功能元件、電子設(shè)備及移動(dòng)體的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種功能元件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來(lái)，利用一種例如??圭 MEMS (Micro Electro Mechanical System:微型機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)來(lái)開(kāi)發(fā)一種對(duì)加速度等的物理量進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器(功能元件)。
[0003]例如在專利文獻(xiàn)1中記載有一種物理量傳感器，其中，包括:可動(dòng)體，其被設(shè)置于基板的上方；可動(dòng)電極部，其從可動(dòng)體延伸；第一固定電極部，其被設(shè)置于可動(dòng)電極部的一偵;第二固定電極部，其被設(shè)置于可動(dòng)電極部的一側(cè)；
[0004]所述物理量傳感器分別對(duì)可動(dòng)電極部與第一固定電極部之間的靜電電容、和可動(dòng)電極部與第二固定電極部之間的靜電電容進(jìn)行測(cè)定，并根據(jù)這些測(cè)定結(jié)果(利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式)而對(duì)物理量進(jìn)行檢測(cè)。
[0005]在這種物理量傳感器中，利用通過(guò)第一配線而與第一固定電極部連接的第一襯墊、和通過(guò)第二配線而與第二固定電極部連接的第二襯墊，對(duì)固定電極部與可動(dòng)電極部之間的靜電電容進(jìn)行檢測(cè)。
[0006]但是，在專利文獻(xiàn)1的物理量傳感器中，第一配線的與第二固定電極部交叉的部分?jǐn)?shù)、和第二配線的與第一固定電極部交叉的部分?jǐn)?shù)有較大不同。因此，在專利文獻(xiàn)1的物理量傳感器中，第一配線與第二配線間電特性(阻抗和寄生電容)的差異較大。因此，在可動(dòng)電極部與第一固定電極部之間的靜電電容、和可動(dòng)電極部與第二固定電極部之間的靜電電容上，將附加有不同的寄生電容，從而存在降低物理量的檢測(cè)精度的可能性。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2012-98208號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于，提供一種能夠抑制物理量的檢測(cè)精度降低的功能元件。另外，本發(fā)明的幾個(gè)方式所涉及的目的之一在于，提供一種包括上述功能元件的電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
[0009]本發(fā)明是為了解決上述課題的一部分分而完成的，能夠作為以下的方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0010]應(yīng)用例1
[0011]本應(yīng)用例所涉及的功能元件包括:第一電極部；第二電極部；第一配線，其與所述第一電極部相連接；第二配線，其與所述第二電極部相連接；所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的個(gè)數(shù)與所述第二交叉部的個(gè)數(shù)之差相對(duì)于所述第一交叉部的個(gè)數(shù)或所述第二交叉部的個(gè)數(shù)中的較多的一方的個(gè)數(shù)，而滿足在其50%以下。
[0012]在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如，在作為功能元件而用于電容檢測(cè)型的物理量傳感器中的情況下，將降低第一配線與第二配線之間產(chǎn)生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0013]應(yīng)用例2
[0014]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，在俯視觀察時(shí)，所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之差，相對(duì)于所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之中較大的一方的面積，而滿足在其50%以下。
[0015]在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如在作為能夠元件而用于電容檢測(cè)型的物理量傳感器中的情況下，將減低第一配線與第二配線之間產(chǎn)生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0016]應(yīng)用例3
[〇〇17] 在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的個(gè)數(shù)與所述第二交叉部的個(gè)數(shù)相等。
[0018]在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器，能夠更加正確地檢測(cè)物理量。
[0019]應(yīng)用例4
[〇〇2〇] 本應(yīng)用例所涉及的功能元件包括:第一電極部；第二電極部；第一配線，其與所述第一電極部相連接；第二配線，其與所述第二電極部相連接；所述第一配線具備與所述第二配線以外的配線交叉的第一交叉部，所述第二配線具備與所述第一配線以外的配線交叉的第二交叉部，在俯視觀察時(shí)，所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之差，相對(duì)于所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和之中較大一方的面積，而滿足在其50%以下。
[0021]在這種功能元件中能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。例如在作為功能元件而用于電容檢測(cè)型的物理量傳感器中的情況下，將降低第一配線與第二配線之間產(chǎn)生的靜電電容的付加量的差。因此，在這種物理量傳感器中，利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式，能夠抵消第一配線以及第二配線的寄生電容的大部分，從而能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0022]應(yīng)用例5
[0023]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的交叉面積的總和與所述第二交叉部的交叉面積的總和相等。
[0024]在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器，能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0025]應(yīng)用例6
[0026]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部與所述第二交叉部的個(gè)數(shù)相等。
[0027]在這種功能元件中，能夠降低功能元件的配線之間的寄生電容的誤差。尤其作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器，能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0028]應(yīng)用例7
[0029]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括:可動(dòng)體，其能夠沿第一軸進(jìn)行移位；第一可動(dòng)電極部，其從所述可動(dòng)體延伸；
[0030]固定電極部，其包括作為被配置于所述第一可動(dòng)電極部的一側(cè)的第一電極部的第一固定電極部、和作為被配置于另一側(cè)的第二電極部的第二固定電極部。
[0031]在這種功能元件中，能夠作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器使其發(fā)揮功能。
[0032]應(yīng)用例8
[0033]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括與所述第一可動(dòng)電極部相連接的第三配線，所述第三配線與所述第一配線以及所述第二配線中的至少一方的配線交叉。
[〇〇34]在這種功能元件中，由于能夠使例如連接于固定電極部的配線與連接于可動(dòng)電極部的配線交叉，因此提高了配線設(shè)計(jì)的自由度。
[0035]應(yīng)用例9
[0036]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括電浮置的第四配線，所述第四配線與所述第一配線以及所述第二配線中的至少一方的配線交叉。
[0037]在這種功能元件中，由于通過(guò)準(zhǔn)備作為虛設(shè)配線的第四配線，并使其與第一配線以及第二配線中的至少一方的配線交叉，從而能夠使第一配線和第二配線上的交叉點(diǎn)數(shù)相等，因此能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0038]應(yīng)用例10
[0039]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，也可以采用如下方式，S卩，包括向與所述第一可動(dòng)電極部相反的一側(cè)延伸的第二可動(dòng)電極部，所述固定電極部包括被配置于所述第二可動(dòng)電極部的一側(cè)的第三固定電極部、和被配置于另一側(cè)的第四固定電極部，所述第一配線經(jīng)過(guò)第一分支部而連接于所述第一固定電極部和所述第三固定電極部，所述第二配線經(jīng)過(guò)第二分支部而連接于所述第二固定電極部和所述第四固定電極部。
[0040]在這種功能元件中，在為了提高靈敏度而使可動(dòng)電極部向可動(dòng)體的兩側(cè)延伸的類(lèi)型的物理量傳感器中，通過(guò)在第一配線和第二配線的各個(gè)配線上設(shè)置分支部，從而能夠?qū)ΨQ地配置配線，從而能夠降低因第一配線與第二配線的配線長(zhǎng)度的差異而引起的電特性的不一致的影響。
[0041]應(yīng)用例11
[0042]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可動(dòng)體、所述可動(dòng)電極部、所述固定電極部、所述第一配線以及所述第二配線被配置于基板上，在所述第一交叉部以及所述第二交叉部中的至少一方的交叉部中，交叉中的一方的配線被設(shè)置于所述基板上所設(shè)置的槽的內(nèi)部。
[〇〇43]在這種功能元件中，能夠容易地構(gòu)成第一配線和第二配線的交叉部。
[0044]應(yīng)用例12
[0045]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，也可以使交叉中的另一方的配線通過(guò)包含硅的結(jié)構(gòu)體而被設(shè)置。
[0046]在這種功能元件中，能夠容易地構(gòu)成第一配線和第二配線的交叉部。
[0047]應(yīng)用例13
[0048]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述第一配線以及所述第二配線具備互相并行的部分，在所述并行的部分中，所述第一配線以及所述第二配線中的一方的配線被設(shè)置于所述基板上所設(shè)置的槽的內(nèi)部。
[〇〇49]在這種功能元件中，能夠在第一配線以及第二配線的互相并行的部分中，減小第一配線與第二配線之間的寄生電容。
[0050]應(yīng)用例14
[0051]在本應(yīng)用例所涉及的功能元件中，也可以使所述第一配線以及所述第二配線的電特性相等。
[0052]在這種功能元件中，通過(guò)使第一配線和第二配線的電特性相等，從而能夠以更高的靈敏度度進(jìn)行檢測(cè)。
[0053]應(yīng)用例15
[0054]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備包括應(yīng)用例1至12中的任意一例所述的功能元件。
[0055]在這種電子設(shè)備中，由于包括本應(yīng)用例所涉及的功能元件，因此在作為例如電容檢測(cè)型的物理量傳感器而利用的情況下，能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0056]應(yīng)用例16
[0057]本應(yīng)用例所涉及的移動(dòng)體包括應(yīng)用例1至12中的任意一例所述的功能元件。
[0058]由于在這種移動(dòng)體中包括本應(yīng)用例所涉及的功能元件，因此在作為例如電容檢測(cè)型的物理量傳感器而利用的情況下，能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
【附圖說(shuō)明】
[0059]圖1為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的俯視圖。
[0060]圖2為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的剖視圖。
[〇〇61]圖3為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的剖視圖。
[0062]圖4為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖視圖。
[0063]圖5為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖視圖。
[0064]圖6為示意性地表示第一實(shí)施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖視圖。
[〇〇65]圖7為示意性地表示第二實(shí)施方式所涉及的功能元件的俯視圖。