二分支部8b向+X軸方向延伸，并通過接觸部6而連接于金屬部2。該金屬部2在X軸方向上延伸，根據(jù)第二固定電極部62的個(gè)數(shù)，從金屬部2向-Y軸方向延伸出多個(gè)硅部4。該硅部4與第二固定電極部62連接，且與第二固定電極部62形成為一體。
[0100]第二配線74的第六部分77例如由硅部4構(gòu)成。在圖示的示例中，第六部分77從第二分支部8b向-X軸方向延伸，而且在沿凹部14的外周延伸之后,根據(jù)第四固定電極部66數(shù)而分支為多個(gè)分支,從而連接于第四固定電極部66。第六部分77與第四固定電極部66形成為一體。
[0101]在第二配線74中，第二襯墊82與第二分支部8b之間的長(zhǎng)度(第四部分75的總長(zhǎng))短于第二分支部8b與第二固定電極部62之間的長(zhǎng)度(第五部分76的總長(zhǎng))。而且，第四部分75的總長(zhǎng)短于第二分支部8b與第四固定電極部66之間的長(zhǎng)度(第六部分77的總長(zhǎng))。
[0102]第一配線70具有與第二配線74以及第二配線74以外的配線(具體而言第四配線79)交叉的第一交叉部9a、9b。第一交叉部9a為，第一配線70的與第二配線74交叉的部分。第一交叉部％為，第一配線70的與第四配線79交叉的部分。
[0103]第二配線74具有與第一配線70以及第一配線70以外的配線(具體而言第三配線78)交叉的第二交叉部9c、9d。第二交叉部9c為，第二配線74的與第一配線70交叉的部分。第二交叉部9d為，第二配線74的與第三配線78交叉的部分。
[0104]第一交叉部9a、9b的個(gè)數(shù)與第二交叉部9c、9d的個(gè)數(shù)相等。在圖示的示例中，第一交叉部9a的個(gè)數(shù)為6個(gè)，第一交叉部9b的個(gè)數(shù)為1個(gè)。第二交叉部9c的個(gè)數(shù)為6個(gè)，第二交叉部9d的個(gè)數(shù)為1個(gè)。
[0105]在第一交叉部9a、9b以及第二交叉部9c、9d處，交叉中的一方的配線被設(shè)置于基板10上所設(shè)置的槽部16的內(nèi)部，交叉中的另一方的配線由包含硅的結(jié)構(gòu)體(具體而言為硅部4)而設(shè)置。
[0106]在圖示的示例中，在位于與可動(dòng)體20相比靠+Y軸方向的交叉部9a、9c處(在俯視觀察時(shí)在與交叉部9a、9c重疊的部分中)，第一配線70由被設(shè)置于基板10上的硅部4構(gòu)成，第二配線74由被設(shè)置于槽部1中的金屬部2構(gòu)成。具體而言，第一配線70的由硅部4構(gòu)成的第二部分72和第二配線74的由金屬部2構(gòu)成的第五部分76互相交叉。
[0107]另外，在圖示的示例中，在位于與可動(dòng)體20相比靠-Y軸方向的交叉部9a、9c處(在俯視觀察時(shí)在與交叉部9a、9c重疊的部分中)，第一配線70由被設(shè)置于槽部16中的金屬部2構(gòu)成，第二配線74由被設(shè)置于基板10上的硅部4構(gòu)成。具體而言，第一配線70的由金屬部2構(gòu)成的第三部分73和第二配線74的由硅部4構(gòu)成的第六部分77互相交叉。
[0108]在俯視觀察時(shí)，第一交叉部9a、9b的面積(交叉面積)的總和與第二交叉部9c、9d的面積(交叉面積)的總和相等。優(yōu)選為，在俯視觀察時(shí)，第一配線70的第二部分72和第二配線74的第五部分76的交叉面積，與第一配線70的第三部分73和第二配線74的第六部分77的交叉面積相等。
[0109]第一配線70的電特性和第二配線74的電特性相等。即，配線70與配線74的阻抗相等，配線70與配線74的寄生電容相等。換而言之，構(gòu)成配線70與配線74的金屬部2的長(zhǎng)度、寬度、以及厚度相等，構(gòu)成配線70與配線74的硅部4的長(zhǎng)度、寬度、以及厚度相等，構(gòu)成配線70與構(gòu)成配線74的接觸部6的個(gè)數(shù)、大小、以及厚度相等。此外，只要第一配線70的電特性與第二配線74的電特性相等，則配線70、74的形狀不被特別限定。
[0110]在俯視觀察時(shí)第一配線70的第二部分72以及第三部分73、與第二配線74的第五部分76以及第六部分77也可以關(guān)于可動(dòng)體20的中心C點(diǎn)對(duì)稱。在圖示的示例中，配線70,74以環(huán)繞可動(dòng)體20、固定部30、32、連結(jié)部40、44、可動(dòng)電極部50、52、以及固定電極部60、62、64、66(以下也稱為“可動(dòng)體20等”)方式而被設(shè)置。
[0111]第三配線78被設(shè)置于基板10上。第三配線78從被設(shè)置于基板10上的第三襯墊84延伸而連接于第一固定部30。第三配線78通過第一固定部30、第一連結(jié)部40、以及可動(dòng)體20而與可動(dòng)電極部50、52連接。在俯視觀察時(shí)第三配線78與第二配線74交叉。在圖示的示例中，第三配線78由金屬部2以及接觸部6構(gòu)成。在第三配線78中，金屬部2從第三襯墊84延伸，且通過接觸部6而與第一固定部30連接。金屬部2與第二配線74的由硅部4構(gòu)成的第六部分77交叉。
[0112]虛設(shè)配線(第四配線)79被設(shè)置于基板10上。虛設(shè)配線79與第二固定部32連接。在俯視觀察時(shí)，虛設(shè)配線79與第一配線70交叉。在圖示的示例中，虛設(shè)配線79由金屬部2以及接觸部6構(gòu)成。在虛設(shè)配線79中，金屬部2通過接觸部6而與第二固定部32連接。金屬部2與第一配線70的由硅部4構(gòu)成的第三部分73交叉。優(yōu)選為，在俯視觀察時(shí)第二配線74和第三配線78的交叉面積(第二交叉部9d的面積)與第一配線70和虛設(shè)配線79的交叉面積(第一交叉部9b的面積)相等。
[0113]虛設(shè)配線79通過固定部30、32、連結(jié)部40、44、以及可動(dòng)體20而被電連接于第三配線78。即，虛設(shè)配線79能夠具有與第三配線78相等的電位。虛設(shè)配線79為，不與例如襯墊連接而與第三配線78電連接的配線。虛設(shè)配線79為電浮置的配線。
[0114]襯墊80、82、84被設(shè)置于基板10上。具體而言，襯墊80、82、84被設(shè)置于槽部16中。在圖示的示例中，襯墊80、82、84在X軸方向上并列。在俯視觀察時(shí)襯墊80、82、84被設(shè)置于不與蓋體90重疊的位置。在圖示的示例中，襯墊80、82、84的平面形狀為四邊形。襯墊80、82、84的材質(zhì)與例如金屬部2的材質(zhì)相同。
[0115]蓋體90被設(shè)置于基板10上。基板10以及蓋體90構(gòu)成了封裝。如圖2及圖3所示，基板10以及蓋體90形成腔92。在腔92上收納有可動(dòng)體20等。腔92也可以在例如惰性氣體(例如氮?dú)?環(huán)境下被密封。蓋體90的材質(zhì)為例如硅、玻璃。
[0116]在功能元件100中，通過利用襯墊80、84，能夠測(cè)定第一可動(dòng)電極部50與第一固定電極部60之間的靜電電容、以及第二可動(dòng)電極部52與第三固定電極部64之間的靜電電容。而且，在功能元件100中，通過利用襯墊82，84，能夠測(cè)定第一可動(dòng)電極部50與第二固定電極部62之間的靜電電容、以及第二可動(dòng)電極部52與第四固定電極部66之間的靜電電容。在這種功能元件100中，通過對(duì)可動(dòng)電極部50、52與固定電極部60、64之間的靜電電容、以及可動(dòng)電極部50、52與固定電極部62、66之間的靜電電容分別進(jìn)行測(cè)定，并進(jìn)行差動(dòng)檢測(cè)(利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式)，從而能夠?qū)铀俣冗M(jìn)行檢測(cè)。
[0117]此外，雖然在上述中，對(duì)功能元件100為檢測(cè)X軸方向的加速度的加速度傳感器(物理量傳感器)的情況進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明所涉及的功能元件可以為檢測(cè)Y軸方向的加速度的加速度傳感器，也可以為檢測(cè)鉛直方向(Z軸方向)的加速度的加速度傳感器。另夕卜，本發(fā)明所涉及的功能元件不限于加速度傳感器，也可以為檢測(cè)例如角速度的陀螺傳感器。另外，功能元件100只要為具有多個(gè)配線的元件，則也可以為除了振動(dòng)子等的物理量傳感器以外的元件。
[0118]功能元件100具有例如以下的特征。
[0119]在功能元件100中包括:第一電極部60 ;第二電極部62 ;第一配線70，其與第一電極部60連接；第二配線74，其與第二電極部62連接，第一配線70具備與第二配線74以及第二配線74以外的配線交叉的第一交叉部9a、9b，第二配線74具備與第一配線70以及第一配線70以外的配線交叉的第二交叉部9c、9d，第一交叉部9a、9b與第二交叉部9c、9d的個(gè)數(shù)相等。尤其最優(yōu)選為，第一配線70在與第二配線74交叉以外交叉的第一交叉部9b的個(gè)數(shù)、和第二配線74在與第一配線70交叉以外交叉的第二交叉部9d的個(gè)數(shù)相等。但是即使交叉的個(gè)數(shù)不相等的情況下，也優(yōu)選為，第一交叉部9b的個(gè)數(shù)與第二交叉部9d的個(gè)數(shù)之差，相對(duì)于第一交叉部9b的個(gè)數(shù)和第二交叉部9d的個(gè)數(shù)中較多的一方的個(gè)數(shù)，而滿足在其50%以下，更加優(yōu)選為，滿足在其20%以下。當(dāng)大于50%時(shí)，通過補(bǔ)正用電路對(duì)寄生電容的誤差進(jìn)行補(bǔ)正將更加困難。
[0120]因此，在功能元件100中能夠降低配線之間的寄生電容的誤差。例如，在作為功能元件100而被用于電容檢測(cè)型的物理量傳感器的情況下，在第一配線70與第二配線74間，所產(chǎn)生的靜電電容將互相幾乎相等地被附加。因此，在功能元件100中，利用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式，能夠抵消第一配線70以及第二配線74的寄生電容，與附加互相差異較大的寄生電容的情況相比，能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0121]在功能元件100中，在俯視觀察時(shí)第一交叉部9a、9b的交叉面積的總和與第二交叉部9c、9d的交叉面積的總和相等。尤其最優(yōu)選為，第一配線70在與第二配線74交叉以外交叉的第一交叉部％的面積、和第二配線74在與第一配線70交叉以外交叉的第二交叉部9d的面積相等。但即使在交叉的面積不相等的情況下，也優(yōu)選為，第一交叉部9b的面積的總和與第二交叉部9d的面積的總和之差，相對(duì)于第一交叉部9b的面積的總和與第二交叉部9d的面積的總和中較大的面積，而滿足在其50%以下，更加優(yōu)選為滿足在其20%以下。當(dāng)大于50%時(shí)，通過補(bǔ)正用回路對(duì)寄生電容的誤差進(jìn)行補(bǔ)正將更加困難。因此，在功能元件100中，能夠降低配線之間的寄生電容的誤差。功能元件100尤其作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器，能夠更加準(zhǔn)確地檢測(cè)物理量。
[0122]在功能元件100中，包括:可動(dòng)體20，其能夠沿第一軸進(jìn)行移位；第一可動(dòng)電極部50，其從可動(dòng)體20延伸；固定電極部，其包括作為被配置于第一可動(dòng)電極部50的一側(cè)的第一電極部的第一固定電極部60、和作為被配置于另一側(cè)的第二電極部的第二固定電極部62。由此，能夠使功能元件100作為電容檢測(cè)型的物理量傳感器而發(fā)揮功能。
[0123]在功能元件100中，包括與第一可動(dòng)電極部50連接的第三配線78，第三配線78與第一配線70以及第二配線74的至少一方交叉。具體而言，在功能元件100中，由于能夠使例如連接于固定電極部62、66的第二配線74，與通過第一固定部30、第一連結(jié)部40、以及可動(dòng)體20而連接于可動(dòng)電極部50、52的第三配線78交叉，因此提高了配線設(shè)計(jì)的自由度。
[0124]在功能元件100中包括電浮置的第四配線79，第四配線79與第一配線70以及第二配線74的至少一方交叉。由于在功能元件100中，通過準(zhǔn)備作為虛設(shè)配線的第四配線79，并使其與第一配線70以及第二配線74的至少一方交叉，從而能夠使第一配線70與第二配線74的交叉點(diǎn)數(shù)進(jìn)一步相等，因此能夠更