專利名稱：用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，而且更具體地，涉 及一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備以檢測半導(dǎo)體設(shè)備上下外表面的裝置。
背景技術(shù)：
經(jīng)過封裝過程后的所述半導(dǎo)體設(shè)備，通過老化測試過程等檢驗， 并加載到用戶托盤上以便分銷到巿場上。
而且，如序列號、生產(chǎn)廠家標識等標記通過標記過程被標記在待 分發(fā)半導(dǎo)體設(shè)備的表面上。
此外，執(zhí)行用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備外部形態(tài)以檢查是否有引線 或球柵的損壞、裂縫或劃痕等、也用于檢測印于所述表面上的標記狀 態(tài)的視覺檢測過程。
同時，由于在關(guān)于所述半導(dǎo)體設(shè)備的整個過程中增加了用于檢測 半導(dǎo)體設(shè)備外表面和用于檢測標記狀態(tài)的過程，用于所述檢測過程的 時間對于用于整個過程的總體時間具有影響。
特別是，如果所述用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備外表面和用于檢測標記狀 態(tài)的過程沒有有效執(zhí)行，則檢測過程的延遲可能導(dǎo)致整體工作效率的 損失，從而降低生產(chǎn)率。
此外，存在這樣一個問題，即托盤中半導(dǎo)體設(shè)備的非正常加載狀 態(tài)可能引起用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的故障或者所述半導(dǎo)體設(shè)備 的損壞。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝 置，其能夠通過分離和布置用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備下部外表面的視覺檢測單元和用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備上部外表面的視覺檢測單元 來提高檢測速度。
本發(fā)明的另一目的是提供一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，其不 僅能夠提高整體檢測速度，而且能夠通過在寬度和長度方向，即X 軸和Y軸方向上移動用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備下部外表面的視覺檢 測單元來減小所述裝置的尺寸。
本發(fā)明的又一目的是提供一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置及其 方法，其能夠通過布置用于以多排傳輸多個半導(dǎo)體設(shè)備的傳輸工具的 拾取器、將所述半導(dǎo)體設(shè)備同時移動到檢測位置、以及獲取和分析圖 像來提高整體檢測速度。
本發(fā)明的再一目的是提供一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，其能 夠檢測加載有半導(dǎo)體設(shè)備的傳輸托盤的加載溝槽中的所述半導(dǎo)體設(shè) 備的加載狀態(tài)。 技術(shù)方案
為了達到上述目的，提供一種裝置，其包括用于傳輸多個半導(dǎo)體 設(shè)備的傳輸工具，所述半導(dǎo)體設(shè)備由多個用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備的拾取
器拾取，所述多個拾取器排列為多排；以及用于獲取由所述傳輸工具
傳輸?shù)亩鄠€半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像的圖像獲取單元，用于通過 分析半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面來檢測半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)。
所述傳輸工具的所述拾取器之間的間隔可以在寬度方向和長度 方向的至少一個方向上固定，并且在寬度方向和長度方向的另一方向 上可控，或者所述傳輸工具的所述拾取器之間的間隔可以在寬度方向 和長度方向的至少一個上可控。
至少一排內(nèi)的所述拾取器可以在排的方向可移動。 為了達到這些目的，提供一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的方法，所述 方法包括步驟傳輸步驟，用于通過具有排列為多排的多個拾取器的 傳輸工具傳輸多個半導(dǎo)體設(shè)備；圖像獲取步驟，用于獲取由所述傳輸工具傳輸?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像；以及檢測步驟，用于通過 分析在所述圖像獲取步驟獲取的半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像來檢 測半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)。
此處，在圖像獲取步驟中，在排列為多排的所述傳輸工具的拾取 器之間的間隔在寬度方向和長度方向的至少 一個上減少之后，獲取半 導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像。
為了達到這些目的，還提供了 一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其包括第一視覺檢測單元，用于通過獲取多個半導(dǎo)體設(shè)備的下部外 表面圖像以及分析所獲取的圖像來檢測半導(dǎo)體設(shè)備；第二視覺檢測單 元，用于通過獲取半導(dǎo)體設(shè)備的上表面圖像并分析所獲得的圖像來檢 測半導(dǎo)體設(shè)備，所述第二視覺檢測單元安裝在加載有多個半導(dǎo)體設(shè)備
的托盤上；加載單元，用于為所述第一視覺檢測單元和所述第二視覺 檢測單元供應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備；以及分揀單元，用于根據(jù)所述第一視覺檢 測單元和所述第二視覺檢測單元的檢測結(jié)果分揀半導(dǎo)體設(shè)備。
所述加載單元可以包括用于導(dǎo)引加載有多個半導(dǎo)體設(shè)備的托盤 移動的導(dǎo)引單元，和用于沿所述導(dǎo)引單元移動所述托盤的驅(qū)動單元，
而且所述第一視覺檢測單元和所述第二視覺檢測單元可以按順序安 裝在所述導(dǎo)引單元的側(cè)端。
所述第一視覺檢測單元可以包括圖像獲取單元，用于當加載于沿 所述加載單元移動的托盤上的一個或更多個半導(dǎo)體設(shè)備由傳輸工具 傳輸時，獲取所述一個或更多個半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像，和圖 像分析單元，用于分析由圖像獲取單元獲取的圖像以及檢測各個半導(dǎo) 體設(shè)備的外部狀態(tài)，而且所述第二視覺檢測單元可以包括圖像獲取單 元，用于通過在x軸和Y軸方向的移動獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備上表面 的圖像，以及圖像分析單元，用于分析由所述圖像獲取單元獲取的圖 像并檢測所述各個半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)，其中所述Y軸方向是所
述加載單元的移動方向，而且所述X軸方向是垂直于所述Y軸方向的方向。
所述第二視覺檢測單元可以檢測印在所述半導(dǎo)體設(shè)備上表面的 激光標記的狀態(tài)。
為了達到這些目的，還提供了一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，
其包括形成為具有加載有各個半導(dǎo)體設(shè)備的多個加載溝槽的托盤；以 及加載狀態(tài)檢測單元，用于檢測形成于所述托盤中的所述加載溝槽中 的加載狀態(tài)，所述加載狀態(tài)檢測單元與加載有所述托盤的托盤加載單 元相鄰安裝。
所述托盤加載單元可以是托盤傳輸設(shè)備，包括一對用于導(dǎo)引所述 托盤移動的導(dǎo)引單元；以及用于沿所述一對導(dǎo)引單元移動所述托盤的 驅(qū)動單元，或者堆疊有多個托盤的托盤堆疊單元。
所述加載狀態(tài)檢測單元可以包括圖像獲取單元，用于獲取加載有 半導(dǎo)體設(shè)備的托盤的圖像，所述圖像獲取單元安裝于所述托盤加載單 元之上，以及圖像分析單元，用于分析由所述圖像獲取單元所獲取的 圖像和檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備的加載狀態(tài)。此處，所述西像獲取單元與 用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的傳輸工具安裝于一起。
所述加載狀態(tài)檢測單元可以包括光發(fā)射單元，發(fā)射沿與所述托盤 加載單元中加載的托盤上表面平行的方向越過所述托盤的光；光接收 單元，安裝于所述托盤加載單元的對側(cè)，接收從所述光發(fā)射裝置發(fā)出 的光；以及圖像分析單元，用于根據(jù)所述光接收單元的接收狀態(tài)檢測 所述半導(dǎo)體設(shè)備的加載狀態(tài)。
為了達到這些目的，還提供了 一種用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 包括所述用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置。 有益效果
根據(jù)本發(fā)明的用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的裝置具有如下優(yōu)勢所述裝 置可以通過分離和布置用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備下表面的視覺檢測 單元和用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備上表面的視覺檢測單元來提高檢測速度。
而且，根據(jù)本發(fā)明的用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的所述裝置具有如下優(yōu) 勢所述裝置不僅可以提高整體檢測速度，而且可以通過沿寬度和長
度方向，即X軸和Y軸方向移動用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備下部外表
面的視覺檢測單元來減小所述裝置的尺寸。
而且，根據(jù)本發(fā)明的用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的所述裝置具有如下優(yōu)
勢所述裝置可以通過布置用于傳輸成多排的多個半導(dǎo)體設(shè)備的傳輸 工具的拾取器、同時移動所述半導(dǎo)體設(shè)備到檢測位置以及獲取和分析 圖像來提高用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備外表面的整體檢測速度。
而且，根據(jù)本發(fā)明的用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的所述裝置具有如下優(yōu) 勢不僅可以提高所述裝置的可靠性，而且可以通過檢測加載有半導(dǎo) 體設(shè)備的所述傳輸托盤的加載溝槽中所述半導(dǎo)體設(shè)備的加載狀態(tài)避 免半導(dǎo)體設(shè)備在托盤上的不穩(wěn)定加載。


圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的示意圖； 圖2是和圖3是示出圖1中用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的傳輸工具 結(jié)構(gòu)的示意圖4至圖6是示出通過圖2中的傳輸工具傳輸半導(dǎo)體設(shè)備由圖像檢
測單元獲取圖像的獲取過程的示意圖7是示出圖l中用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的第二視覺檢測單 元的結(jié)構(gòu)的示意圖8是示出加載狀態(tài)檢測單元的剖面視圖9和圖10是示出加載檢測單元的另一個實施例的剖面視圖；以
及
圖11和圖12是示出加載檢測單元的另一個實施例的剖面視圖。
具體實施例方式
下面將參考附圖詳細解釋根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置。
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的示意圖， 圖2和圖3是示出圖1中用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的傳輸工具結(jié)構(gòu)
的示意圖，圖4至圖6是示出通過圖2中的傳輸工具傳輸半導(dǎo)體設(shè)備 由圖像檢測單元獲取圖像的獲取過程的示意圖，圖7是示出圖1中用 于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置的第二視覺檢測單元的結(jié)構(gòu)的示意圖，而且 圖8是示出加載狀態(tài)檢測單元的剖面視圖。
如圖1和圖2中所示，根據(jù)本發(fā)明的所述用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的 裝置，包括傳輸工具600,具有用于拾取成多排的多個半導(dǎo)體設(shè)備1 的多個拾取器610;以及圖像獲取單元400，用于獲取由傳輸工具600 傳輸?shù)亩鄠€半導(dǎo)體設(shè)備1的下部外表面圖像。
也就是說，根據(jù)本發(fā)明的用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的裝置采用稱作在 線即時(OTF)的方法，用于通過由成多排的拾取器610傳輸半導(dǎo)體 設(shè)備1到檢測位置，即圖像獲取單元400之上，獲取半導(dǎo)體設(shè)備1的 圖像，尤其是下部外表面的圖像，并分析所獲得的圖像，根據(jù)分析結(jié) 果檢測半導(dǎo)體設(shè)備l。 .
傳輸工具600的多個拾取器610可以布置為多排，而且可以布置 為m列xn行(m和n是不小于2的自然數(shù))。圖2示出了按10x2布 置的傳輸工具600。此處，拾取器610的布置可以根據(jù)形成于托盤2 中的加載溝槽的布置等有所不同，以加載半導(dǎo)體設(shè)備l,拾取器610 的布置結(jié)構(gòu)可以是如圖3中所示的斜點陣結(jié)構(gòu)和垂直點陣結(jié)構(gòu)。
傳輸工具600設(shè)置有安裝于支撐托架630上的多個拾取器610, 而且支撐托架630安裝為可以沿安裝于主體10上的傳輸工具導(dǎo)引件 601移動。
所述用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備l的拾取器610可以具有各種結(jié)構(gòu)，而 且具有吸頭612，通過隨著在上下方向的移動(Z方向移動)產(chǎn)生真 空壓力來吸取和拾取半導(dǎo)體設(shè)備l。此外，每個吸頭612可以在上下
ii方向獨立移動。
同時，待檢測的半導(dǎo)體設(shè)備1通過加載到形成于托盤2中的加載
溝槽2a而被傳輸，而且加載于托盤2中的半導(dǎo)體設(shè)備1之間、在寬 度和長度方向，即X軸和Y軸方向上的間隔，可以根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備 1的種類和生產(chǎn)廠家而不同。
相應(yīng)地，優(yōu)選傳輸工具600的拾取器610之間的間隔Ph和Pv 在寬度和長度方向上固定，或者在寬度方向和長度方向的至少一個上 可以控制。
也就是說，傳輸工具600的拾取器610之間的間隔在寬度和長度 方向中的至少一個方向上固定，而且在寬度和長度方向中的另一個方 向上可以控制，或者拾取器610之間的間隔在寬度和長度方向的至少 一個上可以控制。
此處，用于控制所述拾取器610在寬度方向或長度方向的間隔的 節(jié)距控制設(shè)備(未示出)可以實施為如連接設(shè)備或線性運動設(shè)備等的 各種模塊。
而且所述節(jié)距控制設(shè)備可以手動控制，或者自動控制以通過辨認 半導(dǎo)體設(shè)備1的位置或者形成于托盤的加載溝槽2a的間隔來控制拾 取器610的間隔。此外，其中加載溝槽2a的間隔可以相同或者不同。
此外，在所述傳輸工具600的每排中的拾取器610,如圖3所示， 可以獨立移動以使得每排中的拾取器610的布置不成直線。
在至少一排中的所述拾取器610在排的方向上獨立移動的情況 下，具有圖像獲取單元400的FOV之內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備1的數(shù)目可以 增加的優(yōu)勢。
此外，由于為了當半導(dǎo)體設(shè)備1傳輸?shù)綀D像獲取單元400時僅為 其獲取圖像而需要減小半導(dǎo)體設(shè)備l之間的間隔，所述圖像獲取單元 400可以在傳輸工具600的拾取器610之間的間隔在寬度和長度方向 的至少一個方向上減小后，獲取多個半導(dǎo)體設(shè)備1的下部外表面圖將安裝于主體10上的所述圖像獲取單元400構(gòu)造為獲取由所述傳輸工具600傳輸?shù)亩鄠€半導(dǎo)體設(shè)備1的下部外表面圖像，而且傳輸圖像到圖像分析設(shè)備用以分析外表面圖像，尤其是半導(dǎo)體設(shè)備1的下部外表面圖像，以及檢測各個半導(dǎo)體設(shè)備1的外部狀態(tài)。
圖像獲取單元400可以包括圖像獲取設(shè)備410,例如用于獲取圖像的數(shù)碼相機或掃描儀，以及用于分析由所述圖像獲取設(shè)備410獲取的圖像的圖像分析設(shè)備。此處，所述圖像獲取單元400可以與所述圖像分析設(shè)備一起實施為一個模塊，或者實施為控制單元的一部分。
由于半導(dǎo)體設(shè)備1由布置為mxn的多行的拾取器610傳輸通過
圖像獲取設(shè)備410,所述圖像獲取設(shè)備410安裝為與布置為mxn的多
行的所述半導(dǎo)體設(shè)備l相隔合適的距離，而且具有光學模塊用于獲取以mxn布置的所述半導(dǎo)體設(shè)備1的下部外表面圖像。
同時，所述圖像獲取單元400的攝像機可以及時獲取圖像的所述半導(dǎo)體設(shè)備1的數(shù)目根據(jù)所述圖像獲取單元400的攝像機的FOV限制為2、 4等。
此處，所述圖像獲取單元400可以通過利用光學系統(tǒng)同時獲取所有半導(dǎo)體設(shè)備l的圖像，然而由于增加的獲取距離，具有這種圖像獲取單元400的裝置的尺寸需要增加。
相應(yīng)地，如圖4和圖5中所示，在利用傳輸工具600拾取成多排的半導(dǎo)體設(shè)備l之后，圖像獲取單元400通過在一個方向上以恒定速度或步長移動半導(dǎo)體設(shè)備1獲取位于攝像機的FOV之內(nèi)的所述半導(dǎo)體設(shè)備l的圖像。
可以通過拾取多排半導(dǎo)體設(shè)備1、移動所述半導(dǎo)體設(shè)備1通過所述圖像獲取單元400、以及獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備l的下表面圖像來提高檢測速度。
同時，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置還可以包括用于獲取和檢測半導(dǎo)體設(shè)備1的上表面圖像的第二視覺檢測單元500，以
及用于獲取和檢測半導(dǎo)體設(shè)備1外部狀態(tài)的圖像獲取單元400,作為第一視覺檢測單元400。此處，所述用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置可以設(shè)置有用于加載半導(dǎo)體設(shè)備1的加載單元100。
第二視覺檢測單元500可以具有類似于所述圖像獲取單元400的結(jié)構(gòu)作為第一視覺檢測單元600，而且安裝于主體10之上用于獲取
半導(dǎo)體設(shè)備l的上部圖像。
第二視覺檢測單元500包括用于獲取安裝在加載有半導(dǎo)體設(shè)備1的托盤2上的所述半導(dǎo)體設(shè)備1上部圖像的圖像獲取單元530。
此處，需要控制所述托盤2的移動以使得第二視覺檢測單元500獲取圖像，然而由于用于控制所述托盤2的移動的設(shè)備，所述裝置的尺寸應(yīng)該增加。
相應(yīng)地，如圖1和圖7所示，所述圖像獲取單元530安裝為在寬度和長度方向，即在X軸和Y軸方向可移動通過傳輸托盤2的移動路徑，即通過加載單元100,而且用于在X軸和Y軸方向上導(dǎo)引所述圖像獲取單元530移動的導(dǎo)引單元510、 520可以安裝在所述主體10上。
此處，由于設(shè)置有在X軸和Y軸方向上可移動的圖像獲取單元530而不需要用于移動和控制托盤2的附加設(shè)備，因而所述裝置的尺
自然地，所述第二視覺檢測單元500可以安裝在所述加載單元100的一側(cè)而且所述整個托盤2傳輸待檢測。
所述第二視覺檢測單元500可以包括圖像分析設(shè)備，與分析由所述圖像獲取設(shè)備410獲取的圖像和外表面圖像、尤其是半導(dǎo)體設(shè)備1的上表面上印的激光標記狀態(tài)的所述圖像獲取單元530 —起作為一個模塊，或者作為一個附加的模塊。
所述加載單元100用于為所述第一和第二視覺檢測單元400、500
14供應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備1,構(gòu)造為傳輸形成于托盤2的加載溝槽2a中的處
于加載狀態(tài)的多個半導(dǎo)體設(shè)備l，使得所述第一和第二視覺檢測單元
400、 500可以檢測半導(dǎo)體設(shè)備1。
所述加載單元IOO可以具有各種結(jié)構(gòu)，而且如圖l所示，可以包 括用于導(dǎo)引加載有多個半導(dǎo)體設(shè)備1的所述托盤2移動的導(dǎo)引單元 110，以及用于沿所述導(dǎo)引單元110移動所述托盤2的驅(qū)動單元(未 示出)。
此處，所述第一視覺檢測單元400和所述第二視覺檢測單元500 可以按順序安裝在所述導(dǎo)引單元IIO的一側(cè)，而且自然地，多個所述 第一視覺檢測單元400和所述第二視覺檢測單元500可以考慮所述檢 測速度來安裝。
此處，加載于沿加載單元IOO的導(dǎo)引單元110傳輸?shù)耐斜P2上的 半導(dǎo)體設(shè)備1 ，在通過傳輸工具600傳輸至所述第一視覺檢測單元400 然后完成所述第一視覺檢測單元400的圖像獲取過程后，再次加載到 所述托盤2上。
同時，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置可以進一步包括 分揀單元300,用于根據(jù)所述第一視覺檢測單元400和所述第二視覺 檢測單元500的檢測結(jié)果分揀所述半導(dǎo)體設(shè)備1。
所述分揀單元300可以具有與所述加載單元100類似的結(jié)構(gòu)，而 且可以實現(xiàn)為具有如好G,壞1或異常1 Rl，壞2或異常2 R2等分 類索引的多個分揀單元300。
而且各個分揀單元300可以包括與加載單元IOO相平行地安裝在 所述加載單元100—側(cè)的導(dǎo)引單元310，以及用于沿所述導(dǎo)引單元310 移動所述托盤2的驅(qū)動單元(未示出)。
同時，托盤2可以通過托盤傳輸單元(未示出)在所述加載單元 100和所述分揀單元300之間傳輸，而且所述分揀單元300可以設(shè)置 有用于提供未加載半導(dǎo)體設(shè)備1的空托盤2的空托盤單元200。
15此處，所述空托盤單元200可以包括與加載單元IOO相平行地安
裝在所述加載單元100的一側(cè)的導(dǎo)引單元210,以及用于沿所述導(dǎo)引 單元210移動所述托盤2的驅(qū)動單元(未示出)。
此外，用于根據(jù)所述分類索引傳輸半導(dǎo)體設(shè)備1的附加傳輸工具 620位于所述分揀單元300之間。
傳輸工具620可以具有與所述傳輸工具600相同的結(jié)構(gòu)，而且為 多排結(jié)構(gòu)或者單排結(jié)構(gòu)。
同時，由于用于檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備l上表面和下表面的過程是 對于所述半導(dǎo)體設(shè)備1的最終過程，而且所述半導(dǎo)體設(shè)備1在所述檢 測過程之后加載于托盤2或者卷帶上并分發(fā)到市場，需要確定所述托 盤2上的所述半導(dǎo)體設(shè)備1的加載狀態(tài)。
相應(yīng)地，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置可以包括用于 檢測形成于托盤2中的加載溝槽2a中的加載狀態(tài)的加載狀態(tài)檢測單 元，所述加載狀態(tài)檢測單元與加載有所述托盤2的托盤加載單元相鄰 安裝。
圖8是示出所述加載狀態(tài)檢測單元的剖面視圖；圖9和圖10是 示出所述加載狀態(tài)檢測單元的另一實施例的剖面視圖；而且圖11和 圖12是示出所述加載狀態(tài)檢測單元的又一實施例的剖面視圖。
所述托盤加載單元可以由包括用于導(dǎo)引所述托盤2移動的一對 導(dǎo)引單元IIO、 310的托盤傳輸設(shè)備；以及用于沿所述一對導(dǎo)引單元 110、 310移動所述托盤的驅(qū)動單元，或者堆疊有多個托盤2的托盤 堆疊單元組成。
同時，所述加載狀態(tài)檢測單元是與加載有所述托盤2的托盤加載 單元相鄰安裝、用于檢測形成于所述托盤2中的所述加載溝槽2a中 的加載狀態(tài)的設(shè)備，可以包括用于獲取加載有半導(dǎo)體設(shè)備l的托盤2 的圖像的圖像獲取單元731,所述圖像獲取單元731安裝于所述托盤 加載單元之上，以及用于分析由所述圖像獲取單元731獲取的圖像并檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備l的加載狀態(tài)的圖像分析單元。
此處，可以利用攝像機作為所述圖像獲取單元731，如圖8中所
示，與傳輸工具620安裝在一起，或者如圖9和圖10中所示，安裝 在所述分揀單元300中的所述托盤2的移動路徑中的托盤之上。
而且，所述圖像獲取單元731用于檢測形成于所述托盤2的加載 溝槽2a中的加載狀態(tài)，可以使用低分辨率攝像機，而且可以具有其 尺寸能夠允許所述托盤2中大約兩排半導(dǎo)體設(shè)備1圖像的獲取區(qū)域 CA。
此外，如圖11和圖12中所示，所述加載狀態(tài)檢測單元可以包括 發(fā)出以與加載到托盤加載單元中的托盤2的上表面平行的方向越過 所述托盤的光的光發(fā)射單元710;安裝于所述托盤加載單元對側(cè)、接 收來自于所述光發(fā)射單元710的光的光接收單元720;以及用于根據(jù) 所述光接收單元720的接收狀態(tài)檢測半導(dǎo)體設(shè)備1的加載狀態(tài)的圖像 分析單元(未示出)。
如圖11和圖12所示，具有上述結(jié)構(gòu)的所述加載狀態(tài)檢測單元， 確定了當所述光接收單元720接收到所述光發(fā)射單元710發(fā)出的光 時，所述半導(dǎo)體設(shè)備1的加載狀態(tài)是好的，而且當所述光接收單元 720不能接收到所述光發(fā)射單元710發(fā)出的光時，所述半導(dǎo)體設(shè)備1 的加載狀態(tài)是不好的，因為所發(fā)射的光由于所述加載溝槽2a中的半 導(dǎo)體設(shè)備1的傾斜加載而受到阻擋。
所述加載狀態(tài)檢測單元可以傳輸信號到所述控制單元以產(chǎn)生異 常信號并手工校正所述半導(dǎo)體設(shè)備1的加載狀態(tài)，或者通過吸取并由 控制單元控制的所述傳輸工具620再加載來校正所述半導(dǎo)體設(shè)備1的 加載狀態(tài)。
同時，根據(jù)本發(fā)明的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置可以進一步包括 分揀單元，而且可用作用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的裝置。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來講明顯的是，在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以對本發(fā)明作出各種修改和變型。因而，本發(fā)明旨在, 蓋落入所附權(quán)利要求和其等同物的范圍內(nèi)的本發(fā)明的修改和變型。
權(quán)利要求
1、一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，包括傳輸工具，用于傳輸由用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備的多個拾取器拾取的多個半導(dǎo)體設(shè)備，所述多個拾取器布置為m列×n排(m和n是不小于2的自然數(shù))；以及圖像獲取單元，用于獲取由所述傳輸工具傳輸?shù)亩鄠€半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像以通過分析半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像來檢測半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)。
2、 如權(quán)利要求l所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，其中所述傳輸工具的所述拾取器之間的間隔在寬度和長度方向 的一個方向上固定，在寬度和長度方向的另一個方向上可控制。
3、 如權(quán)利要求l所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述傳輸工具的所述拾取器之間的間隔在寬度和長度方向的至少一個上可控制。
4、 如權(quán)利要求l-3任一項所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中m為10且n為2。
5、 如權(quán)利要求l-3任一項所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中至少一排中的所述拾取器在排的方向上能夠獨立移動。
6、 一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的方法，所述方法包括步驟 傳輸步驟，用于通過具有布置為m列xn排的多個拾取器的傳輸工具傳輸多個半導(dǎo)體設(shè)備(m和n是不小于2的自然數(shù))；圖像獲取步驟，用于獲取由所述傳輸工具傳輸?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像；以及檢測步驟，用于通過分析在所述圖像獲取步驟中所獲取的半導(dǎo)體設(shè)備下部外表面圖像來檢測半導(dǎo)體設(shè)備外部狀態(tài)。
7、 如權(quán)利要求6所述的檢測半導(dǎo)體設(shè)備的方法， 其中在所述圖像獲取步驟中，在布置為多排的所述傳輸工具的所述拾取器之間的間隔在寬度和長度方向的至少 一個上減小后獲取半 導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像。
8、 一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，包括第一視覺檢測單元，用于通過獲取多個半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面 圖像并分析獲取到的圖像來檢測半導(dǎo)體設(shè)備；第二視覺檢測單元，用于通過獲取半導(dǎo)體設(shè)備的上表面圖像并分析獲取到的圖像來檢測半導(dǎo)體設(shè)備，所述第二視覺傳感器安裝于加載 有多個半導(dǎo)體設(shè)備的托盤之上；加載單元，用于為所述第一視覺檢測單元和所述第二視覺檢測單 元供應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備；以及分揀單元，用于根據(jù)所述第一視覺檢測單元和所述第二視覺檢測 單元的檢測結(jié)果分揀半導(dǎo)體設(shè)備。
9、 如權(quán)利要求8所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，其中所述加載單元包括用于導(dǎo)引加載有多個半導(dǎo)體設(shè)備的托盤 移動的導(dǎo)引單元和用于沿所述導(dǎo)引單元移動所述托盤的驅(qū)動單元，而且所述第一視覺檢測單元和所述第二視覺檢測單元按順序安裝于所 述導(dǎo)引單元的側(cè)端。
10、 如權(quán)利要求8所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述第一視覺檢測單元包括圖像獲取單元，用于當加載于沿所述加載單元移動的所述托盤的 一個或多個半導(dǎo)體設(shè)備由傳輸工具傳輸時，獲取所述一個或更多個半 導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像；以及圖像分析單元，用于分析由所述圖像獲取單元獲取的所述圖像并 檢測各個半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)。
11、 如權(quán)利要求8所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述第二視覺檢測單元包括圖像獲取單元，用于通過在X軸和Y軸方向移動來獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備的上表面圖像，和圖像分析單元，用于分析由所述圖像獲取 單元獲取的所述圖像以及檢測各個半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)，其中所述 Y軸方向是所述加載單元的移動方向而且所述X軸方向是垂直于所 述Y軸方向的方向。
12、 如權(quán)利要求ll所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，其中所述第二視覺檢測單元檢測印在所述半導(dǎo)體設(shè)備的上表面 的激光標記的狀態(tài)。
13、 一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置包括形成為具有加載有各個半導(dǎo)體的多個加載溝槽的托盤；以及用于檢測形成于所述托盤中的所述加載溝槽的加載狀態(tài)的加載 狀態(tài)檢測單元，所述加載狀態(tài)檢測單元與加載有所述托盤的托盤加載 單元相鄰安裝。
14、 如權(quán)利要求13所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述托盤加載單元是包括一對用于導(dǎo)引所述托盤移動的導(dǎo)引單元的托盤傳輸設(shè)備；以及用于沿所述一對導(dǎo)引單元移動所述托盤的驅(qū)動單元，或者堆疊有多個托盤的堆疊單元。
15、 如權(quán)利要求13所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述加載狀態(tài)檢測單元包括用于獲取加載有半導(dǎo)體設(shè)備的托盤的圖像的圖像獲取單元，所述 圖像獲取單元安裝于所述托盤加載單元之上，以及用于分析由所述圖像獲取單元獲取的所述圖像以及檢測所述半 導(dǎo)體設(shè)備的加載狀態(tài)的圖像分析單元。
16、 如權(quán)利要求15所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述圖像獲取單元和用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的傳輸工具安裝在一起。
17、 如權(quán)利要求13所述的用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置， 其中所述加載狀態(tài)檢測單元包括光發(fā)射單元，發(fā)出以與加載到所述托盤加載單元中的所述托盤的 上表面平行的方向越過所述托盤的光；光接收單元，安裝于所述托盤加載單元的對側(cè)、接收來自于所述光發(fā)射單元發(fā)出的光；以及圖像分析單元，用于根據(jù)所述光接收單元的接收狀態(tài)檢測所述半導(dǎo)體設(shè)備的 加載狀態(tài)。
18、用于分揀半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，包括如權(quán)利要求13所述的用 于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，涉及一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備的裝置，而且更具體地，涉及一種用于檢測半導(dǎo)體設(shè)備以檢測半導(dǎo)體設(shè)備上下部外表面的裝置，所述裝置包括傳輸工具，用于傳輸由用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備的多個拾取器拾取的多個半導(dǎo)體設(shè)備，所述多個拾取器布置為m列×n行(m和n是不小于2的自然數(shù))；以及圖像獲取單元，用于獲取由所述傳輸工具傳輸?shù)亩鄠€半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像以通過分析半導(dǎo)體設(shè)備的下部外表面圖像檢測半導(dǎo)體設(shè)備的外部狀態(tài)。
文檔編號H01L21/66GK101652848SQ200780052570
公開日2010年2月17日 申請日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
發(fā)明者張元鎭, 柳弘俊 申請人:宰體有限公司