技術(shù)編號：10854431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。露點儀是測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器。在等壓的條件下使氣體中水蒸氣冷卻至凝聚相出現(xiàn)，通過控制露層傳感器露層的溫度，使氣體中的水蒸氣與水(或冰)的平展表面呈熱力學(xué)相平衡狀態(tài)，準(zhǔn)確測量此時露層的溫度，即為該氣體的露點溫度。露點儀主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、冶金、化纖等工藝過程及軍工、航天等領(lǐng)域，通過對有關(guān)環(huán)境露點溫度監(jiān)測與控制，以實現(xiàn)相關(guān)作業(yè)環(huán)境條件能夠滿足相關(guān)的要求，進(jìn)一步保證生產(chǎn)工藝及流程。因此，對露點儀的檢定，并對其溯源和測量不確定度的研究具有重要意義...
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