的效率5％。
權(quán)利要求1、一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐(1)和機臺排風(fēng)端(2)，擴散爐(1)內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端(2)排出，其特征是所述的機臺排風(fēng)端(2)安裝排風(fēng)壓力控制閥(3)和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器(4)。
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能電池加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種太陽能電池擴散設(shè)備，包括擴散爐和機臺排風(fēng)端，擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣通過管道從機臺排風(fēng)端排出，機臺排風(fēng)端安裝排風(fēng)壓力控制閥和相應(yīng)的排風(fēng)壓力控制器。抽氣排風(fēng)壓力穩(wěn)定后，磷在硅片中的注入濃度穩(wěn)定后，方塊電阻也隨之穩(wěn)定，可以提升最終太陽能電池的效率5％。
文檔編號H01L31/18GK201171053SQ20082003109
公開日2008年12月24日 申請日期2008年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月28日
發(fā)明者馬祥柱, 單惠標(biāo), 斌 仝, 許結(jié)剛 申請人:常州天合光能有限公司