方向以及-Υ軸方向延伸。襯墊80、82、84在Υ軸方向上并列。
[0156]第一配線70的第一部分71由例如金屬部2構(gòu)成。第一部分71從第一襯墊80延伸至第一分支部8a。
[0157]第一配線70的第二部分72由例如金屬部2、硅部4、以及接觸部6構(gòu)成。在第二部分72中，金屬部2從第一分支部8a向+Y軸方向延伸，并向+X軸方向延伸之后，通過接觸部6而與硅部4連接。該硅部4與第一固定電極部60連接。
[0158]第一配線70的第三部分73由例如金屬部2、硅部4、以及接觸部6構(gòu)成。在第三部分73中，金屬部2從第一分支部8a向-Y軸方向延伸，并向+X軸方向上延伸之后，通過接觸部6而與硅部4連接。該硅部4與第三固定電極部64連接。
[0159]在功能元件200中，第二配線74從第二襯墊82向+X軸方向延伸，并分支而向+Y軸方向以及+X軸方向上延伸。
[0160]第二配線74的第四部分75由例如金屬部2構(gòu)成。第四部分75從第二襯墊82延伸至第二分支部8b。
[0161]第二配線74的第五部分76由例如金屬部2、硅部4、以及接觸部6構(gòu)成。在第五部分76中，金屬部2從第二分支部8b向+X軸方向上延伸，并向+Y軸方向延伸之后，通過接觸部6而與硅部4連接。該硅部4與第二固定電極部62連接。
[0162]第二配線74的第六部分77由例如金屬部2、硅部4、以及接觸部6構(gòu)成。在第六部分77中，金屬部2從第二分支部8b向+X軸方向延伸，通過接觸部6而與硅部4連接。該石圭部4與第四固定電極部66連接。
[0163]第一配線70的第三部分73與第二配線74的第五部分76交叉。在圖示的示例中，在第三部分73和第五部分76的交叉部中，在構(gòu)成第三部分73的金屬部2上設(shè)置有絕緣層202，在絕緣層202上設(shè)置有構(gòu)成第五部分76的金屬部2。由此，能夠防止第一配線70和第二配線74短路的現(xiàn)象。絕緣層202的材質(zhì)為，例如為氧化硅、氮化硅。此外，雖然未進行圖示，但是絕緣層202也可以被設(shè)置于第五部分76上，并且在絕緣層202上也可以設(shè)置第三部分73。
[0164]在功能元件200中，與功能元件100相同，能夠準確地檢測物理量。
[0165]2.2.功能元件的制造方法
[0166]接下來，參照附圖對第二實施方式所涉及的功能元件的制造方法進行說明。
[0167]在第二實施方式所涉及的功能元件200的制造方法中，如圖7所示，在第一配線70的第三部分73上形成有絕緣層202。絕緣層202通過由例如CVD法實施的成膜、以及圖案形成而被形成。
[0168]除了上述內(nèi)容以外，第二實施方式所涉及的功能元件200的制造方法基本上與第一實施方式所涉及的功能元件的制造方法相同。因此，省略其說明。
[0169]2.3.功能元件的改變例
[0170]接下來，參照附圖對第二實施方式的改變例所涉及的功能元件進行說明。圖8為示意性地表示第二實施方式的改變例所涉及的功能元件300的俯視圖。圖9為，示意性地表示第二實施方式的改變例所涉及的功能元件300沿圖8的IX-1X線的剖視圖。
[0171]此外，為了便于說明，在圖8中以透視蓋體90的方式進行圖示。另外，在圖8以及圖9中圖示了作為相互正交的三個軸的X軸(第一軸)、Y軸(第二軸)、以及Ζ軸。以下，在功能元件200中，對具有與上述功能元件100、200的結(jié)構(gòu)部件相同功能的部件標注相同的符號，并省略其詳細說明。
[0172]在功能元件200中，如圖7所示，在第一配線70與第二配線74的交叉部中，在構(gòu)成第一配線70的第三部分73的金屬部2上設(shè)置有絕緣層202，且在絕緣層202上設(shè)置有構(gòu)成第二配線74的第五部分76的金屬部2。
[0173]相對于此，在功能元件300中，如圖8所示，在第一配線70與第二配線74的交叉部中，第一配線70的第三部分73為，被設(shè)置于槽部16中的金屬部2，第二配線74的第五部分76為，被設(shè)置于基板10上的硅部4。由此，能夠在不形成絕緣層202的條件下，防止第一配線70和第二配線74短路的現(xiàn)象。
[0174]在功能元件300中，第一配線70的第二部分72、以及第二配線74的第六部分77由例如硅部4構(gòu)成。第一配線70的第三部分73、以及第二配線74的第五部分76由例如金屬部2、硅部4、以及接觸部6構(gòu)成。
[0175]在第一配線70的第三部分73中，硅部4從第一分支部8a向-Y軸方向延伸，并通過接觸部6而與金屬部2連接。該金屬部2在-Y軸方向上延伸，并且向+X軸方向延伸之后，通過接觸部6而與硅部4連接。該硅部4與第三固定電極部64連接。
[0176]在第二配線74的第五部分76中，硅部4從第二分支部8b向+Y軸方向上延伸，并通過接觸部6而與金屬部2連接。該金屬部2在+Y軸方向上延伸，并且向+X軸方向延伸之后，通過接觸部6而與硅部4連接。該硅部4與第二固定電極部62連接。
[0177]在功能元件300中，如圖8以及圖9所示，在配線70、74的互相并行的部分中，配線70、74中的一方為,被設(shè)置于基板10上的娃部4(娃層)，配線70、74中的另一方為，被設(shè)置于槽部16中的金屬部2(金屬層)。在此，“互相并行的部分”為，在配線70、74之間不存在可動體20等以及其他的配線，配線70、74互相平行地延伸的部分。在圖示的示例中，“互相并行的部分”為，第一配線70的第三部分73的于Y軸方向上延伸的部分、以及第二配線74的第五部分76的于Y軸方向上延伸的部分。
[0178]在功能元件300中，第一配線70以及第二配線74具備互相并行的部分，在并行部分中，第一配線70以及第二配線74的一方被設(shè)置于槽部16的內(nèi)部。因此，在功能元件300中，能夠使第一配線70的第三部分73的于Y軸方向上延伸的部分與第二配線74的第五部分76的于Y軸方向上延伸的部分之間的寄生電容變小。例如在“互相并行的部分”中，在兩配線均為形成于基板上的硅部或均為被設(shè)置于槽部中的金屬部的情況下，兩者之間的寄生電容變大。
[0179]3.第三實施方式
[0180]接下來，參照附圖對第三實施方式所涉及的電子設(shè)備進行說明。第三實施方式所涉及的電子設(shè)備包括本發(fā)明所涉及的功能元件。在以下中，作為本發(fā)明所涉及的功能元件，對包括功能元件100的電子設(shè)備進行說明。
[0181]圖10為，示意性地表示作為第三實施方式所涉及的電子設(shè)備的可移動型(或筆記本型)的個人計算機1100的立體圖。
[0182]如圖10所示，個人計算機1100由具備鍵盤1102的主體部1104、具有顯示部1108的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106以經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部而能夠相對于主體部1104進行轉(zhuǎn)動的方式被支承。
[0183]在這種個人計算機1100中，內(nèi)置有功能元件100。
[0184]圖11為，示意性地表示作為第三實施方式所涉及的電子設(shè)備的便攜式電話機(也包括PHS) 1200的立體圖。
[0185]如圖11所示，便攜式電話機1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。
[0186]在這種便攜式電話機1200中內(nèi)置有功能元件100。
[0187]圖12為，示意性地表示作為第三實施方式所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機1300的立體圖。此外，在圖12中，對與外部設(shè)備的連接也進行了簡單的圖示。
[0188]在此，通常的照相機通過被攝物體的光圖像而對銀鹽感光膠片進行感光相，相對于此，數(shù)碼照相機1300通過CCD (Charge Coupled Device)等的攝像元件而對被攝物體的光圖像進行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0189]在數(shù)碼照相機1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部1310，并且成為根據(jù)由C⑶產(chǎn)生的攝像信號來進行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。
[0190]此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包括光學透鏡(攝像光學系統(tǒng))和(XD等的受光單元1304。
[0191]攝影者對被顯示在顯示部1310上的被攝物體像進行確認，并按下快門按鈕1306，該時間點的CCD的攝像信號被傳送并存儲于存儲器1308中。
[0192]另外，在這種數(shù)碼照相機1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，根據(jù)需要，在視頻信號輸出端子1312上連接有電視監(jiān)控器，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機1440。而且構(gòu)成如下結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作，使被存儲于存儲器1308中的攝像信號被輸出至電視顯示器1430和個人計算機1440。
[0193]在這種數(shù)碼照相機1300中內(nèi)置有功能元件100。
[0194]由于如上的電子設(shè)備1100，1200，1300包括功能元件100，因此在利用功能元件100以作為電容檢測型的物理量傳感器的情況下，能夠準確地檢測物理量。
[0195]此外，具備功能元件100的電子設(shè)備除了能夠應(yīng)用于圖10所示的個人計算機(可移動型個人計算機)、圖11所示的便攜式電話機、圖12所示的數(shù)碼照相機之外，還能夠應(yīng)用于例如噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機)、便攜型個人計算機、電視、攝像機、錄像機、各種導(dǎo)航裝置、尋呼機、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子辭典、臺式電子計算器、電子游戲機、頭戴式顯示器、文字處理器、工作站、可視電話機、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠鏡、P0S終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量儀器類(例如車輛、飛機、火箭、船舶的計量儀器類)、機器人和人體等的姿態(tài)控制、飛行模擬器等。
[0196]4.第四實施方式
[0197]接下來，參照附圖對第四實施方式所涉及的移動體進行說明。第四實施方式所涉及的移動體包括本發(fā)明所涉及的物理量傳感器。以下對包括作為本發(fā)明所涉及的物理量傳感器的包括功能元件100的移動體進行說明。
[0198]圖13為，示意性地表示作為第四實施方式所涉及的移動體的汽車1500的立體圖。
[0199]在汽車1500中內(nèi)置有功能元件100。具體而言，如圖13所示，在汽車1500的車身1502上搭載有內(nèi)置了檢測汽車1500的加速度的功能元件100而控制發(fā)動機的輸出的電子控制單元EQJ (Electronic Control Unit) 1504。而且，除此之外，功能元件100還能夠廣泛應(yīng)用于車身姿態(tài)控制單元、防抱死系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)視系統(tǒng)(TPMS:TirePressu