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一種放置硅片的工裝設(shè)備的制作方法

文檔序號:6878943閱讀:503來源:國知局
專利名稱:一種放置硅片的工裝設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種放置硅片的工裝設(shè)備,可用于幫助硅片在生產(chǎn)過程中 的轉(zhuǎn)移,特別適用于晶體硅太陽電池生產(chǎn)中,降低轉(zhuǎn)移硅片過程中所引入的硅片 碎片率,屬于硅片加工裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
在目前太陽電池市場上,單晶、多晶硅太陽電池占據(jù)了 90%以上的市場份 額,這類太陽電池制作在被稱為硅片的單晶或多晶硅基板上。在太陽電池的生產(chǎn) 過程中,經(jīng)常需要將多枚硅片平行地放置到一個載板上,再將載板送入工藝加工 設(shè)備,對所承載的硅片進(jìn)行加工。如圖1所示,為一種將多枚硅片平行地放置到一個載板的結(jié)構(gòu)示意圖,該 載板由框架03和支據(jù)硅片的承接體掛鉤04組成。載板的框架可由金屬或非金屬 的介質(zhì)材料所制成,其中相鄰的兩個框子的剖面圖如圖2所示,框中的空間是為 放置硅片所設(shè)置,在每一個框子的內(nèi)側(cè)設(shè)有承接體掛鉤04,用以承接放入框子 空間的硅片,之所以用掛鉤04來承接硅片,是因為硅片的被加工面是與掛鉤04 相接觸的。采用掛鉤結(jié)構(gòu),可減少硅片被加工面被此處掛鉤04所遮擋的面積。在實際生產(chǎn)操作過程中,操作人員手持鑷子或真空吸筆將硅片放入每一個 框架03內(nèi),承接體掛鉤04將所放入的硅片托住,由于承接體掛鉤04上與硅片 的接觸面積較小,支撐硅片的支點有限,在裝、卸硅片的操作中,容易造成硅片 破碎,而且,隨著太陽電池生產(chǎn)所要求的硅片面積不斷增大、硅片厚度不斷減小, 直接在這種載板上裝、卸硅片將難以滿足大規(guī)模、高速生產(chǎn)太陽電池,同時保持 低硅片破碎率的要求。在太陽電池生產(chǎn)過程中,獲得低硅片破碎率是獲得盈利的必要條件。 發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種減少硅片破碎率,降低生產(chǎn)成本、提高太陽電 池在線生產(chǎn)效率的放置硅片的工裝設(shè)備。
為實現(xiàn)以上目的,本實用新型的技術(shù)方案是提供一種放置硅片的工裝設(shè)備, 其特征在于,由工作板和支撐臺組成,在工作板上設(shè)有與硅片轉(zhuǎn)移裝置中每一個框架四周鉤子中間所對應(yīng)的固定支撐臺。所述的工作板的厚度為5 mm—15 mm,材料為金屬平板或絕緣材料平板;所述的固定支撐臺面積比硅片小,厚度為3mm—8mm,高于硅片轉(zhuǎn)移裝置的掛 鉤。本實用新型放在硅片載板的下面,并使支撐臺落入在硅片載板的每個框子的 鉤子中間,盡量居中,由于支撐臺比鉤子高,操作者將硅片逐一放到每個支撐臺 上,放滿每個支攛臺后,將硅片載板抬起,所有原先在本實用新型支撐臺上的硅 片就被轉(zhuǎn)移到硅片載板鉤子上,由于支撐臺與所被放置的硅片的接觸面,要比鉤 子與所被放置的硅片的接觸面大得多,硅片在放置中被損壞的幾率就小得多,而 且方便得多。本實用新型的優(yōu)點是能提高生產(chǎn)效率,減少硅片破碎。

圖1為硅片載板結(jié)構(gòu)的俯視示意圖; 圖2為硅片載板相鄰的兩個框子的剖面示意圖; 圖3為一種放置硅片的工裝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖; 圖4為一種放置硅片的工裝設(shè)備兩個相鄰支撐臺的剖面示意圖; 圖5將硅片載板放置在本實用新型上的俯視示意圖; 圖6兩個框子之間硅片載板和本實用新型的相互位置關(guān)系剖面示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。 實施例如圖3、4所示,為一種放置硅片的工裝設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖,由工作板01和支 撐臺02組成,在工作板01上設(shè)有與硅片轉(zhuǎn)移裝置中每一個框架03四周掛鉤04 中間所對應(yīng)的固定支撐臺02。工作板01采用厚度為8mm的平整鋁板為底板,支撐臺02采用長、寬、高 分別為9(ten、 90mm、 120mm的聚四氣乙烯塊,這種材料具有一定的耐400'C
高溫特性、不易對所承接的硅片形成沾污、易于加工,支撐臺2以矩陣形式排布 在鋁底板上,并加以固定,固定完畢后不得有突起物在硅片支撐臺的表面,以避 免對所承接硅片的損傷,以硅片載板為參照物,使每個支撐臺02置于硅片載板 的每個框子03的掛鉤04中間。工作時,將硅片載板放置在本實用新型上,如圖5、 6所示,支撐臺02的高 度略高于硅片載板承接體掛鉤04的高度,當(dāng)操作者將硅片放入框子中時,硅片 將支撐臺02所承接,而并非直接落在硅片載板承接體掛鉤04的上面,由于支撐 臺02與所被放置的硅片的接觸面,要比承接體掛鉤04與所被放置的硅片的接觸 面大得多,硅片在放置中被損壞的幾率就小得多。在完成硅片放入框子中后,將 硅片載板平行端起,放在框子中硅片支撐臺02上的硅片就自動落在了硅片載板 承接體掛鉤04的上面,硅片放入硅片載板的操作完成。
權(quán)利要求1.一種放置硅片的工裝設(shè)備,其特征在于,由工作板(01)和支撐臺(02)組成,在工作板(01)上設(shè)有與硅片轉(zhuǎn)移裝置中每一個框架(03)四周掛鉤(04)中間所對應(yīng)的固定支撐臺(02)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置硅片的工裝設(shè)備,其特征在于,所述的工作 板(01)的厚度為5mm—15mm,材料為金屬平板或絕緣材料平板。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種放置硅片的工裝設(shè)備,其特征在于,所述的固定 支撐臺(02)面積比硅片小,厚度為3mm—8mm,高于硅片轉(zhuǎn)移裝置的掛鉤 (04)。
專利摘要本實用新型涉及一種放置硅片的工裝設(shè)備,其特征在于,由工作板和支撐臺組成,在工作板上設(shè)有與硅片轉(zhuǎn)移裝置中每一個框架四周掛鉤中間所對應(yīng)的固定支撐臺。本實用新型放在硅片載板放置的下面,并使支撐臺落入在硅片載板的每個框子的掛鉤中間,盡量居中,由于支撐臺比鉤子高,操作者將硅片逐一放到每個支撐臺上,放滿每個支撐臺后,將硅片載板抬起,所有原先在本實用新型支撐臺上的硅片就被轉(zhuǎn)移到硅片載板掛鉤上,由于支撐臺與所被放置的硅片的接觸面,要比鉤子與所被放置的硅片的接觸面大得多,硅片在放置中被損壞的幾率就小得多,而且方便得多。本實用新型的優(yōu)點是能提高生產(chǎn)效率,減少硅片破碎。
文檔編號H01L21/673GK201051493SQ200720069789
公開日2008年4月23日 申請日期2007年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月14日
發(fā)明者郭里輝 申請人:上海交大泰陽綠色能源有限公司
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