專利名稱：用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳輸工具，而且更具體地，涉及一種用于傳輸能 夠拾取待傳輸物體的半導(dǎo)體設(shè)備(例如用于傳輸?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備)的工 具。
背景技術(shù)：
通常地，經(jīng)歷封裝過程的半導(dǎo)體設(shè)備必須要經(jīng)歷如電氣特性試驗(yàn) 和老化測(cè)試的各種試驗(yàn)來測(cè)試抗外熱的可靠性。根據(jù)所述測(cè)試的結(jié) 果，將所述半導(dǎo)體設(shè)備分揀為好的和壞的。為了測(cè)試或分揀過程，將 所述半導(dǎo)體設(shè)備加載到每個(gè)托盤和/或托板上，而且順序傳輸所述托 盤。
拾取加載到每個(gè)托盤和/或托板上的半導(dǎo)體設(shè)備，以通過傳輸工 具傳輸?shù)綔y(cè)試裝置的如托座、托盤或托板等上，從而用于測(cè)試或分揀。
傳統(tǒng)的用于傳輸?shù)墓ぞ甙ㄖ瓮屑?，以及一個(gè)或多個(gè)安裝在所 述支撐托架上的拾取器，和位于其端部的吸頭，所述吸頭用于通過形 成真空壓力吸取半導(dǎo)體設(shè)備的上表面。
所述拾取器在一行內(nèi)的數(shù)量配置為兩個(gè)、四個(gè)，八個(gè)等，因而一 次性傳輸多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備。
然而，用于半導(dǎo)體設(shè)備的測(cè)試或分揀裝置，具有安裝于其上、用 于傳輸?shù)墓ぞ?，所述裝置根據(jù)待傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的數(shù)量具有不同的測(cè) 試或分揀速度。因此，所述用于傳輸?shù)墓ぞ弑仨毐慌渲脼閭鬏敱M可能 多的半導(dǎo)體設(shè)備
發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種能夠通過提供布置于多行的拾取器來一次傳輸多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具。
本發(fā)明的另一目的是提供一種能夠在水平方向和垂直方向中的至少 一個(gè)方向上控制排列于多行的拾取器之間的間隔的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具。技術(shù)方案
為了達(dá)到這些目的，提供一種用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，包括:
可移動(dòng)地安裝在傳輸工具導(dǎo)引件上的支撐托架；以及安裝于所述支撐托架上的多行拾取器，用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備。
所述支撐托架包括安裝于所述傳輸工具導(dǎo)引件上的第一支撐托架；以及多個(gè)連接于所述第一支撐托架，且具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器的第二支撐托架。
所述第二支撐托架具有安裝在一行、其間具有間隔的所述拾取器，而且還可以設(shè)置有用于控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。
所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接于其上的多個(gè)支撐構(gòu)件；以及具有用于將所述支撐構(gòu)件連接于彼此從而控制所述支撐構(gòu)件之間間隔的連接結(jié)構(gòu)的連接單元。
所述水平間隔控制器可以包括所述拾取器分別連接于其上的多個(gè)支撐構(gòu)件；分別連接到所述支撐構(gòu)件的多個(gè)連接銷；以及具有用于插入所述多個(gè)連接銷的多個(gè)溝槽的驅(qū)動(dòng)板，其用于通過在上下方向移動(dòng)所述支撐構(gòu)件來控制所述支撐構(gòu)件之間的間隔。
還可以包括垂直間隔控制器，以便控制所述第二支撐托架之間的間隔，使得所述拾取器之間的垂直距離能夠得以控制。
所述第二支撐托架在數(shù)量上配置為一對(duì)。所述垂直間隔控制器可以包括間隔控制軸，其螺紋連接到所述第二支撐托架上使得所述第二支撐托架可以在旋轉(zhuǎn)時(shí)沿不同方向移動(dòng)；以及安裝在所述第一支撐托架上的驅(qū)動(dòng)單元，用于旋轉(zhuǎn)所述間隔控制軸。
5所述垂直間隔控制器可以包括分別安裝于所述第二支撐托架上 的導(dǎo)引構(gòu)件；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐托架上的凸輪構(gòu)件，而且 具有用于分別插入所述導(dǎo)引構(gòu)件的導(dǎo)引凹槽，用于通過控制所述導(dǎo)引
構(gòu)件之間的間隔來控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉(zhuǎn)
所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。
所述垂直間隔控制器可以包括拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二
支撐托架可以通過拉力彼此連接；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐托架 的凸輪構(gòu)件，用于通過旋轉(zhuǎn)控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及 用于旋轉(zhuǎn)所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。
所述垂直間隔控制器可以包括拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二 支撐托架可以通過拉力彼此連接；以及插入到所述第二支撐托架之間 的插入構(gòu)件，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔。
所述拾取器可以安裝在彼此相鄰的所述第二支撐托架的相向表 面上。 有益效果
在根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具中，由于拾取器布置 為多排，可以一次傳輸盡可能多的半導(dǎo)體設(shè)備。
在根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具中，由于所述半導(dǎo)體 設(shè)備以多排傳輸，所傳輸?shù)南嗤瑪?shù)量的半導(dǎo)體設(shè)備的整個(gè)長度可以縮 短。
在根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具中，由于所述半導(dǎo)體 設(shè)備以多排傳輸，可以通過自覺檢眼器拍照的半導(dǎo)體設(shè)備的數(shù)量可以 增加，所述自覺檢眼器用于通過為半導(dǎo)體設(shè)備的每個(gè)表面拍照來測(cè)試 多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備。
在根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具中，由于布置為多排 的所述拾取器之間的間隔可在水平方向和垂直方向中的至少一個(gè)方 向上得到控制，因此所述半導(dǎo)體設(shè)備之間的間隔可以得到合適的控
6制。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具適用的半導(dǎo)體
設(shè)備測(cè)試機(jī)的示意圖2是圖1中半導(dǎo)體設(shè)備測(cè)試機(jī)中的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具 的示意圖3是示出了圖2中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的一個(gè)實(shí)施例的 透視圖4是圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的平面圖5和6是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的垂直間隔
控制器的一個(gè)實(shí)施例的平面圖7是圖3中的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的側(cè)面圖8和9是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的垂直間隔 控制器的另一個(gè)實(shí)施例的平面圖10和11是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的垂直間 隔控制器的再一個(gè)實(shí)施例的平面圖12和13是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的垂直間 隔控制器的又一個(gè)實(shí)施例的平面圖i4和i5是圖4中沿"vn-vn"和"VIII-VIII"線的剖視圖16和17是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的水平間 隔控制器的一個(gè)實(shí)施例的示意圖；以及
圖18是示出了圖3中用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具的水平間隔控 制器的另一個(gè)實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將參考附圖詳細(xì)解釋根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的 工具。
根據(jù)本發(fā)明的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具700是 一種用于傳輸如半導(dǎo)體設(shè)備l的待傳輸物體的裝置。所述用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具700安裝在用于分揀所述半導(dǎo)體設(shè)備1的分揀機(jī)或者用于測(cè)試所述半
導(dǎo)體設(shè)備l的測(cè)試機(jī)等上，從而傳輸所述半導(dǎo)體設(shè)備l。
如圖1和2所示，示出了所述用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具700所適
用的半導(dǎo)體設(shè)備檢測(cè)裝置，所述半導(dǎo)體設(shè)備檢測(cè)裝置包括加載單元
100;安裝于所述加載單元100—側(cè)的第 一 視覺檢測(cè)(vision inspection)單元400，其用于檢測(cè)所述半導(dǎo)體設(shè)備l的下表面；安裝于所述加載單元100—側(cè)的第二視覺檢測(cè)單元500,其用于檢測(cè)所述半導(dǎo)體設(shè)備l的上表面；以及分揀單元300,用于通過第一和第二視覺檢測(cè)單元400和500根據(jù)檢測(cè)結(jié)果分揀所述半導(dǎo)體設(shè)備1。
所述加載單元100可以具有各種構(gòu)造。如圖l所示，所述加載單元100可以包括用于導(dǎo)引多個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備1安裝于其上的托盤2的移動(dòng)的導(dǎo)引單元110;以及用于沿所述導(dǎo)引單元110移動(dòng)所述托盤2的驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。
所述第一視覺檢測(cè)單元400安裝于主體10上，且用于通過分析所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備l的下表面的圖像來檢測(cè)所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備l的外觀。所述第一視覺檢測(cè)單元400包括用于捕捉圖像的圖像捕捉設(shè)備，
和用于分析圖像的圖像分析設(shè)備。
所述第二視覺檢測(cè)單元500可以與所述第一視覺檢測(cè)單元400相似的方式配置，但是安裝于所述主體100上，以便捕捉所述各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備l的上部圖像(upper image )。
所述第二視覺檢測(cè)單元500包括安裝于所述托盤2之上的圖像捕捉設(shè)備530,所述半導(dǎo)體設(shè)備1安裝于所述托盤2上，用于捕捉每個(gè)所述半導(dǎo)體設(shè)備l的上部圖像。
如圖1所示，為了提高對(duì)所述半導(dǎo)體設(shè)備l的檢測(cè)速度，所述圖像捕捉設(shè)備530安裝為可以在所述加載單元100之上沿水平或者垂直方向(X或Y方向)移動(dòng)，其為所述托盤2的傳輸路徑。用于導(dǎo)引所述圖像捕捉設(shè)備530沿X和Y方向移動(dòng)的導(dǎo)引單元510和540安裝于所述主 體10上。
所述第一視覺檢測(cè)單元400和第二視覺檢測(cè)單元500檢測(cè)所述各 個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備l表面上的外觀狀態(tài)或者標(biāo)記狀態(tài)，例如引線或球柵的
損壞，裂縫和劃痕。
所述分揀單元300具有與所述加載單元100相似的構(gòu)造。而且，所 述分揀單元300可以在數(shù)量上配置為多個(gè)，使得所述半導(dǎo)體設(shè)備可以 分類為好G、壞1或異常1R1，壞2或異常2R2，等等。
每個(gè)所述分揀單元300可以包括平行安裝在所述加載單元100的 一側(cè)的導(dǎo)引單元310，以及用于沿所述導(dǎo)引單元310移動(dòng)所述托盤2的 驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。
所述托盤2可以通過所述加載單元100和所述分揀單元300之間的 托盤傳輸設(shè)備(未示出)來傳輸。所述分揀單元300還可以設(shè)置有用 于提供沒有任何半導(dǎo)體設(shè)備1安裝于其上的空托盤2的空托盤單元 200。
所述空托盤單元200可以包括平行安裝于所述加載單元100—側(cè) 的導(dǎo)引單元210，以及用于沿所述導(dǎo)引單元210移動(dòng)所述托盤2的驅(qū)動(dòng) 單元(未示出)。
在所述視覺檢測(cè)單元400和所述加載單元100之間，以及在所述各 個(gè)托盤2之間，所述半導(dǎo)體設(shè)備1通過一個(gè)或更多個(gè)傳輸工具700和620 沿安裝于所述主體10上的傳輸工具導(dǎo)引件601傳輸。
為了提高如所述第一視覺檢測(cè)單元400的檢測(cè)速度，必須一次傳 輸盡可能多的所述半導(dǎo)體設(shè)備l。由于所述半導(dǎo)體設(shè)備l是在安裝于所 述托盤2的狀態(tài)下傳輸，因此所述傳輸工具700和620必須考慮所述托 盤2的結(jié)構(gòu)而配置。
如圖2所示，用于在所述第一視覺檢測(cè)設(shè)備400和所述加載單元 100之間傳輸所述半導(dǎo)體設(shè)備1的所述傳輸工具700，包括安裝為沿所述傳輸工具導(dǎo)引件601可移動(dòng)的支撐托架；以及以多排安裝于所述支
撐托架上的拾取器730，用于拾取所述半導(dǎo)體設(shè)備l。此處，所述傳輸 工具700可以傳輸所述半導(dǎo)體設(shè)備1使得以恒定的速度或恒定的步長 穿過所述第一視覺檢測(cè)單元400的攝像設(shè)備的視野區(qū)域(FOV)。
所述拾取器730用于拾取所述用于傳輸?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備l,而且可以 具有各種配置。每個(gè)所述拾取器730可以包括用于在上下方向移動(dòng)時(shí) 通過產(chǎn)生真空壓力吸取和拾取所述半導(dǎo)體設(shè)備1的吸頭731。每個(gè)所述 吸頭731可以安裝為在上下方向獨(dú)立移動(dòng)。
所述支撐托架可以具有各種配置，使得所述多個(gè)拾取器730可以 布置為mxn("m""和""n"表示不小于2的自然數(shù))。如圖3中所示， 所述支撐托架可以包括安裝于所述傳輸工具導(dǎo)引件601上以使得其可 移動(dòng)的第一支撐托架710;以及連接于所述第一支撐托架710上的多個(gè) 第二支撐托架720,所述第二支撐托架720具有以其間的預(yù)定間隔安裝 于其上的所述拾取器730。
所述第一支撐托架710安裝為可沿所述傳輸工具導(dǎo)引件601移動(dòng)， 而且通過另 一傳輸設(shè)備傳輸從而移動(dòng)所述第二支撐托架720。
所述第二支撐托架720安裝為n個(gè)，其間具有間隔，而且可以具有 各種配置，使得所述布置為m個(gè)的拾取器730可以以其間的間隔安裝 于其上。
此處，所述拾取器730以水平方向安裝于所述第二支撐托架720 上，而且所述第二支撐托架720以垂直方向布置。
如圖4所示，所述第二支撐托架720可以配置為一對(duì)。此處，考慮 到該結(jié)構(gòu)，所述拾取器730優(yōu)選地安裝于所述第二支撐托架720的相向 表面上。
當(dāng)所述第二支撐托架720以一對(duì)安裝于彼此相鄰的所述第二支撐 托架720的相向表面上，所述拾取器730之間的間隔可以被最小化。 安裝于所述托盤2上的所述半導(dǎo)體設(shè)備1可以根據(jù)待檢測(cè)的半導(dǎo)體設(shè)備1的種類和制造公司在其間具有不同間隔。當(dāng)將所述半導(dǎo)體設(shè) 備1被傳輸?shù)嚼缢龅谝灰曈X檢測(cè)單元400的檢測(cè)模塊時(shí)，所述半導(dǎo) 體設(shè)備l之間的間隔需要為了檢測(cè)而減少或增加。
相應(yīng)地，所述拾取器730可以配置為使得在水平方向和垂直方向 中的一個(gè)方向上，其間的間隔Ph、 Pv可以得到控制，而不是配置為固 定在所述支撐托架上。用于控制所述拾取器730的垂直間隔Pv的垂直 間隔控制器，以及用于控制所述拾取器730的水平間隔Ph的水平間隔 控制器的至少一個(gè)可以安裝于所述支撐托架上。
所述垂直間隔控制器可以具有各種配置以使得所述拾取器730之 間的垂直間隔Pv可以得到控制。
當(dāng)所述第二支撐托架720以一對(duì)安裝時(shí)，如圖4、圖5和圖6所示， 所述垂直間隔控制器可以包括固定于所述第一支撐托架710上的驅(qū)動(dòng) 馬達(dá)761;以及連接到所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)761的驅(qū)動(dòng)軸上、并且螺紋連接到 所述一對(duì)第二支撐托架720上的間隔控制軸765，用于控制所述第二支 撐托架720之間的間隔。
每個(gè)所述第二支撐托架720設(shè)置有連接到所述間隔控制軸765上 的連接部分723。而且，所述第二支撐托架720以不同的方式螺紋連接 到所述間隔控制軸765上以使得彼此沿不同方向移動(dòng)。
更具體地，所述間隔控制軸765設(shè)置有在不同方向的螺紋部分， 即，左螺紋部分763和右螺紋部分764。所述第二支撐托架720中的一 個(gè)連接到所述左螺紋部分763上，所述第二支撐托架720中的另 一個(gè)連 接到所述右螺紋部分764上。
為了連接到所述間隔控制軸765的左螺紋部分763和右螺紋部分 764上，內(nèi)螺紋部分可以直接形成于所述第二支撐托架720上，或者具 有內(nèi)螺紋部分的附加構(gòu)件724可以連接于所述第二支撐托架720。
如圖4和7所示，為了精確控制所述第二支撐托架720之間的垂直 間隔，所述垂直間隔控制器可以具有垂直移動(dòng)導(dǎo)引單元，所述垂直移
ii動(dòng)導(dǎo)引單元包括設(shè)置于所述第二支撐托架720上側(cè)的兩端的第一導(dǎo)引
構(gòu)件716，用于導(dǎo)引第二支撐托架720的垂直移動(dòng)；以及連接于所述第 一導(dǎo)引構(gòu)件716的第二導(dǎo)引構(gòu)件726，用于導(dǎo)引所述第二支撐托架720 的垂直移動(dòng)。
所述垂直間隔控制器可以具有除圖4、 5和6所示之外的各種構(gòu)造， 下面詳細(xì)解釋其結(jié)構(gòu)。
如圖8和9所示，所述垂直間隔控制器可以包括具有分別安裝于其 上的所述第二支撐托架720的導(dǎo)引構(gòu)件729;可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一 支撐托架710上、且具有用于分別插入所述導(dǎo)引構(gòu)件729的導(dǎo)引凹槽 811a的凸輪構(gòu)件811，其用于通過控制插入到所述導(dǎo)引凹槽811a的導(dǎo) 引構(gòu)件729之間的間隔來控制所述第二支撐托架720之間的間隔；以及 用于旋轉(zhuǎn)所述凸輪構(gòu)件811的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。
所述導(dǎo)引構(gòu)件729可以整體安裝于所述第二支撐托架720上，或者 可以安裝為如銷釘?shù)母郊訕?gòu)件上。此處，所述第二支撐托架720可以 連接到附加連接構(gòu)件(未示出)上，以使得所述導(dǎo)引構(gòu)件729之間的 間隔可以減小。
所述凸輪構(gòu)件811具有用于插入所述導(dǎo)引構(gòu)件729的導(dǎo)引凹槽 811a。所述導(dǎo)引凹槽811a通過可旋轉(zhuǎn)連接于所述第一支撐托架710的 孔、溝槽或盤來實(shí)現(xiàn)。
所述導(dǎo)引凹槽811a形成為使得從所述凸輪構(gòu)件811的旋轉(zhuǎn)中心減 小其距離，使得當(dāng)凸輪構(gòu)件811旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述導(dǎo)引構(gòu)件729之間的間隔 可以得到控制。
盡管未示出，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元可以安裝于所述第一支撐托架 710上。如圖8和9所示，為了增加轉(zhuǎn)動(dòng)力，齒輪部分811b可以形成于 所述凸輪構(gòu)件811的外圓周表面上。而且，可以構(gòu)造旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元使 得轉(zhuǎn)動(dòng)力能夠通過齒輪連接于所述凸輪構(gòu)件811的所述齒輪部分811b 的驅(qū)動(dòng)齒輪812傳輸。如圖10和11中所示，所述垂直間隔控制器可以包括用于提供拉力
的拉力構(gòu)件821,其被安裝以使所述第二支撐托架720可以彼此連接； 凸輪構(gòu)件822可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐托架710上，用于通過旋轉(zhuǎn) 控制所述第二支撐托架720之間的間隔；以及用于旋轉(zhuǎn)所述凸輪構(gòu)件 811的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未示出)。
所述拉力構(gòu)件821配置為用于為所述第二支撐托架720提供拉力。 如彈簧等的彈性構(gòu)件可以用作所述拉力構(gòu)件821 。
安裝所述凸輪構(gòu)件811以使得其凸輪表面可以支撐所述第二支撐 托架720。當(dāng)所述第二支撐托架720依據(jù)所述凸輪表面的每個(gè)位置移動(dòng) 時(shí)，所述第二支撐托架720之間的間隔得以控制。
如圖12和13所示，所述垂直間隔控制器可以包括拉力構(gòu)件831， 其被安裝以使得所述第二支撐托架720可以連接到彼此，并提供拉力； 以及插入到所述第二支撐托架720之間的插入構(gòu)件832，用于控制所述 第二支撐托架720之間的間隔。
所述拉力構(gòu)件831構(gòu)造為使得允許所述第二支撐托架拉向彼此。 如彈簧等彈性構(gòu)件可以用作為所述拉力構(gòu)件831 。
所述插入構(gòu)件831可以具有逐漸尖細(xì)的形狀使得能夠通過人工或 者驅(qū)動(dòng)單元容易地插入到插入表面。所述插入構(gòu)件831可以設(shè)置有用 于阻止所述插入構(gòu)件831與所述插入表面分離的 一個(gè)或更多個(gè)突出部 832。
向朝向彼此的所述第二支撐托架720延伸的連接構(gòu)件833也可以 安裝于所述第二支撐托架720，使得所述插入構(gòu)件832可以容易地插入 到所述第二支撐托架720之間。
接觸構(gòu)件834安裝于所述連接構(gòu)件833的端部，并設(shè)置有用于插入 所述插入構(gòu)件832以及所述相鄰接觸構(gòu)件834的插入表面834a。
參考圖12,當(dāng)所述插入構(gòu)件832被插入到所述接觸構(gòu)件834時(shí)，所 述第二支撐托架720之間的間隔增加。相反地，參考圖13,當(dāng)所述插
13入構(gòu)件832從所述接觸構(gòu)件834移出時(shí)，所述接觸構(gòu)件834通過拉力構(gòu) 件831移升至其間的接觸位置。相應(yīng)地，所述第二支撐托架720之間的 間隔減小。
所述水平間隔控制器用于控制所述拾取器730之間的水平間隔， 而且可以具有多種構(gòu)造。如圖14到17所示，所述水平間隔控制器可以 包括具有用于將所述支撐構(gòu)件732連接到彼此的連接結(jié)構(gòu)的連接單元 751，所述支撐構(gòu)件具有安裝于其上的拾取器730;以及用于通過驅(qū)動(dòng) 所述連接單元751控制所述支撐構(gòu)件732之間間隔的驅(qū)動(dòng)單元。
所述連接單元751由多個(gè)連接構(gòu)件751a,以及用于將所述連接構(gòu) 件751a彼此連接的銷釘751b組成。此處，所述連接單元751通過連接 銷釘752連接到所述支撐構(gòu)件732。優(yōu)選地，用于導(dǎo)引所述支撐構(gòu)件732 移動(dòng)的導(dǎo)引單元721可以安裝于所述第二支撐托架720上。
所述驅(qū)動(dòng)單元通過移動(dòng)所述連接單元751或所述支撐構(gòu)件732順 序移動(dòng)連接到所述連接單元751的支撐構(gòu)件732,從而控制如圖14A或 14B所示的所述支撐構(gòu)件732之間的水平間隔Ph。
所述驅(qū)動(dòng)單元包括固定于所述第二支撐托架720上的驅(qū)動(dòng)馬達(dá) 753;可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第二支撐托架720上、且通過連接到所述驅(qū) 動(dòng)馬達(dá)753的驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)滑輪754;可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第二支 撐托架720上、且通過帶755連接于所述驅(qū)動(dòng)滑輪754的驅(qū)動(dòng)滑輪756; 以及一個(gè)或更多個(gè)其一端連接于所述帶755、另 一端連接于所述支撐 構(gòu)件732中的一個(gè)的移動(dòng)構(gòu)件757。
此處，所述移動(dòng)構(gòu)件757分別連接于布置于其兩端的所述支撐構(gòu) 件732。而且，所述移動(dòng)構(gòu)件757可以設(shè)置為一對(duì)，使得所述支撐構(gòu)件 732可以向內(nèi)或向外移動(dòng)。所述一對(duì)移動(dòng)構(gòu)件757連接到所述帶755上
使得其移動(dòng)方向彼此相反。
所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)753可以通過聯(lián)軸節(jié)758將轉(zhuǎn)動(dòng)力傳輸至安裝于所 述相鄰的第二支撐托架720的所述驅(qū)動(dòng)滑輪754。此處，為了通過所述垂直間隔控制器控制所述第二支撐托架720之間的間隔，所述聯(lián)軸節(jié)
758連接與所述相鄰的驅(qū)動(dòng)滑輪754連接的旋轉(zhuǎn)軸，以使得所述旋轉(zhuǎn)軸 之一可沿軸的方向移動(dòng)。
所述水平間隔控制器可以具有各種構(gòu)造。如圖18中所示，代替所 述連接單元751，可利用具有特定形狀、用于插入連接到所述支撐構(gòu) 件732上的多個(gè)溝槽759a的驅(qū)動(dòng)板759。
如圖18所示，形成于所述驅(qū)動(dòng)板759上的所述溝槽759a通過垂直 移動(dòng)來水平移動(dòng)插入到所述溝槽759a的連接銷釘752，從而移動(dòng)連接 于所述連接銷釘752的所述支撐構(gòu)件732。相應(yīng)地，所述拾取器730之 間的水平間隔Ph可以得以控制。
盡管未示出，用于感測(cè)所述拾取器730之間間隔的傳感單元還可 以分別設(shè)置于所述水平間隔控制器和所述垂直間隔控制器上，從而控 制水平間隔Ph和垂直間隔Pv。
對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，明顯的是，只要不脫離本發(fā)明的精神 或范圍可以對(duì)本發(fā)明做出各種變型和替換。因而，本發(fā)明旨在覆蓋落 入所述權(quán)利要求和其等同物的變型和替換。
權(quán)利要求
1、一種用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，包括可移動(dòng)地安裝于傳輸工具導(dǎo)引件上的支撐托架；以及呈多排安裝于所述支撐托架上的拾取器，用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備。
2、 如權(quán)利要求1所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述支撐托架包括可移動(dòng)地安裝于所述傳輸工具導(dǎo)引件上的第一支撐 托架；和多個(gè)連接于所述第一支撐托架的第二支撐托架，所述第二支 撐托架具有安裝于一排、其間具有間隔的所述拾取器。
3、 如權(quán)利要求2所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述第二支撐托架具有其間有一定間隔安裝的所述拾取器，而且還設(shè)置 有用于控制所述拾取器之間間隔的水平間隔控制器。
4、 如權(quán)利要求3所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述水平間隔控制器包括所述拾取器分別連接于其上的多個(gè)支撐構(gòu) 件；以及具有用于將所述支撐構(gòu)件連接于彼此，以便控制所述支撐構(gòu) 件之間間隔的連接結(jié)構(gòu)的連接單元。
5、 如權(quán)利要求3所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述水平間隔控制器包括所述拾取器分別連接于其上的多個(gè)支撐構(gòu) 件；分別連接于所述支撐構(gòu)件的多個(gè)連接銷釘；以及具有用于插入所 述多個(gè)連接銷釘?shù)亩鄠€(gè)凹槽、且被配置為通過在上、下方向移動(dòng)而控 制所述支撐構(gòu)件之間間隔的驅(qū)動(dòng)板。
6、 如權(quán)利要求2-5中的一項(xiàng)所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，還包括垂直間隔控制器，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔，以 使得所述拾取器之間的垂直間隔得以控制。
7、 如權(quán)利要求6所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述第二支撐托架在數(shù)量上被配置為一對(duì)，其中，所述垂直間隔控制器包括間隔控制軸，其螺紋連接于所 述第二支撐托架，以使得所述第二支撐托架能夠在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)沿不同方向移動(dòng)；以及安裝于所述第一支撐托架上的驅(qū)動(dòng)單元，用于轉(zhuǎn)動(dòng)所述間 隔控制軸。
8、 如權(quán)利要求6所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括分別安裝于所述第二支撐托架上的導(dǎo)引構(gòu) 件；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐托架上的凸輪構(gòu)件，所述凸輪構(gòu)件具有用于分別插入所述導(dǎo)引構(gòu)件的導(dǎo)引凹槽，用于通過控制所述導(dǎo)引構(gòu)件之間的間隔來控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及用于旋轉(zhuǎn) 所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。
9、 如權(quán)利要求6所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括用于提供拉力的拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述第一支撐構(gòu)架上 的凸輪構(gòu)件，用于通過旋轉(zhuǎn)控制所述第二支撐托架之間的間隔；以及 用于轉(zhuǎn)動(dòng)所述凸輪構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元。
10、 如權(quán)利要求6所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所 述垂直間隔控制器包括用于提供拉力的拉力構(gòu)件，其安裝為使得所述第二支撐托架能夠彼此連接；以及插入所述第二支撐托架之間的插入構(gòu)件，用于控制所述第二支撐托架之間的間隔。
11、 如權(quán)利要求2所述的用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具，其中，所述拾取器安裝于彼此相鄰的所述第二支撐托架的相向表面上。
全文摘要
一種用于傳輸能夠拾取如用于傳輸?shù)陌雽?dǎo)體設(shè)備的待傳輸物體的半導(dǎo)體設(shè)備的工具。所述用于傳輸半導(dǎo)體設(shè)備的工具包括可移動(dòng)地安裝于傳輸工具導(dǎo)引件上的支撐托架；以及以多行安裝于所述支撐托架上的拾取器，用于拾取半導(dǎo)體設(shè)備。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101652850SQ200780052556
公開日2010年2月17日 申請(qǐng)日期2007年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日
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