一種露點(diǎn)儀檢定裝置的制造方法
【專利摘要】一種露點(diǎn)儀檢定裝置包括空氣、空壓機(jī)、一級(jí)干燥器、二級(jí)干燥器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、精密露點(diǎn)儀、被檢露點(diǎn)儀、放空管；其中：空氣依次通過(guò)空壓機(jī)、一級(jí)干燥器、二級(jí)干燥器與轉(zhuǎn)子流量計(jì)連接，轉(zhuǎn)子流量計(jì)經(jīng)三通分別送入精密露點(diǎn)儀和被檢露點(diǎn)儀，被檢露點(diǎn)儀與放空管連接；本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型所述露點(diǎn)儀檢定裝置具有檢測(cè)效率高、測(cè)試精度高等特點(diǎn)，能夠滿足露點(diǎn)儀的檢定工作要求，對(duì)露點(diǎn)儀的自動(dòng)化檢定有一定的指導(dǎo)意義。
【專利說(shuō)明】
一種露點(diǎn)儀檢定裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及露點(diǎn)儀檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及了一種露點(diǎn)儀檢定裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]露點(diǎn)儀是測(cè)量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器。在等壓的條件下使氣體中水蒸氣冷卻至凝聚相出現(xiàn)，通過(guò)控制露層傳感器露層的溫度，使氣體中的水蒸氣與水(或冰)的平展表面呈熱力學(xué)相平衡狀態(tài)，準(zhǔn)確測(cè)量此時(shí)露層的溫度，即為該氣體的露點(diǎn)溫度。
[0003]露點(diǎn)儀主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、冶金、化纖等工藝過(guò)程及軍工、航天等領(lǐng)域，通過(guò)對(duì)有關(guān)環(huán)境露點(diǎn)溫度監(jiān)測(cè)與控制，以實(shí)現(xiàn)相關(guān)作業(yè)環(huán)境條件能夠滿足相關(guān)的要求，進(jìn)一步保證生產(chǎn)工藝及流程。因此，對(duì)露點(diǎn)儀的檢定，并對(duì)其溯源和測(cè)量不確定度的研究具有重要意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)對(duì)露點(diǎn)儀進(jìn)行計(jì)量檢定，為相關(guān)露點(diǎn)儀使用單位提供公正準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)，特提供了一種露點(diǎn)儀檢定裝置。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種露點(diǎn)儀檢定裝置，其特征在于:所述露點(diǎn)儀檢定裝置包括空氣1、空壓機(jī)2、一級(jí)干燥器3、二級(jí)干燥器4、轉(zhuǎn)子流量計(jì)5、精密露點(diǎn)儀6、被檢露點(diǎn)儀7、放空管8;其中:空氣I依次通過(guò)空壓機(jī)2、一級(jí)干燥器3、二級(jí)干燥器4與轉(zhuǎn)子流量計(jì)5連接，轉(zhuǎn)子流量計(jì)5經(jīng)三通分別送入精密露點(diǎn)儀6和被檢露點(diǎn)儀7，被檢露點(diǎn)儀7與放空管8連接。
[0006]作為優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括截止閥和測(cè)控計(jì)算機(jī)，所述截止閥位于一級(jí)干燥器3和二級(jí)干燥器4之間，所述測(cè)控計(jì)算機(jī)連接于精密露點(diǎn)儀6和被檢露點(diǎn)儀7。
[0007]作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述一級(jí)干燥器3內(nèi)置分子篩，所述二級(jí)干燥器4采用不銹鋼內(nèi)膽拋光處理。
[0008]作為優(yōu)選的技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)子流量計(jì)5與所述精密露點(diǎn)儀6采用聚四氟乙烯管連接。
[0009]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):
[0010]本實(shí)用新型所述露點(diǎn)儀檢定裝置具有檢測(cè)效率高、測(cè)試精度高等特點(diǎn)，能夠滿足露點(diǎn)儀的檢定工作要求，對(duì)露點(diǎn)儀的科學(xué)檢定工作有一定的指導(dǎo)意義。
【附圖說(shuō)明】
[0011 ]下面結(jié)合附圖及實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明:
[0012]圖1為一種露點(diǎn)儀檢定裝置原理結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]露點(diǎn)儀檢定裝置的工作流程為:空壓機(jī)2將空氣I送入干燥器，壓縮空氣先經(jīng)內(nèi)置可更換及反復(fù)烘烤分子篩的一級(jí)干燥器3做一級(jí)干燥，再送不銹鋼內(nèi)膽拋光處理的二級(jí)干燥器4，在二級(jí)干燥器4前端加一個(gè)截止閥，長(zhǎng)時(shí)間不使用時(shí)可置截止?fàn)顟B(tài)，定期吹掃干燥器，可以起到良好的系統(tǒng)維護(hù)效果。這樣出來(lái)的氣體足以保證獲得穩(wěn)定可靠低露點(diǎn)溫度。檢定裝置可采用多路供氣，可以通過(guò)調(diào)節(jié)閥控制每一路供氣流量，轉(zhuǎn)子流量計(jì)5測(cè)量管路的氣體流量，轉(zhuǎn)子流量計(jì)5—般在露點(diǎn)儀的進(jìn)口前的管路中進(jìn)行測(cè)量，多數(shù)要求(I?1 ) L / M i η的流量，實(shí)際檢測(cè)工作中可根據(jù)被檢露點(diǎn)儀流量要求調(diào)節(jié)。
[0014]氣體經(jīng)三通分別送入精密露點(diǎn)儀6和被檢露點(diǎn)儀7，被檢露點(diǎn)儀7出口放空時(shí)，需接一不短于2m的放空管8，防止外界環(huán)境空氣通過(guò)測(cè)量室進(jìn)入被檢露點(diǎn)儀。測(cè)控計(jì)算機(jī)分別記錄精密露點(diǎn)儀6和被檢露點(diǎn)儀7的測(cè)量值，并通過(guò)這兩個(gè)值進(jìn)行比較對(duì)被檢露點(diǎn)儀7進(jìn)行檢定。
[0015]檢定裝置采用SWAGEL0K(美國(guó))進(jìn)口聯(lián)合接頭、調(diào)壓閥、卡套，配合不銹鋼管，尤其在檢定裝置各分路供氣端處，可以最大限度減少空氣中水分滲透入干濕混合氣體管路。在必要的軟管連接處，采用聚四氟乙烯管，以減少空氣中水分滲透，通過(guò)減少取樣管的體積和連接頭，以減少水分進(jìn)入的可能性。
[0016]可以理解的是，以上關(guān)于本實(shí)用新型的具體描述，僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而并非受限于本實(shí)用新型實(shí)施例所描述的技術(shù)方案，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換，以達(dá)到相同的技術(shù)效果；只要滿足使用需要，都在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種露點(diǎn)儀檢定裝置，其特征在于:所述露點(diǎn)儀檢定裝置包括空氣(I)、空壓機(jī)(2)、一級(jí)干燥器(3 )、二級(jí)干燥器(4 )、轉(zhuǎn)子流量計(jì)(5 )、精密露點(diǎn)儀(6 )、被檢露點(diǎn)儀(7 )、放空管(8);其中:空氣(I)依次通過(guò)空壓機(jī)(2)、一級(jí)干燥器(3)、二級(jí)干燥器(4)與轉(zhuǎn)子流量計(jì)(5)連接，轉(zhuǎn)子流量計(jì)(5 )經(jīng)三通分別送入精密露點(diǎn)儀(6 )和被檢露點(diǎn)儀(7 )，被檢露點(diǎn)儀(7 )與放空管(8)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述露點(diǎn)儀檢定裝置，其特征在于:還包括截止閥和測(cè)控計(jì)算機(jī)，所述截止閥位于一級(jí)干燥器(3)和二級(jí)干燥器(4)之間，所述測(cè)控計(jì)算機(jī)連接于精密露點(diǎn)儀(6)和被檢露點(diǎn)儀(7)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述露點(diǎn)儀檢定裝置，其特征在于:所述一級(jí)干燥器(3)內(nèi)置分子篩，所述二級(jí)干燥器(4)采用不銹鋼內(nèi)膽拋光處理。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述露點(diǎn)儀檢定裝置，其特征在于:所述轉(zhuǎn)子流量計(jì)(5)與所述精密露點(diǎn)儀(6)采用聚四氟乙烯管連接。
【文檔編號(hào)】G01N25/66GK205538780SQ201620325854
【公開(kāi)日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年4月18日
【發(fā)明人】黃泉善
【申請(qǐng)人】黃泉善