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一種測(cè)試臺(tái)及測(cè)量方法與流程

文檔序號(hào):40615587發(fā)布日期:2025-01-07 21:04閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種測(cè)試臺(tái),其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述運(yùn)動(dòng)模塊還包括:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述運(yùn)動(dòng)模塊還包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述運(yùn)動(dòng)模塊還包括:

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),其特征在于,所述平衡質(zhì)量塊包括第一塊體和第二塊體,所述第一塊體連接于所述第一線性驅(qū)動(dòng)裝置,所述第二塊體連接于所述第二線性驅(qū)動(dòng)裝置;

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述運(yùn)動(dòng)模塊還包括:通過(guò)負(fù)壓使所述載臺(tái)和所述物料吸附裝置鎖定于所述平臺(tái)模塊上的到位鎖緊裝置;

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述固定塊包括:環(huán)狀部,所述環(huán)狀部的中部形成用于容納所述預(yù)載機(jī)構(gòu)的容置空間;沿所述環(huán)狀部的外緣向外延伸形成的外側(cè)凸臺(tái),所述外側(cè)凸臺(tái)與所述柔性件固定連接;以及沿所述環(huán)狀部的內(nèi)緣向內(nèi)延伸形成的內(nèi)側(cè)凸臺(tái),所述內(nèi)側(cè)凸臺(tái)用于安裝所述預(yù)載機(jī)構(gòu);

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述預(yù)載機(jī)構(gòu)包括:預(yù)載彈性件、第一壓板和第二壓板,所述第一壓板與所述固定塊固定連接,所述第二壓板直接或間接地抵于所述吸附塊,所述預(yù)載彈性件的一端抵于所述第一壓板,所述預(yù)載彈性件的另一端抵于所述第二壓板;

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述物料調(diào)整模塊包括:調(diào)整底座、可氣浮支撐地設(shè)置于所述調(diào)整底座上的調(diào)整載臺(tái)、帶動(dòng)所述調(diào)整載臺(tái)相對(duì)于所述調(diào)整底座實(shí)現(xiàn)平面移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)的線性調(diào)整運(yùn)動(dòng)系統(tǒng);

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述上下料輔助傳輸模塊包括:氣浮導(dǎo)軌組件,所述氣浮導(dǎo)軌組件包括垂向氣浮配合面以及兩個(gè)相對(duì)布置的側(cè)向氣浮配合面;

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述上下料輔助傳輸模塊包括:第三線性驅(qū)動(dòng)裝置,用于驅(qū)動(dòng)所述物料調(diào)整模塊沿所述第一方向運(yùn)動(dòng),所述第三線性驅(qū)動(dòng)裝置位于用于驅(qū)動(dòng)所述載臺(tái)沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)的第一線性驅(qū)動(dòng)裝置的兩側(cè);

12.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述平臺(tái)模塊包括:

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,所述安全鎖付模塊包括頂板、限位桿、底座和鎖付限位組件;

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試臺(tái),其特征在于,還包括:第三檢測(cè)模塊,用于獲取物料的面型。

15.一種測(cè)試臺(tái)的測(cè)量方法,其特征在于,適用于權(quán)利要求1至14中任意一項(xiàng)所述的測(cè)試臺(tái),所述測(cè)量方法包括對(duì)準(zhǔn)測(cè)量方法、滑移測(cè)量方法、面型測(cè)量方法中的一個(gè)或多個(gè):


技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N測(cè)試臺(tái)及測(cè)量方法,涉及精密設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)涉及的測(cè)試臺(tái)包括平臺(tái)模塊;運(yùn)動(dòng)模塊,設(shè)于平臺(tái)模塊上,用于承接物料并攜物料運(yùn)動(dòng),運(yùn)動(dòng)模塊包括載臺(tái)、與載臺(tái)相連接的物料吸附裝置;物料調(diào)整模塊,設(shè)于平臺(tái)模塊上,用于承接物料并調(diào)整物料的位置;上下料輔助傳輸模塊,設(shè)于平臺(tái)模塊上,用于使物料調(diào)整模塊能夠于平臺(tái)模塊上運(yùn)動(dòng)并處于第一檢測(cè)工位;第一檢測(cè)模塊,設(shè)于第一檢測(cè)工位,能夠沿與第一方向垂直的垂向方向運(yùn)動(dòng),用于獲取物料在物料調(diào)整模塊的第一位置;第二檢測(cè)模塊,設(shè)于第二檢測(cè)工位,能夠沿垂向方向運(yùn)動(dòng),用于獲取物料吸附裝置攜物料運(yùn)動(dòng)前的物料的第二位置和/或運(yùn)動(dòng)模塊攜物料運(yùn)動(dòng)后的物料的第三位置。

技術(shù)研發(fā)人員:禹洪亮,吳火亮,郝振洲
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/6
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