電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，公知有例如檢查1C器件等電子部件的電特性的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置設(shè)置有用于將1C器件搬運(yùn)至檢查部的保持部的電子部件搬運(yùn)裝置。在檢查1C器件時(shí)，將1C器件配置于保持部，使設(shè)于保持部的多個(gè)探測(cè)銷與1C器件的各端子接觸。
[0003]這種1C器件的檢查存在將1C器件冷卻至規(guī)定溫度來(lái)進(jìn)行的情況。在該情況下，對(duì)1C器件進(jìn)行冷卻，并且以不產(chǎn)生結(jié)露的方式降低配置1C器件的部件的周圍氛圍的濕度。
[0004]在專利文獻(xiàn)1中記載了如下1C芯片部件試驗(yàn)裝置，即:在將溫度控制在低溫的腔內(nèi)，以能夠移動(dòng)的方式收納有具有收容多個(gè)1C芯片的多個(gè)1C收容部的1C托盤，并且設(shè)有對(duì)腔的入口進(jìn)行開閉的板狀的閘門。在從外部將1C芯片搬運(yùn)至腔內(nèi)的1C托盤的1C收容部進(jìn)行收容時(shí)，1C托盤移動(dòng)至入口的位置，閘門打開，以1C托盤整體在外部露出的狀態(tài)，被吸附噴嘴吸附的1C芯片通過(guò)被解除該吸附而收容于1C托盤的1C收容部。在專利文獻(xiàn)1所記載的1C芯片部件試驗(yàn)裝置中，通過(guò)閘門關(guān)閉腔的入口而能夠?qū)⑶粌?nèi)保持在規(guī)定的溫度、規(guī)定的濕度。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2000 - 74996號(hào)公報(bào)
[0006]然而，專利文獻(xiàn)1所記載的閘門由對(duì)腔的入口整體進(jìn)行開閉的板狀部件構(gòu)成，并不是能夠針對(duì)各個(gè)1C托盤的1C收容部進(jìn)行開閉的閘門。因此，在打開閘門的狀態(tài)下，開口部分增大至需要以上，由此，收容于1C托盤的全部1C芯片暴露于濕度等未受到管理的氛圍中。由此，在1C芯片的溫度較低的情況下，擔(dān)心在1C芯片的表面產(chǎn)生結(jié)露。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供能夠抑制電子部件暴露于濕度等未受到管理的氛圍中的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置。
[0008]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0009][應(yīng)用例1]
[0010]本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置的特征在于，具備:第一空間；第二空間，其與上述第一空間不同；配置部件，其配置于上述第二空間，并且供多個(gè)電子部件配置；以及閘門，其能夠在配置上述電子部件的至少一個(gè)方向進(jìn)行動(dòng)作，并且與上述第一空間以及上述第二空間接觸，在上述閘門設(shè)置有多個(gè)第一開口部。
[0011 ]由此，能夠抑制電子部件暴露于濕度等未受到管理的氛圍中。
[0012]S卩，通過(guò)關(guān)閉閘門，能夠以該閘門的部分切斷第一空間與第二空間的連通，由此，例如能夠容易對(duì)第二空間的濕度進(jìn)行管理。
[0013]另外，在打開閘門的情況下，通過(guò)將第一開口部配置于配置部件的配置多個(gè)電子部件的位置中的規(guī)定位置，能夠僅將上述規(guī)定位置打開。由此，例如，在第一空間的濕度等未受到管理的情況下，能夠抑制電子部件暴露于該濕度等未受到管理的氛圍中。
[0014][應(yīng)用例2]
[0015]優(yōu)選，上述閘門的一方的面與上述第一空間接觸，上述閘門的另一方的面與上述第二空間接觸。
[0016]由此，能夠提供遮擋功能較好的閘門。
[0017][應(yīng)用例3]
[0018]優(yōu)選，上述閘門進(jìn)行動(dòng)作的上述方向?yàn)樯鲜雠渲貌考拈L(zhǎng)邊方向。
[0019]由此，能夠高效地進(jìn)行閘門的開閉動(dòng)作。
[0020][應(yīng)用例4]
[0021]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述第一空間與上述第二空間的濕度不同。
[0022]由此，通過(guò)降低第二空間的濕度，在電子部件、第二空間的溫度較低的情況下，能夠抑制在電子部件、第二空間產(chǎn)生結(jié)露。
[0023][應(yīng)用例5]
[0024]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述第二空間的濕度比上述第一空間的濕度低。
[0025]由此，在電子部件、第二空間的溫度較低的情況下，能夠抑制在電子部件、第二空間產(chǎn)生結(jié)露。
[0026][應(yīng)用例6]
[0027]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，具備開口部件，該開口部件配置于上述閘門與上述配置部件之間，并且具有多個(gè)第二開口部。
[0028]由此，通過(guò)減小閘門與開口部件之間的間隔，能夠提高閘門的遮擋功能。另外，在濕度較低的空氣等氣體(以下，也稱為干燥空氣)向第二空間、特別是在第二空間中的開口部件與配置部件之間的第三空間流動(dòng)的情況下，干燥空氣在該第三空間流動(dòng)，從而在電子部件的溫度較低的情況下，能夠防止電子部件結(jié)露。
[0029][應(yīng)用例7]
[0030]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述開口部件與上述配置部件之間的間隔比上述開口部件與上述閘門之間的間隔大。
[0031]由此，在干燥空氣在第三空間流動(dòng)的情況下，干燥空氣能夠在該第三空間順利地流動(dòng)，在電子部件的溫度較低的情況下，能夠防止電子部件結(jié)露。
[0032][應(yīng)用例8]
[0033]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，具有將上述閘門支承為能夠動(dòng)作的滑動(dòng)部件。
[0034]由此，能夠使閘門順利地動(dòng)作從而進(jìn)行開閉。
[0035][應(yīng)用例9]
[0036]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述閘門的動(dòng)作為平移。
[0037]由此，能夠?qū)㈤l門的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化。
[0038][應(yīng)用例10]
[0039]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述閘門能夠更換為上述第一開口部的大小以及上述第一開口部的位置中的至少一方不同的閘門。
[0040]由此，能夠?qū)?yīng)于各種大小的電子部件。
[0041][應(yīng)用例11]
[0042]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述第一開口部的大小基于上述電子部件的大小設(shè)定。
[0043]由此，能夠?qū)?yīng)于各種大小的電子部件。
[0044][應(yīng)用例12]
[0045]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述多個(gè)第一開口部的間距為設(shè)置于上述配置部件并且供上述電子部件配置的多個(gè)電子部件配置部的間距的2倍。
[0046]由此，在電子部件配置部以行列狀配置的情況下，能夠形成為僅對(duì)于奇數(shù)列的電子部件配置部與偶數(shù)列的電子部件配置部中的一方使閘門打開，而對(duì)于另一方使閘門關(guān)閉的狀態(tài)。由此，能夠僅對(duì)于奇數(shù)列的電子部件配置部與偶數(shù)列的電子部件配置部中的需要的一方打開閘門。
[0047][應(yīng)用例13]
[0048]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述閘門能夠往復(fù)地進(jìn)行動(dòng)作，上述閘門的上述往復(fù)動(dòng)作的單程的距離為上述第一開口部的間距的1/2。
[0049]由此，在電子部件配置部以行列狀配置的情況下，能夠形成為僅對(duì)于奇數(shù)列電子部件配置部與偶數(shù)列電子部件配置部中的一方使閘門打開，而對(duì)于另一方使閘門關(guān)閉的狀態(tài)。由此，能夠僅對(duì)于奇數(shù)列電子部件配置部與偶數(shù)列電子部件配置部中的需要的一方打開閘門。
[0050][應(yīng)用例14]
[0051 ] 在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，具有能夠搬運(yùn)上述電子部件的搬運(yùn)部件，在上述搬運(yùn)部件朝向上述配置部件移動(dòng)時(shí)打開上述閘門。
[0052]由此，例如在第一空間的濕度等未受到管理的情況下，與在搬運(yùn)部件開始朝向配置部材移動(dòng)以前打開閘門的情況相比，能夠抑制電子部件暴露于濕度等未受到管理的氛圍中。
[0053]另外，與搬運(yùn)部件到達(dá)配置部件之后打開閘門的情況相比，能夠縮短處置時(shí)間。
[0054][應(yīng)用例15]
[0055]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，基于上述搬運(yùn)部件開始朝向上述配置部件移動(dòng)的位置設(shè)定開始打開上述閘門的動(dòng)作的時(shí)期。
[0056]由此，能夠容易并且適當(dāng)?shù)卦O(shè)定開始打開閘門的動(dòng)作的時(shí)期。
[0057][應(yīng)用例16]
[0058]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，開始打開上述閘門的動(dòng)作的時(shí)期為:上述搬運(yùn)部件開始朝向上述配置部件移動(dòng)之后上述搬運(yùn)部件的移動(dòng)距離成為比上述搬運(yùn)部件到達(dá)上述配置部件為止的總移動(dòng)距離小的規(guī)定值時(shí)。
[0059]由此，能夠容易并且適當(dāng)?shù)卦O(shè)定開始打開閘門的動(dòng)作的時(shí)期。
[0060][應(yīng)用例17]
[0061]在本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置中，優(yōu)選，上述規(guī)定值設(shè)定于上述總移動(dòng)距離的60%以上95%以下的范圍內(nèi)。
[0062]由此，能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定開始打開閘門的動(dòng)作的時(shí)期。
[0063][應(yīng)用例18]
[0064]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:第一空間；第二空間，其與上述第一空間不同；配置部件，其配置于上述第二空間，并且供多個(gè)電子部件配置；閘門，其能夠在配置上述電子部件的至少一個(gè)方向進(jìn)行動(dòng)作，并且與上述第一空間以及上述第二空間接觸；以及檢查部，其檢查上述電子部件，在上述閘門設(shè)置有多個(gè)開口部。
[0065]由此，能夠抑制電子部件暴露于濕度等未受到管理的氛圍中。
[0066]S卩，通過(guò)關(guān)閉閘門，能夠以該閘門的部分切斷第一空間與第二空間的連通，由此，例如能夠容易地對(duì)第二空間的濕度進(jìn)行管理。
[0067]另外，在打開閘門的情況下，通過(guò)將第一開口部配置于配置部件的配置多個(gè)電子部件的位置中的規(guī)定位置，能夠僅打開上述規(guī)定位置。由此，例如，在第一空間的濕度等未受到管理的情況下，能夠抑制電子部件暴露于該濕度等未受到管理的氛圍中。
【附圖說(shuō)明】
[0068]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第一實(shí)施方式的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0069]圖2是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的剖視圖。
[0070]圖3是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的剖視圖。
[0071]圖4是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的剖視圖。
[0072]圖5是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的變化套板的俯視圖。
[0073]圖6是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的殼體的俯視圖。
[0074]圖7是表示圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的閘門的俯視圖。
[0075]圖8是用于說(shuō)明圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的動(dòng)作的俯視圖。
[0076]圖9是用于說(shuō)明圖1所示的電子部件檢查裝置的溫度調(diào)整部的動(dòng)作的俯視圖。
[0077]圖10是表示配置于圖1所示的電子部件檢查裝置的器件回收區(qū)域的器件回收部的上方的板以及閘門的俯視圖。
[0078]圖11是表示配置于圖1所示的電子部件檢查裝置的器件回收區(qū)域的器件回收部、板以及閘門的剖視圖。
[0079]圖12是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的溫度調(diào)整部的殼體的俯視圖。
[0080]圖13是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第二實(shí)施方式的溫度調(diào)整部的閘門的俯視圖。
[0081]圖14是用于說(shuō)明本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式的動(dòng)作的圖。
[0082]圖15是表示本發(fā)明的電子部件檢查裝置的第四實(shí)施方式的控制動(dòng)作的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0083]以下，基于附圖所示的實(shí)施方式，對(duì)本發(fā)明的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
[0084]〈第一實(shí)施方式〉
[0085]圖1是表示本發(fā)明的電子部件檢